JPS63249121A - 共振回転光学走査装置、共振回転振動装置、及び、機械的共振装置 - Google Patents
共振回転光学走査装置、共振回転振動装置、及び、機械的共振装置Info
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- JPS63249121A JPS63249121A JP63034924A JP3492488A JPS63249121A JP S63249121 A JPS63249121 A JP S63249121A JP 63034924 A JP63034924 A JP 63034924A JP 3492488 A JP3492488 A JP 3492488A JP S63249121 A JPS63249121 A JP S63249121A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Laser Beam Printer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は機械的共振装置に関するものである。
(従来の技術)
レーザ印刷と称される上述装置の一つの利用例において
、集束レーザスポットは画像を発生させるために光感応
媒体を横切って走査されるラスターである。媒体の一方
の寸法に沿う高速走査を達成するために、レーザ光線は
、共振回転動作を行うよう2本の共線捩り棒間において
対称的に支持されたミラーにより反対側に偏向される(
例えば、1985年3月5日発行のMontaguの米
国特許4.502,752号を参照)。レーザ光線は媒
体を移動させてその他方の寸法に沿ってゆっくりと走査
される。一般に使用されているこの種の対称形走査装置
は約2500 Hzの上限周波数を有し、またその製造
は比較的複雑である。
、集束レーザスポットは画像を発生させるために光感応
媒体を横切って走査されるラスターである。媒体の一方
の寸法に沿う高速走査を達成するために、レーザ光線は
、共振回転動作を行うよう2本の共線捩り棒間において
対称的に支持されたミラーにより反対側に偏向される(
例えば、1985年3月5日発行のMontaguの米
国特許4.502,752号を参照)。レーザ光線は媒
体を移動させてその他方の寸法に沿ってゆっくりと走査
される。一般に使用されているこの種の対称形走査装置
は約2500 Hzの上限周波数を有し、またその製造
は比較的複雑である。
この様な対称形走査装置(奇数個の回転塊体を有するこ
とを特徴としている)では、中央に支持されたミラーは
交差軸振動を受けうる。交差軸振勤の基本モードでは、
ミラーは傾斜することなく軸に対して直角に移動しうる
。
とを特徴としている)では、中央に支持されたミラーは
交差軸振動を受けうる。交差軸振勤の基本モードでは、
ミラーは傾斜することなく軸に対して直角に移動しうる
。
例えば、捩り棒の自由端にミラーを装着し、他端を走査
装置の基部に固定することで共振回転ミラーを非対称に
支持する方法は公知のものである。
装置の基部に固定することで共振回転ミラーを非対称に
支持する方法は公知のものである。
駆動素子の電機子は、捩り棒の中間域にて取り付けられ
ている。駆動素子の静止部は固定基体に装着される。捩
り棒は、その長さ方向に沿って均一な断面形状を有する
必要はない0この様な非対称形走査装置は対称形設計に
勝る性能上の利点を有するが、ミラーは傾斜(揺動(w
obble )と呼ばれる)を受けやすい。この傾斜に
より走査精度は低下する。非対称形設計では定義上偶数
個の塊体を有するので対称形には構成できない。
ている。駆動素子の静止部は固定基体に装着される。捩
り棒は、その長さ方向に沿って均一な断面形状を有する
必要はない0この様な非対称形走査装置は対称形設計に
勝る性能上の利点を有するが、ミラーは傾斜(揺動(w
obble )と呼ばれる)を受けやすい。この傾斜に
より走査精度は低下する。非対称形設計では定義上偶数
個の塊体を有するので対称形には構成できない。
(発明の要約)
本発明の走査装置は入念に設計された非対称形構造を有
する。この非対称形構造では、ミラーは(期待されるよ
うに)静的力を受けた時には交差軸揺動を受けるが、交
差軸共振動作の基本モードでは交差軸揺動を避ける。従
って、本発明は小型で、高性能、簡易で且つ廉価な非対
称形構造において対称形走査装置の利点を獲得している
。構造体の動的特徴は、部分的には捩り棒の一端を摺動
可能なカプラーに支持することで促進される。尚、この
カプラーは、固有共振周波数の動作に対して捩り棒を固
定保持するが、応力をゆっくりと軽減するものである。
する。この非対称形構造では、ミラーは(期待されるよ
うに)静的力を受けた時には交差軸揺動を受けるが、交
差軸共振動作の基本モードでは交差軸揺動を避ける。従
って、本発明は小型で、高性能、簡易で且つ廉価な非対
称形構造において対称形走査装置の利点を獲得している
。構造体の動的特徴は、部分的には捩り棒の一端を摺動
可能なカプラーに支持することで促進される。尚、この
カプラーは、固有共振周波数の動作に対して捩り棒を固
定保持するが、応力をゆっくりと軽減するものである。
発明の総体的特徴は機械的共振回転振動装置にある。こ
の装置では、複数の塊体が、静止基体に相対的で且つ1
つの軸のまわりでの意図する回転の固有共振周波数を規
定するように、両端部が静止基体上に保持された弾性構
造体により当該静止基体に支持されている。該弾性構造
体は、軸に沿って非対称である。塊体は意図する動作方
向とは異なる方向に静止基体に対して相対的な追加の動
作を受ける。選定された動作モードに対しては、塊体及
び非対称弾性構造体は、動作方程式に従い、意図する回
転動作軸以外の軸のまわりでの、静止基体に対する相対
的な塊体のうちの一つのものの回転運動を概ね阻止する
よう互いに構成されている0 発明の好適な実施例には以下の特徴が含まれる0弾性構
造体は、カプラーにより静止基体に取シ付けられた一端
を有する。該カプラーは固有共振周波数で動作に対しそ
の一端を効果的に固定するが、応力を軽減するためには
他の周波数での軸方向運動を可能としている。弾性構造
体はその長さ方向に沿う一つの駆動位置にて装着される
塊体(例えば、永久磁石)により該弾性構造体の軸につ
いて回転駆動されるものである。もう一方の塊体(例え
ば、光学素子)は永久磁石から離間した弾性構造体に沿
う位置にて共振的に駆動される。
の装置では、複数の塊体が、静止基体に相対的で且つ1
つの軸のまわりでの意図する回転の固有共振周波数を規
定するように、両端部が静止基体上に保持された弾性構
造体により当該静止基体に支持されている。該弾性構造
体は、軸に沿って非対称である。塊体は意図する動作方
向とは異なる方向に静止基体に対して相対的な追加の動
作を受ける。選定された動作モードに対しては、塊体及
び非対称弾性構造体は、動作方程式に従い、意図する回
転動作軸以外の軸のまわりでの、静止基体に対する相対
的な塊体のうちの一つのものの回転運動を概ね阻止する
よう互いに構成されている0 発明の好適な実施例には以下の特徴が含まれる0弾性構
造体は、カプラーにより静止基体に取シ付けられた一端
を有する。該カプラーは固有共振周波数で動作に対しそ
の一端を効果的に固定するが、応力を軽減するためには
他の周波数での軸方向運動を可能としている。弾性構造
体はその長さ方向に沿う一つの駆動位置にて装着される
塊体(例えば、永久磁石)により該弾性構造体の軸につ
いて回転駆動されるものである。もう一方の塊体(例え
ば、光学素子)は永久磁石から離間した弾性構造体に沿
う位置にて共振的に駆動される。
弾性構造体は、装置が休止状態の時、その全てが公称捩
り軸に沿って位置する第1、第2及び第3の捩り棒セグ
メントを備える。第1捩り棒セグメントの捩りばね定数
は第2捩り棒セグメントのばね定数よりも大きく、第2
捩り棒セグメントの該定数は第3捩り棒セグメントのそ
れよりも大きい0この三つのセグメントにかかる捩り剪
断応力は等しい。(意図する回転の軸以外の軸について
の回転運動が阻止される)動作の選定モードは最低周波
数モードである。
り軸に沿って位置する第1、第2及び第3の捩り棒セグ
メントを備える。第1捩り棒セグメントの捩りばね定数
は第2捩り棒セグメントのばね定数よりも大きく、第2
捩り棒セグメントの該定数は第3捩り棒セグメントのそ
れよりも大きい0この三つのセグメントにかかる捩り剪
断応力は等しい。(意図する回転の軸以外の軸について
の回転運動が阻止される)動作の選定モードは最低周波
数モードである。
駆動素子を光学素子から分離し且つそれらを非対称的に
支持することで、構成は簡略化されまだ性能は高められ
る。三つの適切に設計された捩り棒セグメントを用いる
ことで、交差軸振動の選定モードに於いて光学素子の揺
動は最小化される。
支持することで、構成は簡略化されまだ性能は高められ
る。三つの適切に設計された捩り棒セグメントを用いる
ことで、交差軸振動の選定モードに於いて光学素子の揺
動は最小化される。
走査装置は極めて小型に出来得るものである。
発明のいまひとつの総体的特徴は、機械的共振装置であ
る。この共振メカニカルシステムは静止基体に相対する
意図とする動作の固有共振周波数を定めるよう弾性構造
体により該静止基体に支持される小なくとも一つの塊体
を有する。弾性構造体は、回転運動の固有共振周波数よ
りも低い周波数でのみ静止基体への相対移動を可能とす
るカプラーにより一端が当該基体に取り付けられる。
る。この共振メカニカルシステムは静止基体に相対する
意図とする動作の固有共振周波数を定めるよう弾性構造
体により該静止基体に支持される小なくとも一つの塊体
を有する。弾性構造体は、回転運動の固有共振周波数よ
りも低い周波数でのみ静止基体への相対移動を可能とす
るカプラーにより一端が当該基体に取り付けられる。
発明の好適な実施例には下記の特徴が含まれる。
カプラーは弾性構造体(捩り素子)及び静止基体上にそ
れぞれ位置する2つの協同筒状表面を備える。該表面は
互いに相対して軸方向に摺動可能であシ且つ間隙により
分離されている。この間隙には意図する固有周波数とは
異なる周波数でのみ該表面の相対的軸方向運動を可能と
する軟性ワックスが含有されている。弾性構造体はカプ
ラーから離間した第2の位置にて静止基体に固着される
。
れぞれ位置する2つの協同筒状表面を備える。該表面は
互いに相対して軸方向に摺動可能であシ且つ間隙により
分離されている。この間隙には意図する固有周波数とは
異なる周波数でのみ該表面の相対的軸方向運動を可能と
する軟性ワックスが含有されている。弾性構造体はカプ
ラーから離間した第2の位置にて静止基体に固着される
。
塊体はカプラーと前記固着位置との間で捩り素子に装置
される。
される。
カプラーは、回動の意図する固有共振周波数でエネルギ
ーの散逸を最小にしつつ、カプラーの低周波数調整を可
能にすることで軸方向の弾性素子にかかる応力を最小に
している。
ーの散逸を最小にしつつ、カプラーの低周波数調整を可
能にすることで軸方向の弾性素子にかかる応力を最小に
している。
その他の利点及び特徴は下記の好適な実施例の説明及び
特許請求の範囲から明らかとなろう。
特許請求の範囲から明らかとなろう。
(実施例)
構造
第1図を参照するに、レーザプリンタ10に於いて、レ
ーザ光源13からの集束レーザ光線12は、高速共振走
査装置14により偏向されて、光感応媒体を支持する回
転ドラム(矢印17にて示す)の長さ方向に沿う連続線
を走査する。ドラム16はドラム駆動装置18により低
速度で回転される。これにより光感応媒体が、各連続走
査線を受けるよう適当な位置に移動せしめられる。制御
装置20は駆動装置18、レーザ光源13及び走査装置
14の操作を協働させる。走査装置14は、ライン24
上にて受信された帰還信号に部分的に基づいているライ
ン22を通過する信号によって駆動される。
ーザ光源13からの集束レーザ光線12は、高速共振走
査装置14により偏向されて、光感応媒体を支持する回
転ドラム(矢印17にて示す)の長さ方向に沿う連続線
を走査する。ドラム16はドラム駆動装置18により低
速度で回転される。これにより光感応媒体が、各連続走
査線を受けるよう適当な位置に移動せしめられる。制御
装置20は駆動装置18、レーザ光源13及び走査装置
14の操作を協働させる。走査装置14は、ライン24
上にて受信された帰還信号に部分的に基づいているライ
ン22を通過する信号によって駆動される。
第2図を参照するに、走査装置14において、レーザ光
線12は、支持体32に装着されたミラー30の表面に
より偏向されている。支持体32は、三つの共線捩り棒
セグメントを有する非対称形捩り棒組立体(構造体)の
一部を成している。
線12は、支持体32に装着されたミラー30の表面に
より偏向されている。支持体32は、三つの共線捩り棒
セグメントを有する非対称形捩り棒組立体(構造体)の
一部を成している。
第1の捩り棒セグメント34は支持体32の一端からシ
リンダ36(図示の如く装着される)に延在している。
リンダ36(図示の如く装着される)に延在している。
第2の捩り棒セグメント38は、支持体32の他端から
円筒状のサマリウムコバルト駆動用磁石42が装着され
ているシリンダ40に延在する。第3の捩り棒セグメン
ト44はシリンダ40の他端から、ハブ48に固着した
シリンダ46に延在する。ハブ48は低炭素鋼の管状ノ
\ウジング50に固着されている。該ハウジング50は
ミラー30に対して集束レーザ光線12を通過させる窓
52を有する。
円筒状のサマリウムコバルト駆動用磁石42が装着され
ているシリンダ40に延在する。第3の捩り棒セグメン
ト44はシリンダ40の他端から、ハブ48に固着した
シリンダ46に延在する。ハブ48は低炭素鋼の管状ノ
\ウジング50に固着されている。該ハウジング50は
ミラー30に対して集束レーザ光線12を通過させる窓
52を有する。
駆動コイル60及び速度感知コイル62はそれぞれ交差
する二つの面で磁石42のまわシに巻装されている。ミ
ラー30がその中立位置に静置されている時、磁石42
のS極とN極とはコイル60及び62(図示)の二つの
直交差点と一直線に並ぶ。駆動コイル60及び速度感知
コイル62はそれぞれライン22及び24(第1図)に
接続されている。
する二つの面で磁石42のまわシに巻装されている。ミ
ラー30がその中立位置に静置されている時、磁石42
のS極とN極とはコイル60及び62(図示)の二つの
直交差点と一直線に並ぶ。駆動コイル60及び速度感知
コイル62はそれぞれライン22及び24(第1図)に
接続されている。
シリンダ36はハブ64に固着されている。該ハブ64
はハウジング50にやや弛く装着されている。ハウジン
グ50の内壁とハブ64の外壁との間の小さな環状空間
66には、コールドフロー即ちクリープ可能な軟性ワッ
クス(オハイオ州クリープランドのTRW社製で商品名
Door−Easeで市販されている)が充填されてい
る。この軟性ワツクにより、ハブ64のハウジング50
に対する軸方向の摺動が可能となっている。かくして捩
り棒組立体及びハウジング50の相対長さにおける低周
波数変化に適応している0尚、この低周波数置イヒは、
例えば環境温度の変化に起因している。
はハウジング50にやや弛く装着されている。ハウジン
グ50の内壁とハブ64の外壁との間の小さな環状空間
66には、コールドフロー即ちクリープ可能な軟性ワッ
クス(オハイオ州クリープランドのTRW社製で商品名
Door−Easeで市販されている)が充填されてい
る。この軟性ワツクにより、ハブ64のハウジング50
に対する軸方向の摺動が可能となっている。かくして捩
り棒組立体及びハウジング50の相対長さにおける低周
波数変化に適応している0尚、この低周波数置イヒは、
例えば環境温度の変化に起因している。
上記構成により、捩り棒組立体に対する軸方向の張力若
しくは圧縮力が最小となっている。しかし、軟性ワック
スによって、例えばミラー30の回転動作により引き起
こされる高周波数振動に9応するハブ64の摺動は可能
とはならない。
しくは圧縮力が最小となっている。しかし、軟性ワック
スによって、例えばミラー30の回転動作により引き起
こされる高周波数振動に9応するハブ64の摺動は可能
とはならない。
電機子40.42を有するミラー30及び三つの捩り棒
セグメントとはかく協同して共振回転機械系を構成して
いる。
セグメントとはかく協同して共振回転機械系を構成して
いる。
第3図を参照するに、捩り棒組立体70は1本のタイプ
01型のドリル棒より工作される。
01型のドリル棒より工作される。
第4図及び第5図を参照するに、コイル60と62はプ
ラスチック製ボビン72に巻装されている。該ボビン7
2の直径は、ハウジング50内に適合する程度に小さく
、またその内孔74は、磁石42を収納する程度に大き
いものとする。
ラスチック製ボビン72に巻装されている。該ボビン7
2の直径は、ハウジング50内に適合する程度に小さく
、またその内孔74は、磁石42を収納する程度に大き
いものとする。
走査装置14の構成要素の寸法及び特徴は以下の通りで
ある。
ある。
ハウジング50 長さ59.944順(2,36“
)内径14.3止(0,563”) 外径15.9朋(0,625’) ミラー30 直径7朋、厚さ2.5順、走査装
置のハブ64の端部 から0.93“に位置する。
)内径14.3止(0,563”) 外径15.9朋(0,625’) ミラー30 直径7朋、厚さ2.5順、走査装
置のハブ64の端部 から0.93“に位置する。
駆動コイル60 ≠39のワイヤで巻数400速度
感知コイル62 $39のワイヤで巻数400磁石
42 長さ5.08闘(0,2“)外径6.
3514i+(0,25“) 内径2.54朋(0,1“) 捩り棒セグメント44 直径1.16順(0,0455
“)長さ6.35朋(0,25’) 捩り棒セグメント38 直径0.88酊(0,0346
勺長さ9.83酊(0,387’) 捩り棒セグメント34 直径0.51mm(0,020
“)長さ8.43順(0,332“) シリンダ46 直径2.57朋(0,1010“
)長さ10.16龍(0,400“) シリンダ40 直径2.57朋(0,1010“
)長さ5.08罵m(0,200“) 支持体32 直径3.43+m(0,135“
)長さ9.98朋(0,393’) シリンダ36 直径2.57mm(0,1010
“)長さ10.16龍(0,400′) 捩り棒のピーク応力 30度最大限ピーク対ピークで
46500 psi −次捩り共振周波数 2575Hz 二次捩り共振周波数 4055Hz 交差軸共振周波数 1050Hz 最大ミラー角度 7.5度中心に対ピークで(機械
的角度) 最大回転子角度 2.45度中心対ピークで(機械
的角度) 駆動電圧 20度最大限ピーク対ピークで9
ボルトピーク対ピー ク 速度電圧 20度最大限ピーク対ビークで5
ボルトビーク対ビー ク 走査対走査反復性 0.2アークセコンド(arc−
5econd)よりも良い 走査対走査反復性 6〜8アークセコンド(尚、X軸
に対する磁石の慣性はX軸に対するミラーの慣性のほぼ
4倍である0) 作用 第6図を参照するに、通常の操作では走査装置14は、
公称捩9軸80(X軸)に対する共振回転動作にて駆動
される0該公称捩り軸80上には通常捩り棒セグメン)
34.38及び44が位置している。共振動作は、コイ
ル62からの速度信号に部分的に基づ〈従来の方法(例
えば、Montaguの米国特許第4.076,798
号及び5elrerstoneの米国特許第4,090
,112号を参照)で交流電流をコイル60に印加する
ことで達成される。
感知コイル62 $39のワイヤで巻数400磁石
42 長さ5.08闘(0,2“)外径6.
3514i+(0,25“) 内径2.54朋(0,1“) 捩り棒セグメント44 直径1.16順(0,0455
“)長さ6.35朋(0,25’) 捩り棒セグメント38 直径0.88酊(0,0346
勺長さ9.83酊(0,387’) 捩り棒セグメント34 直径0.51mm(0,020
“)長さ8.43順(0,332“) シリンダ46 直径2.57朋(0,1010“
)長さ10.16龍(0,400“) シリンダ40 直径2.57朋(0,1010“
)長さ5.08罵m(0,200“) 支持体32 直径3.43+m(0,135“
)長さ9.98朋(0,393’) シリンダ36 直径2.57mm(0,1010
“)長さ10.16龍(0,400′) 捩り棒のピーク応力 30度最大限ピーク対ピークで
46500 psi −次捩り共振周波数 2575Hz 二次捩り共振周波数 4055Hz 交差軸共振周波数 1050Hz 最大ミラー角度 7.5度中心に対ピークで(機械
的角度) 最大回転子角度 2.45度中心対ピークで(機械
的角度) 駆動電圧 20度最大限ピーク対ピークで9
ボルトピーク対ピー ク 速度電圧 20度最大限ピーク対ビークで5
ボルトビーク対ビー ク 走査対走査反復性 0.2アークセコンド(arc−
5econd)よりも良い 走査対走査反復性 6〜8アークセコンド(尚、X軸
に対する磁石の慣性はX軸に対するミラーの慣性のほぼ
4倍である0) 作用 第6図を参照するに、通常の操作では走査装置14は、
公称捩9軸80(X軸)に対する共振回転動作にて駆動
される0該公称捩り軸80上には通常捩り棒セグメン)
34.38及び44が位置している。共振動作は、コイ
ル62からの速度信号に部分的に基づ〈従来の方法(例
えば、Montaguの米国特許第4.076,798
号及び5elrerstoneの米国特許第4,090
,112号を参照)で交流電流をコイル60に印加する
ことで達成される。
走査装置14のような2個の塊体と3個のスプリングと
の系では4モードの交差軸振動を受ける。
の系では4モードの交差軸振動を受ける。
第7図、8図及び9図を参照するに、振動の基本モード
の三つの振動が示されている0尚、これら振動のうち一
つだけが一定形状の構成要素において発生する。
の三つの振動が示されている0尚、これら振動のうち一
つだけが一定形状の構成要素において発生する。
第7図の振動では、塊体101及び102の双方とも互
いに同位相で並進(交差軸移動)し且つ(捩り軸80に
対し垂直な軸のまわりで)揺動する。第9図の振動では
、塊体は同位相で並進するが、互いに180°の異位相
で回動する。第8図の振動では、並進は同位相であるが
、一方の塊体(102)の回転は他方の塊体に対して同
位相状態と180°の異位相状態とのちょうど中間位置
にある。その結果、その塊体に対する回転の振幅(交差
軸モードあるいは揺動モード)は零である。
いに同位相で並進(交差軸移動)し且つ(捩り軸80に
対し垂直な軸のまわりで)揺動する。第9図の振動では
、塊体は同位相で並進するが、互いに180°の異位相
で回動する。第8図の振動では、並進は同位相であるが
、一方の塊体(102)の回転は他方の塊体に対して同
位相状態と180°の異位相状態とのちょうど中間位置
にある。その結果、その塊体に対する回転の振幅(交差
軸モードあるいは揺動モード)は零である。
この状態は、基本モードでの交差軸を振動させる対称形
の系に類似している。尚、対称形の系での光学素子の中
心部へ加えられる静的力は該素子を傾余1させることは
ないが、本非対称形走査装置14ではそのような静的力
によって光学素子は傾斜せしめられる。この差異は決定
的なものである。
の系に類似している。尚、対称形の系での光学素子の中
心部へ加えられる静的力は該素子を傾余1させることは
ないが、本非対称形走査装置14ではそのような静的力
によって光学素子は傾斜せしめられる。この差異は決定
的なものである。
本発明の非対称形走査装置は対称形走査装置の動的運動
に似た運動をするものであり、基本横軸振動モードにお
いてのみその様になしである。
に似た運動をするものであり、基本横軸振動モードにお
いてのみその様になしである。
第6図に示すような3捩り棒セグメント2塊体型走査装
置では、基本交差軸共振モードでの光学素子30.32
の回転位相及び回転振幅は、第8図に示す所望変化を示
すよう制御される。この制御は3つの捩り棒セグメント
の曲げ剛性を適切に選択することでなされる。この様な
剛性は、各捩り棒セグメントの直径、長さ及び材料特性
の関数である。本実施例では、3つのセグメントの材料
特性は同一であるが、他の実施例では同一である必要は
ない。更に、曲げ剛性の選択は、走査装置の所望固有回
転共振(公称捩り軸のまわり)を変更することなしに達
成され得る。加えて、等しい捩り剪断応力は3つの全て
の捩り棒セグメント上で維持される。望ましくはこれに
より、可能な組合わせ長さが最小となり且つ可能な交差
軸共振周波数が最高となる。
置では、基本交差軸共振モードでの光学素子30.32
の回転位相及び回転振幅は、第8図に示す所望変化を示
すよう制御される。この制御は3つの捩り棒セグメント
の曲げ剛性を適切に選択することでなされる。この様な
剛性は、各捩り棒セグメントの直径、長さ及び材料特性
の関数である。本実施例では、3つのセグメントの材料
特性は同一であるが、他の実施例では同一である必要は
ない。更に、曲げ剛性の選択は、走査装置の所望固有回
転共振(公称捩り軸のまわり)を変更することなしに達
成され得る。加えて、等しい捩り剪断応力は3つの全て
の捩り棒セグメント上で維持される。望ましくはこれに
より、可能な組合わせ長さが最小となり且つ可能な交差
軸共振周波数が最高となる。
以下の表では、基本モード交差軸動作の三種の変化相に
対する捩り棒セグメントの構成と、第8図の変化が、な
ぜ好ましい実施例の設計に対して選択されたかが示され
ている。(直径と長さはmで示す。kはダイン−crI
L/ラジアンデ示す捩りばね定数。応力はpsiで示す
捩り剪断応力。振幅はラジアン/cmで示す光学素子の
基本交差軸共振の移動に対する揺動回転の比率である。
対する捩り棒セグメントの構成と、第8図の変化が、な
ぜ好ましい実施例の設計に対して選択されたかが示され
ている。(直径と長さはmで示す。kはダイン−crI
L/ラジアンデ示す捩りばね定数。応力はpsiで示す
捩り剪断応力。振幅はラジアン/cmで示す光学素子の
基本交差軸共振の移動に対する揺動回転の比率である。
走査装置の典型的な適用例では、交差軸共振回転振幅は
捩り振幅より小さい大きさ位数である。)尚、すべての
場合について、捩り棒セグメント上の応力は等しい。
捩り振幅より小さい大きさ位数である。)尚、すべての
場合について、捩り棒セグメント上の応力は等しい。
第7図の変化
捩り棒セグメント103・・・・・・0.1194(直
径)Xo、635(長さ); k=o、3940;応
力=41616 捩り棒セグメント104・・・・・・0.0918(直
径)×1.213(長さ); k=0.0723 ;
化カニ41616 捩り棒セグメント105・・・・・・0.0508(直
径)Xo、9411(長さ); k=o、o087;
応力=41616 1次交差軸共振=859ヘルツ;振幅=0.10561
次捩り共振: 2500ヘルツ 第8図の変化 捩り棒セグメント106・・・・・・0.1175(直
径)×0.635(長さ); k=0.3694;化
カニ46503 捩り棒セグメント107・・・・・・0.0879(直
径)×0.9824(長さ); k=0.0749;
応力=46503 捩り棒セグメント108・・・・・・0.0508(直
径)×0.8422(長さ); k=o、o097;
応力=46503 1次交差軸共振:957ヘルツ、振幅=0.0O053
1次捩り共振: 2500ヘルツ 第9図の変化 捩り棒セグメント109・・・・・・0.1156(直
径)×0.635(長さ); k=0.3461;化カ
ニ52539 捩り棒セグメント110・・・・・・0.0837(直
径’)XO,7684(長さ); k=0.0787
;応力=52539 捩り棒セグメント111・・・・・・0.0508(直
径)×0.7455(長さ); k=0.ollo;
応力=52539 1次交差軸共振:1048ヘルツ、振幅=0.1566
1次捩り共振: 2500ヘルツ 第8の光学素子の交差軸共振振幅は、他の二つの変化を
200倍以上で除したものよりも小さい。
径)Xo、635(長さ); k=o、3940;応
力=41616 捩り棒セグメント104・・・・・・0.0918(直
径)×1.213(長さ); k=0.0723 ;
化カニ41616 捩り棒セグメント105・・・・・・0.0508(直
径)Xo、9411(長さ); k=o、o087;
応力=41616 1次交差軸共振=859ヘルツ;振幅=0.10561
次捩り共振: 2500ヘルツ 第8図の変化 捩り棒セグメント106・・・・・・0.1175(直
径)×0.635(長さ); k=0.3694;化
カニ46503 捩り棒セグメント107・・・・・・0.0879(直
径)×0.9824(長さ); k=0.0749;
応力=46503 捩り棒セグメント108・・・・・・0.0508(直
径)×0.8422(長さ); k=o、o097;
応力=46503 1次交差軸共振:957ヘルツ、振幅=0.0O053
1次捩り共振: 2500ヘルツ 第9図の変化 捩り棒セグメント109・・・・・・0.1156(直
径)×0.635(長さ); k=0.3461;化カ
ニ52539 捩り棒セグメント110・・・・・・0.0837(直
径’)XO,7684(長さ); k=0.0787
;応力=52539 捩り棒セグメント111・・・・・・0.0508(直
径)×0.7455(長さ); k=0.ollo;
応力=52539 1次交差軸共振:1048ヘルツ、振幅=0.1566
1次捩り共振: 2500ヘルツ 第8の光学素子の交差軸共振振幅は、他の二つの変化を
200倍以上で除したものよりも小さい。
更に、第9図の振幅は他の二つのモードからのサイン(
sign )を変化させてしまったことに注目されたい
。
sign )を変化させてしまったことに注目されたい
。
上記の表に於けるパラメータは、捩り棒のサイズを得る
ため、まず第1に以下の式(捩りにおける共振する2つ
の自由度の系を示す)を解くことでつくられた。共振周
波数及び共振振幅は、有限要素解析と、リストに記した
追加慣性及び質量パラメータとを用いて算出された。
ため、まず第1に以下の式(捩りにおける共振する2つ
の自由度の系を示す)を解くことでつくられた。共振周
波数及び共振振幅は、有限要素解析と、リストに記した
追加慣性及び質量パラメータとを用いて算出された。
Kl=D、Gπ/32L。
K2=D:Gπ/32L2
に3=D3Gπ/32L3
TI==θIKI
T2二θ!〔(2πf)2Jl−KtlT3=T2+(
2πf)2J2θ2 θ2二θI −T2/に2 θ3=θ2−T3/に3 Sl二θlDt G/ (2Lt ) S2=(θl−θ2)D2G/(2L2)S3=(θ2
−03)D3G/(2L3)S 2=SI S2=83 ここで変数は次の様な意味を有する。
2πf)2J2θ2 θ2二θI −T2/に2 θ3=θ2−T3/に3 Sl二θlDt G/ (2Lt ) S2=(θl−θ2)D2G/(2L2)S3=(θ2
−03)D3G/(2L3)S 2=SI S2=83 ここで変数は次の様な意味を有する。
G 弾性係数
f 共振周波数
Jl ミラー3o及びマウント32のY軸についての慣
性 J2磁石42のY軸についての慣性 DI 捩り棒セグメント34の直径 り、捩り棒セグメント34の長さ D2捩り棒セグメント38の直径 L2捩り棒セグメント38の長さ D3捩り棒セグメント44の直径 L3捩り棒セグメント44の長さ に1捩り棒セグメント34のばね定数 に2捩り棒セグメント38のばね定数 に3捩り棒セグメント44のはね定数 S1捩り棒セグメント34の応力 S2捩り棒セグメント38の応力 S3捩り棒セグメント44の応力 θ! ミラー30の最大角度(ピークを中心対ピークで
機械的角度) θ2磁石42の最大角度(中心対ピークで機械的角度) θ3 固定端48におけるピークの機械的角度(=ゼロ
) TL 捩り棒セグメント34に対する最大トルク T2 捩り棒セグメント38に対する最大トルク T3 捩り棒セグメント44に対する最大トルク 以下の変数は固定値として指定される:G=8゜112
X10“ダイン/cIrL2f=2500Hz、 θ
1 = 7.5度及びY軸についての磁石の回転慣性=
0.0563g−(−777Y軸についての磁石の回転
慣性=0.05404g−dZ軸についての磁石の回転
慣性=0.05401−iX軸についてのミラーの回転
慣性=0.0158g−fflY軸についてのミラーの
回転慣性二0.05635F−、ff1z軸についての
ミラーの回転慣性=0゜054849−cIit磁石の
質量=1.202g ミラーの質量=0.5927g 第2図を参照するに、ハブ64の筒状外表面90及びそ
れに対応するハウジング50の筒状内表面92は、X軸
方向(矢印94にて示す)において互いに摺動可能であ
り、かくしてすべり対偶を有する組立体を形成する。空
間66内のワックスにより低周波数動作が可能となり、
それに対し高周波数動作は阻止される。摩耗若しくは環
境温度の変化に起因する緩慢な動作には適応するが、一
方ミ、1P−30の共振動作に対応する振動には適応し
ない(かくして、エネルギーの散逸が最小になる)。
性 J2磁石42のY軸についての慣性 DI 捩り棒セグメント34の直径 り、捩り棒セグメント34の長さ D2捩り棒セグメント38の直径 L2捩り棒セグメント38の長さ D3捩り棒セグメント44の直径 L3捩り棒セグメント44の長さ に1捩り棒セグメント34のばね定数 に2捩り棒セグメント38のばね定数 に3捩り棒セグメント44のはね定数 S1捩り棒セグメント34の応力 S2捩り棒セグメント38の応力 S3捩り棒セグメント44の応力 θ! ミラー30の最大角度(ピークを中心対ピークで
機械的角度) θ2磁石42の最大角度(中心対ピークで機械的角度) θ3 固定端48におけるピークの機械的角度(=ゼロ
) TL 捩り棒セグメント34に対する最大トルク T2 捩り棒セグメント38に対する最大トルク T3 捩り棒セグメント44に対する最大トルク 以下の変数は固定値として指定される:G=8゜112
X10“ダイン/cIrL2f=2500Hz、 θ
1 = 7.5度及びY軸についての磁石の回転慣性=
0.0563g−(−777Y軸についての磁石の回転
慣性=0.05404g−dZ軸についての磁石の回転
慣性=0.05401−iX軸についてのミラーの回転
慣性=0.0158g−fflY軸についてのミラーの
回転慣性二0.05635F−、ff1z軸についての
ミラーの回転慣性=0゜054849−cIit磁石の
質量=1.202g ミラーの質量=0.5927g 第2図を参照するに、ハブ64の筒状外表面90及びそ
れに対応するハウジング50の筒状内表面92は、X軸
方向(矢印94にて示す)において互いに摺動可能であ
り、かくしてすべり対偶を有する組立体を形成する。空
間66内のワックスにより低周波数動作が可能となり、
それに対し高周波数動作は阻止される。摩耗若しくは環
境温度の変化に起因する緩慢な動作には適応するが、一
方ミ、1P−30の共振動作に対応する振動には適応し
ない(かくして、エネルギーの散逸が最小になる)。
他の実施例は特許請求の範囲に含まれる。例えば、走査
装置は前記好適な実施例におけるものよりも更に小型に
でき得る。
装置は前記好適な実施例におけるものよりも更に小型に
でき得る。
第1図はレーザ印刷システムの図、第2図は共振走査装
置の一部切欠斜祝図、第3図は共振走査装置の捩り素子
の側面図、第4図及び第5図はそれぞれ共振走査装置の
駆動コイル及び感知コイル用のボビンの平面図及び側面
図、第6図は横断運動の一つのモードにおける走査装置
の図、第7図、第8図及び第9図は基本交差軸振動モー
ドの三種の変化を示す図である。 10・・・レーザプリンター、 13・・・レーザ光
源。 12・・・集束レーザ光、 14・・・高速共振走査装
置。 16・・・回転ドラム、 18・・・ドラム駆動装置
。 20・・・制御器、 22.24・・・ライン。 32・・・支持体、 30・・・ミラー、 34・・・
第1捩り棒セグメント、 36・・・シリンダ、 38
・・・第2捩り棒セグメント、 42・・・磁石、 4
0・・・シリンダ、 44・・・第3捩り棒セグメント
。 48・・・ハブ、 50・・・ハウジング、 52・・
・窓。 60・・・駆動コイル、 62・・・速度感知コイル。 64・・・ハブ、 66・・・環状空間、 54・・・
ハブ。 40、42・・・電機子、 70・・・捩り棒組成体
。 72・・・ボビン、 80・・・公称捩り軸。 34.38.44・・・捩り棒セグメント、101,1
02・・・塊体、 30.32・・・光学素子、 9
0・・・筒状外表面、 92・・・筒状内表面。 図面の浄さく内容に変更なし) Fl(i5 FIG、 7 FIG、 8 FIG、 9 手続補正書 昭和63年ψ月ケ日 特許庁長官 小 川 邦 夫 殿5.′− ”j′(’t−(7)″″′ 這昭和6
3年特許願第34924号 機械的共振装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所
置の一部切欠斜祝図、第3図は共振走査装置の捩り素子
の側面図、第4図及び第5図はそれぞれ共振走査装置の
駆動コイル及び感知コイル用のボビンの平面図及び側面
図、第6図は横断運動の一つのモードにおける走査装置
の図、第7図、第8図及び第9図は基本交差軸振動モー
ドの三種の変化を示す図である。 10・・・レーザプリンター、 13・・・レーザ光
源。 12・・・集束レーザ光、 14・・・高速共振走査装
置。 16・・・回転ドラム、 18・・・ドラム駆動装置
。 20・・・制御器、 22.24・・・ライン。 32・・・支持体、 30・・・ミラー、 34・・・
第1捩り棒セグメント、 36・・・シリンダ、 38
・・・第2捩り棒セグメント、 42・・・磁石、 4
0・・・シリンダ、 44・・・第3捩り棒セグメント
。 48・・・ハブ、 50・・・ハウジング、 52・・
・窓。 60・・・駆動コイル、 62・・・速度感知コイル。 64・・・ハブ、 66・・・環状空間、 54・・・
ハブ。 40、42・・・電機子、 70・・・捩り棒組成体
。 72・・・ボビン、 80・・・公称捩り軸。 34.38.44・・・捩り棒セグメント、101,1
02・・・塊体、 30.32・・・光学素子、 9
0・・・筒状外表面、 92・・・筒状内表面。 図面の浄さく内容に変更なし) Fl(i5 FIG、 7 FIG、 8 FIG、 9 手続補正書 昭和63年ψ月ケ日 特許庁長官 小 川 邦 夫 殿5.′− ”j′(’t−(7)″″′ 這昭和6
3年特許願第34924号 機械的共振装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、回転動作用の非対称形捩り構造体により静止基体に
支持される光学素子と、前記光学素子と離間した位置で
前記捩り構造体に装着される回転駆動装置の電機子とか
ら成り、前記光学素子、電機子及び捩り構造体は、交差
軸動作の少なくとも一つのモードに対し、前記回転動作
の軸以外の軸についての前記光学素子の傾斜を概ね阻止
するよう構成されることを特徴とする共振回転光学走査
装置。 2、静止基体に相対的で、かつ、1つの軸の周りでの意
図する回転の固有共振周波数を定めるように、前記静止
基体に、両端部が保持された弾性構造体により支持され
た複数の塊体を有し、前記弾性構造体は前記軸に沿つて
非対称形であり、前記塊体は前記意図する固有共振周波
数動作の方向とは異なる方向での前記基体に相対的な追
加動作を受けるものであつて、選定された動作モードに
おいては、前記塊体及び前記非対称形弾性構造体は、動
作式に従い、前記意図する回転動作の前記軸以外の軸の
まわりでの前記基体に相対的な前記塊体のうちの一つの
回転動作を概ね阻止するよう互いに構成された事を特徴
とする共振回転振動装置。 3、前記弾性構造体は、回転動作の前記固有共振周波数
で一端を効果的に固定し且つ応力を軽減するよう他の周
波数で軸方向での動作を可能とするカプラーにより前記
基体に取り付けられた一端を有することを特徴とする請
求項2記載の共振回転振動装置。 4、前記選定動作モードは基本最低周波数モードである
ことを特徴とする請求項2又は3記載の共振回転振動装
置。 5、前記塊体は二つ在ることを特徴とする請求項2又は
3記載の共振回転振動装置。 6、前記弾性構造体はその長さ方向に沿う一つの駆動位
置で前記弾性構造体の軸のまわりで回転駆動され、且つ
前記第1の塊体は前記駆動位置とは離間した前記弾性構
造体に沿う位置で共振的に駆動されることを特徴とする
請求項2又は3記載の共振回転振動装置。 7、前記第2の塊体は回転駆動力を前記弾性構造体に課
する為前記駆動位置で前記弾性構造体に装着され、前記
第1の塊体は前記離間位置で装着されることを特徴とす
る請求項6記載の共振回転振動装置。 8、前記弾性構造体は、当該装置が休止している時には
その全てが公称捩り軸に沿つて位置する第1、第2及び
第3の捩り棒セグメントを備えることを特徴とする請求
項6記載の共振回転振動装置。 9、前記第2の捩り棒セグメントは前記第3の捩り棒セ
グメントよりも高い捩りばね定数を有することを特徴と
する請求項8記載の共振回転振動装置。 10、前記第1の塊体は光学素子を備えることを特徴と
する請求項6記載の共振回転振動装置。 11、前記第2の塊体は永久磁石を備えることを特徴と
する請求項7記載の共振回転振動装置。 12、静止基体に相対し且つ意図とする動作の固有共振
周波数を定めるよう弾性構造体により前記静止基体に支
持された少なくとも一つの塊体を備えて成り、前記弾性
構造体は、その一端が、動作の前記固有共振周波数と異
なる周波数でのみ前記静止基体に相対的に移動可能とす
るカプラーを介して前記静止基体に取り付けられたこと
を特徴とする機械的共振装置。 13、前記カプラーはそれぞれ前記弾性構造体上と前記
静止基体上に位置する二つの協同表面を備え、前記表面
は互いに相対して摺動可能であつて、前記意図する固有
共振周波数と異なる周波数でのみ前記表面の相対運動を
可能とする材料を含む間隙により分離されていることを
特徴とする請求項2又は12記載の機械的共振装置。 14、前記材料は軟性ワックスから成ることを特徴とす
る請求項13記載の機械的共振装置。 15、前記カプラー表面は筒状であることを特徴とする
請求項13記載の機械的共振装置。 16、前記弾性構造体は捩り素子を備えることを特徴と
する請求項2又は12記載の機械的共振装置。 17、前記弾性構造体はまた前記カプラーから離間した
位置にて前記静止基体に固着されていることを特徴とす
る請求項2又は12記載の機械的共振装置。 18、前記弾性構造体は捩り素子を備え、前記塊体は前
記カプラーと前記固着位置の間にて前記捩り素子に装着
されることを特徴とする請求項17記載の機械的共振装
置。 19、前記塊体は光素子を含むことを特徴とする請求項
12記載の機械的共振装置。 20、前記意図する動作は回転動作であり、前記カプラ
ーにより前記一端は前記静止基体に相対して軸方向に移
動可能であることを特徴とする請求項11記載の機械的
共振装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/014,998 US4878721A (en) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | Resonant mechanical system |
| US14998 | 1987-02-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63249121A true JPS63249121A (ja) | 1988-10-17 |
Family
ID=21769009
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63034924A Pending JPS63249121A (ja) | 1987-02-17 | 1988-02-17 | 共振回転光学走査装置、共振回転振動装置、及び、機械的共振装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4878721A (ja) |
| JP (1) | JPS63249121A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4990808A (en) * | 1987-02-17 | 1991-02-05 | General Scanning, Inc. | Symmetrical resonant scanner and drive |
| JP2020506437A (ja) * | 2016-11-23 | 2020-02-27 | ブリックフェルト ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 光スキャナ用mems走査モジュール |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5374817A (en) * | 1988-05-11 | 1994-12-20 | Symbol Technologies, Inc. | Pre-objective scanner with flexible optical support |
| US5621371A (en) * | 1989-10-30 | 1997-04-15 | Symbol Technologies, Inc. | Arrangement for two-dimensional optical scanning with springs of different moduli of elasticity |
| US5099110A (en) * | 1989-10-30 | 1992-03-24 | Symbol Technologies, Inc. | Power saving scanning arrangement |
| US5206492A (en) * | 1989-10-30 | 1993-04-27 | Symbol Technologies, Inc. | Bar code symbol scanner with reduced power usage to effect reading |
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