JPS63201047U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63201047U JPS63201047U JP9183287U JP9183287U JPS63201047U JP S63201047 U JPS63201047 U JP S63201047U JP 9183287 U JP9183287 U JP 9183287U JP 9183287 U JP9183287 U JP 9183287U JP S63201047 U JPS63201047 U JP S63201047U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grindstone
- semiconductor wafer
- workhead
- rotation shaft
- speed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
第１図ａは本考案の一実施例を示す断面図、第
１図ｂは同フロチヤート、第２図は本考案のウエ
ハ周辺部の研削の拡大図、第３図は従来の例を示
す断面図、第４図は従来のウエハ周辺部研削の拡
大図、第５図は従来のウエハ裏面研削の拡大図で
ある。 １……Ｐｏｌｙｓｉ、２……ｓｉ単結晶ウエハ
、３……ワークヘツド、４……吸着口、５……砥
石回転軸、６……フレキシブル砥石、７……砥石
台、８……ガイドレール、９……モータ、１０…
…周辺部にまわり込み成長したＰｏｌｙｓｉ、１
１……裏面にまわり込み成長したＰｏｌｙｓｉ、
１２……速度制御部、１３……送り部。
１図ｂは同フロチヤート、第２図は本考案のウエ
ハ周辺部の研削の拡大図、第３図は従来の例を示
す断面図、第４図は従来のウエハ周辺部研削の拡
大図、第５図は従来のウエハ裏面研削の拡大図で
ある。 １……Ｐｏｌｙｓｉ、２……ｓｉ単結晶ウエハ
、３……ワークヘツド、４……吸着口、５……砥
石回転軸、６……フレキシブル砥石、７……砥石
台、８……ガイドレール、９……モータ、１０…
…周辺部にまわり込み成長したＰｏｌｙｓｉ、１
１……裏面にまわり込み成長したＰｏｌｙｓｉ、
１２……速度制御部、１３……送り部。
Claims (1)
- 半導体ウエハの表面を吸着し該ウエハを定速回
転するワークヘツドと、該ワークヘツドに保持さ
れた半導体ウエハの直径方向に変位させる砥石台
と、前記ワークヘツドの軸心に対し傾きをもつて
該砥石台に保持された砥石回転軸と、該砥石回転
軸に軸支され、半導体ウエハの裏面に一定の切り
込み量をもつて接触するフレキシブル砥石と、前
記砥石回転軸の速度制御を行う速度制御部と、前
記砥石台を半導体ウエハの周辺部に対応する特定
位置で往復動させた後に半導体ウエハの中心方向
に沿つて直線変位させる送り部とを有することを
特徴とする裏面クラウン除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9183287U JPH052278Y2 (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9183287U JPH052278Y2 (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63201047U true JPS63201047U (ja) | 1988-12-26 |
| JPH052278Y2 JPH052278Y2 (ja) | 1993-01-20 |
Family
ID=30952974
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9183287U Expired - Lifetime JPH052278Y2 (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH052278Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-06-15 JP JP9183287U patent/JPH052278Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH052278Y2 (ja) | 1993-01-20 |