JPS63233231A - クリ−ン空間のメンテナンス装置 - Google Patents
クリ−ン空間のメンテナンス装置Info
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- JPS63233231A JPS63233231A JP62066395A JP6639587A JPS63233231A JP S63233231 A JPS63233231 A JP S63233231A JP 62066395 A JP62066395 A JP 62066395A JP 6639587 A JP6639587 A JP 6639587A JP S63233231 A JPS63233231 A JP S63233231A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はクリーン空間のメンテナンス装置に関するもの
である。
である。
従来の技術
従来、高い清浄度の中で加工・搬送等の各種処理を行う
ことが要求される場合には、第３図に示すように、クリ
ーンルーム２１内にその処理装置２２を配設し、作業者
２３がクリーンルーム２１内に入って監視や作業を行う
ように構成されでおり、作業者２３がクリーンルーム２
１に入るときにはクリーン服を着用し、エアシャワー室
でほこりを除いて入るように成されている。
ことが要求される場合には、第３図に示すように、クリ
ーンルーム２１内にその処理装置２２を配設し、作業者
２３がクリーンルーム２１内に入って監視や作業を行う
ように構成されでおり、作業者２３がクリーンルーム２
１に入るときにはクリーン服を着用し、エアシャワー室
でほこりを除いて入るように成されている。
この場合、クリーンルーム２１の容量が大きく、その空
間全体を高い清浄度に保つ必要があるために、イニシャ
ルコスト及びランニングコストの両コストが高く、作業
者もクリーン服で拘束され、作業性が悪いという問題が
あった。
間全体を高い清浄度に保つ必要があるために、イニシャ
ルコスト及びランニングコストの両コストが高く、作業
者もクリーン服で拘束され、作業性が悪いという問題が
あった。
そこで、第４図に示すように、通常のルームもしくは比
較的清浄度の低いクリーンルーム２４内に、清浄度の高
い必要最小限のクリーン空間２５を設け、このクリーン
空間２５内に各種処理装置２６を配置するようにしたも
のが提案されている。
較的清浄度の低いクリーンルーム２４内に、清浄度の高
い必要最小限のクリーン空間２５を設け、このクリーン
空間２５内に各種処理装置２６を配置するようにしたも
のが提案されている。
発明が解決しようとする問題点
ところで、上記構成の場合必要最小限のクリーン空間２
５であるため、維持費も安く、作業性も優れているが、
処理装置２６のメンテナンスが必要になった場合に、メ
ンテナンス作業のためにはクリーン空間２５を清浄度の
低いルーム２４に開放しなければならず、クリーン空間
２５の清浄度が着しく低下しでしまい、メンテナンス終
了後も清浄度が高くなるまで時間がかがるという問題が
あった。
５であるため、維持費も安く、作業性も優れているが、
処理装置２６のメンテナンスが必要になった場合に、メ
ンテナンス作業のためにはクリーン空間２５を清浄度の
低いルーム２４に開放しなければならず、クリーン空間
２５の清浄度が着しく低下しでしまい、メンテナンス終
了後も清浄度が高くなるまで時間がかがるという問題が
あった。
本発明は上記問題点に鑑み、クリーン空間のメンテナン
ス時に内部の清浄度の低下を防止できるメンテナンス装
置の提供を目的とする。
ス時に内部の清浄度の低下を防止できるメンテナンス装
置の提供を目的とする。
問題点を解決するための手段
上記目的を達成するため、本発明の第１発明は、各種処
理装置を内部に設置されたクリーン空間の側壁にメンテ
ナンス用の開口を形成するとともにその開閉手段を設け
、前記メンテナンス用開口の周囲に一端が接続可能で他
端側に開放部が形成された作業者の身体の少なくとも一
部を囲むカバー体を設けたことを特徴とする。
理装置を内部に設置されたクリーン空間の側壁にメンテ
ナンス用の開口を形成するとともにその開閉手段を設け
、前記メンテナンス用開口の周囲に一端が接続可能で他
端側に開放部が形成された作業者の身体の少なくとも一
部を囲むカバー体を設けたことを特徴とする。
また、本発明の第２発明は、各種処理装置を内部に設置
されたクリーン空間の側壁にメンテナンス用の開口を形
成するとともにその開閉手段を設け、作業者を内部に収
容可能なカバー体を設け、このカバー体の上部にエア清
浄装置を設置するとともに下部に開放部を形成し、かっ
このカバー体から前記メンテナンス用開口の周囲に接続
可能な接続手段を設けたことを特徴とする。
されたクリーン空間の側壁にメンテナンス用の開口を形
成するとともにその開閉手段を設け、作業者を内部に収
容可能なカバー体を設け、このカバー体の上部にエア清
浄装置を設置するとともに下部に開放部を形成し、かっ
このカバー体から前記メンテナンス用開口の周囲に接続
可能な接続手段を設けたことを特徴とする。
作用
本発明にかかる第１発明によれば、メンテナンス時には
メンテナンス用開口の周囲に接続したカバー体内に、全
身あるいは上半身又は腕等の身体の少なくとも一部を入
れた状態で開閉手段を開き、クリーン空間からカバー体
を通って大気中に流れ出す清浄な空気流にて前記身体の
少なくとも一部を清浄にすることによって、クリーン空
間の清浄性を損なうことなく、前記開口から必要なメン
テナンス作業を行うことができ、作業終了後開閉手段を
閉じることによって直ちにクリーン空間内の処理装置に
よる処理が可能となる。
メンテナンス用開口の周囲に接続したカバー体内に、全
身あるいは上半身又は腕等の身体の少なくとも一部を入
れた状態で開閉手段を開き、クリーン空間からカバー体
を通って大気中に流れ出す清浄な空気流にて前記身体の
少なくとも一部を清浄にすることによって、クリーン空
間の清浄性を損なうことなく、前記開口から必要なメン
テナンス作業を行うことができ、作業終了後開閉手段を
閉じることによって直ちにクリーン空間内の処理装置に
よる処理が可能となる。
又、第２発明によれば、カバー体内に作業者が入った状
態で接続手段をメンテナンス用開口の周囲に接続し、エ
ア清浄装置から放出される清浄エアにて作業者を清浄し
た後、開閉手段を開くことによってメンテナンス作業を
行うことができるので、クリーン空間の清浄性をより高
いレベルに保持しながらメンテナンスが可能である。
態で接続手段をメンテナンス用開口の周囲に接続し、エ
ア清浄装置から放出される清浄エアにて作業者を清浄し
た後、開閉手段を開くことによってメンテナンス作業を
行うことができるので、クリーン空間の清浄性をより高
いレベルに保持しながらメンテナンスが可能である。
又、好ましくはカバー体を移動可能、にしてクリーン空
間の側壁に形成された任意の開口に対して接続できるよ
うにすることによって、任意箇所のメンテナンスを一台
のカバー体にて行うことができ、さらにカバー体内の圧
力をクリーン空間内よりも低くすることによってより清
浄度の高いクリーン空間内にカバー体内のエアが入って
清浄度を低下させる虞れを完全に無くすことができる。
間の側壁に形成された任意の開口に対して接続できるよ
うにすることによって、任意箇所のメンテナンスを一台
のカバー体にて行うことができ、さらにカバー体内の圧
力をクリーン空間内よりも低くすることによってより清
浄度の高いクリーン空間内にカバー体内のエアが入って
清浄度を低下させる虞れを完全に無くすことができる。
実施例
以下、本発明の一実施例を第１図及びｖＪ２図を参照し
ながら説明する。１は各種ワークに加工、搬送等の処理
を施す処理装置であって、クリーン空間２内に配設され
ている。このクリーン空間２は清浄度の低い作業室３内
に配設されている。例えば、クリーン空間２内の清浄度
はクラス１０〜１００程度であり、作業室３内はクラス
１０００〜１００００程度である。前記クリーン空間２
の一端部には、エアシャワー室４ａを介して処理装置１
にワークを供給するための入口５ａが設けられ、他端部
にはエアシャワー室４１）を介して製品の出口５１）が
設げられている。前記クリーン空間２内は、第２図に示
すように、その上部に配設されたエア清浄装置６から清
浄エアを下向きに供給することによってその清浄度を維
持するように構成され、処理装置１を通ったエアは下端
部から背面側に設けられたリターン通路７を経て再びエ
ア清浄装置６に還流するように成されている。又、前記
クリーン空間２を区画する側壁８の適当箇所には、上下
方向中間位置又は下部位置にメンテナンス用の開口１０
が設けられ、密閉扉などの開閉手段１１にて開放可能に
閉鎖されている。又、この開口１０を取り囲むように接
続７ランジ部１２が設けられている。
ながら説明する。１は各種ワークに加工、搬送等の処理
を施す処理装置であって、クリーン空間２内に配設され
ている。このクリーン空間２は清浄度の低い作業室３内
に配設されている。例えば、クリーン空間２内の清浄度
はクラス１０〜１００程度であり、作業室３内はクラス
１０００〜１００００程度である。前記クリーン空間２
の一端部には、エアシャワー室４ａを介して処理装置１
にワークを供給するための入口５ａが設けられ、他端部
にはエアシャワー室４１）を介して製品の出口５１）が
設げられている。前記クリーン空間２内は、第２図に示
すように、その上部に配設されたエア清浄装置６から清
浄エアを下向きに供給することによってその清浄度を維
持するように構成され、処理装置１を通ったエアは下端
部から背面側に設けられたリターン通路７を経て再びエ
ア清浄装置６に還流するように成されている。又、前記
クリーン空間２を区画する側壁８の適当箇所には、上下
方向中間位置又は下部位置にメンテナンス用の開口１０
が設けられ、密閉扉などの開閉手段１１にて開放可能に
閉鎖されている。又、この開口１０を取り囲むように接
続７ランジ部１２が設けられている。
１３はメンテナンスを行う作業者９を収容可能な箱型の
カバー体であって、下端に設けられた車輪１４にて移動
可能に構成されている。このカバー体１３の一側壁には
作業者が出入り可能な開口１５が形成され、その周囲に
蛇腹部１６を介して前記クリーン空間２の任意の接続７
ランジ部１２に固定具１つにて接続可能な接続枠１７が
装着されている。又、カバー体１３の上端部にはエア清
浄装置１８が配置され、作業室３内のエアを清浄にして
下向きに供給し、下端部の開放部から排出するように構
成されている。このカバー体１３のエア清浄装置１８は
、その作動状態でカバー体１３の内部圧力がクリーン空
間２の圧力よりも低くなるように設計されている。
カバー体であって、下端に設けられた車輪１４にて移動
可能に構成されている。このカバー体１３の一側壁には
作業者が出入り可能な開口１５が形成され、その周囲に
蛇腹部１６を介して前記クリーン空間２の任意の接続７
ランジ部１２に固定具１つにて接続可能な接続枠１７が
装着されている。又、カバー体１３の上端部にはエア清
浄装置１８が配置され、作業室３内のエアを清浄にして
下向きに供給し、下端部の開放部から排出するように構
成されている。このカバー体１３のエア清浄装置１８は
、その作動状態でカバー体１３の内部圧力がクリーン空
間２の圧力よりも低くなるように設計されている。
以上の構成において、エア清浄装置６を作動させること
によってクリーン空間２内は内部に設置された処理装置
１を含めて清浄に保たれており、また処理装置１の作動
によって発生するほこりは清浄エアの流れによって下方
に移動してエア清浄装置６に流れ込むので、処理装置１
上のワークに触れることはない。ワークは、作業室３内
の作業者が入口５ａがらシャワー室４ａに持ち込み、こ
こで付着していたほこりが除去された後クリーン空間２
内の処理装置１に供給される。こうして、ワークはほこ
りの無い清浄な雰囲気中で処理装置１にて所定の加工等
を施され、製造された製品はクリーン空間２内に作業室
３のほこりが侵入しないようにシャワー室４ｂを介して
出口５１１から取り出される。
によってクリーン空間２内は内部に設置された処理装置
１を含めて清浄に保たれており、また処理装置１の作動
によって発生するほこりは清浄エアの流れによって下方
に移動してエア清浄装置６に流れ込むので、処理装置１
上のワークに触れることはない。ワークは、作業室３内
の作業者が入口５ａがらシャワー室４ａに持ち込み、こ
こで付着していたほこりが除去された後クリーン空間２
内の処理装置１に供給される。こうして、ワークはほこ
りの無い清浄な雰囲気中で処理装置１にて所定の加工等
を施され、製造された製品はクリーン空間２内に作業室
３のほこりが侵入しないようにシャワー室４ｂを介して
出口５１１から取り出される。
このようにワークを順次処理装置１にて処理している間
に、処理装置１に作動不良が発生する等、メンテナンス
を必要とする事態が生じた場合には、カバー体１３をメ
ンテナンスすべき箇所に近い開口１０の前に移動させ、
このカバー体１３の中に作業者９が入って接続枠１７を
クリーン空間２の側壁８の接続７ランジ部１２に接続し
、次ν・でそのエア清浄装置１８を作動させてこのカバ
ー体１３内を清浄化し、その後開口１０の開閉手段１１
を開いてメンテナンス作業を行う。その間、クリーン空
間２は開口１０を介してカバー体１３内と連通するが、
カバー体１３内は清浄であるので、クリーン空間２内の
清浄度が大浮く低下すると１）うことはない。特に、カ
バー体１３内の圧力をクリーン空間２内の圧力よりも低
く設定していると、クリーン空間２内のエアがカバー体
１３内に一部流出して逆に流れることはないため、クリ
ーン空間２の清浄度が低下するということはなり１゜メ
ンテナンス作業が終了すると、開閉手段１１を閉じれば
直ちにワークの処理を再開することができる。
に、処理装置１に作動不良が発生する等、メンテナンス
を必要とする事態が生じた場合には、カバー体１３をメ
ンテナンスすべき箇所に近い開口１０の前に移動させ、
このカバー体１３の中に作業者９が入って接続枠１７を
クリーン空間２の側壁８の接続７ランジ部１２に接続し
、次ν・でそのエア清浄装置１８を作動させてこのカバ
ー体１３内を清浄化し、その後開口１０の開閉手段１１
を開いてメンテナンス作業を行う。その間、クリーン空
間２は開口１０を介してカバー体１３内と連通するが、
カバー体１３内は清浄であるので、クリーン空間２内の
清浄度が大浮く低下すると１）うことはない。特に、カ
バー体１３内の圧力をクリーン空間２内の圧力よりも低
く設定していると、クリーン空間２内のエアがカバー体
１３内に一部流出して逆に流れることはないため、クリ
ーン空間２の清浄度が低下するということはなり１゜メ
ンテナンス作業が終了すると、開閉手段１１を閉じれば
直ちにワークの処理を再開することができる。
その後、固定具１８を外して接続７ランジ部１２と接続
枠１７の接続を解除し、カバー体１３がら作業者９が出
てカバー体１３を作業室３の所定の格納場所に格納する
ことによってメンテナンス作業は終了する。尚、カバー
体１３に作業者９の出入口を別途に設け、開閉手段１１
を閉じた後、作業者はこの出入口から出てカバー体１３
は接続したままにしておいてもよい。
枠１７の接続を解除し、カバー体１３がら作業者９が出
てカバー体１３を作業室３の所定の格納場所に格納する
ことによってメンテナンス作業は終了する。尚、カバー
体１３に作業者９の出入口を別途に設け、開閉手段１１
を閉じた後、作業者はこの出入口から出てカバー体１３
は接続したままにしておいてもよい。
」１記実施例では、カバー体１３としてエア清浄装置１
８を備えたものを例示したが、必ずしも備えていなくて
もよい。
８を備えたものを例示したが、必ずしも備えていなくて
もよい。
さらに、上記実施例ではカバー体１３として箱状でかつ
移動可能なものを例示したが、別の実施例として、クリ
ーン空間２の側壁８の各開口１０の周囲に可撓性を有す
る筒状体からなるカバー体を接続しでおいてもよい。こ
の場合、カバー体内に作業者の例えば上半身等を入れた
状態で開閉手段を開いて適当時間待機すると、クリーン
空間２内の清浄エアがこのカバー体内を通って流出し、
このエア流によって作業者の上半身等が清浄化され、そ
の後開口から作業を行うことによってクリーン空間内を
清浄に保持しながらメンテナンスを行うことができる。
移動可能なものを例示したが、別の実施例として、クリ
ーン空間２の側壁８の各開口１０の周囲に可撓性を有す
る筒状体からなるカバー体を接続しでおいてもよい。こ
の場合、カバー体内に作業者の例えば上半身等を入れた
状態で開閉手段を開いて適当時間待機すると、クリーン
空間２内の清浄エアがこのカバー体内を通って流出し、
このエア流によって作業者の上半身等が清浄化され、そ
の後開口から作業を行うことによってクリーン空間内を
清浄に保持しながらメンテナンスを行うことができる。
尚、処理装置１の具体的な機能や構造、クリーン空間２
の形状等は、」１記実施例で図示したものに限定されな
いことは言うまでもない。
の形状等は、」１記実施例で図示したものに限定されな
いことは言うまでもない。
発明の効果
本発明のクリーン空間のメンテナンス装置によると、第
１発明ではメンテナンス時に作業用カバー体内に身体の
少なくとも一部を入れた状態で開閉手段を開き、クリー
ン空間からカバー体を通って流れ出す清浄な空気流にて
前記身体の少なくとも一部を清浄にできるため、クリー
ン空間の清浄性を損なうことなく、前記開口から必要な
メンテナンス作業を行うことができ、作業終了後は開閉
手段を閉じることによって直ちにクリーン空間内の処理
装置による処理が可能となるという効果がある。
１発明ではメンテナンス時に作業用カバー体内に身体の
少なくとも一部を入れた状態で開閉手段を開き、クリー
ン空間からカバー体を通って流れ出す清浄な空気流にて
前記身体の少なくとも一部を清浄にできるため、クリー
ン空間の清浄性を損なうことなく、前記開口から必要な
メンテナンス作業を行うことができ、作業終了後は開閉
手段を閉じることによって直ちにクリーン空間内の処理
装置による処理が可能となるという効果がある。
又、第２発明では、作業用カバー体内に作業者が入った
状態でエア清浄￥装置から放出される清浄エアにて作業
者を清浄にでき、クリーン空間の清浄性をより高いレベ
ルに保持しながらメンテナンスが可能となるという効果
がある。
状態でエア清浄￥装置から放出される清浄エアにて作業
者を清浄にでき、クリーン空間の清浄性をより高いレベ
ルに保持しながらメンテナンスが可能となるという効果
がある。
第１図及び第２図は本発明の一実施例を示し、第１図は
全体平面図、第２図はＩｉ図の■−■線断面図、第３図
及び第４図は従来例の縦断面図である。 １・・・・・・・・・処理装置 ２・・・・・・・・・クリーン空間 ８・・・・・・・・・側壁 ９・・・・・・・・・作業者 １０・・・・・・・・・開口 １１・・・・・・・・・開閉手段 １２・・・・・・・・・接続７ランジ部１３・・・・・
・・・・カバー体 １７・・・・・・・・・接続枠 ＝１１− １８・・・・・・・・・エア清浄装置。 代理人Ｑ秘弁理士 中尾敏男 ほか１名第１図 １３−−一汐ハパ−有帆 第２図 ９−一−イ乍業Ａ３ １７−１＠醋 １８−一一エア盾井装員 第３図 第４図 ハ つ久
全体平面図、第２図はＩｉ図の■−■線断面図、第３図
及び第４図は従来例の縦断面図である。 １・・・・・・・・・処理装置 ２・・・・・・・・・クリーン空間 ８・・・・・・・・・側壁 ９・・・・・・・・・作業者 １０・・・・・・・・・開口 １１・・・・・・・・・開閉手段 １２・・・・・・・・・接続７ランジ部１３・・・・・
・・・・カバー体 １７・・・・・・・・・接続枠 ＝１１− １８・・・・・・・・・エア清浄装置。 代理人Ｑ秘弁理士 中尾敏男 ほか１名第１図 １３−−一汐ハパ−有帆 第２図 ９−一−イ乍業Ａ３ １７−１＠醋 １８−一一エア盾井装員 第３図 第４図 ハ つ久
Claims (4)
- （１）各種処理装置を内部に設置されたクリーン空間の
側壁にメンテナンス用の開口を形成するとともにその開
閉手段を設け、前記メンテナンス用開口の周囲に一端が
接続可能で他端側に開放部が形成された作業者の身体の
少なくとも一部を囲むカバー体を設けたことを特徴とす
るクリーン空間のメンテナンス装置。 - （２）各種処理装置を内部に設置されたクリーン空間の
側壁にメンテナンス用の開口を形成するとともにその開
閉手段を設け、作業者を内部に収容可能なカバー体を設
け、このカバー体の上部にエア清浄装置を設置するとと
もに下部に開放部を形成し、かつこのカバー体から前記
メンテナンス用開口の周囲に接続可能な接続手段を設け
たことを特徴とするクリーン空間のメンテナンス装置。 - （３）クリーン空間の側壁に複数のメンテナンス用の開
口が形成され、カバー体が移動可能でかつ接続手段は任
意のメンテナンス用開口の周囲に接続可能である特許請
求の範囲第２項に記載のクリーン空間のメンテナンス装
置。 - （４）カバー体の内部の圧力はクリーン空間の内部の圧
力よりも低く設定されている特許請求の範囲第２項に記
載のクリーン空間のメンテナンス装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62066395A JP2529246B2 (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 | クリ−ン空間のメンテナンス装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62066395A JP2529246B2 (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 | クリ−ン空間のメンテナンス装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63233231A true JPS63233231A (ja) | 1988-09-28 |
| JP2529246B2 JP2529246B2 (ja) | 1996-08-28 |
Family
ID=13314582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62066395A Expired - Fee Related JP2529246B2 (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 | クリ−ン空間のメンテナンス装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2529246B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5277654A (en) * | 1992-10-08 | 1994-01-11 | John's Insulation, Inc. | Method and apparatus for protectively transporting contaminated personnel and the like |
| US5562539A (en) * | 1991-04-17 | 1996-10-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Clean space system |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57255A (en) * | 1980-06-02 | 1982-01-05 | Hitachi Ltd | Clean room |
| JPS60213754A (ja) * | 1984-04-09 | 1985-10-26 | Taikisha Ltd | 清浄保持必要物運搬方法 |
-
1987
- 1987-03-20 JP JP62066395A patent/JP2529246B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57255A (en) * | 1980-06-02 | 1982-01-05 | Hitachi Ltd | Clean room |
| JPS60213754A (ja) * | 1984-04-09 | 1985-10-26 | Taikisha Ltd | 清浄保持必要物運搬方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5562539A (en) * | 1991-04-17 | 1996-10-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Clean space system |
| US5277654A (en) * | 1992-10-08 | 1994-01-11 | John's Insulation, Inc. | Method and apparatus for protectively transporting contaminated personnel and the like |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2529246B2 (ja) | 1996-08-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |