JPS60213754A - 清浄保持必要物運搬方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、クリーンルームで製作、加工する食品、医薬
品、あるいは、半導体や精密機器部品ｉの清浄保持必要
物を、一方のクリーンルームから他方のクリーンルーム
へ運搬車により運搬する方法に関する。

従来、上記の如き清浄保持必要物を運搬するに、出荷側
クリーンルーム内で清浄保持必要物を気密包装等により
厳重に包装し、その包暎状−ンルームに搬入するに際し
て、ｌ途中で包　−態で搬出運搬した清浄保持必要物を
受入側クリ峡材に付着した塵埃をエアーシャワーにょす
る清浄飯体吹付で除去するようにしたり、又、搬入搬出
に際して出荷側や受入側のクリーンルーム′に塵埃濃度
の高い外気が流入してそれらフリー／ルーｌ臀染される
のを防止するために、１搬入搬出口にエアーカー７−／
を設けるようにしていた。

しかしながら、上記従来運搬方法における清浄気体吹付
では、包装材に付着した塵埃を完全に除去することがで
きないのが現状であり、除去できなかった付着塵埃が清
浄保持必要物とともに受入側クリーンルームに持ち込ま
れるために、その受入側クリーンルーム内での閉包に際
して清浄保持必要物が持ち込み塵埃により汚染されでし
まう問題があり、又、エアーカーテンを設けていたとし
ても、搬入搬出時に塵埃濃度の高い外気がクリーンルー
ムに侵入することを完全には回避することができず、ク
リーンルームが外気により汚染されＣしまうのが現状で
あり、そのことも清浄保持必要物の汚染の原因となって
いた。

本発明は、運搬に伴なう清浄保持必要物の汚染を確実に
防止できるようにすることを目的とする。

本発明方法の特徴手段は、運搬車に備えた移動クリーン
ルームの出入口と定置クリーンルームの出入口とを対向
連通させると共に、前記移動クリーンルームに対して加
圧供給する清浄気体、及び、前記定置クリーンルームに
対して加圧供給する清浄気体を、前記削出入口の間の隙
間から外部空間に吐出させるクリーンルーム連通状態を
りくり、そのクリーンルーム連通状態下において１前記
両クリーンルームの一方カラ他方に前記削出入口を介し
て運搬物を移動することにあり、その作用・効果は次の
通りである。

つまり、移動クリーンルームに加圧供給する清浄気体、
及び、定置クリーンルームに加圧供給する清浄気体を、
対向連通状態の削出入口の間の隙間から外部空間に吐出
させるクリーンルーム連通状態をりくることにより、正
常気体供給以外の気体が逆流的に室内に侵入することを
両クリーンルームの個々について確実に防止できて、両
クリーンルームの清浄度を維持でき、しかも、削出入口
によって形成されるクリーンルーム連通路内が外部空間
よりも高圧の清浄気体空間となりて、外部空間から連通
路内に塵埃が侵入することを確実に阻止できる。

したがって、上述クリーンルーム連通状態下で定置クリ
ーンルームと移動クリーンルームとにわたって清浄保持
必要物を運搬することにより、定置クリーンルームから
移動クリーンルームへの搬出、及び、移動クリーンルー
ムから受入側定置クリーンルームへの搬入に際しての塵
埃汚染を確実に回避でき、又、運搬車による運搬途中に
おいては移動クリーンルームによる清浄維持で塵埃汚染
を回避でき、それらのことにより、運搬に伴なう清浄保
持必要物の汚染を確実に防止できるようになった。

上述の結果、次の効果がある。

（１）　清浄面における清浄保持必要物の最終品質を向
上できる。

（［Ｉ）搬出・運搬に際しての汚染防止用包装を簡略化
ないし皆無にできて、包装に要する経費を大巾に削減で
きると共に、作業能率を向上できる。

次に実施例を図面に基づいて説明する。

食品や半導体等の清浄保持必要物（Ｇｉを製作・加工す
る第１室１１＋を垂直層流型クリーンルームで、かつ、
清浄保持必要物（Ｇｊの搬入・搬出を行なう第３室（３
）、及び、第１室（！）と第３室（３）との間に位置す
る前室としての第２室（２）を乱流型クリーンルームで
構成した出荷側及び受荷側工場の夫々において、各室ｏ
１１　［２！　ｌ　Ｔ３：に対する空調器（Ａ、）　、
　（Ａ２）及び外気調和器（ＦＡＩ　）　＋　（ＰＡ２
　）に内蔵した給気ファン（Ｆ、〜４）の回転数制御、
各室（１）。

＋２！　、　ｉ３：から室内空気を排出する排気ファン
（Ｒ，）。

（Ｒ２）の回転数制御、並びに、給気ダクトや排気ダク
トに介装したダンパ（Ｄｌの開度制御等を、各室１ｔｌ
　ｅ　（２！　ｇ　（Ｌに付設した室圧検出センサー（
Ｓｌ）。

（Ｓ、）　、　（Ｓ、）からの情報をフィードバックさ
せながらコンピュータ制御装置＋Ｃ１により自動的に行
なわせ、それら自動制御による室圧制御で、第１室１ｌ
ｌＯ室圧（Ｐｏ）、第２室（２）の室圧（Ｐ２）、及び
第３室（３）の室圧（Ｐ８）を、それらが常に大気圧（
Ｐａ）より高く、かつ、常に第１室＋１１側はど高圧（
Ｐ、＞　Ｐ２＞　Ｐ、＞　Ｐａ）となるように維持する
ことにより、第１室（１）側はど室内清浄度を高く維持
する。

図中（ｆａ）は、各室ｔｔｌ　ｔ　（２！　＄　［３１
に加圧供給する空気を清浄化するフィルターである。

他方、バッテリーを電源とする塔載ファン（Ｆ５）％及
び、塔載空調器（Ａ１１）から供給される加圧空気をフ
ィルター（ｆｂ）を介して車体後方向きに吹出し、かつ
、車体後部に備えた運搬品出入口（４）とそれを閉塞す
るドア（５）との間の隙間から室内空気を排出すること
により室圧（ｐｂ）を大気圧（Ｐａ）よ抄高く維持する
水平層流型の移動クリーンルーム＋ｅ＋を運搬車（７）
に装備しておく。

前記第３室（３）の運搬物出入口（８）、及び、移動ク
リ・−ンルーム（６１の運搬物出入口（４）の夫々にお
いて、アクチュエータｔ９１　、　ｆｔｏ＋により伸縮
操作される連通路形成用ジャバラ体ｑη、（６）を第３
室（３）及び、移動クリーンルーム（６１に気密状に連
通接続し、それらジャバラ体ａυ、（２）の先端周部に
、互いにほぼ合同形状の接合用枠（２）、　Ｑ４１を取
付けておくと共に、各出入口（８）　、　ｔｅｌを開閉
するドアＱ１１９　、１５１を接合用枠（２）、（ロ）
に対して摺動させる状態で開閉操作するドア用アクチュ
エータ曽、りη前記出荷側工場において製作・加工され
た清浄保持必要物（Ｇ＋を前記運搬車（７）により受荷
側工場に運搬するに際して、それら工場と運搬車（７）
との間での清浄保持必要物（０の受渡しを次の如く行う
。

（イ）　移動クリ−／ルーム（６１の出入口（４）と第
３室（３）の出入口（８）とを対向させるようにして運
搬車（７）を所定受渡し位置に停車させる。

（ロ）工場側コンピュータ制御装置胆）の端末器（ＬＣ
）に、移動クリーンルーム側制御回路の出入力端子（１
）を接続する。

（ハ）　フンピユータ制御値［ｔｃｌに受渡し作業開始
指令を与えることにより、先ず、コンピュータ制御値ｆ
ｌ（ＣＩＫ７クチ！ニー　１９１　、　＋１０１　＋　
ｏ４１θηを自動操作させて、割出入口＋４１　、　＋
８１のドア１５）、（ト）を開き、かつ、両シャツくう
体（ロ）、（６）を伸長作動させ、そして、ジャバラ体
（ロ）、（財）の伸長に伴ない両接合用枠（至）、α４
が対向接当するクリーンルーム連通完了時点でシャツ（
う体（ロ）、（ロ）の伸長を停止させる。

尚、接合用枠（２）、Ｑ４には、それらが対向接当した
状態でそれらの間に所定の隙間１１１１が形成されるよ
うに、接合パツキンが省略されると共に、隙間間隔規制
用の突状当り部（１３ｍ）　、　（１４ａ）がドア（１
１１９、＋ｌ）ｌの開閉の支障となら′ないように備え
られている。

又、両接合用枠０．（ロ）の接合面は、それらの接合が
多少位置ズレしてもジャバラ体αη、Ｑ′４による連通
路ｔＬ１形成に支障が無いように夫々全周にわたって中
広に形成されている。

に）移動クリーンルーム（６）に付設した室圧検出セン
サー（Ｓ４）からの情報を端末器（ＬＣ）を介してフィ
ードバックさせながら同じく端末器（ＬＣ）を介してコ
ンピュータ制御装置１ｃＩに運搬車側塔載ファン（Ｆ５
）の回転数制御を行なわせることにより、工場側コンピ
ュータ制御装置ＩｃＩに移動クリーンルーム（６）の室
圧制御をも自動的に行なわせ、その移動クリーンルーム
側自動室圧制御と前述コンピュータ制御装置１ｃＩによ
る工場側各室１１）　＃　１２！　ｅ　ｉ：ｃの自動室
圧制御とにより、第３室（８）の室圧（Ｐ、）、及び、
移動クリーンルーム（６）の室圧（ｐｂ）をドア（６）
、（２）の開放後も大気圧（Ｐａ）より高圧で、かつ、
互いに等しくなる（　Ｐａ　＃ｐｂ　＞　Ｐａ　）よう
に調整し、更に、工場側各室ｆｉｌ　、　（２！　、　
（８：の室圧バランス（ｐｌ＞　ｐ２＞　ｐ、＞　Ｐａ
）を維持させ、もって、工場側各室ｉｌｌ　Ｉ　（２！
　、　ｌａＢ、及び、移動クリーンルーム（６１内への
外部空気侵入を防止して、各室（貼＋２！　、　（３ｊ
　、　（８１，の室内清浄度を維持させ、る。

（ホ）そして、両接合用砕（２）、α勺の対向接当が完
了した後においても、第３室（３ンの室圧（Ｐ３）と移
動クリーンルーム（８１の室圧（ｐｂ）とを互いにほぼ
等しく、かつ、大気圧よりも高圧（Ｐ。

斡Ｐｂ　＞　Ｐａ　）に継続して維持させることにより
、第３室（３）に加圧供給した清浄空−気と移動クリー
ンルーム（６１に加圧供給した清浄空気との両方を両接
合用枠（至）、θ養の闇の隙間園から吐出させ、それに
よって、第３室（３）、及び、移動クリーンルーム（６
）夫々への逆流的な空気侵入を防止しながら、両ジャバ
ラ体（ロ）、（２）によって形成されたクリーンルーム
連通路ＩＬｌ内を第３室（Ｂ）及び移動クリーンルーム
（６）と同程度の清浄度に維持するクリーン連通状態を
り＜す、モって、そのクリーンルーム連通状態下におい
て清浄保持必要物（（２）を前記連通路（Ｌｌを介して
、第３室（３：から移動クリーンルーム（６１に、ある
いは、移動クリーンルーム（６；から第３室（３）に受
渡すことにより、受渡しに伴なう清浄保持必要物（Ｇ１
の外部塵埃汚染を確実に防止するのである。

（へ）清浄保持必要物（６）の受渡し完了後、コンピュ
ータ制御装置１ｃＩに受渡し作業完了指令を与えること
により、接合時と同様に自動室圧制御させて第３室（３
；及び移動クリーンルーム（６１０室内清浄度を維持し
ながら、接合時とは逆手順で両ジャバラ体（ロ）、（６
）を自前的に短縮作動させ、かつ、ドア（５）、（至）
を自前閉じ作動させて、クリーンルーム離間を完了する
。

そして、クリーンルーム離間完了後、端末器（ＬＣ）と
運搬車側出入力端子（１）と切離して、移動クリーンル
ーム１６１の作動を運搬車側で独自に行なわせるように
しだ後ｖ′ｃ１連搬車＜７）を発車する。

以上要するに、出荷側工場ないし受荷側工場と運搬車（
７）との間での清浄保持必要物ＩＧｌの受渡しを、上記
クリーンルーム連通状態下で行ない、かつ、運搬途中に
おいては清浄保持必要物（Ｇ＋を移動クリーンルーム（
６１内に保管することにより、運搬に伴なう清浄保持必
要物ＩＧＩの外部塵埃汚染を確実に防止するのである。

次に別実流側を説明する。

工場側定置クリーン連通状態（３）、及び、移動クリー
ンルーム（６１の出入口＋８１　、　＋４１構成は種々
の改良が可能であり、又、それら両川入口１８）　、　
＋４１の対向連通、及び、ドア（至）、（５）開閉をコ
ンピュータ制御装置ｔｅｌにより自動的に行なわせるに
代えて、手助操作で行なうようにしても良い。

定置クリ−／ルーム（３：に対して加圧供給する清浄気
体と移動クリーンルーム（６）に対して加圧供給する清
浄気体との両方を、対向連通状態の両川入口１４１　、
　（８）の間の隙間（旬から吐出させるに定置クリーン
ルーム（３）、ないし、移動クリーンルーム（６１０室
内制御を人為操作で行なっても良−い。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第５図は本発明の実施例を示し、第１図は
、移動クリーンルーム連通過程を示す全体概略図、第２
図は、連通完了状態を示す部分概略図、第３図は、移動
クリーンルーム切離し状態を示す部分概略図、第４図は
、連通完了状態を示す平面視図、第５図は、制御系統図
である。 （３）・・・・・・定置クリーンルーム％　１４）　、
　１８）・・・・・・出入口、（６Ｉ・・・・・・移動
クリーンルーム、（７）・・・・・・運搬車、＋Ｉｌ＋
・・・・・・隙間、（Ｇ）・・・・・・運搬物、＋１％
ｌ　、　（Ｐｂ）・・・・・・室圧。 代理人　弁理士　北　村　修

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ■　運搬車（７）に備えた移動りリーンルーム（６１の
   出入口（４）と定置クリ−／ルーム（３）の出入口（８
   ）とを対向連通させると共に、前記移動クリ−／ルーム
   （６１に対して加圧供給する清浄気体、及び、前記定置
   クリーンルーム（３）に対しＣ加圧供給する清浄気体を
   、前記両川入口１４１　、　＋８１の間の隙間１ｄｌか
   ら外部空間に吐出させるクリーンルーム連通状態をりく
   り、そのクリーンルーム連通状態下において、前記両ク
   リーンルーム［３：　、　＋６１の一方から他方に前記
   両川入口＋４１　、　ｆ８）を介して運搬物（Ｇ１を移
   動する清浄保持必璧物運搬方法。 ■　前記クリーンルーム連通状態をつくるに際して、前
   記両クリーンルーム（１、ｊ８１０室圧彎。 （ｐｂ）を、それらがｔｔＸぼ等しくなるように調整す
   る特許請求の範囲第０項に記載の清浄保持必要物運搬方
   法。