JPS63180706A - クランプの方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体組立・検査装置の半導体の固定方法に
関し、特に、光半導体の光軸調整検査装置における光素
子の固定方法に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、この種のクランプの方法は、被固定物を直接押え
部が押すことによってクランプしていた。

この従来技術においてクランプする除の被固定物と押え
部の平行度・面角度は、機械加工による部品精度に依存
するか、もしくは平行・直角を調整する機構を使い調整
することによシ行っていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した従来のクランプの方法は、押え部と被固定物の
平行度・面角度が十分に出てないと、クランプされる時
に被固定物が、クランプ方向と直角方向に微少なズレを
生じることがある。又、このズレを少なくするために、
押え部と被固定物の平行度・面角度を調整する機構を取
シつけると、装置が複雑となシ、又、機構のガタやバヅ
クラッシェがあるために、十分なりランプができなかっ
た。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明のクランプの方法は、押え部と被固定物の間に、
球状の物体を有している。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例の正面図である。部品１は、
直線運動する可動押え、部品２は、押えによシ、クラン
プされる被固定物部品３は、装置に固定された押え部品
４は、球状の金属である。

固定脚え３に被固定物２をのせ、被固定物２の上に金属
球４をのせた後、可動脚え１を動かし、金属球４にあて
ることにより、被固定物２をクランプする。

この実施例の方法は、第２図のように被固定物の形状が
異なるものにも適用できる。

第３図は、本発明の他の実施例の正面図である。

構成部分は、実施例１と同じであるが、金属球６は、可
動脚え５において自由に回転できるように取付けられて
おり、可動脚え５と同じ直線運動を行う。固定脚え７に
被固定物６をのせた後、可動脚え５を動かすことによシ
、第４図のように、この可動脚え５に取り付けられた金
属球６が、被固定物６にあたり、固定脚え３とでクラン
プする。

この実施例では、可動脚え５に金属球６が取り付けられ
ているため、金属球６が接する被固定物６の面を金属球
６がすべらないような形状にする必要がないという利点
がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように不発明は、可動脚えと、被固定物と
の間に球状の物体を置いてクランプすることによシ、ク
ラン°プの際の押え方向と直角方向のズレを少なくする
ことができる効果がある０

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例の断面図、第２図は一実施
例のうち、被固定物の形状が一部異なる場合の断面図、
第３図は他の実施例のクランプ前の正面図、第４図はク
ランプ後の正面図である。 １・・・・・・可動脚え、２・・・・・・被固定物、３
・・・・・・固定脚え、４・・・・・・金属球、５・・
・・・・可動脚え、６・・・・・・被固定物、７・・・
・・・固定脚え、８・・・・・・金属球。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. クランプすることにより被固定物を固定する方法におい
   て、押え部と被固定物の間に球状の物体をおくことによ
   り、押え方向と直角方向のズレを少なくする機能を有す
   るクランプの方法。