JPS63187543A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS63187543A JPS63187543A JP1795287A JP1795287A JPS63187543A JP S63187543 A JPS63187543 A JP S63187543A JP 1795287 A JP1795287 A JP 1795287A JP 1795287 A JP1795287 A JP 1795287A JP S63187543 A JPS63187543 A JP S63187543A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- frequency
- image
- signal
- horizontal scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は通常の走査像のイカに異種像又は異種倍率像を
表示することのできる走査電子顕微鏡に関する。
表示することのできる走査電子顕微鏡に関する。
［従来の技術］
走査電子顕微鏡においては、通常の走査像の伯に異種像
又は異種倍率像を表示するようにしている。通常の走査
像を観察している状態から異種像表示モードにモードを
切換えると、従来の走査電子顕微鏡においては、試料面
上を走査する電子線の水平走査振幅がそれまでの１／２
になると共に、偶数（奇数）番目の該水平走査に同期し
て陰極線管画面の左半分を水平走査すると共に、奇数（
偶数）番目の前記電子線による水平走査に同期して前記
陰極線管画面の右半分を水平走査するようにしている。
又は異種倍率像を表示するようにしている。通常の走査
像を観察している状態から異種像表示モードにモードを
切換えると、従来の走査電子顕微鏡においては、試料面
上を走査する電子線の水平走査振幅がそれまでの１／２
になると共に、偶数（奇数）番目の該水平走査に同期し
て陰極線管画面の左半分を水平走査すると共に、奇数（
偶数）番目の前記電子線による水平走査に同期して前記
陰極線管画面の右半分を水平走査するようにしている。
［発明が解決しようとする問題点］
そのため、陰極線管画面の左及び右半分の走査像の水平
走査線の本数は、試料面上を走査する電子線の水平走査
線の本数の半分になってしまう。
走査線の本数は、試料面上を走査する電子線の水平走査
線の本数の半分になってしまう。
そのため、像が粗くなり異種像を良質な会として観察す
ることはできない。このような事態は、通常の走査像か
ら異種倍率像に切換える場合にも全く同様である。
ることはできない。このような事態は、通常の走査像か
ら異種倍率像に切換える場合にも全く同様である。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明はこのような従来の問題を解決し、陰極線管画面
の左右の半分ずつに異種像又は異種倍率像を表示する際
にも像質を低下することのない走査電子顕微鏡を提供す
ることを目的としている。
の左右の半分ずつに異種像又は異種倍率像を表示する際
にも像質を低下することのない走査電子顕微鏡を提供す
ることを目的としている。
［問題点を解決するための手段］
そのため、本発明は試料面上を水平及び垂直に電子線に
より走査させ、偶数（奇数）番目の該水平走査に同期し
て陰極線管画面の左半分を水平走査すると共に、奇数（
偶数）番目の前記電子線による水平走査に同期して前記
陰極線管画面の右半分を水平走査ザることにより陰極線
管画面に異種像又は異種倍率像を表示するようにした走
査電子顕微鏡において、通常の走査像表示モードから異
種像又は異種倍率像表示モードへの切換えに連動して試
料面上を走査する電子線の垂直走査周波数を維持したま
ま水平走査周波数を通常の走査像表示モード時の２倍に
切換えるための手段を備えていることを特徴としている
。
より走査させ、偶数（奇数）番目の該水平走査に同期し
て陰極線管画面の左半分を水平走査すると共に、奇数（
偶数）番目の前記電子線による水平走査に同期して前記
陰極線管画面の右半分を水平走査ザることにより陰極線
管画面に異種像又は異種倍率像を表示するようにした走
査電子顕微鏡において、通常の走査像表示モードから異
種像又は異種倍率像表示モードへの切換えに連動して試
料面上を走査する電子線の垂直走査周波数を維持したま
ま水平走査周波数を通常の走査像表示モード時の２倍に
切換えるための手段を備えていることを特徴としている
。
［実施例］
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述づる。
第１図は通常の走査像の他に異種像を表示することので
きる走査電子顕微鏡に本発明を適用した一実施例を示す
だめのブロック図であり、図中１は電子銃、２は電子線
、３は集束レンズ、４ｘ。
きる走査電子顕微鏡に本発明を適用した一実施例を示す
だめのブロック図であり、図中１は電子銃、２は電子線
、３は集束レンズ、４ｘ。
４ｙは水平及び垂直偏向コイル、５は試料、６は二次電
子検出器、７は透過電子検出器である。８は水平走査信
号発生部であり、水平走査信号発生回路８ａと周波数／
振幅設定回路８ｂとより成っている。９は１ｘ２分周回
路、１０は切換回路回路、１１は波形変換回路、１２は
加算回路、１３は切換回路、１４は陰極線管、１４Ｘ、
１４Ｍは水平及び垂直偏向器、１４ｇはグリッドである
。
子検出器、７は透過電子検出器である。８は水平走査信
号発生部であり、水平走査信号発生回路８ａと周波数／
振幅設定回路８ｂとより成っている。９は１ｘ２分周回
路、１０は切換回路回路、１１は波形変換回路、１２は
加算回路、１３は切換回路、１４は陰極線管、１４Ｘ、
１４Ｍは水平及び垂直偏向器、１４ｇはグリッドである
。
１５は垂直走査信号発生回路部であり、カウンタ１５ａ
と、ＤＡ変換器１５ｂとより成っている。
と、ＤＡ変換器１５ｂとより成っている。
１６は信号選択回路であり、１７は切換回路、１８は手
動操作用選択信号発生器、１９はモード指定信号発生器
、２０ｘ、２０ｙ、２１ｘ、２１ｙは増幅器である。
動操作用選択信号発生器、１９はモード指定信号発生器
、２０ｘ、２０ｙ、２１ｘ、２１ｙは増幅器である。
このような構成において、操作者がモード指定信号発生
器１９を操作して、通常の走査像の表示を指示する信号
を発生器１９より発生させると、発生器１９よりの信号
は切換回路１０．１３．１７に送られるため、これら回
路１０．１３．１７は共にａ端子側に接続される。この
ときモード指定信号発生器１９よりのモード指定信号は
水平走査信号発生部８の周波数／振幅設定回路８ｂに送
られる。更に又、モード指定信号発生器１９よりカウン
タ１５ａにカウンタがカウント数ｎで１周するように制
御信号を送る。その結果、周波数／振幅設定回路８ｂよ
りの設定信号に基づいて、水平走査信号発生回路８ａよ
り第２図（ａ＞に示す水平走査信号が発生する。この際
水平走査信号発生回路８ａより上記水平走査信号に同期
した第２図（ｂ）に示す信号が切換回路１０の端子ａを
介して垂直走査信号発生部のカウンタ１５ａに送られる
ため、ＤＡ変換器１５ｂより第２図（Ｃ）に示す垂直走
査信号が発生する。第２図（ａ）に示した水平走査信号
は各々増幅器２０Ｘ、２１Ｘを介して水平偏向コイル４
ｘ及び水平偏向器１４ｘに供給されると共に、第２図（
Ｃ）に示す垂直走査信号は各々増幅器２０Ｙ、２１ｙを
介して垂直偏向コイル４ｙ及び垂直偏向器１４Ｖに供給
されるため、第３図（ａ）に示すような試料面上の矩形
領域Ｓが電子線２により水平及び垂直に走査され、この
走査に同期して第３図（ｂ）に示すように陰極ｔｆｊ管
１４の画面が走査される。このとき、前述したように、
切換回路１７はａ端子よりの信号を信号選択回路１６に
送る状態となっているから、手動操作用選択信号発生３
１８を操作して例えば二次電子検出器６よりの信号を選
択すれば、検出器６よりの信号が陰極線管１４に輝度信
号として導入され、試料の二次電子像が陰極線管画面に
表示される。尚、第３図において、■、■、・・・。
器１９を操作して、通常の走査像の表示を指示する信号
を発生器１９より発生させると、発生器１９よりの信号
は切換回路１０．１３．１７に送られるため、これら回
路１０．１３．１７は共にａ端子側に接続される。この
ときモード指定信号発生器１９よりのモード指定信号は
水平走査信号発生部８の周波数／振幅設定回路８ｂに送
られる。更に又、モード指定信号発生器１９よりカウン
タ１５ａにカウンタがカウント数ｎで１周するように制
御信号を送る。その結果、周波数／振幅設定回路８ｂよ
りの設定信号に基づいて、水平走査信号発生回路８ａよ
り第２図（ａ＞に示す水平走査信号が発生する。この際
水平走査信号発生回路８ａより上記水平走査信号に同期
した第２図（ｂ）に示す信号が切換回路１０の端子ａを
介して垂直走査信号発生部のカウンタ１５ａに送られる
ため、ＤＡ変換器１５ｂより第２図（Ｃ）に示す垂直走
査信号が発生する。第２図（ａ）に示した水平走査信号
は各々増幅器２０Ｘ、２１Ｘを介して水平偏向コイル４
ｘ及び水平偏向器１４ｘに供給されると共に、第２図（
Ｃ）に示す垂直走査信号は各々増幅器２０Ｙ、２１ｙを
介して垂直偏向コイル４ｙ及び垂直偏向器１４Ｖに供給
されるため、第３図（ａ）に示すような試料面上の矩形
領域Ｓが電子線２により水平及び垂直に走査され、この
走査に同期して第３図（ｂ）に示すように陰極ｔｆｊ管
１４の画面が走査される。このとき、前述したように、
切換回路１７はａ端子よりの信号を信号選択回路１６に
送る状態となっているから、手動操作用選択信号発生３
１８を操作して例えば二次電子検出器６よりの信号を選
択すれば、検出器６よりの信号が陰極線管１４に輝度信
号として導入され、試料の二次電子像が陰極線管画面に
表示される。尚、第３図において、■、■、・・・。
■等は１回の垂直走査中の何回目の水平走査であるかを
表わしている。
表わしている。
そこで、操作者がモード指定信号発生黒１９より異種倍
率像の表示を指示する信号を発生させると、切換回路１
０，１３．１７はｂ端子側に接続されるように切換えら
れる。更に、モード指定信号発生器１９よりの異種倍率
像の表示を指示する信号が水平走査信号発生部の周波数
／振幅設定回路８ｂに送られるため、水平走査信号発生
回路８ａより第２図（ｄ）に示すようにそれまでの水平
走査信号の周波数の２倍の周波数を有する水平走査信号
が出力される。そのため、水平走査信号発生回路８ａよ
りの水平走査信号に同期した信号も第２図（ｅ）に示す
ようになる。この信号は１／２分周回路９に送られるた
め、１／２分周回路９より第２図（ｆ＞に示す出力され
る。１／２分周回路９よりの信号は切換回路１０を介し
てカウンタ１５ａに送られるため、ＤＡ変３１ｊｌ器１
５ｂより第２図（１〉に示すように通常の走査像を得る
際の垂直走査信号と同一の垂直走査信号が出力される。
率像の表示を指示する信号を発生させると、切換回路１
０，１３．１７はｂ端子側に接続されるように切換えら
れる。更に、モード指定信号発生器１９よりの異種倍率
像の表示を指示する信号が水平走査信号発生部の周波数
／振幅設定回路８ｂに送られるため、水平走査信号発生
回路８ａより第２図（ｄ）に示すようにそれまでの水平
走査信号の周波数の２倍の周波数を有する水平走査信号
が出力される。そのため、水平走査信号発生回路８ａよ
りの水平走査信号に同期した信号も第２図（ｅ）に示す
ようになる。この信号は１／２分周回路９に送られるた
め、１／２分周回路９より第２図（ｆ＞に示す出力され
る。１／２分周回路９よりの信号は切換回路１０を介し
てカウンタ１５ａに送られるため、ＤＡ変３１ｊｌ器１
５ｂより第２図（１〉に示すように通常の走査像を得る
際の垂直走査信号と同一の垂直走査信号が出力される。
又、１／２分周回路９よりの第２図（ｆ）に示す信号は
、波形変換回路１１において第２図（Ｑ）に示すように
波形変換された後、加算回路１２に送られる。加尊回路
１２には水平走査信号発生回路８ａより第２図１）に示
す信号が送られているため、加算回路１２より第２図（
ｈ＞に示す信号が出力される。その結果、第２図（ｄ）
に示す水平走査信号が水平偏向コイル４Ｘへ供給される
と共に、第２図（ｈ）に示す水平走査信号がｒＡ極線管
１４の水平偏向器１４ｘに供給される。
、波形変換回路１１において第２図（Ｑ）に示すように
波形変換された後、加算回路１２に送られる。加尊回路
１２には水平走査信号発生回路８ａより第２図１）に示
す信号が送られているため、加算回路１２より第２図（
ｈ＞に示す信号が出力される。その結果、第２図（ｄ）
に示す水平走査信号が水平偏向コイル４Ｘへ供給される
と共に、第２図（ｈ）に示す水平走査信号がｒＡ極線管
１４の水平偏向器１４ｘに供給される。
又、第２図（ｉ）に示す垂直走査信号が垂直偏向コイル
４ｙに供給されると共に、陰極線管１４の垂直偏向器１
４ｙに供給される。このとぎ、モード指定信号発生器１
９よりカウンタ１５ａに２ｎ回のカウントで１周するよ
うに制御信号が送られているため、電子線２による垂直
走査の周波数は通常走査時のものに維持される。そのた
め、電子線２は試料の同一領域を２回ずつ水平走査しな
がら、第３図（Ｃ）の試料面上の矩形領域Ｓ−上を走査
する。従って、第３図（ｄ）に示すように、前記−木の
水平走査線上の１回目の水平走査においては、陰極線管
画面上の左半分に位置する水平走査線が同期走査され、
２回目の水平走査においては、陰極線管画面の右半分に
位置する水平走査線が同期走査される。このとき、第２
図（ｆ）に示す信号が切換回路１７を介して信号選択回
路１６に送られ、信号選択回路１６は第２図（ｄ）に示
す水平走査毎に二次電子検出器６の出力信号と透過電子
検出器７の出力信号を交互に選択して陰極ｐ２恒１４に
導くため、陰極線管１４の例えば左半分には前記矩形領
域Ｓ′の二次電子像が、又も半分には矩形領域Ｓ′の透
過電子像が表示される。
４ｙに供給されると共に、陰極線管１４の垂直偏向器１
４ｙに供給される。このとぎ、モード指定信号発生器１
９よりカウンタ１５ａに２ｎ回のカウントで１周するよ
うに制御信号が送られているため、電子線２による垂直
走査の周波数は通常走査時のものに維持される。そのた
め、電子線２は試料の同一領域を２回ずつ水平走査しな
がら、第３図（Ｃ）の試料面上の矩形領域Ｓ−上を走査
する。従って、第３図（ｄ）に示すように、前記−木の
水平走査線上の１回目の水平走査においては、陰極線管
画面上の左半分に位置する水平走査線が同期走査され、
２回目の水平走査においては、陰極線管画面の右半分に
位置する水平走査線が同期走査される。このとき、第２
図（ｆ）に示す信号が切換回路１７を介して信号選択回
路１６に送られ、信号選択回路１６は第２図（ｄ）に示
す水平走査毎に二次電子検出器６の出力信号と透過電子
検出器７の出力信号を交互に選択して陰極ｐ２恒１４に
導くため、陰極線管１４の例えば左半分には前記矩形領
域Ｓ′の二次電子像が、又も半分には矩形領域Ｓ′の透
過電子像が表示される。
このようにして、異種像を表示する場合には、試料を走
Ｍする電子線の垂直走査の周波数は通常走査の場合に維
持したまま、水平走査の周波数が２倍にされるため、陰
極線管に表示される異種像の水平走査線の本数はそれま
での通常走査像の場合に比較して減少することは無り、
（ｇｌＴ！ｊが低下することは無い。
Ｍする電子線の垂直走査の周波数は通常走査の場合に維
持したまま、水平走査の周波数が２倍にされるため、陰
極線管に表示される異種像の水平走査線の本数はそれま
での通常走査像の場合に比較して減少することは無り、
（ｇｌＴ！ｊが低下することは無い。
上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、変形して
実施することができる。
実施することができる。
例えば、上述した実施例においては、異種像を単一の陰
極線管画面に表示する場合に本発明を適用したが、異種
倍率像を単一の陰極線管画面に並べて表示する場合にも
、本発明は同様に適用することができる。
極線管画面に表示する場合に本発明を適用したが、異種
倍率像を単一の陰極線管画面に並べて表示する場合にも
、本発明は同様に適用することができる。
［発明の効果］
上述した説明から明らかなように、本発明においては、
通常の走査像表示モードから異種像又は異種倍率像表示
モードへの切換えに連動して試料面上を走査する電子線
の垂直走査周波数を維持したまま水平走査の周波数を通
常の走査像表示モード時の２倍に切換えるための手段を
備えているため、通常の走査像から異ＰＳ＠又は異種倍
率像に表示モードを切換えた場合にもＩｌｉ極線極線面
画面上平走査線の本数が減じることはなく、像質を低下
させることなく異種像又は異種倍率像を表示することが
できる。
通常の走査像表示モードから異種像又は異種倍率像表示
モードへの切換えに連動して試料面上を走査する電子線
の垂直走査周波数を維持したまま水平走査の周波数を通
常の走査像表示モード時の２倍に切換えるための手段を
備えているため、通常の走査像から異ＰＳ＠又は異種倍
率像に表示モードを切換えた場合にもＩｌｉ極線極線面
画面上平走査線の本数が減じることはなく、像質を低下
させることなく異種像又は異種倍率像を表示することが
できる。
第１図は本発明の一実Ｉｌｌを示ηための図、第２図は
本発明の一実施例の各回路要素よりの出力信号を例示づ
るための図、第３図は通常の走査像表示時と異種像表示
時における試料面の走査と陰！４Ｉ！ｉｌ管画面の走査
とを対比して説明するための図である。 １：電子銃 ２：電子線 ３：集束レンズ ４Ｘ、４Ｖ：偏向コイル５：試料
６：二次電子検出器７：透過電子検出器 ８：水平走査信号発生部 ８ａ：水平走査信号発生回路磁 ８ｂ二周波数／振幅設定回路 ９：１／２分周回路 １０．１３．１７：切換回路 １１：波形変換回路 １２：加算回路 １４：陰極線管 １５：垂直走査信号発生部１５ａ
：カウンタ １５ｂ：ＤＡ変換器１６：信号選択回路 １８二手動用選択信号発生器 １９：モード指定信号発生器
本発明の一実施例の各回路要素よりの出力信号を例示づ
るための図、第３図は通常の走査像表示時と異種像表示
時における試料面の走査と陰！４Ｉ！ｉｌ管画面の走査
とを対比して説明するための図である。 １：電子銃 ２：電子線 ３：集束レンズ ４Ｘ、４Ｖ：偏向コイル５：試料
６：二次電子検出器７：透過電子検出器 ８：水平走査信号発生部 ８ａ：水平走査信号発生回路磁 ８ｂ二周波数／振幅設定回路 ９：１／２分周回路 １０．１３．１７：切換回路 １１：波形変換回路 １２：加算回路 １４：陰極線管 １５：垂直走査信号発生部１５ａ
：カウンタ １５ｂ：ＤＡ変換器１６：信号選択回路 １８二手動用選択信号発生器 １９：モード指定信号発生器
Claims (1)
- 試料面上を水平及び垂直に電子線により走査させ、偶数
（奇数）番目の該水平走査に同期して陰極線管画面の左
半分を水平走査すると共に、奇数（偶数）番目の前記電
子線による水平走査に同期して前記陰極線管画面の右半
分を水平走査することにより陰極線管画面に異種像又は
異種倍率像を表示するようにした走査電子顕微鏡におい
て、通常の走査像表示モードから異種像又は異種倍率像
表示モードへの切換えに連動して試料面上を走査する電
子線の垂直走査周波数を維持したまま水平走査周波数を
通常の走査像表示モード時の２倍に切換えるための手段
を備えていることを特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1795287A JPS63187543A (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1795287A JPS63187543A (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63187543A true JPS63187543A (ja) | 1988-08-03 |
Family
ID=11958096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1795287A Pending JPS63187543A (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63187543A (ja) |
-
1987
- 1987-01-28 JP JP1795287A patent/JPS63187543A/ja active Pending
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