JPS63186878A - 熱伝導用シ−ト - Google Patents

熱伝導用シ−ト

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Publication number
JPS63186878A
JPS63186878A JP62016728A JP1672887A JPS63186878A JP S63186878 A JPS63186878 A JP S63186878A JP 62016728 A JP62016728 A JP 62016728A JP 1672887 A JP1672887 A JP 1672887A JP S63186878 A JPS63186878 A JP S63186878A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sheet
corrosion resistance
thermal conductivity
heat conduction
plating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP62016728A
Other languages
English (en)
Inventor
Eiji Horikoshi
堀越　英二
Tsutomu Iikawa
勤 飯川
Munetaka Takeuchi
竹内　宗孝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
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Publication of JPS63186878A publication Critical patent/JPS63186878A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/31—Coating with metals
    • C23C18/42—Coating with noble metals

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 本発明は伝導冷却に用いる熱伝導用シートの熱伝導性と
耐食性を改善するために＋　　Ｉｎシートの表面にＡｕ
またはＡｕゝＫＮｉ等の貴金属めっき保護層を施したも
のである。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体素子などの冷却方法に関する。
〔従来の技術〕
良くするために、Ｉｎ等の熱伝導用シート４をはさんで
いた。
Ｉｎ等の熱伝導用シート４は、放熱用フィン５と回路基
板ｌ上にはんだ２Ｖｃより接合された半導体素子３との
間の押圧力を均一化し両表面に密着されることにより、
熱伝導性を良好にする作用を有する。
第３図は第２図のより詳細な斜視図であり、放熱用フィ
ン（ベローズ）５は冷却管６に接続され冷却水７により
冷却される。
〔発明が解決しようとする問題点〕
従来の熱伝導用Ｉｎシートでは、Ｉｎの耐食性が劣るた
め、真空あるいは不活性ガスなど雰囲気でしか用いるこ
とができなかった。空気中等酸化性雰囲気中では熱伝導
用Ｉｎシートが表面より次第に酸化され、Ｉｎｇｏｎ等
の熱伝導性の悪い、柔軟性の乏しい酸化物が生じ、半導
体素子と放熱用フィンとの間の熱伝導特性を劣化させる
。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、Ｉｎシートの柔軟性をそこなわない範囲でＡ
ｕまたはＡｕ／Ｎｉのめっきを表面に施し。
耐食性を改善するようにしたものである。
〔作用〕
Ｉｎシートに耐蝕性・熱伝導性良好な保設層全設けるこ
とにより、熱伝導用シートの熱伝導性及び耐食性を改善
でき信頼性を向上しうる。
〔実施例〕
厚さ１鎮のＩｎシートに、２μｍの厚さＫＡｕ（または
Ａｕ／Ｎｉ　）を無電解めっ龜する。このようにすれば
＋　　Ｉｎの表面は耐食性の良いＡｕで覆われることに
なるので耐食性が向上する。また。
めっきの厚さは２μｍ程度と薄いので、シートの柔軟性
がそこなわれることはない。さらに＋ＡｕはＩｎより熱
伝導性が良いので、シートの熱伝導性も向上する。
〔発明の効果〕
本発明によれば、熱伝導用Ｉｎシートの柔軟性をそこな
わずに、熱伝導性、耐食性を改善することができる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の熱伝導用シートの断面図。 ′：ＩＸＺ図及び第３図は熱伝導用シートの応用例を示
す断面図及び斜′４Ｆ１図である。 １：回路基板、２：はんだ５３：半導体素子。 ４：熱伝導用シート、５：放熱用フィン、６：冷却管、
７：冷却水。 ／か− ど 移２図　　然イ太導用シート−爪、川イ列’３Ｊ３Ｂ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. Ｉｎの表面にＡｕまたはＡｕ／Ｎｉをめっきし、熱伝導
    性、耐食性を改善したことを特徴とする熱伝導用シート
    。
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