JPS63183275U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63183275U JPS63183275U JP7475287U JP7475287U JPS63183275U JP S63183275 U JPS63183275 U JP S63183275U JP 7475287 U JP7475287 U JP 7475287U JP 7475287 U JP7475287 U JP 7475287U JP S63183275 U JPS63183275 U JP S63183275U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid phase
- phase epitaxial
- epitaxial growth
- chamber
- jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は本考案装置の一実施例を模式的に示す
構成図、第２図は本考案の装置を用いて成長を行
う場合の成長プログラムを示す説明図である。 １……液相エピタキシヤル成長室、１ａ……反
応管、１ｂ……電気炉、２……予備室、３，３′
……ガス置換室、４……バルブ、５……フランジ
、６，６′……バルブ、７，７′……成長治具、
８……操作棒、９……ボートローダー、１０，１
０′……成長治具出し入れ用扉、１１，１１′…
…成長治具移動用治具、Ａ……成長部、Ｂ……冷
却部。
構成図、第２図は本考案の装置を用いて成長を行
う場合の成長プログラムを示す説明図である。 １……液相エピタキシヤル成長室、１ａ……反
応管、１ｂ……電気炉、２……予備室、３，３′
……ガス置換室、４……バルブ、５……フランジ
、６，６′……バルブ、７，７′……成長治具、
８……操作棒、９……ボートローダー、１０，１
０′……成長治具出し入れ用扉、１１，１１′…
…成長治具移動用治具、Ａ……成長部、Ｂ……冷
却部。
Claims (1)
- 液相エピタキシヤル成長室と成長治具を交換す
るための予備室とがバルブを介して接続して設け
られ、前記予備室に雰囲気ガスを置換するための
２つのガス置換室がそれぞれバルブを介して接続
されて設けられていることを特徴とする液相エピ
タキシヤル成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7475287U JPS63183275U (ja) | 1987-05-19 | 1987-05-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7475287U JPS63183275U (ja) | 1987-05-19 | 1987-05-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63183275U true JPS63183275U (ja) | 1988-11-25 |
Family
ID=30920260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7475287U Pending JPS63183275U (ja) | 1987-05-19 | 1987-05-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63183275U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6051695A (ja) * | 1983-08-29 | 1985-03-23 | Hitachi Cable Ltd | 液相エピタキシャル結晶成長方法とその装置 |
| JPS6131385A (ja) * | 1984-07-23 | 1986-02-13 | Showa Denko Kk | 液相エピタキシヤル成長方法 |
-
1987
- 1987-05-19 JP JP7475287U patent/JPS63183275U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6051695A (ja) * | 1983-08-29 | 1985-03-23 | Hitachi Cable Ltd | 液相エピタキシャル結晶成長方法とその装置 |
| JPS6131385A (ja) * | 1984-07-23 | 1986-02-13 | Showa Denko Kk | 液相エピタキシヤル成長方法 |