JPS63190765A - セラミツクス焼結体の製造方法 - Google Patents
セラミツクス焼結体の製造方法Info
- Publication number
- JPS63190765A JPS63190765A JP62000052A JP5287A JPS63190765A JP S63190765 A JPS63190765 A JP S63190765A JP 62000052 A JP62000052 A JP 62000052A JP 5287 A JP5287 A JP 5287A JP S63190765 A JPS63190765 A JP S63190765A
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- JP
- Japan
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- sintered body
- ceramic sintered
- ceramic
- powder
- producing
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明はセラミックス焼結体の製造方法に係り、特に焼
成時の付着防止液およびその塗布方法に関する。
成時の付着防止液およびその塗布方法に関する。
（従来の技術）
近年、セラミックス粉体を所定の形状に成形し高温で焼
成してなるセラミックス焼結体がその耐熱性や耐摩耗性
等の種々の性質を利用して各種製品に使用されている。
成してなるセラミックス焼結体がその耐熱性や耐摩耗性
等の種々の性質を利用して各種製品に使用されている。
これらのセラミックス焼結体のうち、例えば窒化アルミ
ニウム焼結体は、その高熱伝導性を利用して回路基板等
の各種基板に使用されている。
ニウム焼結体は、その高熱伝導性を利用して回路基板等
の各種基板に使用されている。
このような焼結窒化アルミニウム系基板は、例えばドク
ターブレード法により薄板状に成形して、次いで所定の
形状に切断し、これを積層して脱脂を行った後、焼成す
ることにより得られる。
ターブレード法により薄板状に成形して、次いで所定の
形状に切断し、これを積層して脱脂を行った後、焼成す
ることにより得られる。
ところで、このような焼結窒化アルミニウム系基板は積
層して焼成しているため、焼成時にそれぞれが付着しな
いように付着防止液を璧布している。
層して焼成しているため、焼成時にそれぞれが付着しな
いように付着防止液を璧布している。
従来、この付着防止液としては、窒化ホウ素微粉末を適
量のバインダと分散剤とともにアルコール系溶剤に溶解
したものを使用していた。。
量のバインダと分散剤とともにアルコール系溶剤に溶解
したものを使用していた。。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながらこのような付着防止液は、セラミックス成
形体中に含まれているバインダを溶出してしまうために
、脱脂工程後でなければ塗布することができなかった。
形体中に含まれているバインダを溶出してしまうために
、脱脂工程後でなければ塗布することができなかった。
したがって成形体を切断し積層して脱脂し、この脱脂体
１枚々に付着防止液を塗布して、再度積層した後焼成し
なければならなかった。このように非常に腕い脱脂体を
取扱うために、作業中に欠けや割れ等の作業破損が発生
しゃずいという問題があった。また、切断後の脱脂体の
１枚々に付着防止液を塗布する工数や再積層にかかる工
数により作業性を低下させるという問題もあった。
１枚々に付着防止液を塗布して、再度積層した後焼成し
なければならなかった。このように非常に腕い脱脂体を
取扱うために、作業中に欠けや割れ等の作業破損が発生
しゃずいという問題があった。また、切断後の脱脂体の
１枚々に付着防止液を塗布する工数や再積層にかかる工
数により作業性を低下させるという問題もあった。
本発明はこのような間Ｕ点を解決するためになされたも
ので、作業能率が良く、かつ欠けや割れ等の作業破損の
少ないセラミックス焼結体の製造方法を提供することを
目的とする。
ので、作業能率が良く、かつ欠けや割れ等の作業破損の
少ないセラミックス焼結体の製造方法を提供することを
目的とする。
［発明の構成コ
（問題点を解決するための手段）
本発明のセラミックス焼結体の製造方法は、非極性分散
媒に離型用微粉末を分散させた焼成用付着防止液を表面
に塗布したセラミックス成形体を、所定の形状に切断し
積層した後、脱脂、焼成することを特徴としている。
媒に離型用微粉末を分散させた焼成用付着防止液を表面
に塗布したセラミックス成形体を、所定の形状に切断し
積層した後、脱脂、焼成することを特徴としている。
本発明の方法は、各種常温成形法により形成されたセラ
ミックス成形体に適用でき、特に有機バインダを大量に
含有するセラミックス成形体に好適している。
ミックス成形体に適用でき、特に有機バインダを大量に
含有するセラミックス成形体に好適している。
本発明に使用される焼成用付着防止液は、離型用Ｖ＆粉
末を主成分とするものであり、この離型用Ｍ粉末を非極
性分ｉ２媒中に必要に応じてバインダ、分散剤とともに
混合したものである。この離型用微粉末としては、一般
に高温下で使用される各種無機質微粉末を使用すること
ができ、適用するセラミックスの種類によって、例えば
窒化物セラミックスであれば窒化ホウ素というように適
宜選択されるものである。また、非極性分散媒としては
、ｎ−ヘキサン、ｎ−オクタン、ベンゼン、四塩化炭素
等が挙げられ、無機質微粉末の溶解性の点で炭素数６以
上のｒｕ鎖状炭化水素が好ましく、特にｎ−ヘキサンが
好ましい。
末を主成分とするものであり、この離型用Ｍ粉末を非極
性分ｉ２媒中に必要に応じてバインダ、分散剤とともに
混合したものである。この離型用微粉末としては、一般
に高温下で使用される各種無機質微粉末を使用すること
ができ、適用するセラミックスの種類によって、例えば
窒化物セラミックスであれば窒化ホウ素というように適
宜選択されるものである。また、非極性分散媒としては
、ｎ−ヘキサン、ｎ−オクタン、ベンゼン、四塩化炭素
等が挙げられ、無機質微粉末の溶解性の点で炭素数６以
上のｒｕ鎖状炭化水素が好ましく、特にｎ−ヘキサンが
好ましい。
この付着防止液のセラミックス表面への塗布は、スプレ
ー法や刷毛塗りで厚さ０．０１〜０．０８ｍｍ程度にな
るように行う。
ー法や刷毛塗りで厚さ０．０１〜０．０８ｍｍ程度にな
るように行う。
（作 用）
本発明のセラミックス焼結体の製造方法において、焼成
用付着防止液として非極性分散媒中に離型用微粉末を分
散させたものを使用しているので、セラミックス成形体
中のバインダ成分を溶出してしまうおそれがなくなり、
これによって脱脂工程前の成形体に付着防止液を塗布す
ることが可能となり、脱脂体を再積層する等取り扱う必
要がなくなる。
用付着防止液として非極性分散媒中に離型用微粉末を分
散させたものを使用しているので、セラミックス成形体
中のバインダ成分を溶出してしまうおそれがなくなり、
これによって脱脂工程前の成形体に付着防止液を塗布す
ることが可能となり、脱脂体を再積層する等取り扱う必
要がなくなる。
（実施例）
次に本発明の一実施例について説明する。
実施例
まず、平均粒径０．８μｍの窒化ホウ素粉末３９．７１
１％、ワックス系バインダＥ−７３０（中京油脂製、商
品名）９．７重量％、分散剤として非イオン系活性剤Ｅ
−７８７（中京油脂製、商品名）３．２重Ｉ％および分
散媒としてｎ−ヘキサン４７．４重Ｌ％をアルミナボー
ルを入れたポリエチレン製容器にそれぞれ投入し、ボッ
トローラで約２４時間混合して焼成用付着防止液を作製
した。
１％、ワックス系バインダＥ−７３０（中京油脂製、商
品名）９．７重量％、分散剤として非イオン系活性剤Ｅ
−７８７（中京油脂製、商品名）３．２重Ｉ％および分
散媒としてｎ−ヘキサン４７．４重Ｌ％をアルミナボー
ルを入れたポリエチレン製容器にそれぞれ投入し、ボッ
トローラで約２４時間混合して焼成用付着防止液を作製
した。
次に、焼結助剤として１Ｍｔのアルミナとイツトリアと
を加えて十分に混合した窒化アルミニウム（ＡβＮ）ｉ
ｌ［］合粉に対して、有機バインダを１０重Ｉ％と溶媒
を３０重］％加えてボットミルで十分に混合してスラリ
ーを形成した。このスラリーを用いてドクターブレード
法により薄板状の成形体を形成し、この表面に上述した
焼成用付着防止液を厚さ約０，１Ｂになるようにスプレ
ー法により塗布した。
を加えて十分に混合した窒化アルミニウム（ＡβＮ）ｉ
ｌ［］合粉に対して、有機バインダを１０重Ｉ％と溶媒
を３０重］％加えてボットミルで十分に混合してスラリ
ーを形成した。このスラリーを用いてドクターブレード
法により薄板状の成形体を形成し、この表面に上述した
焼成用付着防止液を厚さ約０，１Ｂになるようにスプレ
ー法により塗布した。
次いでこの成形体を８０Ｘ４０ｍに切断し１０枚づつ積
層した。そして、この積層した成形体を窒素ガス雰囲気
中Ｔ約７００℃（昇温速度１００°Ｃ／時Ｉ’Ｑｌ＞で
約３時間脱脂し、次いで窒素ガス雰囲気中で約１８００
’Ｃ（昇温速度１４５℃／時間）で約２時間焼成した。
層した。そして、この積層した成形体を窒素ガス雰囲気
中Ｔ約７００℃（昇温速度１００°Ｃ／時Ｉ’Ｑｌ＞で
約３時間脱脂し、次いで窒素ガス雰囲気中で約１８００
’Ｃ（昇温速度１４５℃／時間）で約２時間焼成した。
このようにして得た窒化アルミニウム焼結体の外観検査
を行ったところ、積層間での付着もなく、また欠けや割
れ等も認められなかった。
を行ったところ、積層間での付着もなく、また欠けや割
れ等も認められなかった。
・この実施例によれば、焼成用付着防止液として非極性
分散媒であるｎ−ヘキサンに窒化ホウ素粉末を溶解して
用いているので、成形体内に含まれる有機バインダを溶
出してしまうおそれがなくなり、脱脂工程前に焼成用付
着防止液を成形体表面に塗布することが可能となる。こ
れにより従来方法のように脱脂工程後に積層済みの脱脂
体を取り扱う必要が無くなり、欠けや割れ等の不良の発
生を防止することができる。また作業工程を一工程省く
ことにより作業能率をアップすることもできる。
分散媒であるｎ−ヘキサンに窒化ホウ素粉末を溶解して
用いているので、成形体内に含まれる有機バインダを溶
出してしまうおそれがなくなり、脱脂工程前に焼成用付
着防止液を成形体表面に塗布することが可能となる。こ
れにより従来方法のように脱脂工程後に積層済みの脱脂
体を取り扱う必要が無くなり、欠けや割れ等の不良の発
生を防止することができる。また作業工程を一工程省く
ことにより作業能率をアップすることもできる。
［発明の効果］
以上説明したように本発明のセラミックス焼結体の製造
方法によれば、脱脂工程前に焼成用付着防止液を塗布す
ることにより、脱脂体を取り扱う必要が無くなり、欠け
や割れ等の作業破損を大幅に減少することができる。ま
た、作業工程を一工程省くことにより作業能率もアップ
できる。
方法によれば、脱脂工程前に焼成用付着防止液を塗布す
ることにより、脱脂体を取り扱う必要が無くなり、欠け
や割れ等の作業破損を大幅に減少することができる。ま
た、作業工程を一工程省くことにより作業能率もアップ
できる。
Claims (4)
- （１）非極性分散媒に離型用微粉末を分散させた焼成用
付着防止液を表面に塗布したセラミックス成形体を、所
定の形状に切断し積層した後、脱脂、焼成することを特
徴とするセラミックス焼結体の製造方法。 - （２）セラミックス焼結体が窒化物セラミックス焼結体
である特許請求の範囲第１項記載のセラミックス焼結体
の製造方法。 - （３）離型用微粉末が窒化ホウ素粉末である特許請求の
範囲第１項または第２項記載のセラミックス焼結体の製
造方法。 - （４）非極性分散媒がｎ−ヘキサンである特許請求の範
囲第１項ないし第３項のいずれか１項記載のセラミック
ス焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62000052A JPS63190765A (ja) | 1987-01-05 | 1987-01-05 | セラミツクス焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62000052A JPS63190765A (ja) | 1987-01-05 | 1987-01-05 | セラミツクス焼結体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63190765A true JPS63190765A (ja) | 1988-08-08 |
Family
ID=11463477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62000052A Pending JPS63190765A (ja) | 1987-01-05 | 1987-01-05 | セラミツクス焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63190765A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007131491A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-05-31 | Tokuyama Corp | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| WO2013054852A1 (ja) * | 2011-10-11 | 2013-04-18 | 日立金属株式会社 | 窒化珪素基板および窒化珪素基板の製造方法 |
-
1987
- 1987-01-05 JP JP62000052A patent/JPS63190765A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007131491A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-05-31 | Tokuyama Corp | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| WO2013054852A1 (ja) * | 2011-10-11 | 2013-04-18 | 日立金属株式会社 | 窒化珪素基板および窒化珪素基板の製造方法 |
| CN103781742A (zh) * | 2011-10-11 | 2014-05-07 | 日立金属株式会社 | 氮化硅基板和氮化硅基板的制造方法 |
| JP5673847B2 (ja) * | 2011-10-11 | 2015-02-18 | 日立金属株式会社 | 窒化珪素基板および窒化珪素基板の製造方法 |
| US9655237B2 (en) | 2011-10-11 | 2017-05-16 | Hitachi Metals, Ltd. | Silicon nitride substrate and method for producing silicon nitride substrate |
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