JPS63238992A - 動圧発生用溝の形成方法 - Google Patents
動圧発生用溝の形成方法Info
- Publication number
- JPS63238992A JPS63238992A JP62073651A JP7365187A JPS63238992A JP S63238992 A JPS63238992 A JP S63238992A JP 62073651 A JP62073651 A JP 62073651A JP 7365187 A JP7365187 A JP 7365187A JP S63238992 A JPS63238992 A JP S63238992A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- dynamic pressure
- corrosion
- generating dynamic
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、動圧形流体軸受装置用の被加工体に動圧発
生用溝を形成する方法の改善に関する。
生用溝を形成する方法の改善に関する。
従来、軸体に動圧発生用の溝を形成する方法の一つとし
てレーザ光を用いて加工する方法が知られている。この
方法は、たとえば特開昭６１〜２６２４７７号公報に開
示されているように、レーザ光を軸体の一端から他端へ
向がって軸方向に走査して、被加工個所だけにレーザ光
が照射されるようにコンピュータプログラムによって制
御し、レーザ光が軸体の一端から他端まで走査した後に
軸体を一定角度だけ回動してレーザ光を逆方向に走査さ
せ、この場合もレーザ光が被加工個所だけに照射される
ようにコンピュータプログラムによって制御し、このよ
うな操作を繰り返すことにょリレーザ光が照射された被
加工個所のみを加工して動圧発生用の溝を形成するよう
にしている。
てレーザ光を用いて加工する方法が知られている。この
方法は、たとえば特開昭６１〜２６２４７７号公報に開
示されているように、レーザ光を軸体の一端から他端へ
向がって軸方向に走査して、被加工個所だけにレーザ光
が照射されるようにコンピュータプログラムによって制
御し、レーザ光が軸体の一端から他端まで走査した後に
軸体を一定角度だけ回動してレーザ光を逆方向に走査さ
せ、この場合もレーザ光が被加工個所だけに照射される
ようにコンピュータプログラムによって制御し、このよ
うな操作を繰り返すことにょリレーザ光が照射された被
加工個所のみを加工して動圧発生用の溝を形成するよう
にしている。
上記のようにレーザ光によって動圧発生用の溝を成形す
る方法は、加工された溝の周辺にばり（加工屑）が発生
したり、溝底面が粗面になるなど仕上がり精度が劣る欠
点があり、またレーザ光の移動速度の設定等の加工条件
の許容範囲がせまいという欠点がある。
る方法は、加工された溝の周辺にばり（加工屑）が発生
したり、溝底面が粗面になるなど仕上がり精度が劣る欠
点があり、またレーザ光の移動速度の設定等の加工条件
の許容範囲がせまいという欠点がある。
この発明は、上記の欠点を除去して加工精度が高く、加
工条件の設定が容易にできる動圧発生用溝の形成方法を
提供することを目的とする。
工条件の設定が容易にできる動圧発生用溝の形成方法を
提供することを目的とする。
この発明による動圧発生用溝の形成方法は、被加工体の
外面に腐食液に対して耐食性を有する耐食性の被膜を密
着させ、この被膜付き被加工体と被加工体の素材が加工
される臨界値よりも小さくて耐食性の被膜が除去される
臨界値以上のレーザ加工パワー及び周波数を有するレー
ザ光との少なくとも一方を他方に対して走査させながら
レーザ光を被膜付き被加工体の動圧発生用溝パターンの
被加工個所に照射して被加工個所の耐食性の被膜を除去
する。そして、耐食性の被膜が除去された被加工個所を
腐食液によって腐食して動圧発生用溝を形成し、然る後
、被加工体に密着した耐食性の被膜の残留部分を除去す
る。
外面に腐食液に対して耐食性を有する耐食性の被膜を密
着させ、この被膜付き被加工体と被加工体の素材が加工
される臨界値よりも小さくて耐食性の被膜が除去される
臨界値以上のレーザ加工パワー及び周波数を有するレー
ザ光との少なくとも一方を他方に対して走査させながら
レーザ光を被膜付き被加工体の動圧発生用溝パターンの
被加工個所に照射して被加工個所の耐食性の被膜を除去
する。そして、耐食性の被膜が除去された被加工個所を
腐食液によって腐食して動圧発生用溝を形成し、然る後
、被加工体に密着した耐食性の被膜の残留部分を除去す
る。
以下、この発明の実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は、この発明の方法により被加工体１０に形成さ
れた動圧発生用の溝２０．２２の一例を示したものであ
る。この溝２０，２２は何れもヘリングボーン状をなし
ており、被加工体１０の外周面に軸方向に間隔をおいて
配置されている。
れた動圧発生用の溝２０．２２の一例を示したものであ
る。この溝２０，２２は何れもヘリングボーン状をなし
ており、被加工体１０の外周面に軸方向に間隔をおいて
配置されている。
上記の溝２０．２２の溝加工を行うに当っては、まず第
２図に示すように、被加工体ＩＯの外周面に腐食液に対
する耐食性を有する液体を塗布し、この液体を乾燥凝固
させて被加工体１０に耐食性の被膜１２を密着させる。
２図に示すように、被加工体ＩＯの外周面に腐食液に対
する耐食性を有する液体を塗布し、この液体を乾燥凝固
させて被加工体１０に耐食性の被膜１２を密着させる。
次いで、この被膜付き被加工体１０ａを図示しないレー
ザ加工装置に取り付けて、レーザ光１４を軸方向に走査
する。
ザ加工装置に取り付けて、レーザ光１４を軸方向に走査
する。
照射するレーザ光１４のパワー・周波数は、被加工体１
０がレーザ加工される臨界値よりも小さく、被膜１２が
レーザ加工により除去される臨界値と同等以上の値を有
するものを適宜選択して使用する。
０がレーザ加工される臨界値よりも小さく、被膜１２が
レーザ加工により除去される臨界値と同等以上の値を有
するものを適宜選択して使用する。
レーザ光１４の走査は、第１図に示した溝２０゜２２の
パターンが入力されたコンピュータプログラムに基づい
て照射位置と被照射位置とが制御されており、レーザ光
１４が被膜付き被加工体１０ａの始端から終端まで走査
した時点で被膜付き被加工体１０ａを軸心の周りの一定
方向に微少角度だけ回転し、次いでレーザ光１４を被膜
付き被加工体１０ａの終端から始端まで逆方向に走査さ
せ、往行程と復行程との何れの場合も溝２０．２２に対
応する部分、すなわち被加工個所１２ａ、１２ｂだけに
レーザ光１４が照射されるようにしである。
パターンが入力されたコンピュータプログラムに基づい
て照射位置と被照射位置とが制御されており、レーザ光
１４が被膜付き被加工体１０ａの始端から終端まで走査
した時点で被膜付き被加工体１０ａを軸心の周りの一定
方向に微少角度だけ回転し、次いでレーザ光１４を被膜
付き被加工体１０ａの終端から始端まで逆方向に走査さ
せ、往行程と復行程との何れの場合も溝２０．２２に対
応する部分、すなわち被加工個所１２ａ、１２ｂだけに
レーザ光１４が照射されるようにしである。
このような行程を被膜付き被加工体１０ａが１回転する
まで繰り返して行うことにより、レーザ光１４が照射さ
れた被加工個所１２ａ、１２ｂの被膜が除去される。
まで繰り返して行うことにより、レーザ光１４が照射さ
れた被加工個所１２ａ、１２ｂの被膜が除去される。
次いで、上記の被膜付き被加工体１０ａを腐食液に浸漬
すると、被加工体１０の被加工個所１２ａ、１２ｂの表
面層が腐食して、第１図に示した動圧発生用の溝２０．
２２が形成される。
すると、被加工体１０の被加工個所１２ａ、１２ｂの表
面層が腐食して、第１図に示した動圧発生用の溝２０．
２２が形成される。
然る後、被膜付き被加工体１０ａを剥離液に浸漬して被
膜１２の残留部分を剥離して除去することにより、動圧
発生用の溝が形成された被加工体が得られる。
膜１２の残留部分を剥離して除去することにより、動圧
発生用の溝が形成された被加工体が得られる。
上記実施例では被加工体１０にヘリングボーン状の動圧
発生用の溝を形成する場合について説明したが、スパイ
ラル状の動圧発生用の溝についても前記同様の行程によ
り形成することができる。
発生用の溝を形成する場合について説明したが、スパイ
ラル状の動圧発生用の溝についても前記同様の行程によ
り形成することができる。
また、前記実施例で説明したレーザ光の走査は被膜付き
被加工体を定置して行っているが、これとは反対に定置
したレーザ光に対して被膜付き被加工体を軸方向に移動
させてもよく、またレーザ光と被膜付き被加工体との双
方を相対的に移動させて走査するようにしてもよい。
被加工体を定置して行っているが、これとは反対に定置
したレーザ光に対して被膜付き被加工体を軸方向に移動
させてもよく、またレーザ光と被膜付き被加工体との双
方を相対的に移動させて走査するようにしてもよい。
以上説明したように、この発明の動圧発生用溝の形成方
法によれば、被加工体の外面に密着させた耐腐食性被膜
にレーザ光を照射し、耐食性被膜が除去された被加工個
所の表面層を腐食して動圧発生用溝を形成する構成にし
ているから、従来のレーザ光による溝加工のように溝周
辺にばりが生じたり、溝底面が粗面になることがな（、
平滑で仕上がり精度の高い動圧発生用の溝を形成するこ
とができる。
法によれば、被加工体の外面に密着させた耐腐食性被膜
にレーザ光を照射し、耐食性被膜が除去された被加工個
所の表面層を腐食して動圧発生用溝を形成する構成にし
ているから、従来のレーザ光による溝加工のように溝周
辺にばりが生じたり、溝底面が粗面になることがな（、
平滑で仕上がり精度の高い動圧発生用の溝を形成するこ
とができる。
また、この発明に′よれば、レーザ光のパワー・周波数
は被加工体自体が加工される臨界値よりも小さい値のも
のを選定して、被加工体よりも加工しやすい被膜を除去
するようにしているので、加工条件の設定が容易であり
、レーザ加工条件の許容範囲は広くなり、加工が容易な
動圧発生用溝の形成方法が得られる。
は被加工体自体が加工される臨界値よりも小さい値のも
のを選定して、被加工体よりも加工しやすい被膜を除去
するようにしているので、加工条件の設定が容易であり
、レーザ加工条件の許容範囲は広くなり、加工が容易な
動圧発生用溝の形成方法が得られる。
第１図はこの発明の方法によって形成された動圧発生用
の溝を備えた被加工体を示す正面図、第２図はこの発明
の方法によるレーザ光の走査行程を示す正面図である。 図中、１０は被加工体、１０ａ被膜付き被加工体、１２
は被膜、１２ａ、１２ｂは被加工個所、工４はレーザ光
、２０．２２は動圧発生用の溝である。
の溝を備えた被加工体を示す正面図、第２図はこの発明
の方法によるレーザ光の走査行程を示す正面図である。 図中、１０は被加工体、１０ａ被膜付き被加工体、１２
は被膜、１２ａ、１２ｂは被加工個所、工４はレーザ光
、２０．２２は動圧発生用の溝である。
Claims (1)
- 被加工体の外面に腐食液に対して耐食性を有する耐食性
の被膜を密着させ、この被膜付き被加工体と被加工体の
素材が加工される臨界値よりも小さくて耐食性の被膜が
除去される臨界値以上のレーザ加工パワー及び周波数を
有するレーザ光との少なくとも一方を、他方に対して走
査させながらレーザ光を被膜付き被加工体の動圧発生用
溝パターンの被加工個所に照射して被加工個所の耐食性
の被膜を除去し、耐食性の被膜が除去された被加工個所
を腐食液によって腐食して動圧発生用溝を形成し、然る
後、被加工体に密着した耐食性の被膜の残留部分を除去
することを特徴とする動圧発生用溝の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62073651A JPS63238992A (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | 動圧発生用溝の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62073651A JPS63238992A (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | 動圧発生用溝の形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63238992A true JPS63238992A (ja) | 1988-10-05 |
Family
ID=13524401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62073651A Pending JPS63238992A (ja) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | 動圧発生用溝の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63238992A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04203618A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-24 | Ebara Corp | セラミックス製動圧軸受の溝加工方法 |
| JPH04203616A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-24 | Ebara Corp | セラミックス製動圧軸受の加工方法 |
-
1987
- 1987-03-27 JP JP62073651A patent/JPS63238992A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04203618A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-24 | Ebara Corp | セラミックス製動圧軸受の溝加工方法 |
| JPH04203616A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-24 | Ebara Corp | セラミックス製動圧軸受の加工方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0488402B1 (en) | Method of cutting grooves in hydrodynamic bearing made of ceramic material | |
| CN101733260B (zh) | 树脂包覆金属管的包覆树脂层除去方法 | |
| JP2000320544A (ja) | 動圧軸受装置及びその製造方法、並びにその製造方法に用いるコイニングパンチの製造方法 | |
| US6877423B2 (en) | Method to produce a printing form for rotogravure, printing form for rotogravure and their use | |
| US5692287A (en) | Method of manufacturing a metal polygon mirror | |
| JPS61292000A (ja) | 動力学的軸受の支持面にみぞ／フインパタ−ンを作る方法 | |
| JP2005095998A (ja) | 動圧軸受用部品の製造方法 | |
| EP0354773A2 (en) | Optical disk manufacture | |
| JP2001263355A (ja) | 動圧溝付き軸受スリーブの加工方法 | |
| JP2008119735A (ja) | 高硬度材料加工方法 | |
| JPS58179588A (ja) | 動圧流体軸受用軸の溝加工方法 | |
| JPH03257117A (ja) | 動圧発生溝の加工方法 | |
| JPS63245316A (ja) | 軸受溝形成方法 | |
| JP3744082B2 (ja) | 動圧発生溝加工方法および装置 | |
| JP2507058B2 (ja) | 光ディスク原盤及びその製造方法 | |
| JPH02149952A (ja) | スタンパー製造方法 | |
| JPH0221966A (ja) | 部分塗装方法 | |
| JPH0245958B2 (ja) | ||
| JPH0331929B2 (ja) | ||
| JPH04203616A (ja) | セラミックス製動圧軸受の加工方法 | |
| JP3179956B2 (ja) | 溝付き軸受部材の加工方法 | |
| JPH1151056A (ja) | 動圧溝付き軸受スリーブの加工方法 | |
| JPH02243799A (ja) | 微小バリ取り方法及び装置 | |
| JPH0311955B2 (ja) | ||
| JPH04285311A (ja) | 動圧流体軸受 |