JPS63187633A - 熱処理装置 - Google Patents
熱処理装置Info
- Publication number
- JPS63187633A JPS63187633A JP1833387A JP1833387A JPS63187633A JP S63187633 A JPS63187633 A JP S63187633A JP 1833387 A JP1833387 A JP 1833387A JP 1833387 A JP1833387 A JP 1833387A JP S63187633 A JPS63187633 A JP S63187633A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- curtain
- treatment equipment
- tube
- treatment chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上のオリ用分野〕
本発明は、牛纒体製造における配化・拡散工程に用いら
れる熱処理装置に関するもりである。
れる熱処理装置に関するもりである。
従来Ｑ〕熱処理装猿、例えば特開昭６０−１９４５２７
号公報に記載の装置は、゛第２図に示すようにキャップ
１を有する熱処理管２ａ、ぽ熱処理管２を包囲するヒー
タ７と、該熱処理管２り熱処理室６内へ搬入量されるフ
万一り５と、該フォーク５上に設置した石英ボート４上
に載置されたウェハ３七により構成されている。
号公報に記載の装置は、゛第２図に示すようにキャップ
１を有する熱処理管２ａ、ぽ熱処理管２を包囲するヒー
タ７と、該熱処理管２り熱処理室６内へ搬入量されるフ
万一り５と、該フォーク５上に設置した石英ボート４上
に載置されたウェハ３七により構成されている。
上記従来例では、キャップ１を開き、フォーク５を介し
てウェハ３を熱処理室６内へ搬入した礫、キャップ１を
閉じて酸化・拡散工程に移る。
てウェハ３を熱処理室６内へ搬入した礫、キャップ１を
閉じて酸化・拡散工程に移る。
Ｃの場合、熱処理室６の内部はヒータ７１こより加熱さ
れているため、該内部の上・下部には温度差を生する。
れているため、該内部の上・下部には温度差を生する。
そこで、キャップ１を開いてウェハ５を熱処理管２の外
部へ搬出しようとすａ１上記温度差により熱処理室６内
へ侵入した大気の糸路８は矢印で示すようになるため、
ウニノ・３の酸化膜の厚さが不均一にｆ；す、製品の歩
留りが低下する七いう問題があった。
部へ搬出しようとすａ１上記温度差により熱処理室６内
へ侵入した大気の糸路８は矢印で示すようになるため、
ウニノ・３の酸化膜の厚さが不均一にｆ；す、製品の歩
留りが低下する七いう問題があった。
本発明はウェハの搬入量時に、熱感ａ！室内に大気が侵
入し、該大気中の０２によりウェハυつ酸化膜厚が不均
−になるのを防止するこ古を目的とする。
入し、該大気中の０２によりウェハυつ酸化膜厚が不均
−になるのを防止するこ古を目的とする。
手記問題点は、ウェハが搬入量される熱処理管を、ヒー
タ内に挿入してｆｉる熱α埋装蓋において、前記熱処理
管の出入口にＮ２ガスを層状に吹き出すＮ２カーテン部
を設けること４こより解決される。
タ内に挿入してｆｉる熱α埋装蓋において、前記熱処理
管の出入口にＮ２ガスを層状に吹き出すＮ２カーテン部
を設けること４こより解決される。
ウェハの搬入出に際し、熱処理庁に付設した自動シャッ
タを開く以前に、該熱処理管の出入口に設けたＮ２カー
テン部が、Ｎ２ガスを層状ｉこ吹き出してＮｚカーテン
を形成する。この形成されたＮ２カーテンｔこより、熱
処理管内の雰囲気を管外の大気と分離することができる
。
タを開く以前に、該熱処理管の出入口に設けたＮ２カー
テン部が、Ｎ２ガスを層状ｉこ吹き出してＮｚカーテン
を形成する。この形成されたＮ２カーテンｔこより、熱
処理管内の雰囲気を管外の大気と分離することができる
。
以下、未発凋の一実格例を図面について説明する０
８１図において、熱処理゛ｇ２の出入口（開口部）ζこ
は、Ｎ２ガス１０を層状に吠き出すＮ２力−テン部９が
設置され、かつ該Ｎ２カーテン部９の前面に自動ンヤツ
タ１１が股１されている。その他の構造は第２図に示す
従来例と同一であるから説明を省略する。７．ｉ′お、
第１図の符号でｇ２図と同一符号は、同−又は該当する
部分を示すものとする。
は、Ｎ２ガス１０を層状に吠き出すＮ２力−テン部９が
設置され、かつ該Ｎ２カーテン部９の前面に自動ンヤツ
タ１１が股１されている。その他の構造は第２図に示す
従来例と同一であるから説明を省略する。７．ｉ′お、
第１図の符号でｇ２図と同一符号は、同−又は該当する
部分を示すものとする。
上記のように構成した本実施例では、熱処理管２の熱処
理室６日へのウェハ６の搬入出の時点に３いて、目動シ
ャッター１１を邑く前にＮ２カーテン部９からＮＺガス
１０を１（状に吹き已し、ＮＺカーテン１０′を形成す
るＱ）で、該Ｎ２カーテン１０′により、前記熱処理室
６内の雰囲気を該熱処理室乙の外部の大気と分離させる
ことができる。こＱ）ため、熱処理ヱ６内に大気が侵入
するのを防止できるから、ウェハ３の酸化膜厚の不均一
を太＠に低減することが可能である。
理室６日へのウェハ６の搬入出の時点に３いて、目動シ
ャッター１１を邑く前にＮ２カーテン部９からＮＺガス
１０を１（状に吹き已し、ＮＺカーテン１０′を形成す
るＱ）で、該Ｎ２カーテン１０′により、前記熱処理室
６内の雰囲気を該熱処理室乙の外部の大気と分離させる
ことができる。こＱ）ため、熱処理ヱ６内に大気が侵入
するのを防止できるから、ウェハ３の酸化膜厚の不均一
を太＠に低減することが可能である。
以上説明したように、本発明によれば、熱処理室内への
ウェハの搬出入時に、該熱処理室内へ大気が侵入するＱ
）を防止することにより、ウエノ・の酸化膜厚を均一４
こさせることができるＱ）で、半導体の歩留りを埒進さ
せ、信頼性の向上をは力）ることかでさる。
ウェハの搬出入時に、該熱処理室内へ大気が侵入するＱ
）を防止することにより、ウエノ・の酸化膜厚を均一４
こさせることができるＱ）で、半導体の歩留りを埒進さ
せ、信頼性の向上をは力）ることかでさる。
第１図は本発明の熱処理装置の一実施例を示す断面図、
第２図は従来の熱処理装置の断面図である。 符号の説明 ２・・・熱処理管 ３・・・ウェハ６・・・熱処
理室 ７・・・ヒータ９・・Ｎ２カーテン部
１０・・・Ｎ２ガス代靜人 升埋士 小 川 勝 男 １１ 回 ２悴か￥１ ＋＋ 尤 ２ 回
第２図は従来の熱処理装置の断面図である。 符号の説明 ２・・・熱処理管 ３・・・ウェハ６・・・熱処
理室 ７・・・ヒータ９・・Ｎ２カーテン部
１０・・・Ｎ２ガス代靜人 升埋士 小 川 勝 男 １１ 回 ２悴か￥１ ＋＋ 尤 ２ 回
Claims (1)
- １、ウエハが搬入出される熱処理管を、ヒータ内に挿入
してなる熱処理装置において、前記熱処理管の出入口に
Ｎ＿２ガスを層状に吹き出すＮ＿２カーテン部を設けた
ことを特徴とする熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1833387A JPS63187633A (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | 熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1833387A JPS63187633A (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | 熱処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63187633A true JPS63187633A (ja) | 1988-08-03 |
Family
ID=11968717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1833387A Pending JPS63187633A (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | 熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63187633A (ja) |
-
1987
- 1987-01-30 JP JP1833387A patent/JPS63187633A/ja active Pending
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