JPS63220513A - モニタウエハのデ−タ管理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体集積回路（以下、ＩＣという）製造の
ウェハプロセス工程において、コンピュータ等のデータ
処理装置を用い−Ｃモニタウェハによる測定値を管理す
る場合のモニタウェハのデータ管理方法に関するもので
ある。

（従来の技術） 一般にＩＣ製迄のウェハプロセス工程では、ウェハを例
えば２５枚を単位としてカセットと称する容器に収納し
て処理される。このカセット単位あるいはその倍数をロ
ットと称して処理単位を識別している。ウェハプロセス
工程では各工程毎の処理か正しく行なわれているかどう
かをチェックするために、モニタウェハと称するｊスト
ウェハをロットにセットし、そのロットと同時に処理し
た俊、モニタウェハを投出してそれに対して必要な測定
を行ない、その工程処理の評価を行なうことになる。こ
のモニタウェハの測定値はロットのデータとしてコンピ
ュータ等のデータ処理装置で管理され、他の履歴データ
と比較することか行なわれている。

従来、この種のモニタウェハのデータ管理方法としては
、例えば第２図（１）　、　（２）に記載されるような
ものかめった。以下、その構成を図を用いて説明する。

第２図（１）　、　（２）は従来のモニタウェハのデー
タ管理方法を示す図であり、同図（１）ではモニタウェ
ハの処理工程、同図（２）では測定値の処理方法がそれ
ぞれ示されている。

第２図（１）に示すように、ウエハプロレスエ稈の処理
前にモニタウェハ１をロット２にセラ１へし、そのモニ
タウェハ１を１１・ｙ　ｌ”　２と共（こ製造装置３内
にセットする。この製造装置３において例えば酸化膜等
の被着を行なった後、ロット２を取出し、そのロット２
からモニタウェハ１を扱取り、そのモニタウェハ１を測
定器４へ送ると共に、ロツ１〜２を次工程５へ送る。測
定器４へ送られたモニタウェハ１は、その測定器４て必
要な測定が行なわれた後、その測定値かデータ処理装置
、例えば］ンビュータ６へ入力される。

モニタウェハ１を測定する場合、そのモニタウェハ１が
どのロツ１〜２と一緒に処理されたかを識別するために
、ロット２どの関係を示すカード等が必要となる。通常
、ロツ］〜２には工程管理上必要なロット識別のための
ロツ１へ識別カート（以下、ロット１０カードという）
７か付属しているので、その弁葉という形でのロットＩ
Ｄカート７ａをモニタウェハ識別のために作成し、その
［」ツｌ〜ＩＤカード７ａをモニタウェハ１に付属させ
てそのモニタウェハ１の測定を行ない、そのロットＩＤ
カート７ａに記入された識別旬月（以Ｆ、ロツ１〜ＩＤ
という）と測定値とからなる測定値人ノｊｊ−タ８を］
ンピ１−夕６へ入力している。

コンピュータ６は第２図（２）に示すように、測定値入
力データ８に基づき、ロットＩＤ単位で測定値を整理、
編集して測定値履歴ファイル９を作成し、測定値のデー
タ管理を行なっている。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上記のデータ管理方法では、モニタウェ
ハ１に固有の識別マークがないため、そのモニタウェハ
１とロット１０カード７ａか離れてしまうと、モニタウ
ェハ１とロット２との対応関係が分らなくなってしまう
。特にモニタウェハ１をまとめて測定する場合には、多
数のモニタウェハ１か混在するため、それらの個々のモ
ニタウェハ１に対応するロット２との対応関係が不明確
になりやすく、データ管理が正確に行なえないという問
題点があった。

本発明は前記従来技術が持っていた問題点として、モニ
タウェハとロットとの対応関係か不明確になってデータ
管理を正確に行なえないという点について解決したモニ
タウェハのデータ管理方法を提供するものである。

（問題点を解決するための手段） 本発明は前記問題点を解決するために、ロットＩＤカー
ト等に識別符号が付されたロツ１〜にモニタウェハをセ
ットし、そのロットに所定の半導体製造処理を施した後
、前記モニタウェハに対する測定を行ない、その測定値
と前記ロットの識別符号とを対応さ一μた測定値履歴フ
ァイルをコンピュータ等のデータ処理装置を用いて作成
することにより、測定値のデータ管理を行なうモニタウ
ェハのデータ管理方法において、前記モニタウェハ上に
予め識別コードを付し、その識別コードと前記ロットの
識別符号とを対応づけた対応ファイルを前記データ処理
装置に記録しておく。そしてモニタウェハに対する測定
を行なってそのモニタウェハの識別］−ドに対応する測
定値を前記データ処理装置に入力し、そのデータ処理装
置により、前記対応ファイルを参照しつつ測定値履歴フ
ァイルを作成させるようにしたものである。

（作　用） 本発明によれば、以上のようにモニタウェハのデータ管
理方法を構成したので、モニタウェハ上に付された識別
コードはモニタウェハと分離せず、−ρ　　− そのモニタウェハを他のモニタウェハと区別し、ロット
との対応関係を明らかにする勤ぎをする。

モニタウェハの測定値とそのモニタウェハの識別］−ド
とかデータ処理装置に入力されると、このデータ処理装
置では対応ファイルに基づき、入力された識別コードに
対応するロットの識別符号を検索し、その識別符号毎に
測定値を整理、編集して測定値履歴ファイルを作成する
。これにより、多数のモニタウェハをまとめて測定した
としても、ロットとの対応関係か不明確にならず、簡易
、的確な測定値のデータ管理が行なえる。従って前記問
題点を除去できるのである。

（実施例）　　′ 第１図（１）　、　（２）は本発明の実施例を示すモニ
タウェハのデータ管理方法を示す図であり、同図（１）
ではモニタウェハの処理工程、同図（２）では測定値の
処理方法かそれぞれ示されている。

第１図（１）に示すように、予めモニタウェハ２０上に
印字、刻印等によって識別コード（以下、モニタＩＯと
いう）　２０ａを付しておき、このモニタウェハ２０を
ロット２１にセットする場合、そのロット２１に付属し
ているロットＩＤカード２２に記載されたロッ１〜ＩＤ
と該モニタＩＯ２０（ｌとをデータ処理装置、例えば」
ンピュータ２３に人力しておく。コンピュータ２３は中
央処理装置（以下、ＣＰＵという）、メモリ、及び入出
力装置を備え、その入出力装置から人力された前記ロッ
ト■０及びモニタＩＤ２０ａに基づき、第１図（２）に
示ずようにそれら両者の対応ファイル２４を作成し、そ
の対応ファイル２４をメ七りに格納する。

モニタウェハ２０をロット２１にセットした後、そのロ
ット２１を製造装置２５内にセラ１へし、その製造装置
２５により酸化膜被着等の所定の処理を施す。

製造装置２５による処理か終ると、ロット２１を取出し
、そのロット２１からモニタウェハ２０を扱取り、その
モニタウェハ２０を測定器２６へ送ると共に、ロット２
１を次工程２７へ送る。

測定器２６へ送られたモニタウェハ２０は、その測定器
２６で膜厚測定等の必要な測定が行なわれる。

この際、作業者はモニタウェハ２０かどの日ツ１〜２１
と対応しているかを気にかける必要がない。測定器２６
で必要な測定を行なった後、その測定値と七二夕ＩＤ２
０ａとを対応させた第１図（２）に示すような測定値入
力データ２８をコンピュータ２３の入出力装置へ人力す
る。

第１図（２）に示すように、マイクロコンピュータ２３
はロット処理前においてロットＩＤとモニタＩＤ２０ａ
との対応関係を表わす対応ファイル２４をメモリに格納
しているので、測定値入力データ２８中のモニタＩＯに
対応するロット■０を対応ファイル２４から検索し、そ
の検索したロット■０と測定値とを対応させて測定値履
歴ファイル２９を編集、作成し、それをメモリに格納す
ることにより、測定値のデータ管理を行なう。

なお、ロットＩＤとモニタＩＤ２０ａとの対応付けは一
時的なものであり、測定値履歴ファイル２９を作成した
後は、対応ファイル２４か不要となる。そこでメモリか
ら対応ファイル２４を消去した後、使用済のモニタウェ
ハ２０を再び別のロットＩＤと対応付けることにより、
再度そのモニタウェハ２０を他の処理の測定用に使用す
ることも可能である。

本実施例では、モニタウェハ２０上にモニタＩＤ２０ａ
を付したので、ロット２１との対応付けをコンビコ−一
夕２３に入力することか可能となる。モニタウェハ２０
がロツ］〜２１と離れても、そのモニタウェハ自体にモ
ニタＩＯか付されているために、容易にロット２１との
対応付けか可能であり、モニタウェハ２０か多数混在し
ても特別に対応付けのための１０カード等を必要とせず
、対応付けを誤ることなく正確に測定値をコンピュータ
２３に入力できる。

ざらに、コンピュータ２３に対してモニタＩＤ２０ａと
測定値だけの人力で、そのコンピュータ２３の処理によ
り、ロット２１に対応した測定値の履歴データの記録か
可能である。

なお、本発明は図示の実施例に限定されず、例えばコン
ピュータ２３の代りに他のデータ処理装置を使用する等
、種々の変形が可能である。

（発明の効果） 以上詳細に説明したように、本発明によれば、モニタウ
ェハ上に識別コードを付し、その識別］−ドとロットの
識別符号とを対応付けた対応ファイルを用いてロットに
対応するモニタウェハ測定値の測定値履歴ファイルを作
成し、測定値のデータ管理を行なうようにしたので、多
数のモニタウェハが混在する場合でも、正確かつ迅速に
ロットとの対応関係を明らかにして測定値のデータ管理
が行なえる。

【図面の簡単な説明】

第１図（１）　、　（２）は本発明の実施例を示すモニ
タウェハのデータ管理方法を示す図であり、同図（１）
はモニタウェハの処理工程図、同図（２）は測定値の処
理方法図、第２図は従来のモニタウェハのデータ管理方
法を示す図であり、同図（１）はモニタウェハの処理工
程図、同図（２）は測定値の処理方法図である。 ２０・・・・・・モニタウェハ、２０ａ・・・・・・識
別コード（モニタＩＤ＞　、２１・・・・・・ロット、
２２・・・・・・ロットＩＤカート、２３・・・・・・
データ処理装置（コンピュータ）、２４・・・・・・対
応ファイル、２５・・・・・・製造装置、２６・・・・
・・測定器、２８・・・・・・測定値人力データ、２９
・・・・・・測定値履歴ファイル。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 複数のウェハの集合からなる識別符号付きのロットにモ
   ニタウエハをセットし、そのロツトに所定の半導体製造
   処理を施した後、前記モニタウェハに対する測定を行な
   い、その測定値と前記ロットの識別符号とを対応させた
   測定値履歴ファイルをデータ処理装置を用いて作成する
   ことにより、測定値のデータ管理を行なうモニタウェハ
   のデータ管理方法において、 前記モニタウェハ上に予め識別コードを付し、その識別
   コードと前記ロットの識別符号とを対応付けた対応ファ
   イルを前記データ処理装置に記録しておき、前記モニタ
   ウェハに対する測定を行なってそのモニタウェハの識別
   コードに対応する測定値を前記データ処理装置に入力し
   、そのデータ処理装置により、前記対応ファイルを参照
   しつつ前記測定値履歴ファイルを作成させることを特徴
   とするモニタウェハのデータ管理方法。