JPH082961A - 金属粒子分散酸化アルミニウム基焼結体及びその製造方法 - Google Patents
金属粒子分散酸化アルミニウム基焼結体及びその製造方法Info
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- JPH082961A JPH082961A JP6155475A JP15547594A JPH082961A JP H082961 A JPH082961 A JP H082961A JP 6155475 A JP6155475 A JP 6155475A JP 15547594 A JP15547594 A JP 15547594A JP H082961 A JPH082961 A JP H082961A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は、高温にて高い機械的強度及
び高い靭性を有する金属粒子分散酸化アルミニウム基焼
結体及びその製造方法を提供することにある。 【構成】 本発明の金属粒子分散酸化アルミニウム基焼
結体は、実質的に酸化アルミニウムがマトリックス相で
あり、該マトリックス相中に平均粒径０．０５〜３０μ
ｍの金属ニオブ粒子が０．５〜４０重量％の範囲で分散
していることを特徴とするものであり、その製造方法と
しては、平均粒径０．０５〜３０μｍの金属ニオブ粉末
０．５〜４０重量％及び残部が実質的に酸化アルミニウ
ム粉未からなる混合粉末を成形し、真空中もしくは水素
ガス雰囲気中にて１３００〜１７００℃の温度範囲にて
焼結することを特徴とするものである。 【効果】 本発明により、実質的に酸化アルミニウムか
らなる母相中に、高靭性、低弾性率、かつ高融点の金属
ニオブ粒子が分散している組織を呈する焼結体が得ら
れ、抗折強さが室温にて６００ＭＰａ以上、１２００℃
にて５５０ＭＰａ以上の高強度、靭性が６ＭＰａｍ1/2
以上の高靭性を有し、構造材料としての信頼性が高い。
び高い靭性を有する金属粒子分散酸化アルミニウム基焼
結体及びその製造方法を提供することにある。 【構成】 本発明の金属粒子分散酸化アルミニウム基焼
結体は、実質的に酸化アルミニウムがマトリックス相で
あり、該マトリックス相中に平均粒径０．０５〜３０μ
ｍの金属ニオブ粒子が０．５〜４０重量％の範囲で分散
していることを特徴とするものであり、その製造方法と
しては、平均粒径０．０５〜３０μｍの金属ニオブ粉末
０．５〜４０重量％及び残部が実質的に酸化アルミニウ
ム粉未からなる混合粉末を成形し、真空中もしくは水素
ガス雰囲気中にて１３００〜１７００℃の温度範囲にて
焼結することを特徴とするものである。 【効果】 本発明により、実質的に酸化アルミニウムか
らなる母相中に、高靭性、低弾性率、かつ高融点の金属
ニオブ粒子が分散している組織を呈する焼結体が得ら
れ、抗折強さが室温にて６００ＭＰａ以上、１２００℃
にて５５０ＭＰａ以上の高強度、靭性が６ＭＰａｍ1/2
以上の高靭性を有し、構造材料としての信頼性が高い。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高温における機械的強
度および靭性の優れた金属粒子分散酸化アルミニウム基
焼結体に関するものである。
度および靭性の優れた金属粒子分散酸化アルミニウム基
焼結体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】酸化アルミニウムは、その化学的安定
性、耐摩耗性、高剛性等の優れた性質から、代表的なセ
ラミックスとして広く利用されている。
性、耐摩耗性、高剛性等の優れた性質から、代表的なセ
ラミックスとして広く利用されている。
【０００３】しかし、靭性が低いため脆く、機械構造用
部材として利用するには信頼性に欠ける場合があった。
部材として利用するには信頼性に欠ける場合があった。
【０００４】この低靭性を克服する目的で炭化チタン等
の各種遷移金属炭窒硼化物粒子の添加が試みられてお
り、靭性の向上等が認められている。
の各種遷移金属炭窒硼化物粒子の添加が試みられてお
り、靭性の向上等が認められている。
【０００５】また、タングステン、モリブデン等の高融
点金属粒子を添加した材料系においても強度・靭性の向
上が認められている。
点金属粒子を添加した材料系においても強度・靭性の向
上が認められている。
【０００６】しかし、これら粒子分散材料においては、
機械構造部材として利用するに当たって十分な信頼性が
得られる程には高い靭性が得られていない、また分散粒
子が高価等の問題点があった。
機械構造部材として利用するに当たって十分な信頼性が
得られる程には高い靭性が得られていない、また分散粒
子が高価等の問題点があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の如き課
題を解決するために行われたものである。本発明の目的
は、高温における高い機械的強度及び高い靭性を有する
金属粒子分散酸化アルミニウム基焼結体及びその製造方
法を提供することにある。
題を解決するために行われたものである。本発明の目的
は、高温における高い機械的強度及び高い靭性を有する
金属粒子分散酸化アルミニウム基焼結体及びその製造方
法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の金属粒子分散酸
化アルミニウム基焼結体は、実質的に酸化アルミニウム
がマトリックス相であり、該マトリックス相中に、平均
粒径０．０５〜３０μｍの金属ニオブ粒子が０．５〜４
０重量％の範囲で分散していることを特徴とするもので
ある。
化アルミニウム基焼結体は、実質的に酸化アルミニウム
がマトリックス相であり、該マトリックス相中に、平均
粒径０．０５〜３０μｍの金属ニオブ粒子が０．５〜４
０重量％の範囲で分散していることを特徴とするもので
ある。
【０００９】本発明の焼結体の母相は実質的に酸化アル
ミニウムからなるものであるが、酸化アルミニウムの焼
結助剤としての酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、
酸化カルシウム、酸化珪素等の酸化物をその助剤として
の必要量含んでいてもかまわない。
ミニウムからなるものであるが、酸化アルミニウムの焼
結助剤としての酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、
酸化カルシウム、酸化珪素等の酸化物をその助剤として
の必要量含んでいてもかまわない。
【００１０】酸化マグネシウム、酸化ジルコニウムは焼
結過程で酸化アルミニウムの異常粒成長を抑制する効果
を持ち、酸化カルシウム、酸化珪素は焼結過程にて粒界
に液相を形成し、酸化アルミニウムの焼結温度を下げる
働きがある。
結過程で酸化アルミニウムの異常粒成長を抑制する効果
を持ち、酸化カルシウム、酸化珪素は焼結過程にて粒界
に液相を形成し、酸化アルミニウムの焼結温度を下げる
働きがある。
【００１１】それぞれの焼結助剤の添加量としては、酸
化アルミニウムの優れた耐食性を損なわないために合計
で５重量％以下、望ましくは１重量％以下であることが
望ましい。
化アルミニウムの優れた耐食性を損なわないために合計
で５重量％以下、望ましくは１重量％以下であることが
望ましい。
【００１２】本発明の分散粒子に用いる金属ニオブは、
酸化アルミニウムに比べて著しく高靭性であり、かつヤ
ング率が室温で１００ＧＰａと他の代表的な高融点金属
である金属タングステンの４００ＧＰａ、金属モリブデ
ンの３３０ＧＰａと比べて低く、酸化アルミニウムの３
９０ＧＰａと比べて約１／４と小さいため、金属ニオブ
を酸化アルミニウム中の分散粒子として用いる場合、分
散粒子を含まない場合と比べて破壊の際の破壊エネルギ
ーが向上し、靭性を向上させる作用をもつ。
酸化アルミニウムに比べて著しく高靭性であり、かつヤ
ング率が室温で１００ＧＰａと他の代表的な高融点金属
である金属タングステンの４００ＧＰａ、金属モリブデ
ンの３３０ＧＰａと比べて低く、酸化アルミニウムの３
９０ＧＰａと比べて約１／４と小さいため、金属ニオブ
を酸化アルミニウム中の分散粒子として用いる場合、分
散粒子を含まない場合と比べて破壊の際の破壊エネルギ
ーが向上し、靭性を向上させる作用をもつ。
【００１３】また、金属ニオブの融点は２５２０℃と酸
化アルミニウムの融点２０５３℃より高く、酸化アルミ
ニウムの焼結時に融化することがないため容易に高密度
の焼結体を得ることができ、かつ得られる焼結体の高温
強度特性も、酸化アルミニウム結晶粒中の高融点金属ニ
オブ粒子が転位の移動を抑制するとともに酸化アルミニ
ウム結晶粒界に金属ニオブが存在する場合は酸化アルミ
ニウム結晶粒の粒界すべりを抑制することが期待される
ため、室温強度に比べて大きく劣化することはない。従
って、高い高温強度と靭性を兼ね備えた焼結体を得るこ
とができる。
化アルミニウムの融点２０５３℃より高く、酸化アルミ
ニウムの焼結時に融化することがないため容易に高密度
の焼結体を得ることができ、かつ得られる焼結体の高温
強度特性も、酸化アルミニウム結晶粒中の高融点金属ニ
オブ粒子が転位の移動を抑制するとともに酸化アルミニ
ウム結晶粒界に金属ニオブが存在する場合は酸化アルミ
ニウム結晶粒の粒界すべりを抑制することが期待される
ため、室温強度に比べて大きく劣化することはない。従
って、高い高温強度と靭性を兼ね備えた焼結体を得るこ
とができる。
【００１４】本願発明における分散金属ニオブ粒子の平
均粒径としては０．０５〜３０μｍであるが、粒径が
０．０５μｍ未満の場合は靭性の向上に寄与が小さく、
また３０μｍを超える場合は得られる焼結体の強度が著
しく劣化する。
均粒径としては０．０５〜３０μｍであるが、粒径が
０．０５μｍ未満の場合は靭性の向上に寄与が小さく、
また３０μｍを超える場合は得られる焼結体の強度が著
しく劣化する。
【００１５】高い強度と靭性を両立するためには０．０
５〜１０μｍの範囲の粒径の金属ニオブ粒子を用いるこ
とがさらに望ましい。
５〜１０μｍの範囲の粒径の金属ニオブ粒子を用いるこ
とがさらに望ましい。
【００１６】また、本発明の焼結体には分散金属粒子が
０．５〜４０重量％含まれるが、０．５重量％未満では
強度・靭性の向上に十分な寄与が認められず、４０重量
％を超えると十分緻密な焼結体が得られない。
０．５〜４０重量％含まれるが、０．５重量％未満では
強度・靭性の向上に十分な寄与が認められず、４０重量
％を超えると十分緻密な焼結体が得られない。
【００１７】本発明の金属粒子分散酸化アルミニウム基
焼結体の製造方法としては、平均粒径０．０５〜３０μ
ｍの金属ニオブ粉末０．５〜４０重量％及び残部が実質
的に酸化アルミニウム粉末からなる混合粉末を成形し、
真空中もしくは水素ガス雰囲気中にて１３００〜１７０
０℃の温度範囲にて焼結することを特徴とするものであ
る。
焼結体の製造方法としては、平均粒径０．０５〜３０μ
ｍの金属ニオブ粉末０．５〜４０重量％及び残部が実質
的に酸化アルミニウム粉末からなる混合粉末を成形し、
真空中もしくは水素ガス雰囲気中にて１３００〜１７０
０℃の温度範囲にて焼結することを特徴とするものであ
る。
【００１８】本発明において使用される金属ニオブ粉末
としては、アトマイズ法、回転電極法、プラズマ法等に
よって所望の平均粒径０．０５〜３０μｍの粉末として
得たものを用いることができる。
としては、アトマイズ法、回転電極法、プラズマ法等に
よって所望の平均粒径０．０５〜３０μｍの粉末として
得たものを用いることができる。
【００１９】１μｍ以下の微粒子を得るためにはプラズ
マ法を用いることが特に好ましい。粉末の形状としては
焼結時の緻密化の容易さから球状が好ましいが、針状等
の不規則形状であってもかまわない。
マ法を用いることが特に好ましい。粉末の形状としては
焼結時の緻密化の容易さから球状が好ましいが、針状等
の不規則形状であってもかまわない。
【００２０】本発明において使用される酸化アルミニウ
ム粉末としては、焼結性の点からα型の結晶構造をもつ
粉末で、純度９９．５％以上、平均粒径１μｍ以下の微
粒子であることが望ましい。
ム粉末としては、焼結性の点からα型の結晶構造をもつ
粉末で、純度９９．５％以上、平均粒径１μｍ以下の微
粒子であることが望ましい。
【００２１】純度９９．５％未満、粒径１μｍ超の場
合、焼結時に十分に高い嵩密度とすることができない。
合、焼結時に十分に高い嵩密度とすることができない。
【００２２】酸化アルミニウムの焼結助剤は、酸化アル
ミニウム粉末が微細でかつ高純度な場合、必ずしも用い
る必要はないが、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウ
ム、酸化カルシウム、酸化珪素等を合計で５重量％以下
添加してもかまわない。
ミニウム粉末が微細でかつ高純度な場合、必ずしも用い
る必要はないが、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウ
ム、酸化カルシウム、酸化珪素等を合計で５重量％以下
添加してもかまわない。
【００２３】５重量％を超えると酸化アルミニウムの優
れた耐食性を損なう。望ましくは１重量％以下の添加が
好ましい。
れた耐食性を損なう。望ましくは１重量％以下の添加が
好ましい。
【００２４】焼結助剤としてこれらの酸化物粉末を用い
る場合、均質かつ高密度の焼結体を得るためには平均粒
径が１μｍ以下の微粒子であることが好ましい。
る場合、均質かつ高密度の焼結体を得るためには平均粒
径が１μｍ以下の微粒子であることが好ましい。
【００２５】本発明方法においては、これらの各成分の
混合は、精製水、アセトンもしくはエタノール等の溶媒
を用い、酸化アルミニウム製、ナイロン製等のポット及
びボールを用いた遊星型ボールミル、アトライタ等の混
合機にて、金属ニオブ粒子が酸化アルミニウム粉末中に
均一に分散するように十分混合する。
混合は、精製水、アセトンもしくはエタノール等の溶媒
を用い、酸化アルミニウム製、ナイロン製等のポット及
びボールを用いた遊星型ボールミル、アトライタ等の混
合機にて、金属ニオブ粒子が酸化アルミニウム粉末中に
均一に分散するように十分混合する。
【００２６】このように調整された混合粉末を加圧成形
し所定の形状の成形体とする。成形法としては、公知の
成形法により行ない、プレス成形法、鋳込み成形法、射
出成形法等を用いることができる。
し所定の形状の成形体とする。成形法としては、公知の
成形法により行ない、プレス成形法、鋳込み成形法、射
出成形法等を用いることができる。
【００２７】この成形体を真空中もしくは水素ガス雰囲
気中にて１３００〜１７００℃で加熱焼結し、焼結体を
得る。
気中にて１３００〜１７００℃で加熱焼結し、焼結体を
得る。
【００２８】焼結方法としては、無加圧焼結法もしくは
ホットプレス法を用いることが可能である。１７００℃
超で焼結すると酸化アルミニウム結晶粒の異常粒成長が
生じ、焼結体の強度が著しく劣化するため、１７００℃
以下での焼結が好ましく、一方１３００℃未満では十分
高い嵩密度の焼結体が得られない。
ホットプレス法を用いることが可能である。１７００℃
超で焼結すると酸化アルミニウム結晶粒の異常粒成長が
生じ、焼結体の強度が著しく劣化するため、１７００℃
以下での焼結が好ましく、一方１３００℃未満では十分
高い嵩密度の焼結体が得られない。
【００２９】また、焼結の際には十分高い嵩密度とする
ために、焼結温度にて１時間以上保持することが好まし
い。
ために、焼結温度にて１時間以上保持することが好まし
い。
【００３０】複雑形状の焼結体を安価に製造するには無
加圧焼結法を用いることが好ましい。
加圧焼結法を用いることが好ましい。
【００３１】また、焼結は、真空中、水素ガス雰囲気中
にて行う。真空中、水素ガス中で焼結する理由は、焼結
過程中での分散金属ニオブ粒子の酸化を抑制し、かつ高
い嵩密度の焼結体を得るためである。
にて行う。真空中、水素ガス中で焼結する理由は、焼結
過程中での分散金属ニオブ粒子の酸化を抑制し、かつ高
い嵩密度の焼結体を得るためである。
【００３２】真空中で焼結する場合は、真空度１０-2ｔ
ｏｒｒ以上の高真空、水素ガス雰囲気中にて焼結する場
合は、純度９９％以上のガスを用いることが望ましい。
ｏｒｒ以上の高真空、水素ガス雰囲気中にて焼結する場
合は、純度９９％以上のガスを用いることが望ましい。
【００３３】１０-2ｔｏｒｒより低真空、純度９９％未
満の低純度水素ガスを用いた場合は、高い嵩密度が得ら
れず、十分な強度・靭性が得られない。
満の低純度水素ガスを用いた場合は、高い嵩密度が得ら
れず、十分な強度・靭性が得られない。
【００３４】特に高い嵩密度を有する焼結体が必要な場
合は、１次焼結として真空中あるいは水素ガス雰囲気中
にて開気孔の無くなる相対密度９５％以上に緻密化した
のち、２次焼結としてアルゴンガスあるいは窒素ガス雰
囲気下でガス圧焼結、もしくは熱間静水圧プレス焼結を
行ってもかまわない。
合は、１次焼結として真空中あるいは水素ガス雰囲気中
にて開気孔の無くなる相対密度９５％以上に緻密化した
のち、２次焼結としてアルゴンガスあるいは窒素ガス雰
囲気下でガス圧焼結、もしくは熱間静水圧プレス焼結を
行ってもかまわない。
【００３５】
【作用】本発明の金属粒子分散酸化アルミニウム基焼結
体には、高靭性、低弾性率、かつ高融点を有する金属ニ
オブ粒子が含まれ、実質的に酸化アルミニウムからなる
焼結体中に該金属粒子が分散している組織を呈し、抗折
強さが室温にて６００ＭＰａ以上、１２００℃にて５５
０ＭＰａ以上の高強度、靭性が６ＭＰａｍ1/2以上の高
靭性を有し、構造材料としての信頼性が高い。
体には、高靭性、低弾性率、かつ高融点を有する金属ニ
オブ粒子が含まれ、実質的に酸化アルミニウムからなる
焼結体中に該金属粒子が分散している組織を呈し、抗折
強さが室温にて６００ＭＰａ以上、１２００℃にて５５
０ＭＰａ以上の高強度、靭性が６ＭＰａｍ1/2以上の高
靭性を有し、構造材料としての信頼性が高い。
【００３６】次に本発明の実施例を比較例と共に説明す
る。
る。
【００３７】
【実施例】酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）粉末（α―Ａ
ｌ2Ｏ3、純度９９．９％、平均粒径０．３μｍ）に、各
種方法により作製された金属ニオブ粉末（平均粒径０．
０３〜４０μｍの範囲）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）
粉末（平均粒径０．０５μｍ）を第１表に示す所定量
（重量％）添加し、溶媒として精製水を用いて酸化アル
ミニウム製ボールミルで２４時間混練した。
ｌ2Ｏ3、純度９９．９％、平均粒径０．３μｍ）に、各
種方法により作製された金属ニオブ粉末（平均粒径０．
０３〜４０μｍの範囲）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）
粉末（平均粒径０．０５μｍ）を第１表に示す所定量
（重量％）添加し、溶媒として精製水を用いて酸化アル
ミニウム製ボールミルで２４時間混練した。
【００３８】次いで得られた混合粉末を乾燥、成形後焼
結した。成形条件としては金型１軸成形圧１００ＭＰ
ａ、冷間静水圧による加圧１５０ＭＰａとし、６０ｍｍ
×６０ｍｍ×１０ｍｍの板状体を得た。
結した。成形条件としては金型１軸成形圧１００ＭＰ
ａ、冷間静水圧による加圧１５０ＭＰａとし、６０ｍｍ
×６０ｍｍ×１０ｍｍの板状体を得た。
【００３９】焼結としては、第１表中に示す焼結方法、
温度、保持時間、雰囲気にて行った。
温度、保持時間、雰囲気にて行った。
【００４０】ホットプレス焼結法を用いた場合は、カー
ボンダイス中にて圧力３０ＭＰａの条件で、９０ｍｍ×
６０ｍｍ×１０ｍｍの焼結体を得た。
ボンダイス中にて圧力３０ＭＰａの条件で、９０ｍｍ×
６０ｍｍ×１０ｍｍの焼結体を得た。
【００４１】真空中で焼結した場合は真空度１０-5ｔｏ
ｒｒ、また水素ガス雰囲気中で焼結した場合は純度９
９．９％のガスを用いた。
ｒｒ、また水素ガス雰囲気中で焼結した場合は純度９
９．９％のガスを用いた。
【００４２】本発明により得られた各焼結体の特性を金
属ニオブ粒子の添加量、焼結助剤の添加量、焼結条件と
共に第１表に示す。
属ニオブ粒子の添加量、焼結助剤の添加量、焼結条件と
共に第１表に示す。
【００４３】比較例として、ＴｉＣ，Ｗを分散粒子とし
て用いた例、窒素ガス雰囲気下にて焼結した例を併せて
第１表に示す。
て用いた例、窒素ガス雰囲気下にて焼結した例を併せて
第１表に示す。
【００４４】密度としてはアルキメデス法にて相対密度
を測定した。機械的強度については、ＪＩＳ Ｒ１６０
１に準拠し室温４点曲げ試験を、ＪＩＳ Ｒ１６０４に
準拠し１２００℃高温大気中４点曲げ試験を行い坑折強
さとして測定した。
を測定した。機械的強度については、ＪＩＳ Ｒ１６０
１に準拠し室温４点曲げ試験を、ＪＩＳ Ｒ１６０４に
準拠し１２００℃高温大気中４点曲げ試験を行い坑折強
さとして測定した。
【００４５】靭性についてはＪＩＳ Ｒ１６０７のＳＥ
ＰＢ法により室温にて破壊靭性値ＫICを測定した。
ＰＢ法により室温にて破壊靭性値ＫICを測定した。
【００４６】第１表に示すように、本発明の実施例によ
るものは、いずれの試料においても、室温強度６００Ｍ
Ｐａ以上、１２００℃強度５５０ＭＰａ以上の高い坑折
強さ、６．０ＭＰａｍ1/2以上の高靭性といずれも優れ
るが、比較例に該当する試料では本発明の実施例と比べ
て特に靭性が劣ることが確認された。
るものは、いずれの試料においても、室温強度６００Ｍ
Ｐａ以上、１２００℃強度５５０ＭＰａ以上の高い坑折
強さ、６．０ＭＰａｍ1/2以上の高靭性といずれも優れ
るが、比較例に該当する試料では本発明の実施例と比べ
て特に靭性が劣ることが確認された。
【００４７】
【表１】
【００４８】
【発明の効果】本発明によれば、上記の如く金属粒子分
散酸化アルミニウム基焼結体において、高温にて高い機
械的強度と靭性を併せ持った信頼性の非常に優れた焼結
体の製造が可能となり、その工業的有用性は非常に大き
い。
散酸化アルミニウム基焼結体において、高温にて高い機
械的強度と靭性を併せ持った信頼性の非常に優れた焼結
体の製造が可能となり、その工業的有用性は非常に大き
い。
Claims (2)
- 【請求項１】 実質的に酸化アルミニウムがマトリック
ス相であり、該マトリックス相中に平均粒径０．０５〜
３０μｍの金属ニオブ粒子が０．５〜４０重量％の範囲
で分散していることを特徴とする金属粒子分散酸化アル
ミニウム基焼結体。 - 【請求項２】 平均粒径０．０５〜３０μｍの金属ニオ
ブ粉末０．５〜４０重量％及び残部が実質的に酸化アル
ミニウム粉末からなる混合粉末を成形し、真空中もしく
は水素ガス雰囲気中にて１３００〜１７００℃の温度範
囲にて焼結することを特徴とする金属粒子分散酸化アル
ミニウム基焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6155475A JPH082961A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 金属粒子分散酸化アルミニウム基焼結体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6155475A JPH082961A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 金属粒子分散酸化アルミニウム基焼結体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH082961A true JPH082961A (ja) | 1996-01-09 |
Family
ID=15606867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6155475A Pending JPH082961A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 金属粒子分散酸化アルミニウム基焼結体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH082961A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010261106A (ja) * | 2010-06-11 | 2010-11-18 | Showa Denko Kk | コンデンサ用ニオブ焼結体の製造方法 |
| JP2010265549A (ja) * | 2010-06-11 | 2010-11-25 | Showa Denko Kk | コンデンサ用ニオブ粉 |
| KR20180101387A (ko) * | 2016-01-12 | 2018-09-12 | 스미토모 오사카 세멘토 가부시키가이샤 | 정전 척 장치 및 정전 척 장치의 제조 방법 |
-
1994
- 1994-06-15 JP JP6155475A patent/JPH082961A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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