JPS63184972A - 磁気ヘツドの位置決め制御方式 - Google Patents
磁気ヘツドの位置決め制御方式Info
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- JPS63184972A JPS63184972A JP1708487A JP1708487A JPS63184972A JP S63184972 A JPS63184972 A JP S63184972A JP 1708487 A JP1708487 A JP 1708487A JP 1708487 A JP1708487 A JP 1708487A JP S63184972 A JPS63184972 A JP S63184972A
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- Japan
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- head
- positioning
- servo information
- magnetic
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- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、磁気ディスクにサーボ情報を設定するサー
ボトラックライタにおける磁気へ・・lドの位置決め制
御方式に関するものである。
ボトラックライタにおける磁気へ・・lドの位置決め制
御方式に関するものである。
[従来の技術]
コンピュータシステムに使用される磁気ディスりはトラ
ック間隔が極めて微細となりますます高密度となってい
る。このために書き込み/読み出しの磁気ヘッドの位置
に対して従来に増して精密、正確な位置決め制御を行う
ことが必要である。なお、トラック間の磁気ヘッドの移
動、すなわちシークの駆動には、パルスモータ式とボイ
スコイル式があるが、ボイスコイル式は構造が簡単であ
るので、小型磁気ディスク装置に広く使用されている。
ック間隔が極めて微細となりますます高密度となってい
る。このために書き込み/読み出しの磁気ヘッドの位置
に対して従来に増して精密、正確な位置決め制御を行う
ことが必要である。なお、トラック間の磁気ヘッドの移
動、すなわちシークの駆動には、パルスモータ式とボイ
スコイル式があるが、ボイスコイル式は構造が簡単であ
るので、小型磁気ディスク装置に広く使用されている。
以下これについて簡単に説明する。
第4図は、磁気ディスクバックを示すもので、複数の磁
気ディスクが同心に一定の間隔で重ねられてバックを形
成し、最上部の磁気ディスクをサーボ面1として全体を
磁気ヘッドの位置決めなどのサーボ情報に使用するもの
である。ここで、1aはトラックを、また1bは同一位
置のトラ・ツクを一括したシリン′ダである。
気ディスクが同心に一定の間隔で重ねられてバックを形
成し、最上部の磁気ディスクをサーボ面1として全体を
磁気ヘッドの位置決めなどのサーボ情報に使用するもの
である。ここで、1aはトラックを、また1bは同一位
置のトラ・ツクを一括したシリン′ダである。
第5図は、小型磁気ディスク装置における磁気ヘッドの
キャリッジ機構の例を示す図で、ヘッドキャリッジ機構
3はボイスコイル3bを有するアクチェータと、これに
より駆動されるキャリッジ3aとよりなり、キャリッジ
3aの先端部に複数の磁気ヘッド2が、各磁気ディスク
に対応して設けられている。駆動電流によりボイスコイ
ル3bが動き、磁気ヘッド2が矢印Aの方向に移動して
所定のトラックの位置で停止し、書き込み、・′読み出
しが行われる。この場合、ボイスコイル3bの動きはア
ナログ的の連続したものであるので、予め上記のサーボ
面1に書き込まれている位置決めサーボ情報(以下単に
サーボ情報という)3読み出しながら、磁気ヘッド2自
身が正しいトラックの位置となるように制御を行う、い
わゆる閉ループ制御方式がとられている。
キャリッジ機構の例を示す図で、ヘッドキャリッジ機構
3はボイスコイル3bを有するアクチェータと、これに
より駆動されるキャリッジ3aとよりなり、キャリッジ
3aの先端部に複数の磁気ヘッド2が、各磁気ディスク
に対応して設けられている。駆動電流によりボイスコイ
ル3bが動き、磁気ヘッド2が矢印Aの方向に移動して
所定のトラックの位置で停止し、書き込み、・′読み出
しが行われる。この場合、ボイスコイル3bの動きはア
ナログ的の連続したものであるので、予め上記のサーボ
面1に書き込まれている位置決めサーボ情報(以下単に
サーボ情報という)3読み出しながら、磁気ヘッド2自
身が正しいトラックの位置となるように制御を行う、い
わゆる閉ループ制御方式がとられている。
以上に述べたところは、サーボ面1に既にサーボ情報が
設定されている磁気ディスクに対する磁気ヘッドの位置
制御であるが、磁気ディスクの製造段階でサーボトラッ
クライタによりサーボ情報の書き込みを行うときは、サ
ーボ面lにはなんらのサーボ情報がない、いわば白紙の
状態であるので、上記のボイスコイルの閉ループ方式は
とりえない。そこで、とりあえずボイスコイルの駆動電
流を正確に制御することが行われているが、最近の高密
度のトラ・ツクに対しては精度が十分でないため、読み
出しの際に記録情報に対する磁気ヘッドの方位角(アジ
マス角)の不整による検出信号レベルの損失が大きくな
り、良好な検査がなしえない。これに対して、磁気ヘッ
ドにレーザによる光学的な位置測定機能を設ける方法が
行われている向きがあるが、磁気ヘッドの重量の増加に
より応動速度の鈍化と位置精度の低下などの欠点がある
。そこで、これらの欠点分解消してサーボトラ・ツクラ
イタに適する磁気ヘッドの位置決め制御方式が必要とさ
れている。
設定されている磁気ディスクに対する磁気ヘッドの位置
制御であるが、磁気ディスクの製造段階でサーボトラッ
クライタによりサーボ情報の書き込みを行うときは、サ
ーボ面lにはなんらのサーボ情報がない、いわば白紙の
状態であるので、上記のボイスコイルの閉ループ方式は
とりえない。そこで、とりあえずボイスコイルの駆動電
流を正確に制御することが行われているが、最近の高密
度のトラ・ツクに対しては精度が十分でないため、読み
出しの際に記録情報に対する磁気ヘッドの方位角(アジ
マス角)の不整による検出信号レベルの損失が大きくな
り、良好な検査がなしえない。これに対して、磁気ヘッ
ドにレーザによる光学的な位置測定機能を設ける方法が
行われている向きがあるが、磁気ヘッドの重量の増加に
より応動速度の鈍化と位置精度の低下などの欠点がある
。そこで、これらの欠点分解消してサーボトラ・ツクラ
イタに適する磁気ヘッドの位置決め制御方式が必要とさ
れている。
[発明の目的]
この発明は、磁気ヘッドのシーク用にボイスコイルを使
用したサーボトラックライタにおいて、磁気ヘッドの重
量を増加することなく、精度の高い位置決めを行う方式
を提供することを目的とするものである。
用したサーボトラックライタにおいて、磁気ヘッドの重
量を増加することなく、精度の高い位置決めを行う方式
を提供することを目的とするものである。
[問題点を解決するための手段]
この発明は、磁気ディスクにサーボ情報を書き込んで設
定し、これを読み出してその良否を検査するサーボトラ
ックライタにおける磁気ヘッドの位置決め制御方式であ
って、マイクロプロセッサの制御の下で、ヘッドキャリ
ッジ駆動回路により、書き込み、′読み出し用の磁気ヘ
ッドを所定のトラック位置に移動するヘッドキャリッジ
機構と、位置決め駆動回路により該ヘッドキャリッジ機
構を押圧または牽引するロッドを有する位置決め機構と
、該位置決め機構の位置を光学的に検出する位置検出器
とにより構成され、上記サーボ情報の設定においては、
位置検出器により検出された検出信号により位置決め駆
動回路を制御して口・・lドを駆動し、ヘッドキャリッ
ジ機構を押圧または牽引して磁気ヘッドを所定のトラッ
ク位置に位置決めする。該設定されたサーボ情報の検査
においては、磁気ヘッドにより読み出されたサーボ情報
によりヘッドキャリッジ駆動回路を制御してヘッドキャ
リッジ機構の移動を行う閉ループの制御により、磁気ヘ
ッドを所定のトラック上に維持するものである。
定し、これを読み出してその良否を検査するサーボトラ
ックライタにおける磁気ヘッドの位置決め制御方式であ
って、マイクロプロセッサの制御の下で、ヘッドキャリ
ッジ駆動回路により、書き込み、′読み出し用の磁気ヘ
ッドを所定のトラック位置に移動するヘッドキャリッジ
機構と、位置決め駆動回路により該ヘッドキャリッジ機
構を押圧または牽引するロッドを有する位置決め機構と
、該位置決め機構の位置を光学的に検出する位置検出器
とにより構成され、上記サーボ情報の設定においては、
位置検出器により検出された検出信号により位置決め駆
動回路を制御して口・・lドを駆動し、ヘッドキャリッ
ジ機構を押圧または牽引して磁気ヘッドを所定のトラッ
ク位置に位置決めする。該設定されたサーボ情報の検査
においては、磁気ヘッドにより読み出されたサーボ情報
によりヘッドキャリッジ駆動回路を制御してヘッドキャ
リッジ機構の移動を行う閉ループの制御により、磁気ヘ
ッドを所定のトラック上に維持するものである。
上記のロッドによる押圧または牽引のために、磁性体の
ロッドを使用してこれに電磁コイルを添捲し、またヘッ
ドキャリッジ機構に接触子分設けて、位置決めキャリ・
・lジ駆動回路よりの励磁電流により、ロッドと接触子
とが接着して押圧または牽引を行うものである。
ロッドを使用してこれに電磁コイルを添捲し、またヘッ
ドキャリッジ機構に接触子分設けて、位置決めキャリ・
・lジ駆動回路よりの励磁電流により、ロッドと接触子
とが接着して押圧または牽引を行うものである。
[市川]
この発明においては以上に述べた方式により、磁気ディ
スクにサーボ情報を設定する場合は1位置検出器により
高い精度で位置決めされた位置決め機構が主動的に動き
、これに追従してへ・・lドキャリッジ機構が移動する
ことにより、所定のトラ・・Iりへの磁気へ・・lドの
正確なシークが行われる。
スクにサーボ情報を設定する場合は1位置検出器により
高い精度で位置決めされた位置決め機構が主動的に動き
、これに追従してへ・・lドキャリッジ機構が移動する
ことにより、所定のトラ・・Iりへの磁気へ・・lドの
正確なシークが行われる。
この場合、へ・ラドキャリッジ機構と、これを押圧また
は牽引するロッドとは電磁力で接着しており、ヘッドキ
ャリッジ機構すなわち磁気ヘッドは常にロッドの動きに
追従する。
は牽引するロッドとは電磁力で接着しており、ヘッドキ
ャリッジ機構すなわち磁気ヘッドは常にロッドの動きに
追従する。
次に、サーボ情報を読み出して検査を行う場合は、口・
・Iドと接触子の電磁力による接着は断たれて、ヘッド
キャリッジ機構のみが動き、サーボ情報の読み出し信号
を閉ループ回路によりフィードバックして磁気ヘッドの
位置制御を行うものである。この場合、ヘッドキャリッ
ジ機構に対して位置決め機構は全く負荷とならず、磁気
ヘッドのシーク動作は良好に行われる。
・Iドと接触子の電磁力による接着は断たれて、ヘッド
キャリッジ機構のみが動き、サーボ情報の読み出し信号
を閉ループ回路によりフィードバックして磁気ヘッドの
位置制御を行うものである。この場合、ヘッドキャリッ
ジ機構に対して位置決め機構は全く負荷とならず、磁気
ヘッドのシーク動作は良好に行われる。
[実施例コ
第1図(a)、(b)はこの発明による、磁気ヘッドの
位置決め制御方式の実施例におけるキャリヴジ機構の概
略の構成図である。磁気ディスクのサーボ面1に対して
、磁気ヘッド2はへラドキャリ・・Iジ機構3に取りけ
けられて矢印Aの方向に移動しトラックをシークする。
位置決め制御方式の実施例におけるキャリヴジ機構の概
略の構成図である。磁気ディスクのサーボ面1に対して
、磁気ヘッド2はへラドキャリ・・Iジ機構3に取りけ
けられて矢印Aの方向に移動しトラックをシークする。
へ・ラドキャリッジ機構3はベース6に対して可動であ
る。位置決め機構4もまたベース6に対して矢印Bの方
向に可動とされ、これに電磁コイル4bが添捲されたロ
ッド4aが取り付けられている。励磁電流により口・・
lド4aは磁化して、へ・ラドキャリッジ機構3に設け
られている接触子3aに接着する。
る。位置決め機構4もまたベース6に対して矢印Bの方
向に可動とされ、これに電磁コイル4bが添捲されたロ
ッド4aが取り付けられている。励磁電流により口・・
lド4aは磁化して、へ・ラドキャリッジ機構3に設け
られている接触子3aに接着する。
位置決め機構4の位置については、ベース6に固定され
たレーザ測長系5により、位置決め機構4に取り付けら
れたミラー5aとの間隔Cが測定されるものである。
たレーザ測長系5により、位置決め機構4に取り付けら
れたミラー5aとの間隔Cが測定されるものである。
第2図は、この発明による磁気ヘッドの位置決め制御方
式の実施例における、全体回路のブロック構成図で、キ
ャリッジ機構は第1図と同様である。まず、サーボ情報
の設定の場合は、マイクロブロセ・ソサ(MPU)13
のディスク回転制御回路11に対する回転指示により、
モータ12が駆動されてサーボ面1が回転する1回転数
が一定に達して安定すると、M P 013より位置決
め駆動回路7にサーボ情報の設定の指示と磁気へシト2
のトラック位置に関するデータが与えられ、電磁コイル
4bに励磁電流が送出されて、ロッド4aが接触子3C
に接着する。ついで、トラック位置に相当する駆動電流
が与えられて位置決め機構4が移動し、これにへ・ラド
キャリッジ機構3が追従して磁気ヘッド2が所定のトラ
ック位置の付近に移動する。位置決め機構4の移動状態
はレーザ測長系5により測定され、測定信号が位置決め
駆動回路7に入力して、磁気ヘッド2が常に正しく所定
のトラック位置となるように制御される。
式の実施例における、全体回路のブロック構成図で、キ
ャリッジ機構は第1図と同様である。まず、サーボ情報
の設定の場合は、マイクロブロセ・ソサ(MPU)13
のディスク回転制御回路11に対する回転指示により、
モータ12が駆動されてサーボ面1が回転する1回転数
が一定に達して安定すると、M P 013より位置決
め駆動回路7にサーボ情報の設定の指示と磁気へシト2
のトラック位置に関するデータが与えられ、電磁コイル
4bに励磁電流が送出されて、ロッド4aが接触子3C
に接着する。ついで、トラック位置に相当する駆動電流
が与えられて位置決め機構4が移動し、これにへ・ラド
キャリッジ機構3が追従して磁気ヘッド2が所定のトラ
ック位置の付近に移動する。位置決め機構4の移動状態
はレーザ測長系5により測定され、測定信号が位置決め
駆動回路7に入力して、磁気ヘッド2が常に正しく所定
のトラック位置となるように制御される。
サーボ情報の書き込みにおいては、M P U 13よ
りの必要なサーボ情報データがライト回路8に与えられ
磁気ヘッド2により書き込まれる。
りの必要なサーボ情報データがライト回路8に与えられ
磁気ヘッド2により書き込まれる。
以上により設定されたサーボ情報の検査においては、磁
気ヘッド2の駆動の主体はヘッドキャリッジ機構3であ
り、磁気ヘッド2とへラドキャリ・・lジ駆動回路10
が閉ループ分構成している。すなわち、リード回Fl@
9の動作により磁気ヘッド2が読み出したサーボ情報の
信号によりヘッドキャリッジ駆動回路10の出力電流が
制御されてヘッドキャリッジ機構3にフィードバックさ
れ、シーク位置が常に正しいように制御される。なお、
検査の場合には電磁コイル4bに励磁電流が供給されな
いか、または逆方向の励磁電流と与えるなどして、ロッ
ド4aはヘッドキャリッジ機構3と離れて!!量関係す
るものである。
気ヘッド2の駆動の主体はヘッドキャリッジ機構3であ
り、磁気ヘッド2とへラドキャリ・・lジ駆動回路10
が閉ループ分構成している。すなわち、リード回Fl@
9の動作により磁気ヘッド2が読み出したサーボ情報の
信号によりヘッドキャリッジ駆動回路10の出力電流が
制御されてヘッドキャリッジ機構3にフィードバックさ
れ、シーク位置が常に正しいように制御される。なお、
検査の場合には電磁コイル4bに励磁電流が供給されな
いか、または逆方向の励磁電流と与えるなどして、ロッ
ド4aはヘッドキャリッジ機構3と離れて!!量関係す
るものである。
第3図はこの発明による磁気ヘッドの位置決め制御方式
を適用した小型磁気ディスクに対するサーボライタの外
観図で、ベース6の上に載置された磁気ディスクのサー
ボ面1に対して、アーム構造のヘッドキャリッジ機構3
に磁気ヘッド2が取り付けられ、またへヅドキャリッジ
機構3を押圧または牽引するロッド4aが位置決め機構
4に設けられて矢印Bの方向に可動である。レーザ測長
系5はレーザ光源5b、ハーフミラ−5Cおよび測長器
5dにより構成されたもので、光源5bよりのレーザ光
が、位置決め機構4に設けられたミラー5 aにより反
射され、この反射光を測長器5dに受光して位置決め機
構4の位置3測定するものであり、必要とする精度かえ
られる適当なものを使用すればよい。
を適用した小型磁気ディスクに対するサーボライタの外
観図で、ベース6の上に載置された磁気ディスクのサー
ボ面1に対して、アーム構造のヘッドキャリッジ機構3
に磁気ヘッド2が取り付けられ、またへヅドキャリッジ
機構3を押圧または牽引するロッド4aが位置決め機構
4に設けられて矢印Bの方向に可動である。レーザ測長
系5はレーザ光源5b、ハーフミラ−5Cおよび測長器
5dにより構成されたもので、光源5bよりのレーザ光
が、位置決め機構4に設けられたミラー5 aにより反
射され、この反射光を測長器5dに受光して位置決め機
構4の位置3測定するものであり、必要とする精度かえ
られる適当なものを使用すればよい。
[発明の効果]
以上の説明により明らかなように、この発明による磁気
ヘッドの位置決め制御方式においては、白紙状態の磁気
ディスクにサーボ情報を設定するときは、位置決め機構
の駆動により磁気ヘッドが正しく位置決めされて書き込
みが行われる。検査においては、位置決め機構は無関係
とされ、ヘッドキャリッジ機構が閏ループによるサーボ
情報に制御されて、磁気ヘッドが正しいトラック位置に
維持される。この方式をサーボトラックライタに適用す
るときは、ヘッドキャリッジ機構に対する重量増加の問
題がなく磁気ヘッドが高精度で位置決めされ、また読み
出しの場合は位置決め機構が磁気ヘッドの動作に全く邪
魔をしないので、サーボ情報の正しい設定と検査が行わ
れ、サーボトラックライタの性能の向上に寄与する効果
には大きいものがある。
ヘッドの位置決め制御方式においては、白紙状態の磁気
ディスクにサーボ情報を設定するときは、位置決め機構
の駆動により磁気ヘッドが正しく位置決めされて書き込
みが行われる。検査においては、位置決め機構は無関係
とされ、ヘッドキャリッジ機構が閏ループによるサーボ
情報に制御されて、磁気ヘッドが正しいトラック位置に
維持される。この方式をサーボトラックライタに適用す
るときは、ヘッドキャリッジ機構に対する重量増加の問
題がなく磁気ヘッドが高精度で位置決めされ、また読み
出しの場合は位置決め機構が磁気ヘッドの動作に全く邪
魔をしないので、サーボ情報の正しい設定と検査が行わ
れ、サーボトラックライタの性能の向上に寄与する効果
には大きいものがある。
第1図(a)および(b)は、この発明による磁気ヘッ
ドの位置決め制御方式の実施例における、キャリッジ機
構の概要の構造図、第2図は、この発明による磁気ヘッ
ドの位置決め制御方式の実施例における回路のブロック
構成図、第3図は、この発明による磁気ヘッドの位置決
め制御方式を適用したサーボトラックライタの実施例の
外観図、第4図は磁気ディスクパックの外観図、第5図
はボイスコイルを使用した磁気ヘッドのキャリヅジ機構
の原理を説明する断面図である。 1・・−磁気ディスクのサーボ面、2・・・磁気ヘッド
、3・・・ヘッドキャリッジ機構、3a・・−キャリッ
ジ。 3b・・・ボイスコイル、 3c・・・接触子、
4・・・位置決め機構、 4a・・・ロッド、4b・
・・電磁コイル、 5・・−レーザ測長系。 5a・・・ミラー、 5b・・・光源、5c・
・・ハーフミラ−15d・・・測長器、6・・・ベース
、 7・・・位置決め駆動回路、8・・・ラ
イト回路5 つ・・・リード回路、10・・・ヘ
ッドキャリッジ駆動回路、I!・・・ディスク回転制御
回路、 12・・・モータ、 13・・・マイクロプロセッ
サ。
ドの位置決め制御方式の実施例における、キャリッジ機
構の概要の構造図、第2図は、この発明による磁気ヘッ
ドの位置決め制御方式の実施例における回路のブロック
構成図、第3図は、この発明による磁気ヘッドの位置決
め制御方式を適用したサーボトラックライタの実施例の
外観図、第4図は磁気ディスクパックの外観図、第5図
はボイスコイルを使用した磁気ヘッドのキャリヅジ機構
の原理を説明する断面図である。 1・・−磁気ディスクのサーボ面、2・・・磁気ヘッド
、3・・・ヘッドキャリッジ機構、3a・・−キャリッ
ジ。 3b・・・ボイスコイル、 3c・・・接触子、
4・・・位置決め機構、 4a・・・ロッド、4b・
・・電磁コイル、 5・・−レーザ測長系。 5a・・・ミラー、 5b・・・光源、5c・
・・ハーフミラ−15d・・・測長器、6・・・ベース
、 7・・・位置決め駆動回路、8・・・ラ
イト回路5 つ・・・リード回路、10・・・ヘ
ッドキャリッジ駆動回路、I!・・・ディスク回転制御
回路、 12・・・モータ、 13・・・マイクロプロセッ
サ。
Claims (2)
- (1)、磁気ディスクにサーボ情報を書き込み設定し、
該設定されたサーボ情報を読み出して良否を検査するサ
ーボトラックライタにおいて、マイクロプロセッサ(M
PU)の制御の下で、ヘッドキャリッジ駆動回路により
駆動されて、書き込み/読み出し用の磁気ヘッドを所定
のトラック位置に移動するヘッドキャリッジ機構と、位
置決め駆動回路により駆動されて、該ヘッドキャリッジ
機構を押圧または牽引するロッドを有する位置決め機構
と、該位置決め機構の位置を光学的に検出する位置検出
器とよりなり、上記サーボ情報の設定においては、上記
位置検出器により検出された検出信号により制御された
上記位置決め駆動回路による上記ロッドの駆動により、
上記ヘッドキャリッジ機構を押圧または牽引して上記磁
気ヘッドを上記所定のトラック位置に位置決めし、該設
定されたサーボ情報の上記検査においては、上記磁気ヘ
ッドにより読み出された上記サーボ情報により制御され
た上記ヘッドキャリッジ駆動回路により上記ヘッドキャ
リッジ機構の移動を行う閉ループの制御により、上記磁
気ヘッドの位置を所定のトラック上に維持することを特
徴とする、磁気ヘッドの位置決め制御方式。 - (2)、磁性体金属よりなる上記ロッドに電磁コイルを
添捲し、上記ヘッドキャリッジ機構に接触子を設け、上
記位置決めキャリッジ駆動回路より該電磁コイルに与え
られる励磁電流により、上記ロッドと上記接触子とが接
着して上記押圧または牽引を行うことを特徴とする、特
許請求の範囲第1項記載の磁気ヘッドの位置決め制御方
式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1708487A JPS63184972A (ja) | 1987-01-27 | 1987-01-27 | 磁気ヘツドの位置決め制御方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1708487A JPS63184972A (ja) | 1987-01-27 | 1987-01-27 | 磁気ヘツドの位置決め制御方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63184972A true JPS63184972A (ja) | 1988-07-30 |
Family
ID=11934114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1708487A Pending JPS63184972A (ja) | 1987-01-27 | 1987-01-27 | 磁気ヘツドの位置決め制御方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63184972A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5812266A (en) * | 1995-12-15 | 1998-09-22 | Hewlett-Packard Company | Non-contact position sensor |
| US5886787A (en) * | 1995-12-15 | 1999-03-23 | Hewlett-Packard Company | Displacement sensor and method for producing target feature thereof |
| US6459492B1 (en) | 1997-03-14 | 2002-10-01 | Agilent Technologies, Inc. | Non-contact position sensor |
-
1987
- 1987-01-27 JP JP1708487A patent/JPS63184972A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5812266A (en) * | 1995-12-15 | 1998-09-22 | Hewlett-Packard Company | Non-contact position sensor |
| US5835224A (en) * | 1995-12-15 | 1998-11-10 | Hewlett-Packard Company | Non-contact position sensor |
| US5886787A (en) * | 1995-12-15 | 1999-03-23 | Hewlett-Packard Company | Displacement sensor and method for producing target feature thereof |
| US5982494A (en) * | 1995-12-15 | 1999-11-09 | Hewlett-Packard Company | Non-contact position sensor |
| US6459492B1 (en) | 1997-03-14 | 2002-10-01 | Agilent Technologies, Inc. | Non-contact position sensor |
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