JPS63188530U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63188530U JPS63188530U JP8195887U JP8195887U JPS63188530U JP S63188530 U JPS63188530 U JP S63188530U JP 8195887 U JP8195887 U JP 8195887U JP 8195887 U JP8195887 U JP 8195887U JP S63188530 U JPS63188530 U JP S63188530U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- laser beam
- intensity distribution
- knife edge
- measurement
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す要部を拡大
して示す斜視図、第２図は測定用基板の外観斜視
図、第３図は縦断側面図、第４図は測定時の概略
側面図、第５図は従来例を示す概略側面図、第６
図はビームウエスト部分を示す拡大側面図、第７
図は特性図である。 ５……測定用基板、７……デイテクタ、８……
ナイフエツジ。
して示す斜視図、第２図は測定用基板の外観斜視
図、第３図は縦断側面図、第４図は測定時の概略
側面図、第５図は従来例を示す概略側面図、第６
図はビームウエスト部分を示す拡大側面図、第７
図は特性図である。 ５……測定用基板、７……デイテクタ、８……
ナイフエツジ。
Claims (1)
- ナイフエツジとデイテクタとを用いたナイフエ
ツジ法によりレーザビームの強度分布を測定する
光デイスク原盤露光機におけるレーザビーム強度
分布測定装置において、原盤用基板と同一厚さに
形成した測定用基板を設け、この測定用基板の一
部にこの基板表面と同一表面高さとしたナイフエ
ツジをデイテクタ上に重積させて埋込んだことを
特徴とする光デイスク原盤露光機におけるレーザ
ビーム強度分布測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8195887U JPS63188530U (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8195887U JPS63188530U (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63188530U true JPS63188530U (ja) | 1988-12-02 |
Family
ID=30934175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8195887U Pending JPS63188530U (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63188530U (ja) |
-
1987
- 1987-05-28 JP JP8195887U patent/JPS63188530U/ja active Pending