JPS63228954A - リニアパルスモ−タの2次側固定子 - Google Patents

リニアパルスモ−タの2次側固定子

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Publication number
JPS63228954A
JPS63228954A JP6104987A JP6104987A JPS63228954A JP S63228954 A JPS63228954 A JP S63228954A JP 6104987 A JP6104987 A JP 6104987A JP 6104987 A JP6104987 A JP 6104987A JP S63228954 A JPS63228954 A JP S63228954A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
teeth
rows
secondary side
stator
pulse motor
Prior art date
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Pending
Application number
JP6104987A
Other languages
English (en)
Inventor
Sakae Yamamoto
栄 山本
Tsutomu Mizuno
勉 水野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Amada Co Ltd
Original Assignee
Amada Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 a、産業上の利用分野 この発明はリニアパルスモータに係り、更に詳細には位
置検出用の歯列を備えた2次側固定子に関するものであ
る。
b、従来の技術 リニアパルスモータは、簡単なオープンループで使用で
きるため、移動体の位置決め制御に広く利用されてきた
。しかし、オープンループで制御されるリニアパルスモ
ータは、高加減速特性が悪く、高速運転が困難である外
、移動体にか)る外力の影響により、停止位置にずれを
生ずる場合があり、高精度の位置決め制御には使用でき
なかった。
このため、高精度の位置決め制御には通常のリニア変位
センサを用いたフィードバック制御が行なわれてぎたが
、リニア変位センサは高価であるので、リニアパルスモ
ータが本来備えている2次側の歯列を利用する方法が、
近年開発された。
この方法は、移動体にパルスモータの2次側突歯の位置
を検出する検出器を取イ]け、これによって移動体の位
置を検出し、制御回路によって希望位置との偏差を算出
して、適当な相を励磁し運転するものである。
C1発明が解決しようとする問題点 リニアパルスモータの1ステップ当りの移動量(以下分
解能という)τ0は2次側歯列のピッチτに依存し、一
般に多用されるPM形2相4#flの場合にはτ0−τ
/4になる。このモータによって駆動される移動体の位
置の検出を、前記の方法で行なう場合には、移動体にτ
0の位相差で、4個の位置センサを設ける必要がある。
この場合、位置の検出には、2次側歯列の歯のピッチが
基準になるので、歯は高精度に加工する必要がある。ま
た、ピッチτが小さい場合、例えばτがimmであると
、τoは0.25mmになるが、4個の位置センサを0
.25mmの位相差で移動体に取付けることは必ずしも
容易ではない。多相駆動のモータの場合は更に困難にな
り、マイクロステップ駆動の場合には殆んど不可能であ
る。
この発明は、このような点に着目して創案されたもので
、比較的簡単な構成ぐ、精度の高い位置決めのできる、
フィードバック制御のリニアパルスモータの2次側固定
子を提供することを目的とするものである。
d1問題を解決するだめの手段 前記の目的を達成するために、この発明の2次側ム9定
子は、分解能τ0を有覆るリニアパルスモークにおいて
、その2次側駆動用歯列に平行して、前記分解能τ0の
ピッチの位置検出用歯列を設けて構成されたものである
01作用 このように構成されているので、リニアパルスモータの
2次側駆動用歯列のピッチは、位置検出用歯列のピッチ
の整数倍になり、両歯列の位相関係が全長に亘って精度
よく保たれる。したがって、フィードバック制御を正確
に、また容易に行うことができる。また、位置検出用歯
列はマイクロステップ用に細かく作成することができる
ので、高分解能のリニアパルスモータのフィードバック
制御も可能になる。
f、実施例 次に、この発明の実施例について図面に基づいて説明す
る。第1図はこの発明を実施したリニアパルスモータ1
の該略図で、基台3の上に、この発明の2次側固定子5
が装着しである。該固定子5の上面にはパルスモータの
駆動用の歯列7.及び位置検出用の歯列9が設けである
。可動子11は1次側磁極13を備え、基台3に沿って
ローラ15に支持され、前記2次側固定子5と一定の間
隙を保持して、紙面に垂直方向へ走行する。可動子11
には、前記2次側固定子5に設けた位置検出用の歯列9
に対向して、位置センサ17が設Cプである。
2次側固定子5の詳細を第2図に示しである。
図のように、2次側固定子5の上面には、駆動用歯列7
の歯に平行して位置検出用歯列9が設けである。これら
の歯列は化学除去方法等により同時に作成されるので位
置関係の精度が高い。
両歯列の寸法関係は、駆動用歯列のピッチをτ。
パルスモータの分解能をτ0とすると、駆動用歯列のピ
ッチτ間の位置検出用歯列の歯の数nは、0−τ/τ0
になる。4相のパルスモータの基本分解能はτ0−τ/
4であるので、n=4になる。
これをマイクロステップ運転により分解能をτ〇−τ/
100にすれば、n=100になり、分解能は、τが1
111mであれば10μmになる。
位置センサ17は、方向を知るためにτo/4の位相差
で2個取付けられている。この位置センサは分解能に対
応して、磁気式又は光学式のものが適宜用いられる。
第2図に、別の実施例を示しである。図のように、位置
検出用歯列9を、2次側固定子5の側面に設けたもので
、このようにすれば、2次側固定子の幅を短かくすると
かでき、パルスモータも小さくなる。
なお、この発明は実施例に限定されるものではなく、発
明の技術的範囲において、異る態様に33いても実施で
きるものである。
g1発明の効果 以上の説明から理解されるように、この発明は特許請求
の範囲に記載の構成を備えているので、比較的簡単な構
成で、精度の高い位置決めの可能な、フードパック制御
のリニアパルスモータの2次側固定子を提供することが
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の実施例の立体図、第2図は他の実施
例の立体図、第3図はこの発明を実施したリニアパルス
モータの該略図である。 図面の主要な部分を表わす符号の説明 1・・・リニアパルスモータ 5・・・2次側固定子7
・・・駆動用歯列 9・・・位置検出用歯列11・・・
可動子  13・・・1次側極歯17・・・位置センサ 代理人  弁理士   三 好  保 男第2区

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 分解能τ_0を有するリニアパルスモータにおいて、そ
    の2次側駆動用歯列に平行して、前記分解能τ_0のピ
    ッチの位置検出用歯列を設けたことを特徴とするリニア
    パルスモータの2次側固定子。
JP6104987A 1987-03-18 1987-03-18 リニアパルスモ−タの2次側固定子 Pending JPS63228954A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006108855A1 (de) * 2005-04-15 2006-10-19 Siemens Aktiengesellschaft Synchronlinearmotor mit berührungsloser abtastung der zahnstruktur des sekundärteils
JP2015027230A (ja) * 2013-07-29 2015-02-05 株式会社安川電機 リニアモータ

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57151260A (en) * 1981-03-12 1982-09-18 Brother Ind Ltd Linear step motor
JPS5930623U (ja) * 1982-08-18 1984-02-25 未来工業株式会社 ケ−ブルクランプ具
JPS6028480B2 (ja) * 1978-11-30 1985-07-04 パイオニア株式会社 定指向性スピ−カシステム
JPS60183961A (ja) * 1984-02-29 1985-09-19 Nec Corp リニアパルスモ−タ
JPS60237855A (ja) * 1984-05-11 1985-11-26 Nec Corp リニアステツプモ−タ
JPS6130463U (ja) * 1984-07-27 1986-02-24 ナショナル住宅産業株式会社 超音波洗浄機用かご

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6028480B2 (ja) * 1978-11-30 1985-07-04 パイオニア株式会社 定指向性スピ−カシステム
JPS57151260A (en) * 1981-03-12 1982-09-18 Brother Ind Ltd Linear step motor
JPS5930623U (ja) * 1982-08-18 1984-02-25 未来工業株式会社 ケ−ブルクランプ具
JPS60183961A (ja) * 1984-02-29 1985-09-19 Nec Corp リニアパルスモ−タ
JPS60237855A (ja) * 1984-05-11 1985-11-26 Nec Corp リニアステツプモ−タ
JPS6130463U (ja) * 1984-07-27 1986-02-24 ナショナル住宅産業株式会社 超音波洗浄機用かご

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006108855A1 (de) * 2005-04-15 2006-10-19 Siemens Aktiengesellschaft Synchronlinearmotor mit berührungsloser abtastung der zahnstruktur des sekundärteils
US7679226B2 (en) 2005-04-15 2010-03-16 Siemens Aktiengesellschaft Synchronous linear motor with non-contacting scanning of the toothed structure of the secondary part
DE102005017498B4 (de) * 2005-04-15 2010-07-08 Siemens Ag Synchronlinearmotor mit berührungsloser Abtastung der Zahnstruktur des Sekundärteils
JP2015027230A (ja) * 2013-07-29 2015-02-05 株式会社安川電機 リニアモータ
US9270156B2 (en) 2013-07-29 2016-02-23 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Linear motor

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