JPS6324111A - 投影画像のエツジ検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

この発明は、物体の寸法、変位ｍ等を測定Ｊるための投
影−（象のエツジ検出装置に係り、特に、測定対象物に
、測定用の光線を照射し、これにより生じる）古過光又
は反射光による測定対象物の投影像を、受光素子からな
るセンサーで走査して電気信号を取り出し、この信号に
基づき甚測定物の一１払測定、位置判別、形状判断等を
行うための九゛戸式測定Ｒ′ａにおける投影画像のエツ
ジ検出装置ｔこ関する。 （従来の技術１ 従来この秤光学式測定機器、例えば、投影機は、載物台
、Ｆの測定対象物を平行な光線により照射して、その透
過光又は反射光に基づきスクリーン−［に該測定対象物
の投影像を結像させ、この結像から測定大・１栄物の１
法形状等を測定するものであるが、スクリーンに投影さ
れた測定λｊτと物の嫁のエツジ（端部）は一般的にい
わゆるにじみがあり、従って、載物台、１の測定対象物
を移動さけ、そのスクリーン上の結鍮とヘアラインとの
一敗から測定Ｍ＋をｉ［確に読み込むことは回動である
。 かかる問題点を解消Ｊるために、従来は、結像のエツジ
を光電索子を相対移動させることにより、光電索子の受
光面に投影された像の明部と暗部との面積の割合の変化
から光電素子から出力する°；ｈ気信号の大ぎざの変化
を、参照電圧と比較しＣ５投影画像の端部を検出するも
のがある。 しかしながら、この方法は、外乱光等のノイズの彩管が
大きいと共に、光電素子から得られるイ１−１号又は参
照電圧の変動による測定精ｔＱの低１；が人さいという
問題点がある。 史に、スクリーン上の投影画像の境界（エツジ）に対し
て光電素７−を相対移動させ、その時の出力１８号を２
階微分し、て波形信号を１ｒ？、これと参照；ｕ圧との
比較によってＬツジを検出するｂのがあるが、光電素子
と投影画像との相対移動速度の大小によって、（ラミ出
される：Ｌツジの位置が異なることがあり、史に、前記
と同様に参照電圧の変動による測定ｍＤの低下が大さ゛
いという問題点がある。 更に、充電ｉ、Ｒ７’を２個配置して、これを投影画像
のエツジに対して相対移動させ、これによりＩＩられた
枚数の出力信号から波形の信号を得、これと参照電圧と
の比較によってエツジを検出１ｒるものがあるが、前記
と同様に光電素子から得られた出７Ｊ信号と参照電几と
の相対変化、レベル変動等から測定が非常に不安定とな
り、更に、照射光線の照度に対する適用範囲が狭く、又
、測定態様が限定され且つ、センサ一部あるいは回路部
分が複雑になるという問題点がある。 特に、投影機においては、照射用の光源ランプの疲労、
投影系のレンズ特性、外乱光によりスクリーンＦの投影
１ｉＩＩｉ像の明るさが変化し、又、投影倍率の９）苔
ににり投影画像の明るさが変化したり、史には測定付側
の条件として、例えば測定菖の瞳の色（人種により異な
る）により作業に好適な明るさが冑なるため、これを適
宜に選択しなければならないが、前記のように照射光線
の照度に対７゛る適用範囲が狭いと、結果として投影機
の能力を低下させてしまうことになる。 又、従来のエツジ検出方法では、投影画像のフォーカス
がずれていた場合は、光電索子による出力波形がなだら
かになってしまうので、正確なエツジ検出ができないと
いう問題点があった。 この問題点は、投影機のみならず、一般的に透過光又は
反射光を検出して、直接的又は間接的に測定対論物の寸
法測定等をするための光学式測定機器におけるエツジ検
出に共通の問題である。 これに対して例えば特開昭５８−１７３４０８号に開示
されるように、透過光又は反射光を検出して、直接的又
は間接的に測定ヌ・１象物の１法測定をするための光学
式測定機器にお番づるエツジ検出）！ｐ（において、前
記測定対象物との相対移動時に生ずる明１１ｒ５に基づ
き、少なくとも２組の位相ずれ＋３ｉ″；＝Ｊを光’ｔ
　するよう移動面と略平行く１面内に配設された４個の
受光索子からなるセンサーと、前記６帽のイ◇相ずれ信
号の差を演算する第１及び第２の演算手段と、これら第
１及び第２の演算手段の出カイを号の差を演算する第３
の演舜手段及び和を）寅のすく）第４の演→手段ど、こ
の第４の′ｔ４算手段の出力信号が所定レベルにある間
に生じる、前記第３の演算手段の出１ノ信号とり準レベ
ルのり白ス（ご号を出力する検知手段を設けたものがＬ
’ｉｉ案されている。 この１ツジ検出装置は、測定対象物を照（ト）？Ｊ？、
）光強度、測定中の外乱光等のノイズ、光重素子の出）
）信号あるいは参照電圧の変動による影響を伴なうこと
なり、シかもＯ！１１１′１な構成で、測定対象物の［
ツジを検出することがぐき、又投影機に１６いて、投影
画像の焦点１ｒれがあっても、正確にエツジを検出する
ことができ、更に、光重素子からのアナログ信号を直接
処理することにより、測定対象物のエツジを検出するこ
とができるという利点がある。 しかしながら、上記特開昭５８−１７３／１０８号公報
に開示されるエツジ検出装置は、センナからの出力信号
が基準信号とクロスする点、即ら、測定ス・１ｇ！物の
エツジ位置を含む特定領域を、γり別１Ｊるための手段
として、第４の演算手段の出））　ｒ、−ｊＶ；が所定
レベルにある間にηｉ戚４Ｒ１］を・出力するようにさ
れＣいるが、前記第４の演算手段の出力（：：。 シシのレベルが（［（い場合は、実（際の、［ツジ（◇
Ｚｉ　’ｉ：’、領域信号を発生することができない場
合があろ−ｒいつ問題点を＋ｉηる。 即ち、測定対象物が、例えば半透明（ｌｒｉＴ−製品′
″９の、光を完全に遮断することができない材料で形成
されている場合は、測定対照物を照明・Ｉることによっ
て得られた（Ｑ影画像の明部と暗部の比が小さくなり、
明部を「１」、完全暗部をＩ’　ＯＩとした場合、半透
明硝子製品の投影画像にｄ３けるｕ３部は１よりし小さ
り、」］つ「○」よりも大さい範囲となり、明部と暗部
の差が小さいために、所定レベル以上の信号をｋｌるこ
とができず、従って、領域信号を発生することができな
いことがある。 更に、前記エツジ検出装置は、そのセンυ−が円型に配
置された４個の受光素子から形成されているために、例
えば投影機にお警プるスクリーン」の（Ｑ影画像に対す
る相対移動哨に、受光素子の境界線と移動方向が一致し
たとき、投影画像のエツジを検出できイ￥い場合があり
、従って、投ｖ８画像に対するセンサーの移動方向の制
限が生じるという問題点がある。 これに対して、本出願人は特願昭５９−２／１９２７８
弓により測定対象物が例えば半透明硝子製品等の、光を
完↑に鴻１ｇｉすることができない材１コの場合であっ
ても、そのエツジを確実に検出することがぐきるように
した光学式測定ｎ器にお各プろエツジ検出装置を１２案
している。 上記のようなエツジ検出装置における領域信号発生器は
、アナログのサンプル・ホールド回路を用いて領域信号
を光（七するようにされているので、領域信号が励起さ
れヂに、誤計測をする恐れがあった。 即ち、アナログのサンプル・ホールド回路は、一般的に
トランスミッションゲート、コンデンサ、アン１等を備
え、これらにおいて電流がリークするため、ホールド信
号が一定の減衰率で変化することになる。 １２Ｉに、１ｌｌｌ＋定対蒙物を゛叔ｎ（（”・Ｊろ載
物トンの送り速用がジ１′常に〃い場合や、アナログ信
号たるホールド１３号の小−ルド後にｆｆｉ　＜　ＪＱ
定を１ｊゎないで較物台を停止した後、再び測定を始め
る場合簀には、ハイホールド信号が減衰してじンリー出
力信およりら小さくなるときがあり、このような場合は
、領１或１八号がローレベルとなって、本来出力される
はずのＪ：ツジ信号が出力されることなく、誤計１１１
１が牛しる。 又、リンプル・ボールド回路で基準胎を・設定７１６６
式（よ、エツジ検出装置の電源投入時には早Ｉ′ｌＬ１
〆１がｈく、スクリーン上の投影画像にお；ソる１１）
）部又は暗部でも領域信号が励起されてしまい、このλ
・ｊ策のために、別途の初１０１セット回路を炭＋Ｊな
１ノればならないという問題点がある。 （発明の目的） この発明１１、」記問題点に鑑み′Ｃｈされたしのて・
あって、ｌα影両作；に対するセン１月−の相対的移を
力速度がＵい場合や、センサーの受光部近隣に役影画像
のエツジがあり、ｎつ測定を体ＩＩ、シた１殻ひ測定を
百聞りる場合であっても、領域信号が確実に励起される
ようにして誤ム１測を防１トした投影画像のエツジ検出
装置を提供することを目的とする。 又、初＋９Ｊセツ］・回路を設ける必要がない投影画像
のエツジ検出装置を提供することを目的とする。

【問題点を解決するための手段】

この発明は、透過光又は反射光による測定対象物の投影
画像によって寸法測定をするための光学式測定機器にお
ける投影画像のエツジ検出装置にｔ＋５いて、外周が円
形の内側受光素子、及び、この内側受光素子を囲んでこ
れと同心で面積の等しい輪帯状に配置されてなる外側受
光素子を備え、Ｊ］つ、これら内側受光素子及び外側受
光素子の一方が、円周方向に少なくとも４個の偶数に等
区画された分割受光素子から構成され、前記測定対象物
との相対移８時に生ずる川明に駐づき、位相ずれ信号を
発生するセンサーと、前記分割受光素子のうちの１つの
直径方向に対向する分割受光素子の出力の差が所定値を
越えるときに領域信号を出力するＦ（ｉ　ｌ！！（Ｒ弓
光牛回路と、この領１Ｍ信号光生回路から領Ｉａ信号が
出力されている間であって、萌、〜１シ複数の分割受光
素子の出力の総和と他方の受光素子の出力の値が一致す
るときに、エツジ信号を出力する検知回路と、を設ける
ことにより上記目的を達成するものである。 又、前記一方の受光素子を、４区画されて、円周方向に
第１乃至第４の分割受光素子から構成１［ることにより
上記目的を達成するものである。 又、前記領Ｌｉ！信号発生回路を、前記第１及び第３の
分割受光素子の出力の差を演篩する第１の差演算器と、
前記第２及び第４の分割受光素子の出クツの差を演算す
る第２の差演算器と、前記第１の差演算器の出力信号と
プラス側参照信号及びマイナス側参照信号と比較し、該
出力信号がこれらの参照信号の１直の１７４１にないと
き信号を出力する第１のウィンドコンパレータと、前記
第２の差演算器の出力信号とプラス側参照信号及びマイ
゛ブース側咎照信号と比較し、該出力信号がこれらの参
照信ｇの圃の間にないと８信号を出力する第２のウィン
ドコンパレータと、前記第１及び第２のウィンドコンパ
レータの少なくとも一方が信号を出力するとき領域６号
号を出力するＯＲゲートと、を有するようにして上記目
的を達成するものである。 （作用１ この発明においては、領域信号発生回路にお番〕る・ウ
ィンドコンパレータに入力される信号が、分割受光素子
の出力信号の差であって、Ｄつ、これらの信号と比較さ
れるべき信号は予め設定されたプラス側及びマイナス側
の参照信号Ｖｒｅｆ　十と■ｒｅｆ−であるので、セン
サーの投影画像に対する相対速度が遅い場合、あるいは
、センサーが投影画像のエツジ近傍で測定を一時休止し
た後再開する場合等ぐあっても、確実に領域信号を発生
することができる。 又、初）！ＩＩヒツト回路等を設けることなく、領域信
号が電源投入時に誤って励起されるようなことを防止′
Ｃきる。 【実施例１ 以下本梵明の実施例を図面を参照して説明する。 この実施例は、本発明を、投影機に適用したしのであり
、第１図及び第２図に示されるように、光源ランプ１か
らの光をコンデンサレンズ２を介して載物台３の下方か
ら、あるいは他の光路をｆｒして載物台３の上方から、
該載物台３上の測定対象物４を照射して、その透過光又
は反０４′＃：に基づさ、投影レンズ５を介してスクリ
ーン６上に、測定対τこ物４　ｑ）　ＩＱ影画像４Ａを
結像さ拮、この投影画像４Ａにより、間接的に測定対象
物４の寸法測定等をするための投影機１０における没影
画１慎のエツジ検出装置において、円形の内側受光素子
１２、及び、この内側受光素子１２を囲んでこれと同心
で面積の秀しい輪帯状に配置されてなる外側受光索子１
４を備え、Ｈつ、この外側受光素子１４が、円周方向に
等しく区画された第１〜第４の分割受光素子１４Ａ〜１
４Ｄからなり、前記測定対象物４どの相対移動部にｆ［
する明暗に慕づき、位相ずれ信号を発生するセンサ゛−
１６と、前記分割受光素子１／１Ａ〜１／ＩＤのうちの
直径方向に対向する第１、第３の分割受光素子１／ＩＡ
、１４Ｃ又は第２、第１の分２１１１費光索子１４８．
１４Ｄの出力の外がｊ！Ｉｉ定（１貞を越えるとぎにｆ
ｌｌ他信号出力づ“る領域信号発生回路１８と、この領
域信号発生回路１８から領域信号が出力されている間で
あつＣ，前記複数の分割受光索子１４Ａ〜１４Ｄの出力
の総和と内側受光素子１２の出力の鎖が一致するときに
、Ｔツジ信号を出力する検知回路２０とを説（プたしの
である。 前記領域■ｆ？ｉ発生回路１８は、前記第１及び第３の
分割受光索子１４Ａ、１４Ｃの出力の差を演算ザる第１
の差油！′７′Ｊ！Ａ２２と、前記第２及び第１の分割
受光素子１４８，１４０の出力の差を演算する第２の差
演算器２４と、前記′？Ａ１の差演算器２２の出力信号
とプラスｌ１１１Ｉ参照信号ｒｅｆ　”及びンイプス側
参照信号＼／　ｒｅｆ−と比較し、該出力信→がこれら
の参照信号ｙｒｅｒ＋とＶｒｅ（−の圃の間にないとき
信号を出力する第１のウィンドコンパレータ２６と、前
記第２の差演算器２４の出力（Ｆｉ　＞；とプラス側参
照信号Ｖｒｅｆ　＋及びマイナス側参照信２シＶｒ’ｅ
ｆ−と比較し、該出力信号がこれらの参照信号Ｖ　ｒｅ
ｆ十とＶｒｅｆ−の値の間にないときｔ）号を出力づる
第２のウィンドコンパレーク２８と、１°１：前記第１
及び第２のウィンドコンパレータ２６．２８の少なくと
も一方が佑７Ｊを出力するとき順戦は号を出力するＯＲ
ゲート３ｏとを備えている。 前記センナ−１６は、第１図に示されるように、投影機
１０のスクリーン６の上、而にこれと平行にｄつ１？１
動可１１ヒに載置された透明板７と一体的に設けられ、
前記透明板７と共に、移動できるよ・うにされでいる。 前記センサー１６の外側受光索子１４は、内側受光索子
１２の周囲に、半径方向の間隔をおいて同心の輪状に形
成されている。 又、前記検知回′ｊ８２０は、ブリアン１１５△〜１５
Ｄを介して入力される前記４個の分割受光ゑ子１４△〜
１４Ｄの出力信シシの和を演障する和演員器３２と、こ
の和）寅算器３２の出カイ８号とプリアンプ１２Ａによ
り増幅された内側受光素子１２の出力信号との差を演免
する差演算器３４と、このｌ、演Ｑ器３４の出力信号と
基準レベルの４８号とを比較して、雨音が一致するとき
、叩らクロスポイントに（１５いて信号を出力する比較
器３６と、この１ヒ較器；３６から侶日が出力されたと
き、これにＪ、ｔづいて１ツジバルス信号を発生するパ
ルス信；シ発生器３８と、このパルス信＠発生器３日及
び１）１１２領ｉｉｉ！ｔ、：；８允ｌ［回路１８の両
者から信ｇが出力されているときのみエツジ検出信号を
出力するΔＮ１〕ゲート４０と、を備えている。 この八Ｎ　Ｉ）ゲート４０からの出力信号は、載物台３
に連動σる変位検出装置４２の）Ｊウンタ４７′ｌにエ
ツジ検出信号を出力するようにされている。 この変（Ｑ検出装置４２は、前記載物台３に連動してそ
の移妨邑に応じてパルス信号を発生するエンコーダ４６
と、このｌンコーダ４６から出ソノされるパルス信号を
読１佼るＩ前記カウンタ４４とから構成されている。 このカウンタ４４は、前記ＡＮＤゲート４０から１ツジ
検出ｆｌｉ　′；″Ｊが入力されるときに、その読取り
給を記憶装置４ε３に出力するようにされている、。 次に上記実施例の作用を説明する。 スクリーン６上に結像された測定対象物４の投影画像４
Ａを、載物台３を移動させることにより、セン１７−１
６に対して第２図のＸ方向に相対的に移り１させ、投影
画像４Ａのエツジがセンサー１Ｇを横切るようにりる。 投影画像４Ａが、センサー１６に相対的に接′ＪＵし１
１つこれを通過した場合は、内側受光素子１２により得
られ、プリアンプ１２Ａにより調整されで、検知回路２
０に入力される信号、及び、受光索子１４により得られ
、プリアンプ１５Ａ〜１５Ｄにより１．ｇＩ整されて、
検知回路２０における和演専器３２を杼た信号は、第３
図（Ａ＞に符号ａ及びｂによって示されるように、振幅
の等しい（り相ずれ（Ｅｉ　５シどなる。これらの出力
信号は、第３図＜８）に示されろように、差演算器３４
によりＣ＝ａ−ｂに演算され、出力される。 前記外側受光素子１４における第１及び第３の分割受光
索子了１４△、１４Ｃによって得られた信号はプリアン
プ１５Ａ、１５Ｇを経て、信号Ａ１Ｃとし゛Ｃ第１の差
演睦器２２に入力される。 この第１の１ＢＡｎ器は入力された２つの信号△、Ｃの
差を演算して、その結束の信号ｆ　＝Ａ−Ｃを第１のウ
ィンドコンパレータ２６に出力する。 又、前記外側受光素子１４における第２及び第４の分割
受光系子１４Ｂ、１４Ｄ、によって得られた信号はプリ
アンプ１５８，１５０によって調整された後、信号Ｂ、
Ｄとして第２の差演９：梠２／１に出力される。 この第２０差演ｐ器２４は入力された２つの仁＠８１Ｄ
の差を演算してその信＠ｑ−Ｂ−Ｄを第２のウィンドコ
ンパレータ２８に出力する。 ここぐ、前記センサー１６が、投影画像４Ａに対して、
第２図に示されるように、第１及び第３の分割受光素７
１４Ａ、１４Ｃの中心を通る直径のｈ向に、第１の分割
受光系子１４△側から相対的に接近した場合、第１の差
演算器２２の出ノ〕信号［は第３図（Ｄ＞で示されるよ
うになる。 これに対して、第２及び第４の分割受光素子１／Ｉ’Ｂ
、１／ＩＤは投影側１ｇ！４へのエツジに対して常に等
距離となるように相対的に移動されるので、両名の出力
信号の差、即ち第２の差演算器２４の出力信号０−Ｏと
なる。 前記第１のウィンドコンパレータ２６は、第１の差演算
器２２からの入力信号ｆの値が予め設定されたプラス側
参照信号Ｖｒｅｆ＋及びマイナス側参照信号Ｖｒｅｆ−
と比較して、出力信号９がこれら参照信号の（山の間に
ないときにその出力信号１）がハイレベルとなる。 即ち、第３図（Ｅ）に示されるような信号りがＯＲゲー
ト３２に対して出力されることになる。 一方、第２の差演算器２４の出力信号はｏ−０となり、
プラス及びマイナス側参照信号ｖｒｅｒ”と’Ｊ　ｒｅ
ｆ−との間にあるので、第２のウィンドコンパレータ２
８は信号を出力しない。 従って、ＯＲゲート３０に対しては第１のウィンドコン
パレータ２６の出力信号りのみが入力され、このため、
該ＯＲゲート３０は第３図（Ｆ）に示されるような領域
信号ｊを検知回路２０のＡＮＤゲート４０に対して出力
することになる。 一方、前記差演算器３４によって出力される差動出力信
号Ｃは比較器３６に入力され、この比較器３Ｇは、差動
出力信号ＣがＯの基準レベル信号とクロスする時に信号
ｋを出力する。比較器３６の出力イサ号ｋに基づき、パ
ルス信号発生！３８は、第３図（Ｃ）に示されるような
パルス信号１をＡＮＤゲート４０に出力する。 前記パルス信号発生器３８からのパルス信号℃と、ＯＲ
ゲート３０からのデジタル信号ｊは、ＡＮＤゲート４０
に入力され、このＡＮＤゲートは、該入力（ｇ　号が共
にハイレベルの時に、第３図（Ｇ）で示されるように、
例えば、１０μ３ｅｃのパルス信号ｍを出力し、この時
点で、投影側Ｉ＆４△のエツジを検出する。 ここで、前記比較器３６は、入力信号Ｃが零レベルを横
切る際に信号ｋを出力する。 従って、比較器３６は、センサー１６が投影側（ｍ４Ａ
のエツジの外側あるいは内側、即ち、明部や暗部であっ
ても不要な信号ｋを出力し、その都度、パルス信号発生
器３８は第３図（Ｃ）において示されるような不要なパ
ルス信号し１あるいはＬ２を出力してしまうことになる
が、これは、領域信号発生回路１８からの領域信号ｊと
パルス信号発生器３８からのパルス信号ぶの両者がＡＮ
Ｄゲート４０に入力されたときのみエツジ信号が出力さ
れるので、不要なパルス信号Ｌ１及びＬ２に基づくエツ
ジ信号が出力されることはない。 この実施例においては、領域信号発生回路１８における
第１及び第２のウィンドコンパレータ２６．２８に入力
される信号が、分割受光素子１４Ａ、１４Ｇ及び１４Ｂ
、１４Ｄの出力信号の差であって、且つ、これらの例月
と比較されるべき信号は予め設定されたプラス側及びマ
イナス側の参照信号Ｖ　ｒｅｆ十とＶｒ＋Ｊ″′″であ
るので、センサー１６の投影画像４八に対する相対速度
が遅い場合、あるいは、センサー１６が投影側１ｆＪ４
Ａのエツジ近傍で測定を一時休止した後再開する場合等
であっても、確実に領域信号を発生することができる。 又、初期セット回路等を設けることなく、領域信号が電
源投入時に誤って励起されるようなことを防止できる。 なお上記実施例の作用は、第２図に示されるように、第
１及び第３の分割受光素子１４Ａ、１４Ｃの中心を通る
直径方向に、センナ−１６が投影画像４△のエツジに対
してこれを横切るようにした場合のものであるが、セン
サー１６が上記と直交する方向くＹ方向）に移動する場
合あるいは斜めに移動する場合であっても、前記と同様
にエツジ信号ｍを１（することができる。 更に、上記実施例において、センサー１６を構成する内
側受光素子１２が円形であって、且つ外［１１１受光索
子１４が円周方向に４等分された分割受光素子１４Ａ〜
１４Ｄから構成されているが、本発明はこれに限定され
るものでなく、内側受光素子１２が分割されるものであ
ってもよい。 又、内側受光索子１２及び外側受光素子１４が共に輪状
であってもよい。 更に、内側又は外側受光素子１２．１４の分割区画の数
は、４個以上の偶数であればよい。 従って、内側受光索子１２又は外側受光素子１４を６個
あるいは８個に等分割するようにしてもよい。 更に前記大す５例は、載物台３を移動させることにより
ｔ、Ｑ彩画ｍ４Ａをセンサー１６に対して移動さけるも
のであるが、これは、投Ｖ二画像４Ａにλｊしてセンサ
ー１６を移動させるようにしてらよい。 又、上記実施例は、投影機においてそのスクリーン上の
投影画像のエツジを測定する場合のものであるが、本発
明はこれに限定されるものでなく、光学式測定機器等に
おける投影画像のエツジ検出装置に一般的に適用される
ものである。 従って、例えば、光学格子を形成したメインスケール及
びインデックススケールの相対移動から、充電的に寸法
等を測定するための光電式測長器、あるいはレーザー光
等により測定対象物を平行走査して、その明部と暗部か
ら該測定対象物の寸法等を測定する測定機器等における
エツジ検出装置にも適用されるものである。 ［１明の効果］ 本発明は上記のように構成したので、投影画像に対する
センサーの移動速度が遅い場合、あるいは投影画像のエ
ツジ近傍においてセン會ナーを一時停止させ、再度移動
させた場合であっても、＠ｆ尖に領域信号を励起させて
、投影画像のエツジを検出することができるという優れ
た効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る投影画像のエツジ検出装保を投影
故に実施した場合の実施例を示す光学系統図、第２図は
同実施例の構成を示すブロック図、第３図は同実施例に
おける信号処理の過程を示す線図である。 ４・・・測定対象物、 ４△・・・投影画像、 １２・・・内側受光素子、 １４・・・外側受光素子、 １４Ａ〜１４Ｄ・・・分割受光素子、 １６・・・センサー、 １８・・・領域信号発生回路、 ２０・・・検知手段、 ２２・・・第１の差演睡器、 ２４・・・第２の差ＦＡ算器、 ２６・・・第１のウィンドコンパレータ、２８・・・第
２のウィンドコンパレータ、３０・・・ＯＲゲート、 ３２・・・和演算器、 ３８・・・パルス信号発生器、 ４０・・・ＡＮＬ）ゲート。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）透過光又は反射光による測定対象物の投影画像に
   よつて寸法測定をするための光学式測定機器における投
   影画像のエッジ検出装置において、外周が円形の内側受
   光素子、及び、この内側受光素子を囲んでこれと同心で
   面積の等しい輪帯状に配置されてなる外側受光素子を備
   え、且つ、これら内側受光素子及び外側受光素子の一方
   が、円周方向に少なくとも４個の偶数に等区画された分
   割受光素子から構成され、前記測定対象物との相対移動
   時に生ずる明暗に基づき、位相ずれ信号を発生するセン
   サーと、前記分割受光素子のうちの１つの直径方向に対
   向する分割受光素子の出力の差が所定値を越えるときに
   領域信号を出力する領域信号発生回路と、この領域信号
   発生回路から領域信号が出力されている間であつて、前
   記複数の分割受光素子の出力の総和と他方の受光素子の
   出力の値が一致するときに、エツジ信号を出力する検知
   回路と、を設けてなる投影画像のエツジ検出装置。
2. （２）前記一方の受光素子は、４区画されて、円周方向
   に第１乃至第４の分割受光素子から構成されてなる特許
   請求の範囲第１項記載の投影画像のエッジ検出装置。
3. （３）前記領域信号発生回路は、前記第１及び第３の分
   割受光素子の出力の差を演算する第１の差演算器と、前
   記第２及び第４の分割受光素子の出力の差を演算する第
   ２の差演算器と、前記第１の差演算器の出力信号とプラ
   ス側参照信号及びマイナス側参照信号と比較し、該出力
   信号がこれらの参照信号の値の間にないとき信号を出力
   する第１のウインドコンパレータと、前記第２の差演算
   器の出力信号とプラス側参照信号及びマイナス側参照信
   号と比較し、該出力信号がこれらの参照信号の値の間に
   ないとき信号を出力する第２のウインドコンパレータと
   、前記第１及び第２のウインドコンパレータの少なくと
   も一方が信号を出力するとき領域信号を出力するＯＲゲ
   ートと、を有してなる特許請求の範囲第２項記載の投影
   画像のエッジ検出装置。