JPS6320460A - イオンプレ−テイング処理材の熱処理方法 - Google Patents
イオンプレ−テイング処理材の熱処理方法Info
- Publication number
- JPS6320460A JPS6320460A JP16355586A JP16355586A JPS6320460A JP S6320460 A JPS6320460 A JP S6320460A JP 16355586 A JP16355586 A JP 16355586A JP 16355586 A JP16355586 A JP 16355586A JP S6320460 A JPS6320460 A JP S6320460A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion plating
- atmosphere
- treatment
- heat treatment
- tin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は例えば機械部品等の被処理物品の表面に金属
又はセラミックの被膜を蒸看形成させたイオンプレーテ
ィング処理材の熱処理方法に関するものである。
又はセラミックの被膜を蒸看形成させたイオンプレーテ
ィング処理材の熱処理方法に関するものである。
［従来の技術］
第１図はイオンプレーティング装置を示す説明図であり
、図において１はホローカソードガン、２はホローカソ
ードガン１の上方に設けられたコーティング対象部品（
被処理物）支持用の治具、３はホローカソードガン１と
治具２との間に設けられたシャッタ、４はホローカソー
ドガン１と治具２とを取り囲む真空容器、５は真空容器
４の内側に設けられた複数の予熱ヒータ、６は真空容器
４内に反応ガスを導入するガスチューブである。
、図において１はホローカソードガン、２はホローカソ
ードガン１の上方に設けられたコーティング対象部品（
被処理物）支持用の治具、３はホローカソードガン１と
治具２との間に設けられたシャッタ、４はホローカソー
ドガン１と治具２とを取り囲む真空容器、５は真空容器
４の内側に設けられた複数の予熱ヒータ、６は真空容器
４内に反応ガスを導入するガスチューブである。
ホローカソードガン１は、３４２図に示すように、内部
に金＠Ｔｉを入れた水ｑＣｕルツボ製のハース７と、こ
のハース内のＴｉにＡｒガスを吹き付けるＴａチューブ
８とからなり、バースフとＴａチューブ８との間には、
ハース７がプラス、Ｔａチューブ８がマイナスとなるよ
うに電圧が印加されている。
に金＠Ｔｉを入れた水ｑＣｕルツボ製のハース７と、こ
のハース内のＴｉにＡｒガスを吹き付けるＴａチューブ
８とからなり、バースフとＴａチューブ８との間には、
ハース７がプラス、Ｔａチューブ８がマイナスとなるよ
うに電圧が印加されている。
イオンプレーティング装＝は上記のように構成され、従
来のイオンプレーティングは次のようにして行なわれて
いた。すなわち、真空容器４内の圧力を例えば０．０２
〜０．００５ＴＯｒｒ程度のアルゴンガス霊囲気に保ち
、金属の蒸発源であるホローカソードガン１の上部に、
コーティング対象部品を治具２を介してセットし、部品
に対して該蒸発源との間に負の電圧をかけると、部品と
周囲との間でグロー放電が発生して、部品のまわりに強
い電界ができる。この状態で該蒸発源から金属（Ｔｉ）
を蒸発させると、蒸発原子はグロー放電のプラズマ中で
電離されてイオンになり、このイオン化された蒸発原子
はガスイオンと共に電界で加速されて対象部品に衝撃的
に入射し、その結果、対象部品の表面に被膜が形成され
る。
来のイオンプレーティングは次のようにして行なわれて
いた。すなわち、真空容器４内の圧力を例えば０．０２
〜０．００５ＴＯｒｒ程度のアルゴンガス霊囲気に保ち
、金属の蒸発源であるホローカソードガン１の上部に、
コーティング対象部品を治具２を介してセットし、部品
に対して該蒸発源との間に負の電圧をかけると、部品と
周囲との間でグロー放電が発生して、部品のまわりに強
い電界ができる。この状態で該蒸発源から金属（Ｔｉ）
を蒸発させると、蒸発原子はグロー放電のプラズマ中で
電離されてイオンになり、このイオン化された蒸発原子
はガスイオンと共に電界で加速されて対象部品に衝撃的
に入射し、その結果、対象部品の表面に被膜が形成され
る。
［発明が解決しようとする問題点］
上記のような従来のイオンプレーティングで、熱処理材
（特に高温焼き入れ材）を処理した場合は、熱処理材の
温度が、第３図に示すように、時間の経過とともに５０
０℃近くまで上昇し、熱処理材が焼きなまされ、その表
面硬度が低下してしまうので、この焼なまされる前の状
態に戻そうとして再熱処理をすると、金属化合物が分解
して取れてしまうという問題点があった。
（特に高温焼き入れ材）を処理した場合は、熱処理材の
温度が、第３図に示すように、時間の経過とともに５０
０℃近くまで上昇し、熱処理材が焼きなまされ、その表
面硬度が低下してしまうので、この焼なまされる前の状
態に戻そうとして再熱処理をすると、金属化合物が分解
して取れてしまうという問題点があった。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、被処理物品の再熱処理をしても金属化合物が取れ
てしまわないイオンプレーティング処理材の熱処理方法
を得ることを目的とする。
ので、被処理物品の再熱処理をしても金属化合物が取れ
てしまわないイオンプレーティング処理材の熱処理方法
を得ることを目的とする。
［問題点を解決するための手段コ
この発明に係るイオンプレーティング処理材の熱処理方
法は、無酸化雰囲気又はイオンプレーティング処理材の
金属化合物に含まれる成分からなるガス雰囲気中で該イ
オンプレーティング処理材を再熱処理するものである。
法は、無酸化雰囲気又はイオンプレーティング処理材の
金属化合物に含まれる成分からなるガス雰囲気中で該イ
オンプレーティング処理材を再熱処理するものである。
［作用］
この発明においては、イオンプレーティング処理材を再
熱処理した場合に、無酸化雰囲気又はイオンプレーティ
ング処理材の金属化合物に含まれる成分からなるガス雰
囲気が金属化合物の熱分解を抑制する。
熱処理した場合に、無酸化雰囲気又はイオンプレーティ
ング処理材の金属化合物に含まれる成分からなるガス雰
囲気が金属化合物の熱分解を抑制する。
［実施例］
以下、この発明の一実施例について説明する。
イオンプレーティング処理材としてＴｉＮを被覆したも
のを用い、窒素ガス雰囲気中で加熱し、その後、油又は
水焼き入れをし、焼き戻しを行なった。このようにして
行なうイオンプレーティング処理材の熱処理方法では、
窒素雰囲気がＴｉＮの熱分解を抑制するので、処理材の
ＴｉＮ被覆は除去されない。
のを用い、窒素ガス雰囲気中で加熱し、その後、油又は
水焼き入れをし、焼き戻しを行なった。このようにして
行なうイオンプレーティング処理材の熱処理方法では、
窒素雰囲気がＴｉＮの熱分解を抑制するので、処理材の
ＴｉＮ被覆は除去されない。
実験例
蒸着前に表面硬度ＨＲＣが６１であった金型（ＪＩＳ規
′ｊ８ｓＫｓ３製）について、ＰＶＤ処理によりＴｉＮ
を２μｍ蒸着した。その結果、金型の表面ＨＲＣは５８
とＪＩＳ基準硬度である６０を下回った。そこで、下記
の条件の熱処理を再度を行なった。
′ｊ８ｓＫｓ３製）について、ＰＶＤ処理によりＴｉＮ
を２μｍ蒸着した。その結果、金型の表面ＨＲＣは５８
とＪＩＳ基準硬度である６０を下回った。そこで、下記
の条件の熱処理を再度を行なった。
熱処理条件
Ｎ２ガス雰囲気中８３０℃で３０分の均熱後、油冷の焼
き入れ、大気中２００℃で３０分の均熱後、空冷の焼き
戻し。
き入れ、大気中２００℃で３０分の均熱後、空冷の焼き
戻し。
その結果、表面硬度はＨＲＣで６２と硬度が回復し、膜
の剥離も認められなかフた。ただし、若干の退色（初期
のＴｉＮ色である黄金色が薄くなった）が認められたが
、実際の使用では同等支障はなかった。
の剥離も認められなかフた。ただし、若干の退色（初期
のＴｉＮ色である黄金色が薄くなった）が認められたが
、実際の使用では同等支障はなかった。
なお、上記実施例では金属化合物がＴｉＮで、雰囲気が
窒素ガスの場合について説明したが、金属化合物がＴｉ
ｃで、雰囲気が炭化水素の場合についても同様の効果を
期待できる。また、ＴｉＮ被膜は５００℃以下では分解
しないので、この場合は酸化雰囲気中で再熱処理をして
もよい。
窒素ガスの場合について説明したが、金属化合物がＴｉ
ｃで、雰囲気が炭化水素の場合についても同様の効果を
期待できる。また、ＴｉＮ被膜は５００℃以下では分解
しないので、この場合は酸化雰囲気中で再熱処理をして
もよい。
［発明の効果コ
この発明は以上説明したとおり、無酸化雰囲気又はイオ
ンプレーティング処理材の金属化合物に含まれる成分か
らなるガス雰囲気中で該イオンプレーティング処理材を
熱処理するので、金属化合物の熱分解が抑制され、金属
化合物が除去されることなく再熱処理をすることができ
るという効果がある。
ンプレーティング処理材の金属化合物に含まれる成分か
らなるガス雰囲気中で該イオンプレーティング処理材を
熱処理するので、金属化合物の熱分解が抑制され、金属
化合物が除去されることなく再熱処理をすることができ
るという効果がある。
第１図はイオンプレーティング装置の説明図、第２図は
ホローカソードガンの説明図、第３国はイオンプレーテ
ィング処理時間と被処理物品の温度との関係を示すグラ
フである。 図において、１はホローカソードガン、２は治具、３は
シャッタ、４は真空容器、５は予熱ヒータ、６はガスチ
ューブ、７はハース、８はＴａチューブである 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第１図 第２図
ホローカソードガンの説明図、第３国はイオンプレーテ
ィング処理時間と被処理物品の温度との関係を示すグラ
フである。 図において、１はホローカソードガン、２は治具、３は
シャッタ、４は真空容器、５は予熱ヒータ、６はガスチ
ューブ、７はハース、８はＴａチューブである 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第１図 第２図
Claims (3)
- （１）無酸化雰囲気又はイオンプレーティング処理材の
金属化合物に含まれている成分からなるガス雰囲気中で
該イオンプレーティング処理材を再熱処理することを特
徴とするイオンプレーティング処理材の熱処理方法。 - （２）前記金属化合物がＴｉＮ、前記ガス雰囲気が窒素
雰囲気であることを特徴とする特許請求の範囲第１項に
記載のイオンプレーティング処理材の熱処理方法。 - （３）前記金属化合物がＴｉＣ、前記ガス雰囲気が炭化
水素雰囲気であることを特徴とする特許請求の範囲第１
項に記載のイオンプレーティング処理材の熱処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16355586A JPS6320460A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | イオンプレ−テイング処理材の熱処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16355586A JPS6320460A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | イオンプレ−テイング処理材の熱処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6320460A true JPS6320460A (ja) | 1988-01-28 |
Family
ID=15776123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16355586A Pending JPS6320460A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | イオンプレ−テイング処理材の熱処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6320460A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0466667A (ja) * | 1990-07-04 | 1992-03-03 | Niigata Eng Co Ltd | 調理用鍋類 |
| US5678608A (en) * | 1993-06-30 | 1997-10-21 | Agip S.P.A. | Anti-seizure protection for joints, particularly suitable for the petroleum sector |
| JP2011006777A (ja) * | 2009-05-22 | 2011-01-13 | Hirotaka Tanabe | セラミックス被覆材の製造方法 |
-
1986
- 1986-07-14 JP JP16355586A patent/JPS6320460A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0466667A (ja) * | 1990-07-04 | 1992-03-03 | Niigata Eng Co Ltd | 調理用鍋類 |
| US5678608A (en) * | 1993-06-30 | 1997-10-21 | Agip S.P.A. | Anti-seizure protection for joints, particularly suitable for the petroleum sector |
| JP2011006777A (ja) * | 2009-05-22 | 2011-01-13 | Hirotaka Tanabe | セラミックス被覆材の製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4434189A (en) | Method and apparatus for coating substrates using a laser | |
| US3265528A (en) | Method of forming metal carbide coating on carbon base | |
| KR900702071A (ko) | 금속 및 합금의 표면 처리방법 | |
| JPH01129958A (ja) | 高密着窒化チタン膜形成方法 | |
| JPH0371508B2 (ja) | ||
| US3450574A (en) | Method of coating refractory wares with magnesia | |
| RU2409701C2 (ru) | Способ нанесения керамического покрытия | |
| JPH01136962A (ja) | 被覆方法 | |
| US5217748A (en) | Method of hardening metal surfaces | |
| JPS6362862A (ja) | Ｔｉ及びＴｉ合金のＴｉＮ被覆品の製造方法 | |
| JPS63166957A (ja) | 表面被覆鋼製品 | |
| JPS6482550A (en) | Surface treatment | |
| JP2833051B2 (ja) | 真空熱処理方法 | |
| JPH062937B2 (ja) | 表面被覆鋼材の製造方法 | |
| GB1037675A (en) | Vacuum deposition of metals | |
| RU1786185C (ru) | Способ защиты стальных изделий от коррозии | |
| JPH0429612B2 (ja) | ||
| JPS6349750B2 (ja) | ||
| RU2114209C1 (ru) | Способ нанесения покрытий в вакууме | |
| JPS5836671B2 (ja) | 表面処理方法 | |
| JPH10251840A (ja) | 薄膜形成方法 | |
| US3514315A (en) | Spray pack diffusion coatings for refractory metals | |
| JPH0551661B2 (ja) | ||
| KR100710244B1 (ko) | 디바이스의 진공 박막 증착 과정의 응력 보정방법 | |
| JPH05320876A (ja) | 耐食性金属物品及びその製造方法 |