JPS63247347A - 積層体 - Google Patents
積層体Info
- Publication number
- JPS63247347A JPS63247347A JP8176287A JP8176287A JPS63247347A JP S63247347 A JPS63247347 A JP S63247347A JP 8176287 A JP8176287 A JP 8176287A JP 8176287 A JP8176287 A JP 8176287A JP S63247347 A JPS63247347 A JP S63247347A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- oxide
- base material
- plastic base
- vapor deposition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はプラスチック基材に厚膜の酸化物セラミックス
層が物理蒸着によって積層されでいる積層体に関する。
層が物理蒸着によって積層されでいる積層体に関する。
従来、プラスチック基材に真空蒸着法、スパッタリング
法等の物理蒸着法で酸化ケイ素、酸化アルミニウム等の
酸化物セラミックスを蒸着させることが行なわれており
、セラミックス層の膜厚は厚いほど一表面硬度、耐摩耗
性、耐擦傷性等が優れでいる。
法等の物理蒸着法で酸化ケイ素、酸化アルミニウム等の
酸化物セラミックスを蒸着させることが行なわれており
、セラミックス層の膜厚は厚いほど一表面硬度、耐摩耗
性、耐擦傷性等が優れでいる。
しかしながら、物理蒸着法で形成された酸化物セラミッ
クスの層は残留応力が大きく、かつ残留応力は膜厚に比
例して大きくなるため厚膜の層を形成した場合はクラッ
クや膜剥離が発生し、厚膜の酸化物セラミックス層が積
層された積層体は得られなかった。
クスの層は残留応力が大きく、かつ残留応力は膜厚に比
例して大きくなるため厚膜の層を形成した場合はクラッ
クや膜剥離が発生し、厚膜の酸化物セラミックス層が積
層された積層体は得られなかった。
これに対し、ベースコート層をプラスチック基材と酸化
物セラミックス層の間に介在させてプラスチック基材と
酸化物セラミックス層ノ密着力を向上させ、厚膜の酸化
物セラミックス層を積層することが試みられている（た
とえば、第１５回熱機高分子研究会講座、講演要旨集、
８６′、９．２５．ｒＰＶＤ法によるプラスチックの保
護コーティング」）が、ベースコート層としてはアクリ
ル系又はウレタン系の接着剤が使用されでいるため密着
性が不充分であり、酸化物セラミックスの層が１μｍを
越えるものは得られなかった０ 〔発明が解決しようとする問題点〕 本発明の目的は上記欠点に鑑み、クラックや脱膜のない
、厚さ１０〜１０μｍの酸化物セラミ、クス層がプラス
チック基材の一面に積層された積層体を提供することに
ある。
物セラミックス層の間に介在させてプラスチック基材と
酸化物セラミックス層ノ密着力を向上させ、厚膜の酸化
物セラミックス層を積層することが試みられている（た
とえば、第１５回熱機高分子研究会講座、講演要旨集、
８６′、９．２５．ｒＰＶＤ法によるプラスチックの保
護コーティング」）が、ベースコート層としてはアクリ
ル系又はウレタン系の接着剤が使用されでいるため密着
性が不充分であり、酸化物セラミックスの層が１μｍを
越えるものは得られなかった０ 〔発明が解決しようとする問題点〕 本発明の目的は上記欠点に鑑み、クラックや脱膜のない
、厚さ１０〜１０μｍの酸化物セラミ、クス層がプラス
チック基材の一面に積層された積層体を提供することに
ある。
本発明で使用されるプラスチック基材は任意のものが使
用可能であり、その用途により適宜決定されればよく、
たとえばポリエーテルサルフォン、ポリエーテルイミド
、ポリカーボネート等があげられる。又、その形状はフ
ィルム、シート、成形品等任意のものが使用可能である
。
用可能であり、その用途により適宜決定されればよく、
たとえばポリエーテルサルフォン、ポリエーテルイミド
、ポリカーボネート等があげられる。又、その形状はフ
ィルム、シート、成形品等任意のものが使用可能である
。
本発明で使用されるシリコン系塗料はシリコン系樹脂を
バインダーとする加熱硬化型の塗料であって、シリコン
系樹脂としては、たとえはメチルフェニルシリコン樹脂
やエチルフェニルシリコン樹脂の他、アルキッド樹脂変
性シリコン樹脂、メラミン−アルキッド樹脂変性シリコ
ン樹脂、エポキシ樹脂変性シリコン系樹脂、フェノール
Ｓ脂変性シリコン樹脂等の変性シリコン樹脂があげられ
る。
バインダーとする加熱硬化型の塗料であって、シリコン
系樹脂としては、たとえはメチルフェニルシリコン樹脂
やエチルフェニルシリコン樹脂の他、アルキッド樹脂変
性シリコン樹脂、メラミン−アルキッド樹脂変性シリコ
ン樹脂、エポキシ樹脂変性シリコン系樹脂、フェノール
Ｓ脂変性シリコン樹脂等の変性シリコン樹脂があげられ
る。
本発明においてはシリコン系塗料の硬化層はプラスチッ
ク基材の一面に６１１１１されＣいるのであるが、硬化
層は任意の方法で積層されでよく、たとえばプラスチッ
ク基材の一面にシリコン系塗料をディップコート、スプ
レーコート、フローコート等の方法で塗布し、１００〜
２００ｃで１０分〜１２０分加熱硬化させる方法があげ
られ、硬化層の厚みは１〜１０μｍが好ましい。
ク基材の一面に６１１１１されＣいるのであるが、硬化
層は任意の方法で積層されでよく、たとえばプラスチッ
ク基材の一面にシリコン系塗料をディップコート、スプ
レーコート、フローコート等の方法で塗布し、１００〜
２００ｃで１０分〜１２０分加熱硬化させる方法があげ
られ、硬化層の厚みは１〜１０μｍが好ましい。
本発明で使用される酸化物セラミックスとしでは、たと
えば二酸化ケイ素、−酸化ケイ素、酸化アルミニウム、
酸化ジルコニウム等があげられる。
えば二酸化ケイ素、−酸化ケイ素、酸化アルミニウム、
酸化ジルコニウム等があげられる。
酸化物セラミックスは、上記硬化層に物理蒸着法によっ
て蒸着され、厚さ１０〜１０μｍの酸化物セラミックス
層が形成される。物理蒸着法としては任意の方法が採用
されてよいが、スパッタリング法及び真空蒸着法が好ま
しい。
て蒸着され、厚さ１０〜１０μｍの酸化物セラミックス
層が形成される。物理蒸着法としては任意の方法が採用
されてよいが、スパッタリング法及び真空蒸着法が好ま
しい。
本発明の積層体の構成は上述の通りであり、酸化物セラ
ミックス層はシリコン系塗料の硬化層を介して、物理蒸
着法によって積層されでいるのでプラスチック基材に対
して強固に密着しでおり酸化物セラミックス層は１０〜
ｌＯμという厚膜にもかかわらずクラックが発生したり
脱膜することがない。
ミックス層はシリコン系塗料の硬化層を介して、物理蒸
着法によって積層されでいるのでプラスチック基材に対
して強固に密着しでおり酸化物セラミックス層は１０〜
ｌＯμという厚膜にもかかわらずクラックが発生したり
脱膜することがない。
従って、本発明の積層体は表面硬度、耐摩耗性、耐擦傷
性が優れて右り、機械部品、構造材等の用途に使用でき
る。
性が優れて右り、機械部品、構造材等の用途に使用でき
る。
次に本発明の詳細な説明する。
実施例１〜５、比較例１〜９
第１表に示した厚さ４０μｍのプラスチック基材（ＰＥ
Ｓｉ、ｔ？リエーテルサルフォンフイルム、ＰＣ：ポリ
カーボネートフィルム、ＰＥＩ：ボ１で リエーテルイミドフイルム）ヲ第１表に示した塗料をデ
ィップ法により積層した後加熱して厚さ５μｍの硬化層
を形成した。
Ｓｉ、ｔ？リエーテルサルフォンフイルム、ＰＣ：ポリ
カーボネートフィルム、ＰＥＩ：ボ１で リエーテルイミドフイルム）ヲ第１表に示した塗料をデ
ィップ法により積層した後加熱して厚さ５μｍの硬化層
を形成した。
次いで高周波マグネトロンスパッタリング法で５ｉ０２
又はＡｌ ２０３を硬化層上に積層して酸化物セラミッ
クス層を形成した。酸化物セラミックス層の厚さ測定し
、第１表に示した。又耐擦傷性試験、硬度試験（ヌープ
硬度）及び密着試験を行い結果を第１表に示した。尚密
着性試験は試料を２５０の水に浸漬し、所定時間毎に酸
化物セラミックス層の状態を光学顕微鏡で観察した。
又はＡｌ ２０３を硬化層上に積層して酸化物セラミッ
クス層を形成した。酸化物セラミックス層の厚さ測定し
、第１表に示した。又耐擦傷性試験、硬度試験（ヌープ
硬度）及び密着試験を行い結果を第１表に示した。尚密
着性試験は試料を２５０の水に浸漬し、所定時間毎に酸
化物セラミックス層の状態を光学顕微鏡で観察した。
以下糸白
第１表
（１） 藻食化成社製、スノへツタ用ペースコートＥ
ＸＰ１４７４（フレクン系塗料、耐熱温度１７０〜１８
０℃） ＋２１ 東しシリコーン社製、シリコソノ１−ドコー
トＡＹ４２−４４１ （シリコン系塗料、耐熱温度２０
０℃） （３） 耐擦傷性試験ニスチールクール虱００σを手
で押え付は一往復させて傷付き状態を観察し、傷のつい
ていないものを○、傷のついているものを×とした＠
ＸＰ１４７４（フレクン系塗料、耐熱温度１７０〜１８
０℃） ＋２１ 東しシリコーン社製、シリコソノ１−ドコー
トＡＹ４２−４４１ （シリコン系塗料、耐熱温度２０
０℃） （３） 耐擦傷性試験ニスチールクール虱００σを手
で押え付は一往復させて傷付き状態を観察し、傷のつい
ていないものを○、傷のついているものを×とした＠
Claims (1)
- １、プラスチック基材の一面に、シリコン系塗料の硬化
層及び厚さ１．０〜１０μｍの、物理蒸着法で形成され
た酸化物セラミックス層が順次積層されていることを特
徴とする積層体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8176287A JPS63247347A (ja) | 1987-04-01 | 1987-04-01 | 積層体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8176287A JPS63247347A (ja) | 1987-04-01 | 1987-04-01 | 積層体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63247347A true JPS63247347A (ja) | 1988-10-14 |
Family
ID=13755464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8176287A Pending JPS63247347A (ja) | 1987-04-01 | 1987-04-01 | 積層体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63247347A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0386539A (ja) * | 1989-08-30 | 1991-04-11 | Reiko Co Ltd | 包装用プラスチックフイルム |
-
1987
- 1987-04-01 JP JP8176287A patent/JPS63247347A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0386539A (ja) * | 1989-08-30 | 1991-04-11 | Reiko Co Ltd | 包装用プラスチックフイルム |
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