JPH0525038B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は真空排気制御装置に関するものであ
る。

〔従来の技術〕

従来の真空排気装置は、特開昭60−79405号公
報に記載のように、機器の制御はマイクロコンピ
ユータを経由している。しかし、マイクロコンピ
ユータがOFFしても、真空ポンプを停止させな
いようにする点については配慮されていなかつ
た。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術は、マイクロコンピユータが
OFFしても、真空ポンプを停止させないように
する点について配慮がされておらず、マイクロコ
ンピユータがOFFした時には、真空ポンプも全
て停止してしまい、特に超高真空機器の場合には
真空の再立ち上げに時間を要するという問題があ
つた。

本発明の目的は、真空ポンプへの制御指令が停
止しても、真空ポンプを停止させずに運転を続行
できる真空排気制御装置を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、真空ポンプと、該真空ポンプの作動
を指令するマイクロコンピユータと、からなる真
空排気制御装置において、前記マイクロコンピユ
ータの第１の出力によつてONする動作指令用の
第１のトランジスタに直列に接続した第１のリレ
ーと、前記マイクロコンピユータの第２の出力に
よつてONする動作指令用の第２のトランジスタ
に直列に接続した第２のリレーと、３点式のマニ
ユアルスイツチと、該マニユアルスイツチの第１
の接点に接続している第３のリレーと、前記マニ
ユアルスイツチの第２の接点に接続している第４
のリレーと、前記真空ポンプに直列に接続した第
１の常開接点を有する第５のリレーと、警報又は
表示用の第６のリレーと、からなり、前記第１の
リレーの常開接点、前記第２のリレーの常閉接
点、前記第３のリレーの常閉接点、および前記第
５のリレーとを直列に接続しており、前記第４の
リレーの常開接点、前記第５のリレーの第２の常
開接点のそれぞれを前記第１のリレーの常開接点
に並列に接続しており、前記第５のリレーの第３
の常開接点と前記第６のリレーに直列に接続して
いること、を特徴とする。

〔作用〕

マイクロコンピユータからの動作指令によつて
真空ポンプは動作を開始すると共に、前記のリレ
ー回路によつてこの指令は自己保持され、同じく
マイクロコンピユータからの停止指令までこの状
態を継続する。

３点式のマニユアルスイツチによつて動作する
第３、第４のリレーの接点を前記リレー回路に組
み込んでいるので、マイクロコンピユータの出力
と同様に手動で真空ポンプの駆動と停止を制御で
きるものである。

また、真空ポンプを駆動するリレーの接点によ
つて警報又は表示用のリレーを制御するようにし
ているので、マイクロコンピユータによつてもマ
ニユアルスイツチによつても警報又は表示を行う
ことができるものである。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図と第２図とに
より説明する。

真空ポンプ２は、接点５ａを介して電源に接続
されている。接点５ａは制御回路３を介して制御
指示部であるマイクロコンピユータ１に接続して
いる。

制御回路３は、第２図に示すように、マイクロ
コンピユータ１からの指令によつて作動するON
信号用トランジスタ６とOFF信号用トランジス
タ８とが設けられており、ON信号用トランジス
タ６にはONリレー７が接続され、OFF信号用ト
ランジスタ８にはOFリレー９が接続されている。

また、ONリレーに連動する接点７ａと、OFF
リレーに連動する接点９ａと、接点１０ａと、接
点５ａに継ながる真空ポンプリレー５とが直列に
継ながれており、接点７ａと並列に接点１１ａお
よび接点５ｂが継ながれている。

また、この場合、３点式のマニユアル操作スイ
ツチ１３が設けられ、一方にはOFFリレー１０
が継ながり、他方にはONリレー１１が継なが
る。OFFリレー１０は接点１０ａに継ながり、
ONリレー１１は接点１１ａに継ながる。

また、真空ポンプリレー５は接点５ｂにも継な
がり、さらに警報、表示用のリレー１２と直列に
接続された接点５ｃに継ながる。

ここで、接点５ａ，５ｂ，５ｃ，７ａおよび１
１ａは通常開いており、接点９ａおよび１０ａは
通常閉じている。

上記構成により、マイクロコンピユータ１から
真空ポンプ２を作動させる指示が制御回路３に出
されると、ON信号用トランジスタ６が通電し、
ONリレー７が励磁する。

これにより、接点７ａが入つて、接点７ａ〜接
点９ａ〜接点１０ａ〜真空ポンプリレー５の回路
が継ながり、真空ポンプリレー５が励示される。

これにより、接点５ａが入つて真空ポンプ２が
作動する。これと同時に、接点５ｂおよび５ｃが
入る。接点５ｃが入ることによつて、警報、表示
用のリレーが励磁され、例えば図示しない表示装
置に真空ポンプ２が作動していることを表示す
る。

ここで、接点５ｂが入ることによつて、例え
ば、マイクロコンピユータ１がOFFして制御回
路３に指令が出なくなり、接点７ａが閉じなくな
つても、接点５ｂ〜接点９ａ〜接点１０ａ〜真空
ポンプリレー５の回路が生きて、真空ポンプ２を
稼動させ続けることができる。この回路が自己保
持回路である。

次に、マイクロコンピユータ１から真空ポンプ
２を停止させる指示が制御回路３に出されると、
OFF用トランジスタ８が通電し、OFFリレー９
が励磁する。

これにより、接点９ａが離れて、接点７ａ〜接
点９ａ〜接点１０ａ〜真空ポンプリレー５の回路
がしや断されて、真空ポンプリレー５の励磁が止
まり、接点５ａが離れて真空ポンプ２が停止す
る。これと同時に、接点５ｂおよび５ｃも離れ
る。

また、マニユアル操作スイツチ１３の切換えを
行なうことによつて、ONリレー１１またはOFF
リレー１０も励磁させることができ、ONリレー
１１を励磁することにより接点１１ａが入つて、
接点１１ａ〜接点９ａ〜接点１０ａ〜真空ポンプ
リレー５の回路が生きて、前記同様に真空ポンプ
２を作動させることができる。また、OFFリレ
ー１０を励磁することにより接点１０ａを離し
て、接点１１ａ〜接点９ａ〜接点１０ａ〜真空ポ
ンプリレー５の回路をしや断し、接点５ａを離し
て真空ポンプ２を停止させる。

以上、本一実施例によれば、マイクロコンピユ
ータ１からの指令が止まつても、真空ポンプ２を
停止することなく運転を続けることができるとい
う効果がある。これにより、例えば、半導体製造
装置の真空室の真空を保持することができる。

また、マニユアル操作の回路を設けているの
で、マニユアル操作スイツチにより、手動操作に
も切換えることができるという効果がある。

〔発明の効果〕

本発明によれば、マイクロコンピユータからの
動作指令によつて真空ポンプは動作を開始すると
共に、リレー回路による自己保持回路につてこの
指令は自己保持され、同じくマイクロコンピユー
タからの停止指令までこの状態を継続する。この
ため、マイクロコンピユータから真空ポンプへの
制御指令が停止しても真空ポンプを停止させずに
運転を続行させることができるものである。

また、３点式のマニユアルスイツチによつて動
作する第３、第４のリレーの接点を前記リレー回
路に組み込んでいるので、マイクロコンピユータ
の出力と同様に手動で真空ポンプの駆動と停止を
制御できるものである。

また、真空ポンプを駆動するリレーの接点によ
つて警報又は表示用のリレーを制御するようにし
ているので、マイクロコンピユータによつてもマ
ニユアルスイツチによつても警報又は表示を行う
ことができるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である真空排気制御
装置を示すブロツク図、第２図は第１図の制御回
路３を示す回路図である。 １……マイクロコンピユータ、２……真空ポン
プ、３……制御回路、５，７，９……リレー、
６，８……トランジスタ、５ａ，５ｂ，７ａ，９
ａ……接点。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 真空ポンプと、該真空ポンプの作動を指令す
   るマイクロコンピユータと、からなる真空排気制
   御装置において、 前記マイクロコンピユータの第１の出力によつ
   てONする動作指令用の第１のトランジスタに直
   列に接続した第１のリレーと、 前記マイクロコンピユータの第２の出力によつ
   てONする動作指令用の第２のトランジスタに直
   列に接続した第２のリレーと、 ３点式のマニユアルスイツチと、 該マニユアルスイツチの第１の接点に接続して
   いる第３のリレーと、前記マニユアルスイツチの
   第２の接点に接続している第４のリレーと、 前記真空ポンプに直列に接続した第１の常開接
   点を有する第５のリレーと、 警報又は表示用の第６のリレーと、からなり、 前記第１のリレーの常開接点、前記第２のリレ
   ーの常閉接点、前記第３のリレーの常閉接点、お
   よび前記第５のリレーとを直列に接続しており、 前記第４のリレーの常開接点、前記第５のリレ
   ーの第２の常開接点のそれぞれを前記第１のリレ
   ーの常開接点に並列に接続しており、 前記第５のリレーの第３の常開接点を前記第６
   のリレーに直列に接続していること、 を特徴とする真空排気制御装置。