JPS6321557U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6321557U JPS6321557U JP1986115193U JP11519386U JPS6321557U JP S6321557 U JPS6321557 U JP S6321557U JP 1986115193 U JP1986115193 U JP 1986115193U JP 11519386 U JP11519386 U JP 11519386U JP S6321557 U JPS6321557 U JP S6321557U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grooves
- surface plate
- line width
- grindstone
- large number
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例である砥石定盤の溝
形成図（一部拡大図を含む）、第２図及び第３図
は従来の砥石定盤の構成図である。 記号の説明：１１，１２は溝、２１は第１の溝
、２２は（第１の溝で囲まれた）領域、２３は第
２の溝、２４は（少なくとも２辺が第２の溝で囲
まれた）単位表面をそれぞれあらわしている。
形成図（一部拡大図を含む）、第２図及び第３図
は従来の砥石定盤の構成図である。 記号の説明：１１，１２は溝、２１は第１の溝
、２２は（第１の溝で囲まれた）領域、２３は第
２の溝、２４は（少なくとも２辺が第２の溝で囲
まれた）単位表面をそれぞれあらわしている。
Claims (1)
- 固定砥粒のラツプ定盤の上面に、相互比較して
線幅の広い第１の溝と線幅の狭い第２の溝を生地
目模様に多数形成し、而して前記第１の溝同士の
中間に前記第２の溝を少なくとも１本配置して成
る砥石定盤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986115193U JPS6321557U (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986115193U JPS6321557U (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6321557U true JPS6321557U (ja) | 1988-02-12 |
Family
ID=30998614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986115193U Pending JPS6321557U (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6321557U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04129669A (ja) * | 1990-09-19 | 1992-04-30 | Mitsubishi Materials Corp | ウェーハの超精密研磨方法及び研磨装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6119560A (ja) * | 1984-07-05 | 1986-01-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 研摩定盤装置 |
-
1986
- 1986-07-29 JP JP1986115193U patent/JPS6321557U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6119560A (ja) * | 1984-07-05 | 1986-01-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 研摩定盤装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04129669A (ja) * | 1990-09-19 | 1992-04-30 | Mitsubishi Materials Corp | ウェーハの超精密研磨方法及び研磨装置 |