JPS63251122A - 電食穴あけ加工中に浸食ゾーンを浄化する方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、誘電体内で、工作物と工具電極とに相対的な
上下運動、好ましくは工具電極に工作物に対する上下運
動を行なわせる、電食穴あけ加工中に浸食ゾーンを浄化
する方法に関する。

本発明は、また、誘電体内で、作物と工具電極とに相対
的な上下運動、好ましくは工具電極に工作物に対する上
下運動を行なわせる上下運動手段を備える、電食穴あけ
加工設備の浸食ゾーンを浄化する装置に関する。

（従来技術） この種の方法および装置は、放電加工機のような電食穴
あけ設備たとえば皿もみ設備、型掘り設備に３いて公知
である。前記上下運動は、浸食ゾーンの浄化用特に清掃
用に使用する油のような誘電体にボンピング効果をもた
らす。

以下の手順は、型掘り浸食加工中に通常採用されている
。所望の幾何学的形状、所望の表面性状、浸食強度、摩
耗量等得ようとする加工目的とともに、たとえば使用す
る浄化装置、使用する電極、加工されるべき工作物等実
際の浸食設備を基礎として、実在する科学技術指針を基
に、幾何学（ΔＲ１Δβ、ΔＺ、ΔＸ、ΔＹ）および方
法の特定のパラメータ（Ｕ、Ｉ、Ｔ、Ｑ等）またいわゆ
るオフラインパラメータは、以下のように定義されてい
る。

ΔＲ：放射状の前進ステップ （たとえば、段階的に広げるため） Δβ：放射状の加工移動のための角度増分ΔＺ：ｚ軸増
分 ΔＸ：Ｘ１ｒＩＩＩ増分 ΔＹ：Ｙ軸増分 Ｕ：無負荷電圧 Ｉ：電流強度 Ｔ；パルス長 Ｑ：浄化度 前記オフラインパラメータが注意深く選択されるならば
、浸食プロセスを開始することができる。この浸食プロ
セスは、たとえば、点弧遅延時間１（ＯＬ、短絡部位ｔ
Ｃのようなパルスの特定の物理的パラメータにより特徴
付けることかできる。

これらのパラメータは、サーボ感度か　間隙のサーボ基
準電圧口、浸食ゾーンの浄化度ΔＱ、時間間隔Δτ等の
いわゆるオンラインアクションにより影響される。

電食型掘りプロセスの特性は、プロセスの効率およびプ
ロセスの安定性により特徴付けることができる。プロセ
スの効率は、たとえば無負荷および短絡等、物理的なプ
ロセスの効率の情報を与える。プロセスの安定性は、ス
ピンドル・スリーブの運動等機械の動特性の情報を与え
る。

プロセスの効率および安定性は、多くのプロセスの問題
により低下される。不運にも、浸食プロセスは、プロセ
スにより生じる問題または外部から導入される問題を常
に伴なう。

−ｎＱに、電食型掘り加工中、プロセスの作用は、加工
すなわち浄化ゾーンの底でアークが形成されるように開
始するとき、仕事を保証するために必要である。このよ
うな場合のために、電食設備は、いわゆる自動的に短絡
させないシステムのような監視システムを備える。型掘
り加工浸食設備において、これらのシステムは、上下運
動を頻繁に実行させ、また故障の場合にスピンドル・ス
リーブの反転運動を簡単に行なわせることができる。

このような上下運動は、タイマー運動と称されており、
また、加工ゾーンを清くするために行なわれ、従って加
工プロセスを安全にする。

これらのタイマー運動すなわち上下運動を短絡の場合に
実行することたけでなく、これが可能である限りは短絡
を防ぐように規則的な間隔で実行することは公知である
。ある作用周波数は機械のオペレータにより与えること
ができ、換言すれば２つの上下運動間に特定の時間間隔
がある。この作用周波数は、一般に所与のオフラインパ
ラメータに依存するが、工作物中への工具電極の侵入深
さにも依存する。

しかし、従来の上下運動は、プロセスの安定性と効率の
点で問題があり、また、特に加工時間を増大させるとい
う問題がある。

（発明の目的） 本発明は、上記の問題を解決すること、特に電食穴あけ
加工設備における加工時間を短縮することを目的とする
。

（発明の構成） 上記の目的は、本発明の方法によれば、２つの第１のタ
イマー運動すなわち第１の上下運動間に工作物と工具電
極との相対的な１以上の短いストロークの第２のタイマ
ー運動すなわち第２の上下運動を誘電体中で実行させる
ことにより解決される。

上記の目的は、また、本発明の装置によれば、タイマー
運動すなわち上下運動を行なわせる手段が、２つの第１
のタイマー運動すなわち第１の上下運動間に工作物と工
具電極との相対的な１以上の短いストロークの第２のタ
イマー運動すなわち第２の上下運動を実行させるように
２ステージに構成゛されていることにより解決される。

（発明の作用効果） 本発明は、浸食ゾーンを浄化し部分的な汚染物を除去す
ることにより浸食ゾーンを清くするために、長いストロ
ークの上下運動の中間に、短いストロークの上下運動を
行なわせると好適であるということを発見したことに基
礎を置く。長いストロークの上下運動のために、先の上
下運動のストロークの高さを利用することが好ましい。

通常のすなわち第１の上下運動の間に短いストロークの
第２の上下運動を行なわせることは、無駄時間の短縮ひ
いては加工効率の増大を導くだけでなく、プロセスの安
定性の低下が通常の長いストロークの上下運動の時より
はるかに小さくなる。２つの第１の上下運動の間に行な
われる短いストロークの第２の上下運動のストローク高
さまたは周波数は、好ましくは、一定に維持される。

これにより、加工時間を短縮することおよびプロセスの
シーケンスを監視することが簡単な手法で可能になる。

本発明の方法は、周波数について第１および第２の上下
運動間で区別せず、その代りに各それぞれの上下運動を
前のものに関して同じ時間間隔とするように、特に容易
に実施することができる。

好ましくは、第２の上下運動のストローク高さは、第１
の上下運動のストローク高さの、２０分の１から４分の
３であり、より好ましくは１０分の１から２分の１、さ
らに好ましくは６分の１から３分の１である。第２の上
下運動のストローク高さが一定となるように、第１の上
下運動の平均ストローク高さを基準として使用すること
ができる。これは操作上の観点から比較的簡単に実行す
ることができるが、工作物中への工具電極の侵入深さの
増大とともに、タイマー周波数すなわち上下運動周波数
が高くなりまたは２つの第１の上下運動の間の第２の上
下運動の回数を減じなければならない結果となる。しか
し、第２の上下運動のストローク高さを第１の上下運動
のストローク高さに適合させると、雨上下運動のストロ
ーク高さが工作物中への工具電極の侵入深さの増大とと
もに犬にすることができ、また、確実な情況において周
波数を増大させまたは第２の上下運動回数を減じる必要
がない。従って、上下運動のストローク高さの増大は、
浄化効果を高め、また、工作物中への工具電極の侵入深
さが大きい場合特に浸食ゾーンを良好に浄化することに
なる。

好ましくは、最適の上下運動周波数は、設定段階の間に
浸食プロセスを自由に行ない、上下運動を展開する短絡
情況の間に実行し、２つの展開する短絡情況間の平均時
間間隔を決定することにより、決定される。この時間間
隔は、その後上下運動用の期間として与えられ、それに
より餅記期間は好ましくは安全値たけ短くされ、換言ず
れは周波数が対応して高められる。

プロセスの状態を修正するように上下運動の周波数を自
動的に適応させることにより、加工時間がさらに短縮さ
れる。このように周波数を自動的に適応させることは、
時間の変化する計数期間内に、実際の上下運動回数にか
かわらず、短絡が何回生じたかを計数することにより実
行することかできる。もし、短い計数期間の間または直
接的に続く複数の短い絡計数期間の間に１以上の短絡が
生じたとき、所与の上下運動周波数は増大される。これ
に対し、長い計数期間の間またはいくつかの直接的に続
く複数の長い計数期間の間に短絡がないと、その後上下
運動周波数は減少される。

プロセスの状態を修正すべく上下運動を適合させること
は、たとえば、西独特許第２７３４６８２号明細吉およ
び特開昭５９−６９２２０号公報により公知である。

（従来例） 第１図は、浸食の開時間ｔに対する工具電極と工作物と
の間の距＠Ｈの関係を示す。第１図によりば、工具電極
は、一定の時間間隔で最大ストローク高さＨｌに工具か
ら引き離され、その後一定値となるよう工作物に接近さ
れる。こようなタイマー運動すなわち上下運動の期間中
は浸食は行なわれない。この期間に対応する時間間隔を
ｔＨｓで示す。これに続く時間間隔ｔ　　　　にｒｏｓ 浸食が行なわれ、この期間を矢印Ｐで示す。前記上下運
動を参照符号Ｉで示す。

（実７１１例） 第２図に示す本発明の実施例は、２回の長いストローク
の上下運動すなわち第１の上下運動Ｉの間に複数の短い
ストロークの上下運動すなわち第２の上下運動■を実行
する点で従来と木質的に異なる。第２図によれば、浸食
プロセスはゼロに等しい時刻ｔに開始される。所与の時
間間隔ｔＩ。

１２．１３　・・・ｔｎに、工具電極を取り付けている
スピンドル・スリーブの各第２の上下運動■がＺ浸食の
場合にＺ方向へ実行される。代表的な実施例において、
数ｎは１０であり、また、２つのｉｌの上下運動Ｉの間
の時間間隔は一定、たとえば ｔｍ−ｔｍ−１＝−一定 である。ここに、ｍは整数であり、 １＝ｍ≦１０ である。各第２の上下運動１１のストローク高さり、は
、はぼ１ｍｍである。１０回の第２の上下運動Ｈの後、
はぼ４．５ｍｍのストローク高さＨ，を有する第１の上
下運動１が実行される。

この後、再び１０回の第２の上下運動■が行なわれ、時
刻２Ｔ　（＝２ｘｔｎ＋ｔ　）に、前回の第１の上下運
動■のストローク高さＨ，と本質的に同じストローク高
さＨ２の第１の上下連動Ｉが再び実行される。さらに、
ｎ回の第２の上下運動Ｈの後、さらに第１の上下連動Ｉ
が同様に行なわれる。

図示の実施例において、第１の上下運動［のストローク
高さＨは、工作物３′中への工具′准極３の侵入深さに
関係して漸次増大される。

工作物中への工具電極の侵入深さの時間的な基本増分は
第３図に示す実施例に従って測定され、ストローク高さ
の漸増を確実にし、そして以後の基準が作られる。図示
の実施例では、ストローク高さＨ，、Ｈ２およびＨ３は
、それぞれ、４．５ｍｍ、４．５５ｍｍおよび４．６ｍ
ｍである。

一般原則として、第２の上下運動■は、たとえば前回の
第１の上下運動のストローク高さに対し固定された比と
なるように、侵入深さの増大にともなって増大させるこ
とができる。

明らかなように、第２の上下運動■は、時間的に隣り合
う２つの第１の上下運動１間で、それらの時間間隔、周
波数または上げ下げ比を修正することができる。

特に、たとえば、第２の上下運動■の回数は、工作物中
への工具電極の侵入深さの増大とともに減少させること
ができる。

図示の実施例において、上下運動の開始時の時間間隔は
、それが第１の上下運動または第２の上下運動のいずれ
であっても、同一である。

第２図において、各第２の上下運動■の開始時刻はｔａ
、、ｔａ２−　・・ｔａ、、Ｔ＋ｔａ、−−・で示され
ており、第１の上下運動Ｉの開始時刻はＴａ、２Ｔａで
示されている 第３図に示す回路は、開始段階すなわち設定段階の間の
最適なタイマー周波数すなわち上下運動周波数、浸食め
量変化する浸食ゾーンの状態に対する１前記上下運動周
波数の適合および工作物３゜中への工具電極３の侵入深
さの増大にともなう上下運動のストローク高さの適合を
自動的に設定することを可能にする。

第３図において、パルス発生器４は、作業間隙を規定す
る複数の電極に所定の１に圧および電流のパルスを供給
する。前記電極は、工具電極３と、ワークピース電極す
なわち工作物３とである。前記作業間隙は、浄化すべき
ゾーンであり、また、矢印Ｐで示す。

通常の作業状態の基で、ドライバ２は、工具電極３の前
面とこれに直接対面する工作物３°の而との間の間隔が
木質的に一定となるように、工具電極３を工作物３°に
対し連続的に移動させる。

ドライバ２の作動は、制御回路ｌにより制御される。

浸食が先に説明したようにＺ方向に行なわれないとき、
これの代りにＸまたはＹ方向に行なうべく、ドライバ２
は工具電極３を工作物３°に対しＸまたはＹ方向へ移動
させる。浸食ゾーンの電流および電圧の状態は、電流が
流れたことすなわち短絡を表わす短絡信号Ｃを出力する
スパーク電位分析器５により監視される。短絡信号Ｃは
、比較器７において基準値回路６の基準信号と比較され
る。短絡信号Ｃが基準信号より高いと、比較器７は出力
信号Ｔを制御回路１の第１の訂正入力端子１７に供給す
る。出力信号Ｔは、浸食ゾーンを清掃するために第１の
上下運動■（第２図参照）を生じさせる。

今までに説明した回路部位は、それ自体公知である。比
較器７から制御回路１にさらに信号が供給され、その結
果１其電極３と工作物３°との間に上記の一定の間隙が
本質的に維持されるように、工作物３゛中への工具電極
３の前進が制御される。

短絡信号Ｔの発生と無関係に、一定の時間間隔で工具電
極３を上下運動させることすなわち第１の上下運動■は
第１図に従って公知であるが、付加的な上下運動すなわ
ち第２の上下運動■は発生する短絡信号Ｔにより引き起
される。

これらの上下運動の間の最適な時間間隔を設定するため
に、第３図に示す実施例は、第１のカウンタ８と、これ
の入力端子に接続されたクロック信号発生器９と、第２
のカウンタ１０と、カウンタ８，１０の出力端子に接続
された加算分割回路１１と、回路１１およびレジスタ１
３の出力端子に接続された減算回路１２と、減算回路１
２の出力端子に接続されたメモリ兼調整回路すなわちメ
モリー兼訂正回路１４とを有する。

設定段階の間すなわち浸食プロセスの開始時、比較器７
とカウンタ８との間に配置されたスイッチＳＩ、比較器
７とカウンタ１０との間に配置されたスイッチＳ２およ
び減算回路１２とメモリ兼訂正回路１４との間に配置さ
れたスイッチＳ５は、そわぞわ、閉すなわち導通状態に
おかれている。こわに対し、スイッチＳ３およびＳ４は
、開すなわち非導通状態におかわている。スイッチＳ３
が非導通状態であると、メモリ兼訂正回路工４に記憶さ
れた値の訂正が防止される。また、スィッチＳ３非導通
状態であると、メモリ兼訂正回路１４は単にメモリとし
て作用する。スイッチＳ、が非導通状態であると、スイ
ッチＳ４の入力端子に接続された比較器１５からの制御
信号がカウンタ８にリセット信号として伝達されること
および制御回路１に制御信号として伝達されることが防
止される。

上下運動を開始するために、設定段階において制御回路
１は短絡信号Ｔによってだけで制御される。このとき、
クロック信号発生器９は、タイミング信号をカウンタ８
の計数入力端子に連続的に供給する。短絡信号Ｔは、カ
ウンタ８のリセット人力の１つを制御し、そのカウンタ
の計数値を解除する。その結果、カウンタ８の出力信号
ＥＴは、２つの短絡間、より正確には２つの発展する短
絡情況間すなわち短絡状態間の時間を示す。カウンタ１
０の計数人力には短絡信号Ｔが供給さね、従ってカウン
タ１０の出力信号Ｎは設定段階の間に発生した短絡回数
を示す。

加算分割回路１１の計算人力には、カウンタ８，１０の
信号ＥＴおよびＮが供給される。加算分割回路１１は、
カウンタ８の信号ＥＴを加算し、得られた和をカウンタ
１０の出力信号Ｎで割る。このため、加算分割回路１１
の出力信号すなわち平均値信号ＥＴＡは、カウンタ８の
出力信号の算術平均すなわち比較器７の出力信号Ｔによ
り生じた２つの−Ｅ下運動間の平均時間を示す。

平均値信号ＥＴＡと、レジスタ１３のＩＪ力信号ΔＥと
は、減算回路１２の計算入力端子に供給される。レジス
タ１３の出力信号ΔＥは、平均値信号ＥＴＡから減算回
路１２において減算された正の値である。従って、減算
回路１２は平均値信号ＥＴＡから信号ΔＥを減算する。

減算回路１２の出力信号ＥＳは、２つの短絡信号Ｔ間の
時間の平均値ＥＴＡからの安全期間を有する。設定段階
の間に、出力信号ＥＳは、メモリ兼訂正回路１４に記憶
され、その後比較器１５用の基準値として利用される。

設定段階の終りに、スイッチＳ、、Ｓ２．Ｓ。

は導通状態に切り換えられるのに対し、スイッチＳ３．
Ｓ４は非導通状態に切り換えられる。

以下の作業段階において、クロック信号発生器９はカウ
ンタ８にタイミング信号を供給する。カウンタ８の第２
の計数入力用の出力信号Ｚは、比較器１５の１つの入力
端子に供給される。比較器１５の他の入力端子には、メ
モリ兼訂正回路１４の出力信号ＥＳＩが供給され、この
信号ＥＳＩは訂正か回路１４においてなされたとき信号
ＥＳに等しい。カウンタ８の出力信号Ｚがメモリ兼訂正
回路１４の出力信号ＥＳＩの値に達するやいなや、比較
器１５は制御信号Ｔ１をカウンタ８のリセット入力端子
に供給し、該カウンタをリセットする。これに続いて、
カウンタ８は再び計数すべき状態になる。比較器１５の
出力信号ＴＩは、１に制御回路１の入力端子Ｉ８へも制
御人力として供給される。

これにより、制御回路１は、その１つの出力端子１８′
からドライバ２に制御信号を供給する。ドライバ２は、
これが制御回路１の出力端子１８°の信号によりトリガ
されて第２の上下運動■を実行させ、制御回路１の他の
出力端子１７′の信号によりトリガされて第１の上下運
動Ｉを実行するように、２ステージの形に構成されてい
る。このため、制御回路１は、２８．の出力端子１７’
、１８°のいずれか１つに信号を出力するように構成さ
れている。しかし、出力端子１７°は、たとえ入力端子
１７．１８に（３号が同時に入力しても、入力端子１７
に信号が入力されときいつでも出力端子１７′に信号を
出力するように、優先付けられている。従って、たとえ
短絡信号Ｔが発生されても、入力端子１７．１８を橋絡
する周波数分割器１６から信号が供給されたときと同じ
に、常に長いストロークの第１の上下運動Ｉが実行され
る。

周波数分割器１６は、比較器１５からの（ｎ＋１）番目
の信号Ｔ毎に語信号を制御回路１の入力端子１７に伝達
するように、設計されている。従って、ｎ回の第２の上
下運動■の後に、第１の上下運動■がｎ回の第２の上下
運動■に続いて実行される。さらに、前記上下運動間の
時間間隔は、メモリ兼訂正回路１４の出力信号ＥＳＩに
より表わされた時間と同じである。よって、０守記上下
運動の周波数は、ＥＳＩの逆数に対応する。

メモリ兼訂正回路１４から出力される基準値ＥＳＩを修
正するために、２つのカウンタ１０°および１０”がそ
れぞれ閾値ステージすなわち閾値回路２０′および２０
”の入力の側に接続されている。閾値回路２０°および
２０”の出力端子は、それぞれ、修正信号−ΔＥＳおよ
び＋ΔＥＳをメモリ兼訂正回路１４に供給するように、
メモリ兼訂正回路１４の入力端子に接続されている。両
カウンタ２０’、２０”の計数入力端子には比較器７の
短絡出力信号Ｔが入力され、このため両カウンタ２０’
　、２０”は短絡回数を計数する。両カウンタ２０’、
２０”のリセット入力端子には、クロック信号発生器９
のクロック信号が分割器り、、Ｄ２を経て供給される。

分割器り、、Ｄ２は、カウンタ２０’、２０”の計数時
を決定する。クロック信号発生器９のクロックイ３号は
、分割器Ｄ２の除数が分割器Ｄ１のそれより大きくなる
ように分割される。このため、カウンタ１０”は、カウ
ンタ１０゛より長時間計数する。

与えられた計数時間内にカウンタ１０′により計数され
た短絡回数が閾値回路２０°に設定された閾値より小さ
いと、閾値回路２０°は信号を出力しない。しかし、カ
ウンタ１０゛により計数された短絡回数が閾値回路２０
゛の前記閾値と等しいか前記閾値より大きいと、閾値回
路２０°はメモリ兼訂正回路１４へ修正信号−ΔＥＳを
供給する。修正信号−ΔＥＳからの出現は、正規の上下
運動にもかかわらず、短絡の発生回数が余りにも多いこ
とを意味し、その結果として比較器１５用の基準値ＥＳ
Ｉを減少させねばならない、すなわち上下運動の周波数
を増大しなければならない。

しかし、カウンタ１０”により計数された短絡回数が閾
値回路２０゛に設定された閾値に到達するかこれを越え
ると、閾値回路２０”は信号を出力しない。これに対し
、カウンタ１０”により計数された短絡回数が閾値回路
２０°°の前記閾値より小さいと、閾値回路２０”は修
正信号子ΔＥＳをメモリ兼訂正回路１４へ供給する。

閾値回路２０”からの修正信号子ΔＥＳの出現は、正規
の上下運動にもかかわらず、短絡の発生回数が余りにも
少ないことを意味し、その結果として比較器１５用の基
準値ＥＳＩを増大させねばならない、すなわち上下運動
の周波数を減少させることができる。従って、最少回数
の正規の上下運動を実行することが確実になる。

前記メモリ兼訂正回路の動的平滑化は、分割回路Ｄ３ま
たはＤ４が閾値回路２０’、２０”の出力側に接続され
、それにより閾値回路２０′。

２０パがその第３の出力信号をメモリ兼訂正回路１４に
供給することにより達成される。

−上下運動ｒ、■のストローク高さＨ，ｈを変更するた
めに、工作物３°への工具型′ＦＵ３の侵入深さを決定
する測定回路２３が配置されている。測定回路２３の出
力信号ｄは修正回路２２に供給され、該修正回路は信号
をドライバ２に供給し、その結果として、工作物３′中
への工具電極３の侵入深さが　好ましくは連続的でなく
段階的に増大するように、上下運動１．■のストローク
高さか変更される。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の上下運動の運動シーケンスを示す図、第
２図は本発明の上下運動の運動シーケンスを示す図、第
３図は第２図に示す上下運動を実行する装置の一実施例
を示す回路のブロック図である。 に制御回路、　　２：ドライバ、。 ３：工具電極、　　　３′　、工作物、４：パルス発生
器、５ニスパ一ク電位分析器、６：基準回路、　　　７
：比較器、 ８：カウンタ、　　　９：パルス発生器、１０．１０’
、１０”：カウンタ、 １１：加算分割回路、１２：減算回路、１３：レジスタ
、　　１４：メモリ兼訂正回路、１５：比較器、　　　
１６：周波数分割器、２０’　、２０°°　：閾値回路
、 ２２：修正回路、　　２３：測定回路、Ｄ、、Ｄ２．Ｄ
３．Ｄ４　：分割回路。

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. （１）工作物に対する工具電極の第１の上下運動（ I
   ）を誘電体内で複数回実行することを含む、電食穴あけ
   加工中に浸食ゾーンを浄化する方法であって、短い第２
   の上下運動（II）を２つの前記第１の上下運動（ I ）
   の間に１回以上行なうことを含む、浄化方法。
2. （２）前記第２の上下運動（II）を２つの前記第１の上
   下運動（ I ）の間に複数回一定時間間隔で行う、特許
   請求の範囲第（１）項に記載の浄化方法。
3. （３）時間的に隣り合う２つの前記上下運動（ I 、II
   ）の開始点間の各時間間隔または前記上下運動（ I 、
   II）の終了点とこれに続く前記上下運動（ I 、II）の
   開始点との間の各時間間隔が同じである、特許請求の範
   囲第（２）項に記載の浄化方法。
4. （４）前記第２の上下運動運動（II）の回数（ｎ）また
   はストローク高さ（ｈ）を一定に維持して前記第２の上
   下運動運動（II）を２つの前記第１の上下運動（ I ）
   の間に複数回行う、特許請求の範囲第（１）項〜第（３
   ）項のいずれか１項に記載の浄化方法。
5. （５）前記第２の上下運動運動（II）の前記ストローク
   高さ（ｈ）が前記第１の上下運動運動（ I ）のストロ
   ーク高さ（Ｈ）の２０分の１から４分の３である、特許
   請求の範囲第（１）項〜第（４）項のいずれか１項に記
   載の浄化方法。
6. （６）前記第２の上下運動運動（II）の前記ストローク
   高さ（ｈ）が前記第１の上下運動運動（ I ）のストロ
   ーク高さ（Ｈ）の１０分の１から２分の１である、特許
   請求の範囲第（５）項に記載の浄化方法。
7. （７）前記第２の上下運動運動（II）のストローク高さ
   （ｈ）が前記第１の上下運動運動（ I ）のストローク
   高（Ｈ）の６分の１から３分の１である、特許請求の範
   囲第（６）項に記載の浄化方法。
8. （８）前記第２の上下運動運動（II）の時間間隔または
   ストローク高さを、前記浸食ゾーンにおけるプロセスの
   関数として制御する、特許請求の範囲第（１）項〜第（
   ７）項のいずれか１項に記載の浄化方法。
9. （９）前記上下運動（ I 、II）の時間間隔を設定すべ
   く、 ａ）展開する短絡状態のために前記浸食ゾーンを監視す
   る予め定められた持続時間の設定段階の間に浸食プロセ
   スを自由に行ない、短絡状態が展開しているときに前記
   第１の上下運動（II）を実行し、 ｂ）前記設定段階の間に展開する短絡状態の回数（Ｎ）
   およびそれらの相互関係にある時間間隔（ＥＴ）を測定
   して平均短絡時間間隔（ＥＴＡ）を決定し、 ｃ）２つの直接的に続く前記上下運動（ I 、II）間の
   時間間隔として前記平均短絡時間間隔（ＥＴＡ）を与え
   る、特許請求の範囲第（８）項に記載の浄化方法。
10. （１０）２つの直接的に続く前記上下運動（ I 、II）
    間の所与の時間間隔として、前記平均短絡時間間隔（Ｅ
    ＴＡ）より安全値（ΔＥ）だけ短い時間を選択する、特
    許請求の範囲第（９）項に記載の浄化方法。
11. （１１）前記上下運動（ I 、II）または時間的に隣り
    合う前記上下運動（ I 、II）間の所与の時間間隔を修
    正するために、 ａ）展開する短絡状態のために浸食ゾーンを監視し、短
    絡状態が展開しているとき付加的な上下運動を前記上下
    運動（ I 、II）の所与の時間間隔（ＥＳ１）と無関係
    に実行し、 ｂ）付加的に行なわれる前記上下運動の周波数を決定し
    、 ｃ）該周波数の関数として所与の前記時間間隔（ＥＳ１
    ）の長さを修正し、修正された時間間隔を新たな時間間
    隔（ＥＳ１）として与える、特許請求の範囲第（８）項
    〜第（１０）項のいずれか１項に記載の浄化方法。
12. （１２）所与の第１の時間間隔内または直接的に続く予
    め定められた数の第１の時間間隔内に１以上の短絡が生
    じたとき、付加的な上下運動を実行するように、前記上
    下運動（ I 、II）の間の所与の前記時間間隔（ＥＳ１
    ）を減少させる、特許請求の範囲第（１１）項に記載の
    浄化方法。
13. （１３）所与の第２の時間間隔内または複数の直接的に
    続く所与の第２の時間間隔内に短絡を生じない上下運動
    が実行されたとき、前記上下運動（ I 、II）間の所与
    の前記期間（ＥＳ１）を増大させる、特許請求の範囲第
    （１１）項または第（１２）項に記載の浄化方法。
14. （１４）誘電体内で工具電極（３）と工作物（３’）と
    に相対的な第１の上下運動（ I ）を生じさせる上下運
    動手段（１、２、８、１４、１５、１６）を含む、電食
    穴あけ設備の浸食ゾーンを浄化する装置であって、前記
    上下運動手段（１、２、８、１４、１５、１６）は、２
    つの前記第１の上下運動（ I ）の間に、前記工具電極
    （３）と前記工作物（３’）とに相対的な１以上の短い
    ストローク（ｈ）の第２の上下運動（II）を行なわせる
    ように２ステージ形（１６）に設計されている、浄化装
    置。
15. （１５）前記浸食ゾーンに短絡状態が展開する場合に短
    絡信号（Ｔ）を発生する短絡監視手段（５、６、７）で
    あって前記短絡信号（Ｔ）が発生されたとき、前記上下
    運動手段（１、２、８、１４、１５、１６）が付加的な
    上下運動を実行させるように、前記上下運動手段（１、
    ２、８、１４、１５、１６）に接続された短絡監視手段
    （５、６、７）と、 付加的な前記上下運動の周波数を決定する手段（１０’
    、１０”、２０’、２０”）であってこれの信号出力端
    子が前記上下運動（ I 、II）の所与の時間間隔（ＥＳ
    １）を修正するために前記上下運動手段（１、２、８、
    １４、１５、１６）内の訂正手段（１４）の訂正入力端
    子に接続された周波数決定手段（１０’、１０”、２０
    ’、２０”）とをさらに含む、特許請求の範囲第（１４
    ）項に記載の浄化装置。
16. （１６）前記短絡により開始された付加的な前記上下運
    動の周波数を決定する前記手段（１０’、１０”、２０
    ’、２０”）は、予め定められた計数期間（Ｄ＿１）内
    に行なわれる付加的な前記上下運動を計数する計数回路
    （１０’）と、該計数回路に接続された閾値回路（２０
    ’）であって前記計数回路（１０’）の値が予め定めら
    れた第１の閾値を超過するとき、予め定められた第１の
    時間間隔（ＥＳ）を減じるための訂正信号（−ΔＥＳ）
    を前記上下運動手段（１、２、８、１４、１５、１６）
    内の前記訂正手段（１４）の第１の訂正入力端子に供給
    するように、前記第１の訂正入力端子に接続された閾値
    回路（２０’）とを含む、特許請求の範囲第（１５）項
    に記載の浄化装置。
17. （１７）前記短絡により開始された付加的な前記上下連
    動の周波数を決定する前記手段（１０’、１０”、２０
    ’、２０”）は、予め定められた第２の計数期間（Ｄ＿
    ２）内に行なわれる付加的な前記上下運動を計数する第
    ２の計数回路（１０”）と、該第２の計数回路に接続さ
    れた第２の閾値回路（２０”）であって前記第２の計数
    回路（１０”）の値が予め定められた第２の閾値を超過
    しないとき、訂正信号（＋ΔＥＳ）を前記上下運動手段
    （１、２、８、１４、１５、１６）内の前記訂正手段（
    １４）の第２の訂正入力端子に供給するように、前記第
    ２の訂正入力端子に接続された第２の閾値回路（２０”
    ）とを含む、特許請求の範囲第（１４）項または第（１
    ５）項に記載の浄化装置。
18. （１８）前記上下運動手段（１、２、８、１４、１５、
    １６）は、前記第１の上下運動（ I ）のストローク高
    さ（Ｈ）を設定する訂正手段（２２）と、前記工作物（
    ３’）中への前記工具電極（３）の侵入深さを決定する
    手段（２３）であってこれの信号出力端子が前記ストロ
    ーク高さを決定する前記訂正手段（２２）の訂正入力端
    子に接続された侵入深さ決定手段（２３）とを有する、
    特許請求の範囲第（１４）項〜第（１７）項のいずれか
    １項に記載の浄化装置。