JPH081883B2 - 半導体プロセスフロ−作成システム - Google Patents
半導体プロセスフロ−作成システムInfo
- Publication number
- JPH081883B2 JPH081883B2 JP11506187A JP11506187A JPH081883B2 JP H081883 B2 JPH081883 B2 JP H081883B2 JP 11506187 A JP11506187 A JP 11506187A JP 11506187 A JP11506187 A JP 11506187A JP H081883 B2 JPH081883 B2 JP H081883B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rule
- unit
- name
- accumulator
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Programmable Controllers (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は複数個の単位工程を順次処理する手続きを規
定するプロセスフローを作成するシステムに関するもの
で、特に半導体プロセスへの適用を主目的としたもので
ある。
定するプロセスフローを作成するシステムに関するもの
で、特に半導体プロセスへの適用を主目的としたもので
ある。
従来の技術 半導体プロセスがその他一般の製造工程と異なる点
は、あるロットの投入から完成までに何度も同一装置で
の処理工程を繰返すことである。もしどの装置も１回だ
けしか通らないのであれば、ロットの動線は１本の単純
な線となる。しかし半導体プロセスに於てはロットの動
線は極めて複雑であり、しかも製品により変化する。
は、あるロットの投入から完成までに何度も同一装置で
の処理工程を繰返すことである。もしどの装置も１回だ
けしか通らないのであれば、ロットの動線は１本の単純
な線となる。しかし半導体プロセスに於てはロットの動
線は極めて複雑であり、しかも製品により変化する。
また設計寸法の微細化・高集積化に伴ないデバイスを
完成するまでのひとつのロットの単位工程数が増加して
おりその数は100〜200工程に達する。
完成するまでのひとつのロットの単位工程数が増加して
おりその数は100〜200工程に達する。
製品開発の過程で多数のロットを流す際にプロセスフ
ローを作成するが、上述の背景により勘違い・不注意を
引起すことがありロット不良につながる誤ったプロセス
フローが作成されることがある。
ローを作成するが、上述の背景により勘違い・不注意を
引起すことがありロット不良につながる誤ったプロセス
フローが作成されることがある。
従来その対策としては主として技術者の注意力に頼っ
ていた。
ていた。
発明が解決しようとする問題点 本発明は、誤ったプロセスフローが作成され、そのロ
ットが不良になるだけでなく、例えばフォトレジストを
塗布した後で清浄度の要求される熱酸化工程に入れて電
気炉を汚染することで他のロットへも重大な悪影響を及
ぼすといった従来の問題点を解決しようとするものであ
る。
ットが不良になるだけでなく、例えばフォトレジストを
塗布した後で清浄度の要求される熱酸化工程に入れて電
気炉を汚染することで他のロットへも重大な悪影響を及
ぼすといった従来の問題点を解決しようとするものであ
る。
問題点を解決するための手段 本発明は、複数個の単位工程名が処理順に１ロット分
格納されたメモリーの集合であるプロセスフローメモリ
ー群と、特定の単位工程毎にその直前あるいは直後に存
在すべき必須工程名および存在してはならない禁止工程
名が格納されたメモリーの集合であるシーケンスルール
メモリー群と、上記プロセスフローメモリー群内の単位
工程とシーケンスルールメモリー群内の工程名との一致
・不一致を検出する存在検出回路と第1,第２の累算器を
含むルール照合回路を有しているシステム構成のもので
ある。
格納されたメモリーの集合であるプロセスフローメモリ
ー群と、特定の単位工程毎にその直前あるいは直後に存
在すべき必須工程名および存在してはならない禁止工程
名が格納されたメモリーの集合であるシーケンスルール
メモリー群と、上記プロセスフローメモリー群内の単位
工程とシーケンスルールメモリー群内の工程名との一致
・不一致を検出する存在検出回路と第1,第２の累算器を
含むルール照合回路を有しているシステム構成のもので
ある。
作用 プロセスフローメモリー群（PFM）内のあるメモリー
のｊ番目の単位工程に関するシーケンスルールメモリー
群（SRM）内のメモリーが存在するか否かを検索し、存
在する場合そのメモリー内の必須工程名および禁止工程
名を順次読出し、PFM内の（ｊ−１）番目あるいは（ｊ
＋１）番目の単位工程と一致すれば“1"を不一致ならば
“0"を上記存在検出回路から出力し、上記ルール照合回
路内の第１の累算器には必須工程名のときのみ、第２の
累算器には禁止工程名のときのみ上記一致出力信号を加
算し、上記ｊ番目の単位工程に関するSRM内の上記メモ
リーの全工程に関する加算の結果、上記第１の累算器の
出力が零なら必須工程欠落信号を、上記第２の累算器の
出力が零でなければ禁止工程削除信号を出力する。
のｊ番目の単位工程に関するシーケンスルールメモリー
群（SRM）内のメモリーが存在するか否かを検索し、存
在する場合そのメモリー内の必須工程名および禁止工程
名を順次読出し、PFM内の（ｊ−１）番目あるいは（ｊ
＋１）番目の単位工程と一致すれば“1"を不一致ならば
“0"を上記存在検出回路から出力し、上記ルール照合回
路内の第１の累算器には必須工程名のときのみ、第２の
累算器には禁止工程名のときのみ上記一致出力信号を加
算し、上記ｊ番目の単位工程に関するSRM内の上記メモ
リーの全工程に関する加算の結果、上記第１の累算器の
出力が零なら必須工程欠落信号を、上記第２の累算器の
出力が零でなければ禁止工程削除信号を出力する。
実施例 本発明の一実施例システムの基本構成を第１図に示
す。
す。
単位工程毎の工程名（KP NAME），条件パラメータ名
やそのデオフォルト値等の工程情報を各レコード（R1,R
2,R3…）毎に格納した単位工程メモリー１から任意のレ
コードを入力選択回路２により選択してプロセスフロー
メモリー（PFM）３へ転送する。PFM3はロット毎の情報
を格納するメモリー（PFM）31,32,33…等から成ってい
る。あるひとつのメモリー例えばPFM31には処理順に単
位工程名を格納しておくことでプロセスフローを作成し
ていく。PEM3内の指定されたレジスター内の単位工程名
は選択回路４により存在検出回路７に読出される。
やそのデオフォルト値等の工程情報を各レコード（R1,R
2,R3…）毎に格納した単位工程メモリー１から任意のレ
コードを入力選択回路２により選択してプロセスフロー
メモリー（PFM）３へ転送する。PFM3はロット毎の情報
を格納するメモリー（PFM）31,32,33…等から成ってい
る。あるひとつのメモリー例えばPFM31には処理順に単
位工程名を格納しておくことでプロセスフローを作成し
ていく。PEM3内の指定されたレジスター内の単位工程名
は選択回路４により存在検出回路７に読出される。
特定の単位工程毎にシーケンスルールが書込まれたメ
モリー51,52,53…等の集合であるシーケンスルールメモ
リー（SRM）群５の情報は選択回路６によりルール存在
検出回路７の他方の入力となる。
モリー51,52,53…等の集合であるシーケンスルールメモ
リー（SRM）群５の情報は選択回路６によりルール存在
検出回路７の他方の入力となる。
SRMのひとつのメモリー51は、ある特定の単位工程に
関するシーケンスルール情報を有している。例えば第１
行（R1）には注目すべき単位工程名（注目工程名）が書
込まれている。その注目工程の直前あるいは直後に存在
すべき必須工程や存在してはならない禁止工程名が第２
行（R2）以下に書込まれている。第２行目以下の各レコ
ード（R2,R3…）は少くとも２桁の数字と単位工程名か
ら成っている。この例では、各レコードの第１・第２列
（C1・C2）に２桁の数字があててある。シーケンスルー
ルを表現するためにこれらの桁C1,C2を用いる。例え
ば、 C1＝“0":注目工程の直前の工程に関する（PRE） “1":注目工程の直後の工程に関する（POST） ことを表わし、 C2＝“0":存在禁止工程である（NOT） “1":存在必須工程である（MUST） ことを表わす。この組合せによる４個のルールを第２図
に示す。
関するシーケンスルール情報を有している。例えば第１
行（R1）には注目すべき単位工程名（注目工程名）が書
込まれている。その注目工程の直前あるいは直後に存在
すべき必須工程や存在してはならない禁止工程名が第２
行（R2）以下に書込まれている。第２行目以下の各レコ
ード（R2,R3…）は少くとも２桁の数字と単位工程名か
ら成っている。この例では、各レコードの第１・第２列
（C1・C2）に２桁の数字があててある。シーケンスルー
ルを表現するためにこれらの桁C1,C2を用いる。例え
ば、 C1＝“0":注目工程の直前の工程に関する（PRE） “1":注目工程の直後の工程に関する（POST） ことを表わし、 C2＝“0":存在禁止工程である（NOT） “1":存在必須工程である（MUST） ことを表わす。この組合せによる４個のルールを第２図
に示す。
第２行以下の各レコード（R2,R3…）に於て第１・第２
列C1,C2でルールを表現し、第３列以降（C3,C4…）でそ
のルール対象となる単位工程名（EP NAME）を表わす。
例えば第１レコードR1＝EP007で、第２レコードR2＝10E
P035であるとき注目工程（R1）EP007にとって、その直
後にEP035が存在してはならない。すなわち、プロセス
フローの中に〔EP007〕→〔EP035〕という処理手順が含
れることを禁止する。これは例えば、EP007がレジスト
現像工程で、EP035が高温酸化工程の様な場合に相当す
る。
列C1,C2でルールを表現し、第３列以降（C3,C4…）でそ
のルール対象となる単位工程名（EP NAME）を表わす。
例えば第１レコードR1＝EP007で、第２レコードR2＝10E
P035であるとき注目工程（R1）EP007にとって、その直
後にEP035が存在してはならない。すなわち、プロセス
フローの中に〔EP007〕→〔EP035〕という処理手順が含
れることを禁止する。これは例えば、EP007がレジスト
現像工程で、EP035が高温酸化工程の様な場合に相当す
る。
さて、SRM内に書込まれたこの様なシーケンスルール
に照らして、PFM内に作成したプロセスフローが正しい
か否かをチェックするために、ルール存在検出回路７お
よび、それからの出力を累算するための累算器ACCM1お
よび累算器ACCM0を含むルール照合回路12が本システム
に含まれている。
に照らして、PFM内に作成したプロセスフローが正しい
か否かをチェックするために、ルール存在検出回路７お
よび、それからの出力を累算するための累算器ACCM1お
よび累算器ACCM0を含むルール照合回路12が本システム
に含まれている。
ひとつのロットを指定する、すなわちひとつのPFM例
えばPFM31を指定する。次にPFM31内のシーケンス順に単
位工程に注目し、その前後の工程がシーケンスルールに
合致しているか否かをチェックしていく。
えばPFM31を指定する。次にPFM31内のシーケンス順に単
位工程に注目し、その前後の工程がシーケンスルールに
合致しているか否かをチェックしていく。
今PFM31内のｊ番目の単位工程に注目する。それがSRM
内のR1に書込まれているか否かを全SRMについて調べ、
それがSRM51に書込まれていた、すなわちシーケンスル
ールがあったとする（もしなければ、次にｊ＋１番目の
単位工程に注目する）。ｊ番目の工程の直前と直後につ
いてそれぞれ調べなければならないが、まず直後のルー
ルについて調べることにする。そこでPFM31内の（ｊ＋
１）番目の単位工程名を選択回路４により検出回路７の
一方へ入力する。その際、SRM51のレコードR2,R3,…を
順次選択回路６により検出回路７の他方へ入力し、相互
の単位工程名が一致すれば“1",不一致ならば“0"を検
出回路７から出力する。但し、今は選択回路６で取り出
すレコードはC1＝“1"のもののみである。検出回路７か
らの出力信号は、スイッチトランジスタ８または10を介
して累算器ACCM1またはACCM0に加算される。スイッチト
ランジスタ８または10は、SRM51の第２列C2の値が“1"
のとき（存在必須）および“0"のとき（存在禁止）のと
きのみ開き、それぞれの累算器ACCM1およびACCM0には、
存在必須ルールが満足された回数および存在禁止ルール
が違反された回数が記録されていく（第３図参照）。SR
M51内の各レコードに書込まれた単位工程名は同一のも
のはない様にできるから、存在必須ルールが満足される
のは最高１回しかないので、ACCM1のデータはSRM51内の
全ルール（全レコード）にわたる累算後も１か０の値し
かない。存在必須ルールがR4,R5と２工程書いてあって
も、両方を同時に満たすことは不可能であり、どちらか
一方を満たせばよいのである。他方、存在禁止ルールに
ついては、それがR2,R3と２工程あればそのいずれにも
違反してはならないのである。
内のR1に書込まれているか否かを全SRMについて調べ、
それがSRM51に書込まれていた、すなわちシーケンスル
ールがあったとする（もしなければ、次にｊ＋１番目の
単位工程に注目する）。ｊ番目の工程の直前と直後につ
いてそれぞれ調べなければならないが、まず直後のルー
ルについて調べることにする。そこでPFM31内の（ｊ＋
１）番目の単位工程名を選択回路４により検出回路７の
一方へ入力する。その際、SRM51のレコードR2,R3,…を
順次選択回路６により検出回路７の他方へ入力し、相互
の単位工程名が一致すれば“1",不一致ならば“0"を検
出回路７から出力する。但し、今は選択回路６で取り出
すレコードはC1＝“1"のもののみである。検出回路７か
らの出力信号は、スイッチトランジスタ８または10を介
して累算器ACCM1またはACCM0に加算される。スイッチト
ランジスタ８または10は、SRM51の第２列C2の値が“1"
のとき（存在必須）および“0"のとき（存在禁止）のと
きのみ開き、それぞれの累算器ACCM1およびACCM0には、
存在必須ルールが満足された回数および存在禁止ルール
が違反された回数が記録されていく（第３図参照）。SR
M51内の各レコードに書込まれた単位工程名は同一のも
のはない様にできるから、存在必須ルールが満足される
のは最高１回しかないので、ACCM1のデータはSRM51内の
全ルール（全レコード）にわたる累算後も１か０の値し
かない。存在必須ルールがR4,R5と２工程書いてあって
も、両方を同時に満たすことは不可能であり、どちらか
一方を満たせばよいのである。他方、存在禁止ルールに
ついては、それがR2,R3と２工程あればそのいずれにも
違反してはならないのである。
従って、SRM51内の全レコードについての累算結果、A
CCM1が零でなければ、存在必須ルールは満足（OK）さ
れ、ACCM0が零ならば存在禁止ルールは満足（OK）され
るので、すべてのシーケンスルールが満足された事にな
り、次に注目工程の直前の工程（C1＝0;j−１）につい
て調べる。しかしもし、ACCM1が零ならば存在必須ルー
ルは満足されないので、“必須工程の欠落警告信号W1"
を出力し、ACCM0が１以上ならば存在禁止ルールは満足
されないので、“禁止工程の削除警告信号W0"を出力
し、PFM31の修正待ちの状態にはいる。あるいはその警
告信号を特定のルールチェック結果を格納するメモリー
を用意して書込んでもよい。
CCM1が零でなければ、存在必須ルールは満足（OK）さ
れ、ACCM0が零ならば存在禁止ルールは満足（OK）され
るので、すべてのシーケンスルールが満足された事にな
り、次に注目工程の直前の工程（C1＝0;j−１）につい
て調べる。しかしもし、ACCM1が零ならば存在必須ルー
ルは満足されないので、“必須工程の欠落警告信号W1"
を出力し、ACCM0が１以上ならば存在禁止ルールは満足
されないので、“禁止工程の削除警告信号W0"を出力
し、PFM31の修正待ちの状態にはいる。あるいはその警
告信号を特定のルールチェック結果を格納するメモリー
を用意して書込んでもよい。
発明の効果 本発明によれば、プロセスフローにおける各単位工程
間の前後関係をシーケンスルールとして予め用意してお
くことにより、任意の単位工程を直列に接続する際の不
注意によるミスを防止することが出来る。
間の前後関係をシーケンスルールとして予め用意してお
くことにより、任意の単位工程を直列に接続する際の不
注意によるミスを防止することが出来る。
従って正しいプロセスフローが作成され、単にそのロ
ットが間違いなく流れるだけでなく、ミスによる装置の
汚染を防止でき他のロットもまた間違いなく流れるとい
う効果が生じ、工程全体の効率向上に寄与するものであ
る。
ットが間違いなく流れるだけでなく、ミスによる装置の
汚染を防止でき他のロットもまた間違いなく流れるとい
う効果が生じ、工程全体の効率向上に寄与するものであ
る。
第１図は本発明の基本構成を示す一実施例のシステム
図、第２図はシーケンスルールを示す図、第３図はルー
ル照合条件を示す図である。 １……単位工程メモリー、２……入力選択回路、３……
プロセスフローメモリー群、4,6……選択回路、５……
シーケンスルールメモリー群、７……ルール存在検出回
路、9,11……累算器、12……ルール照合回路。
図、第２図はシーケンスルールを示す図、第３図はルー
ル照合条件を示す図である。 １……単位工程メモリー、２……入力選択回路、３……
プロセスフローメモリー群、4,6……選択回路、５……
シーケンスルールメモリー群、７……ルール存在検出回
路、9,11……累算器、12……ルール照合回路。
Claims (1)
- 【請求項１】複数個の単位工程名が処理順に１ロット分
格納されたメモリーの集合であるプロセスフローメモリ
ー群と，特定の単位工程に関しその直前あるいは直後の
工程として存在すべき必須工程名および存在してはなら
ない禁止工程名が格納されたメモリーの集合であるシー
ケンスルールメモリー群と，上記プロセスフローメモリ
ー群内のあるメモリーのｊ番目の単位工程に関しシーケ
ンスルールメモリー群内の工程名を検索し、（ｊ−１）
番目または（ｊ＋１）番目の単位工程名との一致・不一
致を検出するルール存在検出回路と，上記存在検出回路
からの一致出力信号を必須工程名のときのみ加算する第
１の累算器と禁止工程名のときのみ加算する第２の累算
器とを含むルール照合回路を有し、上記ｊ番目の単位工
程に関するシーケンスルールメモリー群内の全工程名に
対する第１の累算器の出力が零なら必須工程欠落信号を
第２の累算器の出力が零でなければ禁止工程削除信号を
出力するように構成した半導体プロセスフロー作成シス
テム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11506187A JPH081883B2 (ja) | 1987-05-12 | 1987-05-12 | 半導体プロセスフロ−作成システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11506187A JPH081883B2 (ja) | 1987-05-12 | 1987-05-12 | 半導体プロセスフロ−作成システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63280411A JPS63280411A (ja) | 1988-11-17 |
| JPH081883B2 true JPH081883B2 (ja) | 1996-01-10 |
Family
ID=14653205
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11506187A Expired - Fee Related JPH081883B2 (ja) | 1987-05-12 | 1987-05-12 | 半導体プロセスフロ−作成システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH081883B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3604533A1 (en) | 2008-04-11 | 2020-02-05 | Arbutus Biopharma Corporation | Site-specific delivery of nucleic acids by combining targeting ligands with endosomolytic components |
| EP3705125A1 (en) | 2007-12-04 | 2020-09-09 | Alnylam Pharmaceuticals, Inc. | Carbohydrate conjugates as delivery agents for oligonucleotides |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2624156B2 (ja) * | 1993-12-24 | 1997-06-25 | 日本電気株式会社 | 生産制御用情報処理装置 |
| KR100243806B1 (ko) * | 1996-06-07 | 2000-02-01 | 가네꼬 히사시 | 공정 플로 작성 시스템 |
-
1987
- 1987-05-12 JP JP11506187A patent/JPH081883B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3705125A1 (en) | 2007-12-04 | 2020-09-09 | Alnylam Pharmaceuticals, Inc. | Carbohydrate conjugates as delivery agents for oligonucleotides |
| EP4223299A2 (en) | 2007-12-04 | 2023-08-09 | Alnylam Pharmaceuticals, Inc. | Carbohydrate conjugates as delivery agents for oligonucleotides |
| EP3604533A1 (en) | 2008-04-11 | 2020-02-05 | Arbutus Biopharma Corporation | Site-specific delivery of nucleic acids by combining targeting ligands with endosomolytic components |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63280411A (ja) | 1988-11-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |