JPS63228046A - 外観検査用のｖ型投光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、透過照明方式の外観検査装置において被検査
物に帯状照明光を照射する投光装置に関し、更に詳しく
は、照明光軸がＶ型となって被測定位置で交線を作るよ
うにし、被検査物に孔等があっても照明光が直接ライン
イメージセンサに入らずハレーションを生じ難いように
したＶ型投光装置に関するものであるや［従来の技術］ ハイブリッドＩＣ基板やプリント配線基板等の外観検査
を行う装置として透過照明方式のものがある。これは例
えば第３図に示すように、被検査物１０を搬送する走査
テーブル１２と、被検査物１０の一方の面（ここでは下
面）に対向するように配置され被検査物１０に向かって
帯状照明光を発する投光装置１４と、被検査物１０の反
対側の面（ここでは上面）に対向して配置され、レンズ
１６およびＣＣＤラインセンサ１８等を備えたＣＯＤカ
メラ２０等から構成される。

従来技術では第３図からも判るようにＣＯＤカメラ２０
は真下を向き、その中心面上で投光装置１１ｆｆｌＩ４
の発光部が上向きに位置して被検査物１０の真下中央か
ら透過光で照明し、効率よくＣＣＤラインセンサ１８で
集光する構造をなしている。

被検査物１０は走査テーブル１２上にセットされ、走査
テーブル１２がＣＣＤラインセンサ１８と同期しながら
移動し、最終的に平面画像としてとらえられる。このよ
うにしてハイブリノドｒｃ基板や各種プリント配線基板
等の外観検査が行われる。

［発明が解決しようとする問題点］ ところが上記のような従来技術では一つの帯状照明光を
発生する投光装置を被検査物の真下中央にセットし、Ｃ
ＣＤラインセンサ１８の方向に投光しているため、被検
査物１０にスルーホール等の孔があると投光装置１４か
らの照明光が直接ＣＣＤラインセンサ１８に入り、ハレ
ーションを発生して画像精度を悪化させる欠点があった
。

このハレーションによる画像精度の悪化の問題を解決す
るため、走査テーブル１２のガラスを半透明にして被検
査物に孔等があっても照明光が直接ＣＣＤラインセンサ
１８に入らないようにすることも行われているが、半透
明ガラスによって照明光が弱まり鮮明な画像を得ること
が困難となる。

本発明の目的は、上記のような従来技術の欠点を解消し
、十分な照明光量を与゛えることができ、しかも例え被
検査物に孔等が形成されていてもラインイメージセンサ
がハレーションを起こさず、鮮明な画像を得ることがで
きるように工夫した外観検査用の投光装置を提供するこ
とにある。

［問題点を解決するための手段］ 本発明はラインイメージセンサを用いた透過照明方式の
外観検査装置で用いる投光装置である。前記の目的を達
成するため本発明は、中心面から外れた位置に２本の平
行な発光部を備え、それらからの帯状照明光がそれぞれ
中心面に対して傾斜して被検査位置で交線を作る如くＶ
型に投光するように構成されている。

「作用］ 本発明では投光装置の発光部はラインイメージセンサを
含む中心面から外れた位置に設けられているため、帯状
の照明光は例え被検査物に孔等が設けられていても直接
ラインイメージセンサには入らない。このため走査テー
ブルを半透明にしなくてもハレーションが生じ難く、十
分な照明光量で被検査物を照明でき鮮明な画像を得るこ
とができる。

また帯状照明光はＶ型に投光するから、片側単独の帯状
照明光の場合と異なり、影ができにく　く　な　る　。

［実施例］ 第１図は本発明に係る■型投光装置を用いた外観検査装
置の概略説明図であり、第２図はＶ型投光装置の一例を
示す斜視図である。外観検査装置としての基本的な構成
は第３図に示す従来のものとほぼ同様であってよいから
、説明を判り易くするため、対応する部分には同一符号
を付す。

ハイブリッドＩＣ基板やプリント配線基板等の被検査物
１０は走査テーブル１２上に載置され、白抜き矢印方向
に駆動される。この場合従来技術と異なり、走査テーブ
ル１２のガラスは透明なものであってよい。走査テーブ
ル１２の真上にはレンズ１６やＣＣＤラインセンサ１８
等を備えたＣＣＤカメラ２０が設置される。そしてその
真下で被検査物１０の下面に対向するように本発明に係
るＶ型投光装Ｗ、２４が設けられる。

このＶ型投光装置２４は、その上面中央に浅′いＶ溝２
８が形成され、ＣＣＤカメラ２０の中心面から外れた位
置に２本の平行な溝状発光部３０ａ、３０ｂが対称的に
前記Ｖ溝の両頭斜面に形成される。この溝状発光部３０
ａ、３σｂ内には多数の光ファイバーが端面を揃えて一
列に並べられて埋設てされており、その光ファイバーは
束ねられて光源部に導かれる。束ねた光ファイバーを符
号３２で示す。発光部３０ａ。

３０ｂに並んでいる各光ファイバーの端部は、その光軸
がそれぞれ中心面２６に対して角度θだけ傾いており、
それらから発せられる帯状照明光は被検査位置（即ちＣ
ＣＤカメラ２０の中心面２６を含み且つ被検査物と交差
する線）で交わるように取り付けられる。

外観検査装置は従来と同様、被検査物１０が走査テーブ
ル１２上にセットされ、走査テープル１２がＣＣＤライ
ンセンサ１８と同期しながら移動し、最終的にはＣＯＤ
カメラ２０により被検査物が平面画像としてとらえられ
る。本発明では■型投光装置の発光部３Ｑａ、３０ｂは
ＣＣＤラインセンサ１８の真下中心位置からずれている
ため、被検査物１０に孔等が設けられていても照明光が
直接ＣＣＤラインセンサ１８に入ることはない。このた
めハレーシツンが発生し難くなる。また両側から、つま
りＶ型に投光するから、片側単独の場合と異なり影がで
きに＜＜、外観検査の信頬性も向上する。

以上、本発明の好ましい一実施例について詳述したが本
発明はこのような構成のみに限定されるものでないこと
は無給である。上記実施例では上面中央に浅いＶ溝を設
けているが、発光部が所定角度幅いていれば上面は平面
であってもよい。

［発明の効果］ 本発明は上記のように２本の平行な発光部がラインイメ
ージセンサの中心面からはずれた位置に設けられており
、帯状照明光がそれぞれ中心面に対して傾斜して被検査
位置で交線を作るように照射するから、影ができにくく
、しかも被検査物に例え孔等が形成されていても照明光
が直接ラインイメージセンサに入ることがなくハレーシ
ョンの発生を防止できるし、走査テーブルに半透明のガ
ラスを使用する必要がなくなり、発光部で発生する光量
を十分有効に利用できるため、全体として非常に鮮明な
画像を得ることができる優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るＶ型投光装置を使用した外観検査
装置の一例を示す説明図、第２図は本発明に係るＶ型投
光装置の一実施例を示す斜視図、第３図は従来技術の一
例を示す説明図である。 １０・・・被検査物、１２・・・走査テーブル、１８・
・・ＣＣＤラインセンサ、２０・・・ＣＣＤカメラ、２
４・・・Ｖ型投光装置、２６・・・中心面、３０ａ。 ３０ｂ・・・発光部、３２・・・光ファイバー、３４・
・・交線。 代　　理　　人　　　　　茂　　見　　　　　穣第１図
　　　　第３図 第２図 ３δ０

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、中心面から外れた位置に２本の平行な発光部を有し
   、それらからの帯状照明光がそれぞれ中心面に対して傾
   斜して被検査位置で交線を作るようにＶ型に投光するこ
   とを特徴とする外観検査用のＶ型投光装置。