JPS63200343U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63200343U JPS63200343U JP9165987U JP9165987U JPS63200343U JP S63200343 U JPS63200343 U JP S63200343U JP 9165987 U JP9165987 U JP 9165987U JP 9165987 U JP9165987 U JP 9165987U JP S63200343 U JPS63200343 U JP S63200343U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- facet
- wafer
- alignment
- roller
- alignment roller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Registering Or Overturning Sheets (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例によるフアセツト
整列装置を示す図、第２図は上記実施例のフアセ
ツト整列状態を示す第１図のＡ―Ａ断面図、第３
図はフアセツトを任意の位置に合わせている状態
を示す第１図のＡ―Ａ断面図、第４図は第１図の
Ｃ矢視図、第５図は従来のウエハフアセツト整列
装置を示す図、第６図は第５図のＢ―Ｂ断面図で
ある。 １は回転ハンドル、２，３はベルト、４は位置
合わせローラー、５は整列ローラー、６はカセツ
ト、７はウエハ、８はばね、９は可逆レバー、１
０はカセツトガイドである。なお図中同一符号は
同一又は相当部分を示す。
整列装置を示す図、第２図は上記実施例のフアセ
ツト整列状態を示す第１図のＡ―Ａ断面図、第３
図はフアセツトを任意の位置に合わせている状態
を示す第１図のＡ―Ａ断面図、第４図は第１図の
Ｃ矢視図、第５図は従来のウエハフアセツト整列
装置を示す図、第６図は第５図のＢ―Ｂ断面図で
ある。 １は回転ハンドル、２，３はベルト、４は位置
合わせローラー、５は整列ローラー、６はカセツ
ト、７はウエハ、８はばね、９は可逆レバー、１
０はカセツトガイドである。なお図中同一符号は
同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) カセツトに収納されているウエハのフアセ
ツト位置を該ウエハの円周の所定の位置に揃える
ための整列ローラーと、 該整列ローラーによりフアセツト位置を揃えら
れたウエハのフアセツト位置を他の所望の位置に
移動させるための位置合わせローラーとを備えた
ことを特徴とするウエハフアセツト整列装置。 (2) 上記整列ローラーと位置合わせローラーと
は上記ウエハに対し揺動可能な可逆レバー上にそ
のいずれか一方のみが上記ウエハと接触するよう
設けられていることを特徴とする実用新案登録請
求の範囲第１項記載のウエハフアセツト整列装置
。 (3) 上記整列ローラーと位置合わせローラーと
は１つの回転ハンドルの回転により連動回転させ
られるものであることを特徴とする実用新案登録
請求の範囲第１項又は第２項記載のウエハフアセ
ツト整列装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9165987U JPS63200343U (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9165987U JPS63200343U (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63200343U true JPS63200343U (ja) | 1988-12-23 |
Family
ID=30952646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9165987U Pending JPS63200343U (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63200343U (ja) |
-
1987
- 1987-06-15 JP JP9165987U patent/JPS63200343U/ja active Pending
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