JPH01295415A - ボートローディング方法 - Google Patents
ボートローディング方法Info
- Publication number
- JPH01295415A JPH01295415A JP12635688A JP12635688A JPH01295415A JP H01295415 A JPH01295415 A JP H01295415A JP 12635688 A JP12635688 A JP 12635688A JP 12635688 A JP12635688 A JP 12635688A JP H01295415 A JPH01295415 A JP H01295415A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- cantilever
- opening
- furnace
- core tube
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（７）ｌｊ妃圧
この発明は、炉芯管内へ、半導体ウェーハを整列保持さ
せたボートを配置させて熱処理するために、ボートをロ
ーディングする方法に関する技術である。
せたボートを配置させて熱処理するために、ボートをロ
ーディングする方法に関する技術である。
従迷］月１
半導体装置の製造工程では、熱拡散や熱酸化等の熱処理
が不可欠であり、従来より第４図に示すように、ヒータ
１を炉壁２内に備えるか、或いは炉壁外周に設けた、炉
芯管３の中に、半導体ウェーハを多数整列保持させたボ
ート５を配置させて、熱処理を施している。この熱処理
を行う場合のボートローディング方式としては、次に述
べる二つの方式が一般的である。まず、■の方式は、ン
フ芯管３の開ロアを塞いでいるシャッタ８を開けて第５
図の通り、所望位置まで搬送して、その位置で第５図の
ようにボート５を放置して炉外へ退出させ、その後シャ
ッタ８を閉成して熱処理を行うものである。
が不可欠であり、従来より第４図に示すように、ヒータ
１を炉壁２内に備えるか、或いは炉壁外周に設けた、炉
芯管３の中に、半導体ウェーハを多数整列保持させたボ
ート５を配置させて、熱処理を施している。この熱処理
を行う場合のボートローディング方式としては、次に述
べる二つの方式が一般的である。まず、■の方式は、ン
フ芯管３の開ロアを塞いでいるシャッタ８を開けて第５
図の通り、所望位置まで搬送して、その位置で第５図の
ようにボート５を放置して炉外へ退出させ、その後シャ
ッタ８を閉成して熱処理を行うものである。
つぎに、二の方式は、カンチレバ一方式と称され、第６
図に示すように、ボート５を押し込み・引出しする棒体
のカンチレバー９に、開ロアを閉成可能な蓋体１０を装
着させて、ボート５を押し込むとともに開ロアを閉塞し
た第６図の状態で熱処理を行うものである。
図に示すように、ボート５を押し込み・引出しする棒体
のカンチレバー９に、開ロアを閉成可能な蓋体１０を装
着させて、ボート５を押し込むとともに開ロアを閉塞し
た第６図の状態で熱処理を行うものである。
−Ｂ （゛ よ −。
ところで上述したーのソフトランディング方式は、シャ
ッタ８を開けて、ボート５を搬送する間に、大気や雰囲
気中の塵が炉芯管３内へ侵入するので、管内は雰囲気が
乱れ、ウェーハ４の均一熱処理が困難となり、余分な酸
化膜を生成してしまう欠点がある。また二のカンチレバ
一方式は、ボート５と接続されるハンチレバー６の熱容
量が大きいために、管内の温度分布が不均一、処理ガス
の流れが乱れるなどの問題がある。
ッタ８を開けて、ボート５を搬送する間に、大気や雰囲
気中の塵が炉芯管３内へ侵入するので、管内は雰囲気が
乱れ、ウェーハ４の均一熱処理が困難となり、余分な酸
化膜を生成してしまう欠点がある。また二のカンチレバ
一方式は、ボート５と接続されるハンチレバー６の熱容
量が大きいために、管内の温度分布が不均一、処理ガス
の流れが乱れるなどの問題がある。
： ° ２の
この発明は、上記従来のソフトランディング方式、カン
チレバ一方式の問題解決を図るために提唱するもので、
ウェーハを所定間隔で整列保持するボートを搭載すると
ともに、炉芯間の開口を閉塞可能な蓋体を具備するカン
チレバーを用いて、熱処理を行う間、炉芯間の開口を塞
ぐまで挿入して、炉芯管内の所定位置に、ボートのみを
カンチレバーより離して配置させるボートローディング
方法とするものである。
チレバ一方式の問題解決を図るために提唱するもので、
ウェーハを所定間隔で整列保持するボートを搭載すると
ともに、炉芯間の開口を閉塞可能な蓋体を具備するカン
チレバーを用いて、熱処理を行う間、炉芯間の開口を塞
ぐまで挿入して、炉芯管内の所定位置に、ボートのみを
カンチレバーより離して配置させるボートローディング
方法とするものである。
１且
この発明によれば、ウェーハ搭載ボートの炉芯管への挿
入の際には、カンチレバーの蓋体にて炉芯管開口が塞が
れるので、大気の侵入は防止される。しかもこの発明で
は、ボートを炉芯管内の所定位置に配置する時に、ボー
トのみをカンチレバーより離すので、ウェーハと直接触
れる管内部分の熱容量は十分小さくなり、管内温度分布
が均一化し易くなり、処理ガスの流れも層流化させるこ
とができる。
入の際には、カンチレバーの蓋体にて炉芯管開口が塞が
れるので、大気の侵入は防止される。しかもこの発明で
は、ボートを炉芯管内の所定位置に配置する時に、ボー
トのみをカンチレバーより離すので、ウェーハと直接触
れる管内部分の熱容量は十分小さくなり、管内温度分布
が均一化し易くなり、処理ガスの流れも層流化させるこ
とができる。
炎息匠
この発明の一実施例を、第１図に示す熱拡散装置に適用
した場合について説明する。まず第１図は、炉芯管３の
熱拡散処理に適切な所定温度領域に、ウェーハ４を搭載
したボート５を配置して拡散処理の状態を示している。
した場合について説明する。まず第１図は、炉芯管３の
熱拡散処理に適切な所定温度領域に、ウェーハ４を搭載
したボート５を配置して拡散処理の状態を示している。
この場合、炉芯管３の開ロアは、ボート５から所定温度
領域外まで退避隔離されたカンチレバー１１の蓋体１２
にて閉塞されている。このようにボート５を配置させる
には、第２図のように、炉芯管の開ロアは、シャッタ８
で閉じておき、炉外で操作支持棒１３をセットして、ウ
ェーハ４を搭載済ボート５を、カンチレバー１１に積載
して後、第３図のように、シャッタ８を開けて、開ロア
側を蓋体１２で閉じたままで、カンチレバー１１を挿入
し、操作支持棒１３を口、り解除することにより、ボー
ト５を所定位置に置き、第１図の示すように、最後に蓋
体１２が、開ロアの位置に来るまで、ボート非積載のカ
ンチレバー１１を戻すのである。
領域外まで退避隔離されたカンチレバー１１の蓋体１２
にて閉塞されている。このようにボート５を配置させる
には、第２図のように、炉芯管の開ロアは、シャッタ８
で閉じておき、炉外で操作支持棒１３をセットして、ウ
ェーハ４を搭載済ボート５を、カンチレバー１１に積載
して後、第３図のように、シャッタ８を開けて、開ロア
側を蓋体１２で閉じたままで、カンチレバー１１を挿入
し、操作支持棒１３を口、り解除することにより、ボー
ト５を所定位置に置き、第１図の示すように、最後に蓋
体１２が、開ロアの位置に来るまで、ボート非積載のカ
ンチレバー１１を戻すのである。
以上の説明から判るように、この実施例では、蓋体１２
の炉芯管内壁との機密性、及び操作支持棒１３の炉外か
らの遠隔作業性を、著しく良好に設計することが前提条
件となる。したがって、例えば蓋体１２は、材質として
石英を、操作支持棒１３の機構をソフトランディング機
構等とすることが望ましい。
の炉芯管内壁との機密性、及び操作支持棒１３の炉外か
らの遠隔作業性を、著しく良好に設計することが前提条
件となる。したがって、例えば蓋体１２は、材質として
石英を、操作支持棒１３の機構をソフトランディング機
構等とすることが望ましい。
尚、上記実施例では、炉芯管のシャッタとカンチレバー
の蓋体とを別個に設定しているが、この発明を実施する
場合には、必ずしも別個に設定する必要はなく、カンチ
レバーの蓋体のみで炉芯管開口を塞ぐようにしてもよ（
、同様な効果を奏するものである。
の蓋体とを別個に設定しているが、この発明を実施する
場合には、必ずしも別個に設定する必要はなく、カンチ
レバーの蓋体のみで炉芯管開口を塞ぐようにしてもよ（
、同様な効果を奏するものである。
光薄目り塾未−
この発明によれば、熱処理における炉芯管内へのボート
挿入時の、大気や塵の侵入や、管内の温度分布の乱れが
同時に防止できるので、ウェーハ表面の不良・酸化が生
じず、しかも処理ガスの流れが層流化できるので、熱処
理における製造歩留り向上が図れる。また、従来のソフ
トランディング方式やカンチレバ一方式と比較して、作
業時の炉芯管の炉開閉が簡単となり装置化が容易である
。
挿入時の、大気や塵の侵入や、管内の温度分布の乱れが
同時に防止できるので、ウェーハ表面の不良・酸化が生
じず、しかも処理ガスの流れが層流化できるので、熱処
理における製造歩留り向上が図れる。また、従来のソフ
トランディング方式やカンチレバ一方式と比較して、作
業時の炉芯管の炉開閉が簡単となり装置化が容易である
。
第１図〜第３図は、この発明の一実施例に関する熱処理
装置を示す一部断面視側面図、第４図〜第６図は、従来
の装置を示す一部断面視側面図である。 ３・・・炉芯管 ４・・・ウェーハ、 ５・・・ボート、 ７・・・開口、 １１・・・カンチレバー、 １２・・・蓋体。 １５ ＠ ３図
装置を示す一部断面視側面図、第４図〜第６図は、従来
の装置を示す一部断面視側面図である。 ３・・・炉芯管 ４・・・ウェーハ、 ５・・・ボート、 ７・・・開口、 １１・・・カンチレバー、 １２・・・蓋体。 １５ ＠ ３図
Claims (1)
- ヒータにて加熱される炉芯管の一方の開口より、上記
開口を閉塞可能な蓋体を具備するとともに、複数のウェ
ーハを所定の間隔で整列保持するボートを搭載するカン
チレバーを、熱処理を行う間、開口を塞ぐまで挿入して
、炉芯管内の所定位置に、ボートのみをカンチレバーよ
り離して配置せしめることを特徴とするボートローディ
ング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12635688A JPH01295415A (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | ボートローディング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12635688A JPH01295415A (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | ボートローディング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01295415A true JPH01295415A (ja) | 1989-11-29 |
Family
ID=14933156
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12635688A Pending JPH01295415A (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | ボートローディング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01295415A (ja) |
-
1988
- 1988-05-24 JP JP12635688A patent/JPH01295415A/ja active Pending
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