JPS63228783A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS63228783A JPS63228783A JP6125587A JP6125587A JPS63228783A JP S63228783 A JPS63228783 A JP S63228783A JP 6125587 A JP6125587 A JP 6125587A JP 6125587 A JP6125587 A JP 6125587A JP S63228783 A JPS63228783 A JP S63228783A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage circuit
- switching element
- circuit
- thyratron
- high voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明はレーザ媒質としてのガスを放電エネルギで励
起し【レーザ光を光（辰させるがスレーザ装置に関する
。
起し【レーザ光を光（辰させるがスレーザ装置に関する
。
（従来の技術）
ガスレーザ装置には大気圧あるいは高気圧槙ｂｔ 電励
起形の−ｒ ＥΔＣＯ２レーザやエキシマレ−１１など
があることよく知られている。
起形の−ｒ ＥΔＣＯ２レーザやエキシマレ−１１など
があることよく知られている。
このようなガスレーザ装置は、ＣＯ２、Ｎ２、ＨＯなど
を混合したレーザガスやエキシマ用し−ｌｊガスが循環
さけられる放電管内に一対の主電極を離間対向させて設
け、これら主電極間で発生するＩＩｉ？ｆｆエネルギに
よって上記レーデガスを励起してレーザ光を発振させる
ようになっている。
を混合したレーザガスやエキシマ用し−ｌｊガスが循環
さけられる放電管内に一対の主電極を離間対向させて設
け、これら主電極間で発生するＩＩｉ？ｆｆエネルギに
よって上記レーデガスを励起してレーザ光を発振させる
ようになっている。
ところで、上記一対の主電極間のｔｌｉ電を制御する放
電制御回路としては、放′１１開始時に高電圧を印加し
、放電を維持するときには中電圧を印加することかでき
るようにするため、高電圧回路と中電圧回路とからなる
、いわゆるスパイカー／サスブナ一方式が用いられてい
る。
電制御回路としては、放′１１開始時に高電圧を印加し
、放電を維持するときには中電圧を印加することかでき
るようにするため、高電圧回路と中電圧回路とからなる
、いわゆるスパイカー／サスブナ一方式が用いられてい
る。
従来、上記スパイカー／サスナナ一方式においては、高
電圧回路と中電圧回路とにスイッチング素子としてそれ
ぞれギャップスイッチが用いられていた。
電圧回路と中電圧回路とにスイッチング素子としてそれ
ぞれギャップスイッチが用いられていた。
しかしながら、スイッチング素子としてギャップスイッ
チを用いると、レーザ光の発振の繰返し動作を高めよう
としても、上記ギャップスイッチ自体の能力によってそ
の繰返し速度を高速化することができないという問題が
あった。ちなみに、ギャップスイッチを用いた場合には
、約１ｋＨｚが限度であった。
チを用いると、レーザ光の発振の繰返し動作を高めよう
としても、上記ギャップスイッチ自体の能力によってそ
の繰返し速度を高速化することができないという問題が
あった。ちなみに、ギャップスイッチを用いた場合には
、約１ｋＨｚが限度であった。
（発明が解決しようとする問題点）
この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その目
的とするところは、スイッチング素子をギャップスイッ
チから他のものに変えることによって高繰返し動作を可
能にしたスパイカー／サスナナ一方式の放電制御回路を
持つガスレーザ装置を提供することにある。
的とするところは、スイッチング素子をギャップスイッ
チから他のものに変えることによって高繰返し動作を可
能にしたスパイカー／サスナナ一方式の放電制御回路を
持つガスレーザ装置を提供することにある。
［発明の構成コ
（問題点を解決するための手段及び作用）上記問題点を
解決するためにこの発明は、放電管と、この放電管内に
離間対向して設けられた一対の主電極と、これら一対の
主電極に接続された放電開始用の高電圧回路および放電
維持用の中電圧回路と、上記高電圧回路に設けられたこ
の回路を開閉するためのサイラトロンと、上記中電圧回
路に設けられたこの回路を開閉するための半導体スイッ
チング素子とを具備する。そして、上記サイラトロンと
半導体スイッチング素子とによって高繰返し動作に必要
なスパイカー／サスナナ一方式の放電制御回路とする。
解決するためにこの発明は、放電管と、この放電管内に
離間対向して設けられた一対の主電極と、これら一対の
主電極に接続された放電開始用の高電圧回路および放電
維持用の中電圧回路と、上記高電圧回路に設けられたこ
の回路を開閉するためのサイラトロンと、上記中電圧回
路に設けられたこの回路を開閉するための半導体スイッ
チング素子とを具備する。そして、上記サイラトロンと
半導体スイッチング素子とによって高繰返し動作に必要
なスパイカー／サスナナ一方式の放電制御回路とする。
（実施例）
以下、この発明の一実施例を図面を参照して説明する。
図中１はガスレーザ装置の放電管である。この１１ｉ電
管１内には一対の主電極２が離間対向して配設されてい
る。これら一対の主電極２にはスパイカー／サスナナ一
方式のスパイカーを形成する高電圧回路３と、サステナ
ーを形成する中電圧回路４とが接続されている。上記高
電圧回路３には、この回路３に３０ＫＶ程度の高電圧を
印加する高電圧パルス電源５が接続されているとともに
、この高電圧パルス電源５と並列にスパイカー用コンデ
ンサ６ａおよびスイッチング素子としてのサイラトロン
６が接続されている。上記中電圧回路４にはこの回路４
に３ＫＶ程度の中電圧を印加する中電圧パルス電源７が
接続されているとともに、この中電圧パルス電源７と並
列にサスデノーー用コンデンリ８とスイッチング素子と
してのサイリスタなどの半導体スイッチング素子９とが
接続されている。
管１内には一対の主電極２が離間対向して配設されてい
る。これら一対の主電極２にはスパイカー／サスナナ一
方式のスパイカーを形成する高電圧回路３と、サステナ
ーを形成する中電圧回路４とが接続されている。上記高
電圧回路３には、この回路３に３０ＫＶ程度の高電圧を
印加する高電圧パルス電源５が接続されているとともに
、この高電圧パルス電源５と並列にスパイカー用コンデ
ンサ６ａおよびスイッチング素子としてのサイラトロン
６が接続されている。上記中電圧回路４にはこの回路４
に３ＫＶ程度の中電圧を印加する中電圧パルス電源７が
接続されているとともに、この中電圧パルス電源７と並
列にサスデノーー用コンデンリ８とスイッチング素子と
してのサイリスタなどの半導体スイッチング素子９とが
接続されている。
ところで、上記スパイカー／サスナナ一方式にＪ′３い
て、高電圧回路３としては電圧波形の立上がりが速く、
高電圧に耐えられることが要求される。
て、高電圧回路３としては電圧波形の立上がりが速く、
高電圧に耐えられることが要求される。
したがって、この高電圧回路３にスイッチング素子とし
て用いられるサイラトロン６は高耐圧性を備えているか
ら、高電圧回路３として要求される性能を発揮すること
ができる。
て用いられるサイラトロン６は高耐圧性を備えているか
ら、高電圧回路３として要求される性能を発揮すること
ができる。
一方、上記中電圧回路６としては電圧波形の立、上がり
や耐電圧性は中程度でよいが大電流に耐えられなければ
ならない。この中電圧回路４に用いられている半導体ス
イッチング素子９は大きな１流に耐えることができるか
ら、中電圧回路４に要求される性能を十分に維持するこ
とができる。
や耐電圧性は中程度でよいが大電流に耐えられなければ
ならない。この中電圧回路４に用いられている半導体ス
イッチング素子９は大きな１流に耐えることができるか
ら、中電圧回路４に要求される性能を十分に維持するこ
とができる。
すなわら、上記サイラトロン６は高電圧回路３の小電流
領域で使用されるから、非常に高い繰返し動作が可能に
なり、およそ６ Ｋ Ｈｚでの繰返し動作させることが
できる。
領域で使用されるから、非常に高い繰返し動作が可能に
なり、およそ６ Ｋ Ｈｚでの繰返し動作させることが
できる。
また、上記半導体スイッチング素子っは１０Ｋ Ｈｚ以
上での繰返し動作が可能であり、その繰返し寿命として
も１０１０シコツ１〜以上が保障されている。
上での繰返し動作が可能であり、その繰返し寿命として
も１０１０シコツ１〜以上が保障されている。
したがって、これらのことにより放電回路自体の繰返し
動作能力としては、およそ６ Ｋ Ｈｌが可能となり、
注入エネルギも１パルス当り数１０００ジユールが可能
となり、従来に比べて大幅に向上する。
動作能力としては、およそ６ Ｋ Ｈｌが可能となり、
注入エネルギも１パルス当り数１０００ジユールが可能
となり、従来に比べて大幅に向上する。
［発明の効果１
以上述べたようにこの発明は、スパイカー／サスナナ一
方式の放電制御回路を備えたがスレーザ装置において、
スイッチング素子として高電圧回路にはサイラトロンを
用い、中電圧回路には半導体スイッチング素子を用いた
。したがって、スイッチング素子としてギャップスイッ
チを用いた従来に比ベレーザ発掘を高繰返しで行なうこ
とができる。
方式の放電制御回路を備えたがスレーザ装置において、
スイッチング素子として高電圧回路にはサイラトロンを
用い、中電圧回路には半導体スイッチング素子を用いた
。したがって、スイッチング素子としてギャップスイッ
チを用いた従来に比ベレーザ発掘を高繰返しで行なうこ
とができる。
図面はこの究明の一実施例を示す回路図である。
１・・・放電管、２・・・主電極、３・・・高電圧回路
、４・・・中電圧回路、６・・・サイラトロン、９・・
・半導体スイッチング素子。
、４・・・中電圧回路、６・・・サイラトロン、９・・
・半導体スイッチング素子。
Claims (1)
- 放電管と、この放電管内に離間対向して設けられた一対
の主電極と、これら一対の主電極に接続された放電開始
用の高電圧回路および放電維持用の中電圧回路と、上記
高電圧回路に設けられたこの回路を開閉するためのサイ
ラトロンと、上記中電圧回路に設けられたこの回路を開
閉するための半導体スイッチング素子とを具備したこと
を特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6125587A JPS63228783A (ja) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6125587A JPS63228783A (ja) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63228783A true JPS63228783A (ja) | 1988-09-22 |
Family
ID=13165943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6125587A Pending JPS63228783A (ja) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63228783A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04177776A (ja) * | 1990-11-09 | 1992-06-24 | Mitsubishi Electric Corp | 繰返し発振エキシマレーザ装置 |
-
1987
- 1987-03-18 JP JP6125587A patent/JPS63228783A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04177776A (ja) * | 1990-11-09 | 1992-06-24 | Mitsubishi Electric Corp | 繰返し発振エキシマレーザ装置 |
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