JPS6318681B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6318681B2 JPS6318681B2 JP8891580A JP8891580A JPS6318681B2 JP S6318681 B2 JPS6318681 B2 JP S6318681B2 JP 8891580 A JP8891580 A JP 8891580A JP 8891580 A JP8891580 A JP 8891580A JP S6318681 B2 JPS6318681 B2 JP S6318681B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- displacement table
- final
- displacement
- point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
- B23Q1/36—Springs
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
- G01B5/0004—Supports
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Workshop Equipment, Work Benches, Supports, Or Storage Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は，被測定物あるいは被加工物をテーブ
ル上に載置し，該テーブルを可動変位させること
により被測定物あるいは被加工物を移動させ測定
部分あるいは加工部分の位置変更をなすようにし
た変位テーブル装置に関するもので，特に微小の
変位を前記テーブルに与えるようなした変位テー
ブル装置に関するものである。
ル上に載置し，該テーブルを可動変位させること
により被測定物あるいは被加工物を移動させ測定
部分あるいは加工部分の位置変更をなすようにし
た変位テーブル装置に関するもので，特に微小の
変位を前記テーブルに与えるようなした変位テー
ブル装置に関するものである。
従来，被測定物あるいは被加工物を載置したテ
ーブルを所望の位置に可動変位させる装置とし
て，該テーブルを直線的移動が可能なように支持
する案内部と，該案内部に対し前記テーブルを相
対的に移動させるための前記テーブルに螺合され
た送り用ボルトとよりなる変位テーブル装置が知
られている。このような変位テーブル装置におけ
るテーブルの変位量すなわち移動量はテーブルに
螺合された送り用ボルトのピツチおよびその回転
角度により決定されるのであるが，移動量を微小
量とするためには該送り用ボルトのピツチを細か
くするか，あるいは送り用ボルトの回転角度を細
かくしなければならない。しかしながら前記した
送り用ボルトのピツチを細かくするには限度があ
り，又，該ボルトの回転角度を細かくするにも角
度縮小装置等を別途組み込む必要があり，従つて
高度の加工精度が要求され又、角度縮小装置を組
み込むための送り用ボルトへの加工が要求されコ
スト高となる。更に送り用ボルトとテーブルとの
螺合におけるバツクラツシユにより位置決め時の
正確さに限度がある等の不具合を残していた。
ーブルを所望の位置に可動変位させる装置とし
て，該テーブルを直線的移動が可能なように支持
する案内部と，該案内部に対し前記テーブルを相
対的に移動させるための前記テーブルに螺合され
た送り用ボルトとよりなる変位テーブル装置が知
られている。このような変位テーブル装置におけ
るテーブルの変位量すなわち移動量はテーブルに
螺合された送り用ボルトのピツチおよびその回転
角度により決定されるのであるが，移動量を微小
量とするためには該送り用ボルトのピツチを細か
くするか，あるいは送り用ボルトの回転角度を細
かくしなければならない。しかしながら前記した
送り用ボルトのピツチを細かくするには限度があ
り，又，該ボルトの回転角度を細かくするにも角
度縮小装置等を別途組み込む必要があり，従つて
高度の加工精度が要求され又、角度縮小装置を組
み込むための送り用ボルトへの加工が要求されコ
スト高となる。更に送り用ボルトとテーブルとの
螺合におけるバツクラツシユにより位置決め時の
正確さに限度がある等の不具合を残していた。
本発明は，前記した如く従来の不具合を極力解
消せんとしてなされたもので，以下に添付図面に
示す実施例に従い詳細に説明する。
消せんとしてなされたもので，以下に添付図面に
示す実施例に従い詳細に説明する。
第１図において参照符号１は微小変位テーブル
装置を示し，該微小変位テーブル装置１は一端部
に押圧移動部２を有する第１アーム３と該第１ア
ーム３の他端部に弾性的に屈曲可能な連設部４に
よつて一端部が連接された連設アーム５と該連設
アーム５の他端部に弾性的に屈曲可能な連接部６
によつて一端部が連接された最終アーム７と該最
終アーム７の他端部に弾性的に屈曲可能な連接部
８によつて連設された変位テーブル９と前記第１
アーム３と最終アーム７とをそれぞれ弾性的に屈
曲可能な連設部１０，１１によつて支持する固定
部１２とより構成されている。参照符号１３は基
台を示し，該基台１３には，前記固定部１２が参
照符号１４で示す（第２図参照）スペーサーを介
してボルト（図示せず）あるいは接着等により固
着され，又，前記押圧移動部２に対応する位置に
は該押圧移動部２を押圧可能となしたマイクロメ
ーター等の押圧手段１５が止着されている。第２
図において参照符号１６は前記変位テーブル９の
下部に一体あるいは別体にて突設された突起で，
前記基台１３に設けられた長溝１７に摺動可能に
嵌合されている。
装置を示し，該微小変位テーブル装置１は一端部
に押圧移動部２を有する第１アーム３と該第１ア
ーム３の他端部に弾性的に屈曲可能な連設部４に
よつて一端部が連接された連設アーム５と該連設
アーム５の他端部に弾性的に屈曲可能な連接部６
によつて一端部が連接された最終アーム７と該最
終アーム７の他端部に弾性的に屈曲可能な連接部
８によつて連設された変位テーブル９と前記第１
アーム３と最終アーム７とをそれぞれ弾性的に屈
曲可能な連設部１０，１１によつて支持する固定
部１２とより構成されている。参照符号１３は基
台を示し，該基台１３には，前記固定部１２が参
照符号１４で示す（第２図参照）スペーサーを介
してボルト（図示せず）あるいは接着等により固
着され，又，前記押圧移動部２に対応する位置に
は該押圧移動部２を押圧可能となしたマイクロメ
ーター等の押圧手段１５が止着されている。第２
図において参照符号１６は前記変位テーブル９の
下部に一体あるいは別体にて突設された突起で，
前記基台１３に設けられた長溝１７に摺動可能に
嵌合されている。
次に本実施例の作用について説明する。第１図
において押圧手段１５を可動すると第１アーム３
の押圧移動部２を力点とし，押圧移動させると，
第１アーム３は連接部１０を支点，連接部４を作
用点として回転するように移動されるから連接部
４によつて前記第１アーム３に連接された連設ア
ーム５は前記押圧移動部２の移動方向と逆の移動
をなされる。この時，押圧移動部２の移動量をx3
とし，押圧移動部２（力点）より連接部１０（支
点）までの距離をl3とし，又連接部４の移動量す
なわち連設アーム５の移動量をx5とし連接部１０
より連接部４までの距離をl5とすると，連接部４
の移動量x5は次の通りとなる。
において押圧手段１５を可動すると第１アーム３
の押圧移動部２を力点とし，押圧移動させると，
第１アーム３は連接部１０を支点，連接部４を作
用点として回転するように移動されるから連接部
４によつて前記第１アーム３に連接された連設ア
ーム５は前記押圧移動部２の移動方向と逆の移動
をなされる。この時，押圧移動部２の移動量をx3
とし，押圧移動部２（力点）より連接部１０（支
点）までの距離をl3とし，又連接部４の移動量す
なわち連設アーム５の移動量をx5とし連接部１０
より連接部４までの距離をl5とすると，連接部４
の移動量x5は次の通りとなる。
x5＝x3l5／l3
前述の如くの連設アーム５の移動に伴ない連接
部６を力点とし，連接部１１を支点，連接部８を
作用点として回転するように移動され，よつて該
最終アーム７に連接された変位テーブル９は連設
アーム５の移動方向と逆の移動をなされる。該最
終アーム７の移動による変位テーブル９の移動量
は，その移動量をx9とし連接部８より連接部１１
までの距離をl9とし，連接部６の移動量をx7とし
連接部６より連接部１１までの距離をl7とすると
次の通りとなる。
部６を力点とし，連接部１１を支点，連接部８を
作用点として回転するように移動され，よつて該
最終アーム７に連接された変位テーブル９は連設
アーム５の移動方向と逆の移動をなされる。該最
終アーム７の移動による変位テーブル９の移動量
は，その移動量をx9とし連接部８より連接部１１
までの距離をl9とし，連接部６の移動量をx7とし
連接部６より連接部１１までの距離をl7とすると
次の通りとなる。
x9＝x7l9／l7
ところで連接部６の移動量x7は前記連設アーム
５の移動量x5と等しいものであるから前記変位テ
ーブル９の移動量x9は次の通りとなる。
５の移動量x5と等しいものであるから前記変位テ
ーブル９の移動量x9は次の通りとなる。
x9＝x3l5／l3・l9／l7
従つて変位テーブル９の移動量x9は，押圧移動
部２の移動量x3に正比例して変化される。
部２の移動量x3に正比例して変化される。
又，前述の如く，移動される変位テーブル９は
該変位テーブル９の下部に突設された突起１６が
長溝１７に沿つて案内されるものであるから直線
的な移動がなされる。 次に第３図に示す実施例
について説明する。
該変位テーブル９の下部に突設された突起１６が
長溝１７に沿つて案内されるものであるから直線
的な移動がなされる。 次に第３図に示す実施例
について説明する。
本実施例は前記した実施例中の変位テーブル９
を，該変位テーブル９より変位テーブルに対して
対象に延びる一端部が前記固定部１２に弾性的に
屈曲可能な連接部３０１…によつて連接された支
持アーム３０２…によつて支持させた点および突
起１６と長溝１７を除去した点が異なる外は前記
した実施例と同様である。
を，該変位テーブル９より変位テーブルに対して
対象に延びる一端部が前記固定部１２に弾性的に
屈曲可能な連接部３０１…によつて連接された支
持アーム３０２…によつて支持させた点および突
起１６と長溝１７を除去した点が異なる外は前記
した実施例と同様である。
本実施例の作用について説明すれば，押圧移動
部２を押圧移動させ変位テーブル９を移動させる
のは前記した実施例と同様である。しかしながら
本実施例では、支持アーム３０２…の存在により
変位テーブル９の移動が両側部において弾性的に
支持されているため，移動のために加わる力が支
持アーム３０２…に平均して分割支持されるよう
なしてある。よつて移動のための力が変位テーブ
ル９に加わつた場合，前記実施例における突起１
６と長溝１７との嵌合を除去しても直線的移動が
可能となり，摺動による規制でなく，力の平衡に
よる規制であるため摩耗によつて精度が落ちるよ
うな心配はない。
部２を押圧移動させ変位テーブル９を移動させる
のは前記した実施例と同様である。しかしながら
本実施例では、支持アーム３０２…の存在により
変位テーブル９の移動が両側部において弾性的に
支持されているため，移動のために加わる力が支
持アーム３０２…に平均して分割支持されるよう
なしてある。よつて移動のための力が変位テーブ
ル９に加わつた場合，前記実施例における突起１
６と長溝１７との嵌合を除去しても直線的移動が
可能となり，摺動による規制でなく，力の平衡に
よる規制であるため摩耗によつて精度が落ちるよ
うな心配はない。
更に第４図に示す実施例について説明する。
本実施例は前記第３図に示す実施例に次のよう
な改良を施こしたものであつて，その目的は変位
テーブルに加わる力を変位テーブルの変位が極力
直線的な移動となるようなすことである。
な改良を施こしたものであつて，その目的は変位
テーブルに加わる力を変位テーブルの変位が極力
直線的な移動となるようなすことである。
すなわち，第４図に従い本実施例を更に詳細に
説明すると，図中参照符号４０１は微小変位テー
ブル装置を示し，該微小変位テーブル装置４０１
は，参照符号４０２で示す押圧移動部と，該押圧
移動部４０２の両端部に弾性的に屈曲可能な連接
部４０３，４０３によつて連接された第１アーム
４０４，４０４と，該第１アーム４０４，４０４
の他端部に弾性的に屈曲可能な連接部４０５，４
０５によつて一端部が連接された連設アーム４０
６，４０６と，該連設アームの他端に弾性的に屈
曲可能な連接部４０７，４０７によつて連接され
た最終アーム４０８，４０８と、該最終アーム４
０８，４０８の他端部に弾性的に屈曲可能な連接
部４０９，４０９によつて連接された平衡部材４
１０と，該平衡部材４１０に弾性的に屈曲可能な
連接部４１１によつて連接された変位テーブル４
１２と，前記第１アーム４０４，４０４，最終ア
ーム４０８，４０８をそれぞれ弾性的に屈曲可能
な連接部４１３，４１３によつて支持し，且つ、
前記変位テーブル４１２を該変位テーブル４１２
より変位テーブルを介して対象に延びる支持アー
ム４１５…の一端を弾性的に屈曲可能な連接部４
１６…によつて支持する固定部４１７とより構成
されている。
説明すると，図中参照符号４０１は微小変位テー
ブル装置を示し，該微小変位テーブル装置４０１
は，参照符号４０２で示す押圧移動部と，該押圧
移動部４０２の両端部に弾性的に屈曲可能な連接
部４０３，４０３によつて連接された第１アーム
４０４，４０４と，該第１アーム４０４，４０４
の他端部に弾性的に屈曲可能な連接部４０５，４
０５によつて一端部が連接された連設アーム４０
６，４０６と，該連設アームの他端に弾性的に屈
曲可能な連接部４０７，４０７によつて連接され
た最終アーム４０８，４０８と、該最終アーム４
０８，４０８の他端部に弾性的に屈曲可能な連接
部４０９，４０９によつて連接された平衡部材４
１０と，該平衡部材４１０に弾性的に屈曲可能な
連接部４１１によつて連接された変位テーブル４
１２と，前記第１アーム４０４，４０４，最終ア
ーム４０８，４０８をそれぞれ弾性的に屈曲可能
な連接部４１３，４１３によつて支持し，且つ、
前記変位テーブル４１２を該変位テーブル４１２
より変位テーブルを介して対象に延びる支持アー
ム４１５…の一端を弾性的に屈曲可能な連接部４
１６…によつて支持する固定部４１７とより構成
されている。
次に本実施例の作用について説明する。
第４図において押圧移動部４０２を図中の矢印
方向に押圧して移動させる。該押圧移動部４０２
の移動は，連接部４０３，４０３により第１アー
ム４０４，４０４へ伝達され，以降前記した実施
例と同様にして最終アーム４０８，４０８を移動
させ，該最終アーム４０８，４０８の移動により
平衡部材４１０を介し変位テーブル４１２を移動
させる。本実施例においては前記押圧移動部４０
２に加えられた力は，それぞれ一対の第１，連
設，および最終アームにほぼ平均して分割されて
伝達され，平衡部材４１０の両側部の連接部４０
９に加えられ，更に連接部４１１を介して変位テ
ーブル４１２に伝達されるものであるから平衡部
材４１０の移動の際に移動開始時の姿勢を保持し
たまま直線的に移動させることができるものであ
り，又，最終アーム４０８，４０８から伝達され
る力に差が生じた場合でも平衡部材４１１が伝達
される力の差に応じて連接部４１１の弾性により
傾斜し，伝達される力を平衡させた後に変位テー
ブル４１２に伝達するものであるから，変位テー
ブル４１２に伝達される力は常に同一方向となし
得るもので，よつて変位テーブル４１２の直線的
移動がより確実なものとなる。
方向に押圧して移動させる。該押圧移動部４０２
の移動は，連接部４０３，４０３により第１アー
ム４０４，４０４へ伝達され，以降前記した実施
例と同様にして最終アーム４０８，４０８を移動
させ，該最終アーム４０８，４０８の移動により
平衡部材４１０を介し変位テーブル４１２を移動
させる。本実施例においては前記押圧移動部４０
２に加えられた力は，それぞれ一対の第１，連
設，および最終アームにほぼ平均して分割されて
伝達され，平衡部材４１０の両側部の連接部４０
９に加えられ，更に連接部４１１を介して変位テ
ーブル４１２に伝達されるものであるから平衡部
材４１０の移動の際に移動開始時の姿勢を保持し
たまま直線的に移動させることができるものであ
り，又，最終アーム４０８，４０８から伝達され
る力に差が生じた場合でも平衡部材４１１が伝達
される力の差に応じて連接部４１１の弾性により
傾斜し，伝達される力を平衡させた後に変位テー
ブル４１２に伝達するものであるから，変位テー
ブル４１２に伝達される力は常に同一方向となし
得るもので，よつて変位テーブル４１２の直線的
移動がより確実なものとなる。
前述の如く押圧移動部を一端部に有する第１ア
ームと，該第１アームの他端部に弾性的に屈曲可
能な連接部によつて一端部が連接された連設アー
ムと，該連設アームの他端部に弾性的に屈曲可能
な連接部によつて直接あるいは他のアームを介し
て一端部が連接された最終アームと，該最終アー
ムの他端部に弾性的に屈曲可能な連接部によつて
連接された変位テーブルと，少なくとも前記第１
アームと最終アームとを弾性的に屈曲可能な連接
部によつて支持する固定部とを有する本発明によ
れば前述のl3，l5，l7，l9を適宜設定することによ
り押圧移動部の変位量に対し変位テーブルの変位
量を微小量に縮小することができ，該縮小がアー
ムと弾性的に屈曲可能な連接部とにより行なえる
ものであるから，縮小過程でガタを生じることが
なく，押圧移動部の変位量に対し正確な変位テー
ブルの変位量が得られ，従来の如く精度を要する
ボルトの加工を要せず，又，ボルトのバツクラツ
シユによる位置のずれを極力防止できる。更に縮
小過程で機械的摺動部を除去したものであるから
摩耗による精度の低下がなく潤滑の必要がない。
等種々の効果を達成することができる。
ームと，該第１アームの他端部に弾性的に屈曲可
能な連接部によつて一端部が連接された連設アー
ムと，該連設アームの他端部に弾性的に屈曲可能
な連接部によつて直接あるいは他のアームを介し
て一端部が連接された最終アームと，該最終アー
ムの他端部に弾性的に屈曲可能な連接部によつて
連接された変位テーブルと，少なくとも前記第１
アームと最終アームとを弾性的に屈曲可能な連接
部によつて支持する固定部とを有する本発明によ
れば前述のl3，l5，l7，l9を適宜設定することによ
り押圧移動部の変位量に対し変位テーブルの変位
量を微小量に縮小することができ，該縮小がアー
ムと弾性的に屈曲可能な連接部とにより行なえる
ものであるから，縮小過程でガタを生じることが
なく，押圧移動部の変位量に対し正確な変位テー
ブルの変位量が得られ，従来の如く精度を要する
ボルトの加工を要せず，又，ボルトのバツクラツ
シユによる位置のずれを極力防止できる。更に縮
小過程で機械的摺動部を除去したものであるから
摩耗による精度の低下がなく潤滑の必要がない。
等種々の効果を達成することができる。
尚，前記実施例中では連設アームと最終アーム
とを直接に連設部によつて連接した例を示した
が，連設アームと最終アームとの間に別のアーム
を任意段配置し縮小を更に微小となすこともでき
る。又，第３図および第４図に示す実施例中で，
支持アームを固定部とのみ連接部により連接した
例を示したが，支持アームと変位テーブルとを，
又，支持アームと変位テーブルおよび支持アーム
と固定部とを連接部により連接してもよいもので
ある。
とを直接に連設部によつて連接した例を示した
が，連設アームと最終アームとの間に別のアーム
を任意段配置し縮小を更に微小となすこともでき
る。又，第３図および第４図に示す実施例中で，
支持アームを固定部とのみ連接部により連接した
例を示したが，支持アームと変位テーブルとを，
又，支持アームと変位テーブルおよび支持アーム
と固定部とを連接部により連接してもよいもので
ある。
第１図は本発明の一実施例を示す図，第２図は
第１図のＡ−Ａ断面図，第３図および第４図は本
発明の他の実施例を示す図である。 １・４０１……微小変位テーブル装置，２・４
０２……押圧移動部，３・４０４……第１アー
ム，４・６・８・１０・１１・３０１・４０３・
４０５・４０７・４０９・４１１・４１３・４１
４・４１６……連接部，５・４０６……連設アー
ム、７・４０８……最終アーム，９・４１２……
変位テーブル，１２・４１７……固定部，４１０
……平衡部材，４１５……支持アーム。
第１図のＡ−Ａ断面図，第３図および第４図は本
発明の他の実施例を示す図である。 １・４０１……微小変位テーブル装置，２・４
０２……押圧移動部，３・４０４……第１アー
ム，４・６・８・１０・１１・３０１・４０３・
４０５・４０７・４０９・４１１・４１３・４１
４・４１６……連接部，５・４０６……連設アー
ム、７・４０８……最終アーム，９・４１２……
変位テーブル，１２・４１７……固定部，４１０
……平衡部材，４１５……支持アーム。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 押圧部を一端部に有すると共に他端部を作用
点として，テーブルに連接した支点を作用点側に
近接して有する第１アームと；該第１アームの作
用点を力点として他端部を作用点とした連設アー
ムと；該連接アームの作用点を力点とし，他端部
を変位テーブルの作用点としてテーブルに連接さ
れた支点を作用点側に接近して有する最終アーム
と；該最終アームを他端部に弾性的に屈曲可能な
連接部によつて連接された変位テーブルと；少な
くとも前記第１アームと最終アームとを弾性的に
屈曲可能な連接部によつて支持する固定部とを有
することを特徴とする微小変位テーブル装置。 ２ 前記第１アームと連設アームおよび連設アー
ムと最終アームとは，それぞれ略直角となるよう
に，且つ，第１アームと最終アームとは同じ向き
に延びるよう配置したことを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の微小変位テーブル装置。 ３ 前記第１連設および最終アームを前記押圧移
動部および変位テーブルに対して対称となるよう
それぞれ一組づつ配置したことを特徴とする特許
請求の範囲第１項および第２項記載の微小変位テ
ーブル装置。 ４ 前記変位テーブルを，該変位テーブルより変
位テーブルに対して対称に延びる一端部が前記固
定部に弾性的に屈曲可能な連接部によつて連接さ
れた支持アームによつて支持するようなしたこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項〜第３項記載
の微小変位テーブル装置。 ５ 前記変位テーブルを，一端部が該変位テーブ
ルに他端部が前記最終アームにそれぞれ弾性的に
屈曲可能な連接部によつて連接された平衡部材を
介して最終アームに連接したことを特徴とする特
許請求の範囲第１項〜第４項記載の微小変位テー
ブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8891580A JPS5713301A (en) | 1980-06-30 | 1980-06-30 | Minutely displaceable table device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8891580A JPS5713301A (en) | 1980-06-30 | 1980-06-30 | Minutely displaceable table device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5713301A JPS5713301A (en) | 1982-01-23 |
| JPS6318681B2 true JPS6318681B2 (ja) | 1988-04-19 |
Family
ID=13956219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8891580A Granted JPS5713301A (en) | 1980-06-30 | 1980-06-30 | Minutely displaceable table device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5713301A (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| WO1991001848A1 (en) * | 1989-08-04 | 1991-02-21 | Hatheway Alson E | Precision motion transducer |
| DE10118451A1 (de) | 2001-04-12 | 2002-10-24 | Aifotec Ag Fiberoptics | Justierverfahren, insbesondere Laser-Justierverfahren, und hierfür geeigneter Aktor |
| ATE298468T1 (de) | 2001-04-12 | 2005-07-15 | Finisar Corp | Verfahren und vorrichtung zur regelung der mittenwellenlänge eines lasers, insbesondere eines halbleiterlasers |
| DE10128827A1 (de) | 2001-06-15 | 2003-01-09 | Aifotec Ag Fiberoptics | Justierverfahren, insbesondere Laser-Justierverfahren und hierfür geeigneter Aktor |
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-
1980
- 1980-06-30 JP JP8891580A patent/JPS5713301A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5713301A (en) | 1982-01-23 |
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