JPS6325211B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6325211B2 JPS6325211B2 JP54133771A JP13377179A JPS6325211B2 JP S6325211 B2 JPS6325211 B2 JP S6325211B2 JP 54133771 A JP54133771 A JP 54133771A JP 13377179 A JP13377179 A JP 13377179A JP S6325211 B2 JPS6325211 B2 JP S6325211B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movement
- retainer
- linear bearing
- gear mechanism
- pinion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/306—Means to synchronise movements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/04—Ball or roller bearings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は精密測定機器や電子線露光装置の試料
台等を移動自在に支持するに好適なリニアベアリ
ング機構に関する。
台等を移動自在に支持するに好適なリニアベアリ
ング機構に関する。
精密工作機械や精密測定機器等にXYテーブル
が多く用いられるようになつた。このようなXY
テーブルは多くの場合、第１図に示すようにボー
ルやコロ等の転動体１、これらの転動体１を保持
するリテーナ２、上記転動体１を介して対向され
て平行に移動自在に設けられた直線ガイド３から
なるリニアベアリングにより移動自在に支持され
て設けられる。尚、第１図は簡単の為に一軸分の
みを示しており、４は基台、５は基台４上に上記
リニアベアリングを介して移動自在に設けられた
テーブルを示している。
が多く用いられるようになつた。このようなXY
テーブルは多くの場合、第１図に示すようにボー
ルやコロ等の転動体１、これらの転動体１を保持
するリテーナ２、上記転動体１を介して対向され
て平行に移動自在に設けられた直線ガイド３から
なるリニアベアリングにより移動自在に支持され
て設けられる。尚、第１図は簡単の為に一軸分の
みを示しており、４は基台、５は基台４上に上記
リニアベアリングを介して移動自在に設けられた
テーブルを示している。
しかして従来、この種のテーブル装置は使用頻
度も少なく、テーブル６の移動回数も少ないもの
であつたが、近年、例えば電子線露光装置にあつ
ては高速度に繰り返して往復運動を行わせ、且つ
長時間に亘つて高精度に移動位置を維持すること
が必要となつてきた。
度も少なく、テーブル６の移動回数も少ないもの
であつたが、近年、例えば電子線露光装置にあつ
ては高速度に繰り返して往復運動を行わせ、且つ
長時間に亘つて高精度に移動位置を維持すること
が必要となつてきた。
第１図に示す構造のリニアベアリングは原理的
には第２図ａ，ｂに示すようにテーブル６（ガイ
ド３）の移動距離Ｘに対して転動体１およびリテ
ーナが上記距離Ｘの半分、つまり距離1/2Ｘだけ
移動してテーブル５の移動を円滑化するものであ
る。ところが、長期間の使用によりテーブル６の
往復運動によりリテーナ２が徐々に一方の向きに
ずれてくることが経験上知られており、従来、リ
テーナ２の最大移動範囲を規制するストツパをガ
イド３に設ける等の工夫が行われていた。これに
より一定量ΔX以上のいずれが防止されたが、結
局上記ΔX分の誤差を補償することができず、テ
ーブル精度の向上が望み得なかつた。しかもスト
ツパによつて転動体１等に急激な力が加わり、そ
の衝撃によつてテーブル５上に載置された試料
（図示せず）を傷つけたり、その固定位置のずれ
を招く等の問題を招いた。
には第２図ａ，ｂに示すようにテーブル６（ガイ
ド３）の移動距離Ｘに対して転動体１およびリテ
ーナが上記距離Ｘの半分、つまり距離1/2Ｘだけ
移動してテーブル５の移動を円滑化するものであ
る。ところが、長期間の使用によりテーブル６の
往復運動によりリテーナ２が徐々に一方の向きに
ずれてくることが経験上知られており、従来、リ
テーナ２の最大移動範囲を規制するストツパをガ
イド３に設ける等の工夫が行われていた。これに
より一定量ΔX以上のいずれが防止されたが、結
局上記ΔX分の誤差を補償することができず、テ
ーブル精度の向上が望み得なかつた。しかもスト
ツパによつて転動体１等に急激な力が加わり、そ
の衝撃によつてテーブル５上に載置された試料
（図示せず）を傷つけたり、その固定位置のずれ
を招く等の問題を招いた。
そこで本発明者らは先に、第３図に示すように
リテーナ２に連設したピニオン６とこのピニオン
６に噛合するラツク７とからなる歯車機構により
ガイド３とリテーナ２との移動関係を拘束した構
造のリニアベアリング機構を提唱した。然なが
ら、リテーナ２が正規の移動範囲から外れた場合
にピニオン６の動きとリテーナ２との動きが干渉
したり、また歯車機構が外方に大きく突出するの
でその収容構造が大型化する等の新たな問題が生
じた。
リテーナ２に連設したピニオン６とこのピニオン
６に噛合するラツク７とからなる歯車機構により
ガイド３とリテーナ２との移動関係を拘束した構
造のリニアベアリング機構を提唱した。然なが
ら、リテーナ２が正規の移動範囲から外れた場合
にピニオン６の動きとリテーナ２との動きが干渉
したり、また歯車機構が外方に大きく突出するの
でその収容構造が大型化する等の新たな問題が生
じた。
本発明は上記事情を考慮してなされたもので、
その目的とするところは、リテーナとピニオンと
の干渉を生じることなくテーブルの移動を円滑に
行つて高精度な位置決めを可能とする小型で簡易
な構造のリニアベアリング機構を提供せんことに
ある。
その目的とするところは、リテーナとピニオンと
の干渉を生じることなくテーブルの移動を円滑に
行つて高精度な位置決めを可能とする小型で簡易
な構造のリニアベアリング機構を提供せんことに
ある。
即ち本発明の概要はリテーナの動きを規制する
ラツクとピニオンからなる歯車機構をリニアベア
リングの側方に設け、且つリテーナとピニオンと
の間に緩衝部材を設けることにより上記目的を達
成したものである。
ラツクとピニオンからなる歯車機構をリニアベア
リングの側方に設け、且つリテーナとピニオンと
の間に緩衝部材を設けることにより上記目的を達
成したものである。
以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明
する。
する。
第４図ａ〜ｃは実施例構造を示すもので、ａは
断面図、ｂは側面図、ｃは一部切欠した平面図を
それぞれ示している。基台１１の両側部上面には
平行に立上り片１１ａ，１１ｂが設けられてお
り、この立上り片１１ａ，１１ｂにそれぞれ断面
に窪みを有した直線ガイドレール１２ａ，１２ｂ
が固着されている。尚、こらの直線ガイドレール
１２ａ，１２ｂは基台１１に一体的に形成された
ものであつてもよい。一方、断面逆凸状の移動テ
ーブル１３はその凸部を前記基台１１の立上り片
１１ａ，１１ｂ間に離間して平行配置されてい
る。このテーブル１３の上記凸部の両側には前記
ガイドレール１２ａ，１２ｂに対向して、その断
面に窪みを有する直線ガイドレール１４ａ，，１
４ｂがそれぞれ固定されている。これらの直線ガ
イドレール１４ａ，１４ｂもテーブル１３と一体
構造をなすものであつても勿論良い。しかしてガ
イドレール１４ａ，１４ｂは前記ガイドレール１
２ａ，１２ｂとそれぞれ対をなし、平行移動自在
に設けられたものである。そしてこれらのガイド
レール１２ａ，１２ｂ，１４ａ，１４ｂ間にボー
ルやコロ等からなる転動体１５ａ，１５ｂが前記
窪み間に介在されており、上記ガイドレール１２
ａ，１２ｂ，１４ａ，１４ｂの移動を円滑自在可
している。また転動体１５ａ，１５ｂはガイドレ
ール間に離間して設けられた板状のリテーナ１６
ａ，１６ｂにより転動自在に支持されたものであ
る。これらのリテーナ１６ａ，１６ｂ、転動体１
５ａ，１５ｂそして前記直線ガイドレール１２
ａ，１２ｂ，１４ａ，１４ｂにより前記テーブル
１３を基台１１に対して移動自在に支持するリニ
アベアリングがそれぞれ構成されている。
断面図、ｂは側面図、ｃは一部切欠した平面図を
それぞれ示している。基台１１の両側部上面には
平行に立上り片１１ａ，１１ｂが設けられてお
り、この立上り片１１ａ，１１ｂにそれぞれ断面
に窪みを有した直線ガイドレール１２ａ，１２ｂ
が固着されている。尚、こらの直線ガイドレール
１２ａ，１２ｂは基台１１に一体的に形成された
ものであつてもよい。一方、断面逆凸状の移動テ
ーブル１３はその凸部を前記基台１１の立上り片
１１ａ，１１ｂ間に離間して平行配置されてい
る。このテーブル１３の上記凸部の両側には前記
ガイドレール１２ａ，１２ｂに対向して、その断
面に窪みを有する直線ガイドレール１４ａ，，１
４ｂがそれぞれ固定されている。これらの直線ガ
イドレール１４ａ，１４ｂもテーブル１３と一体
構造をなすものであつても勿論良い。しかしてガ
イドレール１４ａ，１４ｂは前記ガイドレール１
２ａ，１２ｂとそれぞれ対をなし、平行移動自在
に設けられたものである。そしてこれらのガイド
レール１２ａ，１２ｂ，１４ａ，１４ｂ間にボー
ルやコロ等からなる転動体１５ａ，１５ｂが前記
窪み間に介在されており、上記ガイドレール１２
ａ，１２ｂ，１４ａ，１４ｂの移動を円滑自在可
している。また転動体１５ａ，１５ｂはガイドレ
ール間に離間して設けられた板状のリテーナ１６
ａ，１６ｂにより転動自在に支持されたものであ
る。これらのリテーナ１６ａ，１６ｂ、転動体１
５ａ，１５ｂそして前記直線ガイドレール１２
ａ，１２ｂ，１４ａ，１４ｂにより前記テーブル
１３を基台１１に対して移動自在に支持するリニ
アベアリングがそれぞれ構成されている。
しかして前記リテーナ１６ａ，１６ｂには棒撥
条からなる緩衝部材１７ａ，１７ｂがテーブル１
３と基台１１との間に連設されており、その先端
部には回転自在にピニオン１８ａ，１８ｂがそれ
ぞれ設けられている。これらのピニオン１８ａ，
１８ｂは前記立上り片１１ａ，１１ｂの側面、お
よびテーブル１３の両側面にそれぞれ固定された
ラツク１９ａ，１９ｂおよび２０ａ，２０ｂに噛
合し、上記ラツク２０ａ，２０ｂの移動に関連し
て回転するものであり、これらのラツク１９ａ，
１９ｂ，２０ａ，２０ｂと共に歯車機構を構成し
ている。
条からなる緩衝部材１７ａ，１７ｂがテーブル１
３と基台１１との間に連設されており、その先端
部には回転自在にピニオン１８ａ，１８ｂがそれ
ぞれ設けられている。これらのピニオン１８ａ，
１８ｂは前記立上り片１１ａ，１１ｂの側面、お
よびテーブル１３の両側面にそれぞれ固定された
ラツク１９ａ，１９ｂおよび２０ａ，２０ｂに噛
合し、上記ラツク２０ａ，２０ｂの移動に関連し
て回転するものであり、これらのラツク１９ａ，
１９ｂ，２０ａ，２０ｂと共に歯車機構を構成し
ている。
かくして上記構造の機構によればテーブル１３
の移動がリニアベアリングにより円滑に行われる
が、このときテーブル１３の移動量Ｘに比してリ
ニアベアリングのリテーナ１６ａ，１６ｂおよび
転動体１５ａ，１５ｂの移動量が1/2Ｘになるこ
とはリニアベアリングの構造からして前述した通
りである。しかもこの場合、上記リテーナ１６
ａ，１６ｂの動きは、テーブル１３つまりラツク
２０ａ，２０ｂの移動量に対応して正確に拘束さ
れるので、長時間に亘る使用や頻繁なテーブル１
３の移動によつてリテーナ１６ａ，１６ｂの位置
にずれを生じる虞れもない。また仮りにテーブル
１３が大きく移動してリテーナ１６ａ，１６ｂの
位置がその正規の移動範囲から外れた場合であつ
ても、緩衝体１７ａ，１７ｂがその衝撃的な移動
阻止力を吸収して緩衝作用を呈するので、ピニオ
ン１８ａ，１８ｂの動きとリテーナ１６ａ，１６
ｂの動きとが干渉することがなく、従つてテーブ
ル１３上に載置された試料がその固定位置からず
れる虞れもない。また本発明者らが先に提供した
第３図に示す構造とは異なり、歯車機構がリニア
ベアリングの側方に位置する為、不用意な突出部
がなく、全体形状を小型化することができる。従
つて電子線装置の試料室等、決められた空間内に
テーブルを組み込む場合であつても、全体がコン
パクトであるが故に無駄な設置スペースを必要と
しないので都合が良い。また、緩衝体１７ａ，１
７ｂを介してリテーナ１６ａ，１６ｂとピニオン
１８ａ，１８ｂとを連設する構造である為、組立
等における位置精度が大幅に緩和され、製作が非
常に容易となる。
の移動がリニアベアリングにより円滑に行われる
が、このときテーブル１３の移動量Ｘに比してリ
ニアベアリングのリテーナ１６ａ，１６ｂおよび
転動体１５ａ，１５ｂの移動量が1/2Ｘになるこ
とはリニアベアリングの構造からして前述した通
りである。しかもこの場合、上記リテーナ１６
ａ，１６ｂの動きは、テーブル１３つまりラツク
２０ａ，２０ｂの移動量に対応して正確に拘束さ
れるので、長時間に亘る使用や頻繁なテーブル１
３の移動によつてリテーナ１６ａ，１６ｂの位置
にずれを生じる虞れもない。また仮りにテーブル
１３が大きく移動してリテーナ１６ａ，１６ｂの
位置がその正規の移動範囲から外れた場合であつ
ても、緩衝体１７ａ，１７ｂがその衝撃的な移動
阻止力を吸収して緩衝作用を呈するので、ピニオ
ン１８ａ，１８ｂの動きとリテーナ１６ａ，１６
ｂの動きとが干渉することがなく、従つてテーブ
ル１３上に載置された試料がその固定位置からず
れる虞れもない。また本発明者らが先に提供した
第３図に示す構造とは異なり、歯車機構がリニア
ベアリングの側方に位置する為、不用意な突出部
がなく、全体形状を小型化することができる。従
つて電子線装置の試料室等、決められた空間内に
テーブルを組み込む場合であつても、全体がコン
パクトであるが故に無駄な設置スペースを必要と
しないので都合が良い。また、緩衝体１７ａ，１
７ｂを介してリテーナ１６ａ，１６ｂとピニオン
１８ａ，１８ｂとを連設する構造である為、組立
等における位置精度が大幅に緩和され、製作が非
常に容易となる。
このように本機構によれば従来には期待できな
い格別なる効果を奏し得る。
い格別なる効果を奏し得る。
第５図〜第７図は各々本発明の別の実施例を示
すものである。
すものである。
第５図に示すものはピニオン１８ａ，１８ｂに
腕２１を設け、この腕２１を滑車２２により支持
して、その先端部を緩衝体１７ａ，１７ｂを介し
てリテーナ１６ａ，１６ｂに連設した構造であ
る。このような構造によれば腕２１の自重と滑車
２２の支持力によつて緩衝体１７ａ，１７ｂの取
付け位置が固定化されるので、上記緩衝体１７
ａ，１７ｂにねじれ等の不要力を及ぼす虞れがな
くなる。故に緩衝体１７ａ，１７ｂにはリテーナ
１６ａ，１６ｂとピニオン１８ａ，１８ｂの移動
に伴う振動のみを効果的に吸収せしむる機能だけ
を持たせ得るので、その効果が如何んなく発揮さ
れる。
腕２１を設け、この腕２１を滑車２２により支持
して、その先端部を緩衝体１７ａ，１７ｂを介し
てリテーナ１６ａ，１６ｂに連設した構造であ
る。このような構造によれば腕２１の自重と滑車
２２の支持力によつて緩衝体１７ａ，１７ｂの取
付け位置が固定化されるので、上記緩衝体１７
ａ，１７ｂにねじれ等の不要力を及ぼす虞れがな
くなる。故に緩衝体１７ａ，１７ｂにはリテーナ
１６ａ，１６ｂとピニオン１８ａ，１８ｂの移動
に伴う振動のみを効果的に吸収せしむる機能だけ
を持たせ得るので、その効果が如何んなく発揮さ
れる。
また第６図に示す構造はピニオン１８ａ，１８
ｂを複数（ここでは２個）用い、これらを腕２３
にて連結したものである。そして、上記腕２３と
リテーナ１６ａ，１６ｂとの間を緩衝体１７ａ，
１７ｂで連結した構造としたものである。従つて
上記構造によれば腕２３にてピニオン１８ａ，１
８ｂの不用意な回転が防止されることのみなら
ず、腕２３とリテーナ１６ａ，１６ｂとの間に所
要剛性の緩衝体１７ａ，１７ｂを任意数設けてリ
テーナ１６ａ，１６ｂとピニオン１８ａ，１８ｂ
との関連力を適宜調整できるので実用化には好都
合である。また緩衝体１７ａ，１７ｂの数は適宜
定めることができる。
ｂを複数（ここでは２個）用い、これらを腕２３
にて連結したものである。そして、上記腕２３と
リテーナ１６ａ，１６ｂとの間を緩衝体１７ａ，
１７ｂで連結した構造としたものである。従つて
上記構造によれば腕２３にてピニオン１８ａ，１
８ｂの不用意な回転が防止されることのみなら
ず、腕２３とリテーナ１６ａ，１６ｂとの間に所
要剛性の緩衝体１７ａ，１７ｂを任意数設けてリ
テーナ１６ａ，１６ｂとピニオン１８ａ，１８ｂ
との関連力を適宜調整できるので実用化には好都
合である。また緩衝体１７ａ，１７ｂの数は適宜
定めることができる。
更に第７図に示す構造は、２組のリニアベアリ
ングに対して１個の歯車機構を一体化して設けた
ものであつて、且つ上記歯車機構をテーブル１３
の内側に埋込んだ構造としたものである。このよ
うな構造にあつても歯車機構がリニアベアリング
の側方に位置するとには変りなく、前記した各実
施例と同様な効果を発揮する。しかもその効果に
加えて歯車機構が外部に露出しないので、取扱い
がスムーズで、各種機器に組み込むに都合がよい
等の利点を奏する。
ングに対して１個の歯車機構を一体化して設けた
ものであつて、且つ上記歯車機構をテーブル１３
の内側に埋込んだ構造としたものである。このよ
うな構造にあつても歯車機構がリニアベアリング
の側方に位置するとには変りなく、前記した各実
施例と同様な効果を発揮する。しかもその効果に
加えて歯車機構が外部に露出しないので、取扱い
がスムーズで、各種機器に組み込むに都合がよい
等の利点を奏する。
尚、本発明は上記実施例に限定されるものでは
ない。例えばリテーナとピニオンとの連結機構は
種々変形できるものであり、緩衝体を介在させた
場合の緩衝力はリニアベアリングおよび歯車機構
の仕様に応じて定めればよい。またリニアベアリ
ングと歯車機構とを１対１に規定する必要もな
く、第７図に示したように２対１なる関係や逆の
関係に定めてもよい。要するに本発明はその要旨
を逸脱しない範囲で種々変形して実施することが
できる。
ない。例えばリテーナとピニオンとの連結機構は
種々変形できるものであり、緩衝体を介在させた
場合の緩衝力はリニアベアリングおよび歯車機構
の仕様に応じて定めればよい。またリニアベアリ
ングと歯車機構とを１対１に規定する必要もな
く、第７図に示したように２対１なる関係や逆の
関係に定めてもよい。要するに本発明はその要旨
を逸脱しない範囲で種々変形して実施することが
できる。
以上詳述したように本発明はリニアベアリング
の移動、特に転動体とリテーナの移動をその側方
に設けた歯車機構により拘束したものであり、従
つて長時間に亘る使用や頻繁な往復運動にあつて
もリテーナのずれを未然に防ぎ得る。しかもリニ
アベアリングと歯車機構とを連結する緩衝体によ
つて相互干渉を防止できるので精度の高い位置決
めを可能とする等の種々格別な効果を奏し得る小
型で簡易な構成のリニアベアリング機構をここに
提供することができる。
の移動、特に転動体とリテーナの移動をその側方
に設けた歯車機構により拘束したものであり、従
つて長時間に亘る使用や頻繁な往復運動にあつて
もリテーナのずれを未然に防ぎ得る。しかもリニ
アベアリングと歯車機構とを連結する緩衝体によ
つて相互干渉を防止できるので精度の高い位置決
めを可能とする等の種々格別な効果を奏し得る小
型で簡易な構成のリニアベアリング機構をここに
提供することができる。
第１図はテーブル構造の一例を示す斜視図、第
２図ａ，ｂはリニアベアリングの作用を示す図、
第３図は従来機構の一例を示す概略図、第４図ａ
〜ｃは本発明の一実施例構造を示すもので、ａは
断面図、ｂは側面図、ｃは一部切欠した平面図、
第５図〜第７図はそれぞれ本発明の別の実施例を
示す概略図である。 １１……基台、１２ａ，１２ｂ，１４ａ，１４
ｂ……直線ガイドレール、１３……移動テーブ
ル、１５ａ，１５ｂ……転動体、１６ａ，１６ｂ
……リテーナ、１７ａ，，１７ｂ……緩衝体、１
８ａ，１８ｂ……ピニオン、１９ａ，１９ｂ，２
０ａ，２０ｂ……ラツク、２１，２３……腕、２
２……滑車。
２図ａ，ｂはリニアベアリングの作用を示す図、
第３図は従来機構の一例を示す概略図、第４図ａ
〜ｃは本発明の一実施例構造を示すもので、ａは
断面図、ｂは側面図、ｃは一部切欠した平面図、
第５図〜第７図はそれぞれ本発明の別の実施例を
示す概略図である。 １１……基台、１２ａ，１２ｂ，１４ａ，１４
ｂ……直線ガイドレール、１３……移動テーブ
ル、１５ａ，１５ｂ……転動体、１６ａ，１６ｂ
……リテーナ、１７ａ，，１７ｂ……緩衝体、１
８ａ，１８ｂ……ピニオン、１９ａ，１９ｂ，２
０ａ，２０ｂ……ラツク、２１，２３……腕、２
２……滑車。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 平行移動自在に設けられた一対のガイドレー
ルおよびこれらのガイドレール間に介在された転
動体およびこの転動体を保持したリテーナからな
るリニアベアリングと、このリニアベアリングの
移動方向に平行に移動する前記ガイドレールの側
方に設けられた前記リテーナに緩衝部材を介して
回転自在に連設されたピニオンおよびこのピニオ
ン噛合したラツクからなる歯車機構とを具備し、
上記歯車機構により転動体ととガイドレールとの
滑りを保証してリテーナの移動量を前記一対のガ
イドレールの移動量の1/2に規制したことを特徴
とするリニアベアリング機構。 ２ 歯車機構のピニオンは、リエアベアリングの
リテーナに緩衝部材を介して回転自在に連設され
たものである特許請求の範囲第１項記載のリニア
ベアリング機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13377179A JPS5659020A (en) | 1979-10-17 | 1979-10-17 | Linear bearing mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13377179A JPS5659020A (en) | 1979-10-17 | 1979-10-17 | Linear bearing mechanism |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5659020A JPS5659020A (en) | 1981-05-22 |
| JPS6325211B2 true JPS6325211B2 (ja) | 1988-05-24 |
Family
ID=15112579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13377179A Granted JPS5659020A (en) | 1979-10-17 | 1979-10-17 | Linear bearing mechanism |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5659020A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5962320U (ja) * | 1982-10-19 | 1984-04-24 | 旭光学工業株式会社 | スライドレ−ル機構 |
| JPS6382816U (ja) * | 1986-11-18 | 1988-05-31 | ||
| JPH0182327U (ja) * | 1987-11-24 | 1989-06-01 | ||
| GB2482907B (en) * | 2010-08-20 | 2015-07-01 | John Glynn Fuller | Twin rail slide system |
| CN110822042A (zh) * | 2018-08-14 | 2020-02-21 | 咸阳蓝博机械有限公司 | 一种齿条防蠕动交叉导轨副 |
| EP4417828B1 (de) * | 2023-02-17 | 2026-02-18 | Schneeberger Holding AG | Linearführungsvorrichtung |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5614434Y2 (ja) * | 1976-06-24 | 1981-04-04 |
-
1979
- 1979-10-17 JP JP13377179A patent/JPS5659020A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5659020A (en) | 1981-05-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB2033496A (en) | Linear bearing apparatus | |
| JP4160824B2 (ja) | 昇降用案内ユニット及びそれを組み込んだステージ装置 | |
| CN1326670C (zh) | 带双边直线电机同步驱动的h型气浮工作台 | |
| ES2423210T3 (es) | Transductor de posición | |
| JPH0565303B2 (ja) | ||
| JPS5948888B2 (ja) | リニアベアリング | |
| US4607492A (en) | Linear adjusting device | |
| JP5208832B2 (ja) | 保持器のずれ防止機構を備えた有限直動案内ユニット | |
| JP2003176820A (ja) | 保持器のずれ防止機構を備えた有限直動案内ユニット | |
| JP4380092B2 (ja) | 保持器のずれ防止機構を備えた有限直動案内ユニット | |
| JPS62266490A (ja) | 精密位置決め装置 | |
| JP2527219Y2 (ja) | 直動転がり案内ユニット | |
| US4986725A (en) | Apparatus for transporting machine tools and work tools | |
| KR102929937B1 (ko) | 피치 체인저 | |
| JPH0732980Y2 (ja) | 保持器のずれ防止装置つき薄肉型直動案内ユニット | |
| JP4110056B2 (ja) | 免震装置 | |
| US3587335A (en) | Device for providing precise motions | |
| JPH09119438A (ja) | 転がり案内ユニット装置 | |
| JPH0610947A (ja) | 摺動支持装置 | |
| JPH02150508A (ja) | 直動転がり案内ユニット | |
| JPH05149335A (ja) | 直動転がり案内ユニツト | |
| JPH0360938A (ja) | 直進ガイドユニット | |
| JP2000097233A (ja) | 曲線案内装置 | |
| JPS5833324Y2 (ja) | ボ−ルねじ装置 | |
| RU2019380C1 (ru) | Модуль качения для прямолинейного перемещения |