JPS6324588A - エレクトロルミネセントディスプレイパネルおよびその製造方法 - Google Patents
エレクトロルミネセントディスプレイパネルおよびその製造方法Info
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- JPS6324588A JPS6324588A JP62109629A JP10962987A JPS6324588A JP S6324588 A JPS6324588 A JP S6324588A JP 62109629 A JP62109629 A JP 62109629A JP 10962987 A JP10962987 A JP 10962987A JP S6324588 A JPS6324588 A JP S6324588A
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- display panel
- electroluminescent display
- main layer
- manufacturing
- dopant
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- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/12—Light sources with substantially two-dimensional [2D] radiating surfaces
- H05B33/14—Light sources with substantially two-dimensional [2D] radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of the electroluminescent material, or by the simultaneous addition of the electroluminescent material in or onto the light source
- H05B33/145—Arrangements of the electroluminescent material
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- H—ELECTRICITY
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- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/12—Light sources with substantially two-dimensional [2D] radiating surfaces
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K2323/00—Functional layers of liquid crystal optical display excluding electroactive liquid crystal layer characterised by chemical composition
- C09K2323/06—Substrate layer characterised by chemical composition
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10S428/917—Electroluminescent
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の背景コ
この発明は、ディスプレイ装置に関し、特に、薄膜エレ
クトロルミネセントディスプレイパネルに関するもので
ある。
クトロルミネセントディスプレイパネルに関するもので
ある。
電界に対して特殊な発光材料（時には、螢光体と呼ばれ
る）をさらすことによって得られるエレクトロルミネセ
ント効果を利用して、発光ディスプレイ装置が製造され
ている。たとえば、米国特許第４’、３４２，９４５号
を参照されたい。
る）をさらすことによって得られるエレクトロルミネセ
ント効果を利用して、発光ディスプレイ装置が製造され
ている。たとえば、米国特許第４’、３４２，９４５号
を参照されたい。
異なった色を出す螢光体が見つけられている。
いくつかの螢光体を使用してマルチカラーディスプレイ
を作る試みがなされている。いくつかの色を得るために
、異なった螢光体層を積み雷ねると胃贋咥 Ｏｌｇ、ｌ）による資料では、レーザ光化学蒸ｉＨによ
って空間的に変、要された活性体ドーピングを使用する
ことによって、マルチカラー装置が作られ得るというこ
とを提案している。「空間的に選択件のある活性体ドー
ピングを用いた２色薄膜エレクトロルミネセンスＪ 、
ＳＩＤ ８３ Ｄｉｇｅｓｔ、 Ｉ）り 。
を作る試みがなされている。いくつかの色を得るために
、異なった螢光体層を積み雷ねると胃贋咥 Ｏｌｇ、ｌ）による資料では、レーザ光化学蒸ｉＨによ
って空間的に変、要された活性体ドーピングを使用する
ことによって、マルチカラー装置が作られ得るというこ
とを提案している。「空間的に選択件のある活性体ドー
ピングを用いた２色薄膜エレクトロルミネセンスＪ 、
ＳＩＤ ８３ Ｄｉｇｅｓｔ、 Ｉ）り 。
１３８−１３９を参照願いたい。他の研究者は、ＺｎＳ
がＭｎイオンとともに注入されてエレクトロルミネセン
ス膜を作るということを示している。
がＭｎイオンとともに注入されてエレクトロルミネセン
ス膜を作るということを示している。
るｒ Ｍ ｎとともにドープされたＺｎＳの膜のルミネ
セントおよび電気特性の研究Ｊ 、 Ｊｏｕｒｎａｌ
ｏｒの光ルミネセンスにおけるＭｎ６度の影’ｆ？Ｊ
、 ＪＰｈｙｓ、 Ｄ、Ａｐｐｌ、Ｐｈｙｓ、１６ （
１９ｇ ３） 、 ｐｐ、 ２２５−２３２を参照願
いたい。
セントおよび電気特性の研究Ｊ 、 Ｊｏｕｒｎａｌ
ｏｒの光ルミネセンスにおけるＭｎ６度の影’ｆ？Ｊ
、 ＪＰｈｙｓ、 Ｄ、Ａｐｐｌ、Ｐｈｙｓ、１６ （
１９ｇ ３） 、 ｐｐ、 ２２５−２３２を参照願
いたい。
［発明の概要］
この発明の目的は、イオン注入を用いることによって薄
膜エレクトロルミネセンス（Ｔ Ｆ Ｅ Ｌ）ディスプ
レイパネルを提供することである。
膜エレクトロルミネセンス（Ｔ Ｆ Ｅ Ｌ）ディスプ
レイパネルを提供することである。
また、この発明の目的は、マルチカラーＴＦＥＬディス
プレイパネルを提供することである。
プレイパネルを提供することである。
この発明によれば、ＥＬ層は、主層内の選択された位置
にドーパントのイオン注入を行なうことによって作られ
る。この方法では、異なったドーパントイオンを持つＥ
Ｌ材料のストライプが、精密に形成され得る。また、こ
れらの異なったストライプは、マルチカラーディスプレ
イパネルを得るために、別々の電極によってアドレスさ
れ得る。
にドーパントのイオン注入を行なうことによって作られ
る。この方法では、異なったドーパントイオンを持つＥ
Ｌ材料のストライプが、精密に形成され得る。また、こ
れらの異なったストライプは、マルチカラーディスプレ
イパネルを得るために、別々の電極によってアドレスさ
れ得る。
この発明のこれらの目的、およびその他の目的、および
特徴は、図面を参照して行なわれる以下の詳細な説明か
ら明らかとなろう。
特徴は、図面を参照して行なわれる以下の詳細な説明か
ら明らかとなろう。
［好ましい実施例の説明］
エレクトロルミネセンスを与えるのに適当な主層内にド
ーパントが注入され得るということが発見されており、
また、これらのドーパントが、そのイオン注入されたド
ーパントを持つ主層の熱処理前か、あるいは熱処理のと
きに十分な側方拡散なしに一定のパターンに限定され得
るということも発見されている。
ーパントが注入され得るということが発見されており、
また、これらのドーパントが、そのイオン注入されたド
ーパントを持つ主層の熱処理前か、あるいは熱処理のと
きに十分な側方拡散なしに一定のパターンに限定され得
るということも発見されている。
Ｙ２Ｏ，誘電層が、透明電極を有しているガラス基板上
に付着された。緑のエレクトロルミネセンスを生じさせ
るのに適したテルビウムフッ化物ドーパントを持つＺｎ
Ｓの主層が、誘電層の上部に付着された。０．０１イン
チの幅の開口のストライプを有しているフォトレジスト
パターンが、普通のりソグラフィ技術を用いて主層上に
形成された。そのサンプルは、その後、イオン注入チャ
ンバ内に置かれ、そして２００ｋＶの加速電圧を用いて
１０１６イオン／Ｃｍ２の束でＭ ｎイオンを注入した
。
に付着された。緑のエレクトロルミネセンスを生じさせ
るのに適したテルビウムフッ化物ドーパントを持つＺｎ
Ｓの主層が、誘電層の上部に付着された。０．０１イン
チの幅の開口のストライプを有しているフォトレジスト
パターンが、普通のりソグラフィ技術を用いて主層上に
形成された。そのサンプルは、その後、イオン注入チャ
ンバ内に置かれ、そして２００ｋＶの加速電圧を用いて
１０１６イオン／Ｃｍ２の束でＭ ｎイオンを注入した
。
その後、そのサンプルをチャンバから取出し、そのフォ
トレジストパターンを取り除き、そして６００°Ｃで熱
処理を施した。その熱処理は、主材料を、アモルファス
から多結晶構造に変換し、Ｍｎ注入物を再分配し、さら
に、注入時に生じた欠陥を除去するように作用する。そ
の結果、エレクトロルミネセンスのときより明るいもの
が得られる。
トレジストパターンを取り除き、そして６００°Ｃで熱
処理を施した。その熱処理は、主材料を、アモルファス
から多結晶構造に変換し、Ｍｎ注入物を再分配し、さら
に、注入時に生じた欠陥を除去するように作用する。そ
の結果、エレクトロルミネセンスのときより明るいもの
が得られる。
第１図は、二次イオン質量分光測定による解析に基づ＜
Ｍｎストライプ内のＭ ｎ 濃度を示している。縦軸（
数）は、Ｍｎの濃度に比便すし、横軸（深さ）は、４０
０ ｏｉの厚さの主層内における位置を示している。
Ｍｎストライプ内のＭ ｎ 濃度を示している。縦軸（
数）は、Ｍｎの濃度に比便すし、横軸（深さ）は、４０
０ ｏｉの厚さの主層内における位置を示している。
第２図は、適当な電圧がサンプル内のすべてのストライ
プを横切るように与えられたときに得られるストライプ
のパターンを、（約２０ｘで）示している。各ストライ
プは、０．０１インチの幅である。黄色のストライプ２
は、イオン注入されたＭｎドーパントによって形成され
た。緑のストライプ４は、フォトレジストパターンによ
ってイオン注入から保護されたＺｎＳ ： ＴｂＦ、主
層のエレクトロルミネセンスによって作られる。
プを横切るように与えられたときに得られるストライプ
のパターンを、（約２０ｘで）示している。各ストライ
プは、０．０１インチの幅である。黄色のストライプ２
は、イオン注入されたＭｎドーパントによって形成され
た。緑のストライプ４は、フォトレジストパターンによ
ってイオン注入から保護されたＺｎＳ ： ＴｂＦ、主
層のエレクトロルミネセンスによって作られる。
この発明の重要な特徴は、はっきりした輪郭が２個の色
のついたストライプの間に得られるという事実である。
のついたストライプの間に得られるという事実である。
拡大して調べてみると、境界部において色の混合が存在
していなかった。このことは、サンプルを６００℃で熱
処理したという事実にもかかわらず、側方におけるイオ
ン注入されたＭ ｎの拡散がないということを示してい
る。このことは、イオン注入が、単一の主層内にはっき
りと規定された色ストライプを提供するのに使用され得
るということを意味し、それによって、マルチカラーデ
ィスプレイを与え得ることをも意味する。
していなかった。このことは、サンプルを６００℃で熱
処理したという事実にもかかわらず、側方におけるイオ
ン注入されたＭ ｎの拡散がないということを示してい
る。このことは、イオン注入が、単一の主層内にはっき
りと規定された色ストライプを提供するのに使用され得
るということを意味し、それによって、マルチカラーデ
ィスプレイを与え得ることをも意味する。
著しい側方拡散がないということが観察されたが、６０
０’Ｃの熱処理のとき、長さ方向（注入方向）において
いくらかの拡散が存在し得るようである。このことは、
第１図に示すようにイオン注入されたドーパントの均一
な分配を与えることによって役に立つ。そのような差別
拡散は、主材料の好ましい配向によって生じ得る。
０’Ｃの熱処理のとき、長さ方向（注入方向）において
いくらかの拡散が存在し得るようである。このことは、
第１図に示すようにイオン注入されたドーパントの均一
な分配を与えることによって役に立つ。そのような差別
拡散は、主材料の好ましい配向によって生じ得る。
第３図は、１０１６イオン／Ｃｍ２の束のＭｎでイオン
注入した３個の異なった厚さく２０００人、４０００Å
、６０００Ａ）の層に対する、輝度とピーク電圧との関
係を示している。６０００人の厚さの層は、最も明るい
成果を与えた。わずか１０１５イオン／Ｃｍ２の束で同
様のテストを行なったが、その場合には、約２１／２の
ファクタだけ輝度を減じた。
注入した３個の異なった厚さく２０００人、４０００Å
、６０００Ａ）の層に対する、輝度とピーク電圧との関
係を示している。６０００人の厚さの層は、最も明るい
成果を与えた。わずか１０１５イオン／Ｃｍ２の束で同
様のテストを行なったが、その場合には、約２１／２の
ファクタだけ輝度を減じた。
第４図は、この発明に従ったマルチカラーＴＦＥＬディ
スプレイパネルの拡大断面図である。ガラス基板６は、
この分野においてよく知られている錫酸化物またはイン
ジウム錫酸化物の透明電極８を有している。透明電極８
は、Ｙ２Ｏ３のような絶縁誘電層１０で覆われている。
スプレイパネルの拡大断面図である。ガラス基板６は、
この分野においてよく知られている錫酸化物またはイン
ジウム錫酸化物の透明電極８を有している。透明電極８
は、Ｙ２Ｏ３のような絶縁誘電層１０で覆われている。
ＺｎＳまたは他の適当な材料の主層１２は、電子ビーム
蒸着またはスパッタリングのような公知の方法を用いて
誘電層１０の上に形成される。
蒸着またはスパッタリングのような公知の方法を用いて
誘電層１０の上に形成される。
第４図に示されている例では、密接して配置される３個
の原色を与えるために、３個の異なったイオン注入が主
層１２内になされている。たとえば、ストライプ１４に
はＥｕがイオン注入されて赤色のエレクトロルミネセン
ス（Ｅ Ｌ）を提供し、ストライプ１６にはＴｍまたは
Ｃｅがイオン注入されて青色のＥＬを提供し、ストライ
プ１８にはＴｂが注入されて緑色のＥＬを提供している
。もちろん、他の適当なドーパントも使われ得る。
の原色を与えるために、３個の異なったイオン注入が主
層１２内になされている。たとえば、ストライプ１４に
はＥｕがイオン注入されて赤色のエレクトロルミネセン
ス（Ｅ Ｌ）を提供し、ストライプ１６にはＴｍまたは
Ｃｅがイオン注入されて青色のＥＬを提供し、ストライ
プ１８にはＴｂが注入されて緑色のＥＬを提供している
。もちろん、他の適当なドーパントも使われ得る。
熱処理後に、第２の絶縁誘電層２０がイオン注入された
主層（または活性層）の−にに形成され、そして、背面
側電極２２，２４．２６が、各イオン注入されたストラ
イプの上に直接正確に形成される。背面側電極は、典型
的にはアルミニウムであり、それらは、たとえばイオン
注入された列を規定するのに使用されるフォトリソグラ
フィ技術を用いて形成され得る。各電極は、コンタクト
２８．３０によって代表されるような公知の駆動回路に
よって別々にアドレスされる。
主層（または活性層）の−にに形成され、そして、背面
側電極２２，２４．２６が、各イオン注入されたストラ
イプの上に直接正確に形成される。背面側電極は、典型
的にはアルミニウムであり、それらは、たとえばイオン
注入された列を規定するのに使用されるフォトリソグラ
フィ技術を用いて形成され得る。各電極は、コンタクト
２８．３０によって代表されるような公知の駆動回路に
よって別々にアドレスされる。
適当な電圧が電極を横切って与えられると、電極交差部
間の活性層内に作られるピクセルで光が発せられる。電
極８は、１個のピクセルにおいて単一の広い電極となり
得る。しかしながら、十分なマルチカラーを得るために
、各イオン注入されたストライプが、それ自身の個々の
電極２２．２４、または２６によって別々にアドレスさ
れる。
間の活性層内に作られるピクセルで光が発せられる。電
極８は、１個のピクセルにおいて単一の広い電極となり
得る。しかしながら、十分なマルチカラーを得るために
、各イオン注入されたストライプが、それ自身の個々の
電極２２．２４、または２６によって別々にアドレスさ
れる。
上記例示によって説明したように、）′！す膜エレクト
ロルミネセント装置（ＴＦＥＬ）は、普通には、安定度
を改良するために、発光層（活性層）の両面に誘電層を
をしている。しかしながら、活性層の一方の面にのみ誘
電層をＦ、１つ装置を製造することも可能である。この
発明は、また、そのような−刃側面の誘電層の装置に対
しても適用され得る。
ロルミネセント装置（ＴＦＥＬ）は、普通には、安定度
を改良するために、発光層（活性層）の両面に誘電層を
をしている。しかしながら、活性層の一方の面にのみ誘
電層をＦ、１つ装置を製造することも可能である。この
発明は、また、そのような−刃側面の誘電層の装置に対
しても適用され得る。
いくつかの実施例において、薄い活性層を支持する基板
は、透明材、料というよりもむしろ不透明材料となり得
る。たとえば、基板は、その上に集積回路を有している
不透明半導体材料となり得る。
は、透明材、料というよりもむしろ不透明材料となり得
る。たとえば、基板は、その上に集積回路を有している
不透明半導体材料となり得る。
そのような場合、発光を観察し得るようにするために、
基板と反対側の表面には、透明電極が設けられる。
基板と反対側の表面には、透明電極が設けられる。
上記例示は、交流薄膜エレクトロルミネセンス（ＡＣＴ
ＦＥＬ）装置層を説明するのに用いられたが、この発明
は、直流ＴＦＥＬ装置に対しても適用され得る。そのよ
うなり、 Ｃ，装置は、その直流特性のために、誘電
層を必要としない。
ＦＥＬ）装置層を説明するのに用いられたが、この発明
は、直流ＴＦＥＬ装置に対しても適用され得る。そのよ
うなり、 Ｃ，装置は、その直流特性のために、誘電
層を必要としない。
この発明から逸脱することなく多くのバリエーションが
なされ得る。したがって、上述されたこの発明の形態は
例示的なものであり、この発明の範囲を限定することを
意図するものではないと理解されねばならない。
なされ得る。したがって、上述されたこの発明の形態は
例示的なものであり、この発明の範囲を限定することを
意図するものではないと理解されねばならない。
第１図は、ＺｎＳの主７層内におけるマンガンの濃度を
示している深さの線図である。 第２図は、ＺｎＳ ： ＴｂＦ、主層内にイオン注入さ
れているＭｎによって作られた４個の緑色のエレクトロ
ルミネセントストライプおよび３個の黄色のエレクトロ
ルミネセントストライプを示している拡大図である。 第３図は、１０１５イオン／Ｃｍ２の束のＭ ｎで注入
された３種類の厚さのＺｎＳ主材料に対する輝度と電圧
との関係をプロットしている図である。 第４図は、この発明にしたがったマルチカラーＴＦＥＬ
ディスプレイパネルの図解的断面図である。 図において、２は黄色のストライプ、４は緑色のストラ
イプ、６はガラス基板、８は透明電極、１０は誘電層、
１２は主層、１４，１６．’１ｌｌｌはストライプ、２
０は誘電層、２２，２４．２６は背面側電極を示す。 特許出願人 ロックウェル・インターナショナル・コー
ポレーション ＦＩＧ、 ２ ブンアル〜ｏ、 ＝ Ｚｈ Ｓ ： ＭＦＩ イ＞７
’５〉） ｌ０ｆｌＧ（−）ｔ 足 ＦＩＧ、 ３ 手続補正書く方式） １．事件の表示 昭和６２年特許願第１０９６２９号 ２、発明の名称 エレクトロルミネセントディスプレイパネルおよびその
製造方法３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 アメリカ合衆国、カリフォルニア州、エル・セ
グンドイースト・イムベリアル・ハイウェイ、２２３０
名称 ロックウェル・インターナショナル・コーポレ
ーション代表者 フレイブ・オー・マリン ４、代理人 住 所 大阪市東区平野町２丁目８番地の１ 平野町八
千代ビル電話 大阪（０６）２２２−０３８１ （代）
６、補正の対象 図面全図 ７、補正の内容 製出で描いた図面企図を別紙のとおり補充致します。な
お、内容についての変更はありません。 以上
示している深さの線図である。 第２図は、ＺｎＳ ： ＴｂＦ、主層内にイオン注入さ
れているＭｎによって作られた４個の緑色のエレクトロ
ルミネセントストライプおよび３個の黄色のエレクトロ
ルミネセントストライプを示している拡大図である。 第３図は、１０１５イオン／Ｃｍ２の束のＭ ｎで注入
された３種類の厚さのＺｎＳ主材料に対する輝度と電圧
との関係をプロットしている図である。 第４図は、この発明にしたがったマルチカラーＴＦＥＬ
ディスプレイパネルの図解的断面図である。 図において、２は黄色のストライプ、４は緑色のストラ
イプ、６はガラス基板、８は透明電極、１０は誘電層、
１２は主層、１４，１６．’１ｌｌｌはストライプ、２
０は誘電層、２２，２４．２６は背面側電極を示す。 特許出願人 ロックウェル・インターナショナル・コー
ポレーション ＦＩＧ、 ２ ブンアル〜ｏ、 ＝ Ｚｈ Ｓ ： ＭＦＩ イ＞７
’５〉） ｌ０ｆｌＧ（−）ｔ 足 ＦＩＧ、 ３ 手続補正書く方式） １．事件の表示 昭和６２年特許願第１０９６２９号 ２、発明の名称 エレクトロルミネセントディスプレイパネルおよびその
製造方法３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 アメリカ合衆国、カリフォルニア州、エル・セ
グンドイースト・イムベリアル・ハイウェイ、２２３０
名称 ロックウェル・インターナショナル・コーポレ
ーション代表者 フレイブ・オー・マリン ４、代理人 住 所 大阪市東区平野町２丁目８番地の１ 平野町八
千代ビル電話 大阪（０６）２２２−０３８１ （代）
６、補正の対象 図面全図 ７、補正の内容 製出で描いた図面企図を別紙のとおり補充致します。な
お、内容についての変更はありません。 以上
Claims (13)
- （１）交流薄膜エレクトロルミネセントディスプレイパ
ネルを製造するための方法であって、透明電極を有する
透明基板上に誘電層を付着する工程と、 前記誘電層の上に主層を付着する工程と、 選択された位置で前記主層内にドーパントをイオン注入
する工程と、 イオン注入された主層を熱処理する工程と、前記イオン
注入された主層の上に第２の誘電層を付着する工程と、 前記選択された位置と反対側にある前記第２の誘電層の
上に背面側電極を形成する工程と、を備える、エレクト
ロルミネセントディスプレイパネルの製造方法。 - （２）前記主層の上に開口を有しているパターンを写真
蝕刻で形成する工程をさらに含み、それによって、前記
選択された位置が前記開口によって規定され、さらに、 前記ドーパントイオンを注入した後に、前記パターンを
除去する工程を含む、特許請求の範囲第１項に記載のエ
レクトロルミネセントディスプレイパネルの製造方法。 - （３）前記主層はＺｎＳを含む、特許請求の範囲第１項
に記載のエレクトロルミネセントディスプレイパネルの
製造方法。 - （４）前記選択された位置は、前記主層の上にストライ
プを備える、特許請求の範囲第１項に記載のエレクトロ
ルミネセントディスプレイパネルの製造方法。 - （５）前記透明電極および前記背面側電極は、互いに交
差して縦列および横列を作る帯の中に形成されるもので
あり、それによって、発光ピクセルが交差部における前
記横列の間に形成される、特許請求の範囲第４項に記載
のエレクトロルミネセントディスプレイパネルの製造方
法。 - （６）前記主層は、第１のドーパントでドープされ、エ
レクトロルミネセンスのときに第１の色を提供するもの
であり、そして、前記選択された位置は第２のドーパン
トで注入され、エレクトロルミネセンスのときに第２の
色を提供するものであり、それによって、マルチカラー
ディスプレイパネルが形成される、特許請求の範囲第１
項に記載のエレクトロルミネセントディスプレイパネル
の製造方法。 - （７）第２の選択された位置に第２のドーパントイオン
を注入する工程をさらに含み、前記第２のドーパントイ
オンは、ルミネセンスのときに前記第１のドーパントイ
オンとは異なった色を提供するもめであり、それによっ
て、マルチカラーディスプレイパネルが形成される、特
許請求の範囲第１項に記載のエレクトロルミネセント・
ディスプレイパネルの製造方法。 - （８）第３の選択された位置に第３のドーパントイオン
を注入する工程をさらに含み、前記第３のドーパントイ
オンは、ルミネセンスのときに前記第１のドーパントイ
オンおよび前記第２のドーパントイオンとは異なった色
を提供するものであり、それによって、マルチカラーデ
ィスプレイパネルが形成される、特許請求の範囲第７項
に記載のエレクトロルミネセントディスプレイパネルの
製造方法。 - （９）交流薄膜エレクトロルミネセントディスプレイパ
ネルの製造方法であって、 透明電極を有する透明基板上に主層を付着する工程と、 選択された位置で前記主層内にドーパントをイオン注入
する工程と、 前記選択された位置で前記主層の上に背面側電極を形成
する工程と、 を備える、エレクトロルミネセントディスプレイパネル
の製造方法。 - （１０）異なった色のエレクトロルミネセンスを得るた
めに、異なったドーパントでイオン注入され、かつ近接
して配置される少なくとも５個の領域を持つ活性層と、 前記各領域に個々にアドレスするための電極手段と、 を有している、エレクトロルミネセントディスプレイパ
ネル。 - （１１）前記活性層の両面に誘電層を含み、それによっ
て、前記エレクトロルミネセントディスプレイパネルが
交流エレクトロルミネセントディスプレイパネルになる
、特許請求範囲第１０項に記載のエレクトロルミネセン
トディスプレイパネル。 - （１２）透明電極を有している透明基板をさらに含む、
特許請求の範囲第１０項に記載のエレクトロルミネセン
トディスプレイパネル。 - （１３）不透明基板をさらに含み、前記電極手段は、前
記不透明基板と反対側にある前記パネルの面上に透明電
極手段を備えている、特許請求の範囲第１０項に記載の
エレクトロルミネセントディスプレイパネル。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US865498 | 1986-05-21 | ||
| US06/865,498 US4717606A (en) | 1986-05-21 | 1986-05-21 | Method of fabricating a thin film electroluminescent display panel |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6324588A true JPS6324588A (ja) | 1988-02-01 |
Family
ID=25345642
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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