JPS63280894A - タ−ボ分子ポンプを用いた排気系 - Google Patents
タ−ボ分子ポンプを用いた排気系Info
- Publication number
- JPS63280894A JPS63280894A JP11641187A JP11641187A JPS63280894A JP S63280894 A JPS63280894 A JP S63280894A JP 11641187 A JP11641187 A JP 11641187A JP 11641187 A JP11641187 A JP 11641187A JP S63280894 A JPS63280894 A JP S63280894A
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- valve
- vacuum
- pressure side
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は電子顕微鏡等に使用されるターボ分子ポンプを
用いた排気系に関する。
用いた排気系に関する。
［従来技術］
ターボ分子ポンプ（以下ＴＭＰと略す）は、排気速度が
大きく超高真空が能率良く得られることから電子顕微鏡
等の排気系に広く使用されている。
大きく超高真空が能率良く得られることから電子顕微鏡
等の排気系に広く使用されている。
ところで、このような排気系に使用されるＴＭＰは、ロ
ーターの軸受けに潤滑油を使用している。
ーターの軸受けに潤滑油を使用している。
そのため、このようなＴＭＰを停止させるときには潤滑
油の蒸気の真空容器内への流出を防止するため、ＴＭＰ
内を略大気圧に保つ必要がある。このようなことから、
近時、ｍ滑油を全く使用しない磁気浮上型ＴＭＰや、軸
受部に蒸気圧の低いグリスやオイルを用いたピボット軸
受型ＴＭＰが開発された。このようなＴＭＰにおいては
、停止時においても潤滑油等の蒸気の真空容器内への流
出が無視できるためＴＭＰ内を大気圧に保つ必要はない
。第３図は後者のＴＭＰを使用した排気系で、１は電子
顕微鏡等の鏡筒に代表される真空容器で、該真空容器１
には主弁２を介して例えば磁気浮上型の第１のＴＭＰ３
が接続されている。４は前記第１のＴＭＰ３に接続され
た油回転ポンプ（以下ＲＰと略す）で、該第１のＴＭＰ
３の背圧側を排気するためのものである。５は第１のＴ
ＭＰ３とＲＰ４の間に設けられた仕切り弁で、６は前記
仕切り弁５とＲＰ４の間に設けられたリーク弁であり、
このように構成された排気系では、真空容器１と第１の
ＴＭＰ３の間に超高真空用の主弁２が設けられていると
共に仕切り弁５が設けられているため、第１のＴＭＰ３
の停止時においても真空容器１のみならず第１のＴＭＰ
３も高真空状態に保持することができる。
油の蒸気の真空容器内への流出を防止するため、ＴＭＰ
内を略大気圧に保つ必要がある。このようなことから、
近時、ｍ滑油を全く使用しない磁気浮上型ＴＭＰや、軸
受部に蒸気圧の低いグリスやオイルを用いたピボット軸
受型ＴＭＰが開発された。このようなＴＭＰにおいては
、停止時においても潤滑油等の蒸気の真空容器内への流
出が無視できるためＴＭＰ内を大気圧に保つ必要はない
。第３図は後者のＴＭＰを使用した排気系で、１は電子
顕微鏡等の鏡筒に代表される真空容器で、該真空容器１
には主弁２を介して例えば磁気浮上型の第１のＴＭＰ３
が接続されている。４は前記第１のＴＭＰ３に接続され
た油回転ポンプ（以下ＲＰと略す）で、該第１のＴＭＰ
３の背圧側を排気するためのものである。５は第１のＴ
ＭＰ３とＲＰ４の間に設けられた仕切り弁で、６は前記
仕切り弁５とＲＰ４の間に設けられたリーク弁であり、
このように構成された排気系では、真空容器１と第１の
ＴＭＰ３の間に超高真空用の主弁２が設けられていると
共に仕切り弁５が設けられているため、第１のＴＭＰ３
の停止時においても真空容器１のみならず第１のＴＭＰ
３も高真空状態に保持することができる。
［発明が解決しようとする問題点］
ところで、上述した従来の排気系では、第１のＴＭＰ３
の背圧側がＲＰ４で排気されるため定常排気時において
前記第１のＴＭＰ３がＲＰ４に使用されている油の蒸気
によって汚染される。そのため、該主弁２を閉状態にし
て第１のＴＭＰ３を停止させた場合に、ＴＭＰ内に付着
した該油の再蒸発によって主弁２も汚染されてしまう。
の背圧側がＲＰ４で排気されるため定常排気時において
前記第１のＴＭＰ３がＲＰ４に使用されている油の蒸気
によって汚染される。そのため、該主弁２を閉状態にし
て第１のＴＭＰ３を停止させた場合に、ＴＭＰ内に付着
した該油の再蒸発によって主弁２も汚染されてしまう。
従って、この状態で真空容器１内を再排気すると、前記
第１のＴＭＰ３や主弁２に付着した前記油が真空容器１
内に流入して真空容器１内を汚染してしまう。
第１のＴＭＰ３や主弁２に付着した前記油が真空容器１
内に流入して真空容器１内を汚染してしまう。
本発明は以上の点に鑑みなされたもので、ターボ分子ポ
ンプを用いて真空容器を排気する場合に真空容器の汚染
を防止することを目的としている。
ンプを用いて真空容器を排気する場合に真空容器の汚染
を防止することを目的としている。
［問題点を解決するための手段］
本目的を達成するため本発明は、真空容器と、該真空容
器に接続された第１のターボ分子ポンプと、該第１のタ
ーボ分子ポンプに仕切り弁を介して接続された第２のタ
ーボ分子ポンプと、該第２のターボ分子ポンプの背圧側
に接続された油回転ポンプと、前記仕切り弁と第２のタ
ーボ分子ポンプの間にリーク弁を設けたことを特徴とし
ている。
器に接続された第１のターボ分子ポンプと、該第１のタ
ーボ分子ポンプに仕切り弁を介して接続された第２のタ
ーボ分子ポンプと、該第２のターボ分子ポンプの背圧側
に接続された油回転ポンプと、前記仕切り弁と第２のタ
ーボ分子ポンプの間にリーク弁を設けたことを特徴とし
ている。
［実施例］
以下本発明の実施例を図面を用いて詳）ホする。
第１図は本発明の一実施例の構成図で、第３図の従来装
置と同一構成要素には同一番号を付してその説明を省略
する。第１−図に示す実施例では、真空容器１と第１の
ＴＭＰ３を直接接続すると共に、前記第１のＴＭＰ３の
背圧側に仕切り弁Ｖを介して第２のターボ分子ポンプ７
を接続する。又、第２のターボ分子ポンプ７の背圧側に
はＲＰ４を接続し、更にリーク弁ＬＶを仕切り弁ＶとＴ
ＭＰ７の間に設けた構成となっている。
置と同一構成要素には同一番号を付してその説明を省略
する。第１−図に示す実施例では、真空容器１と第１の
ＴＭＰ３を直接接続すると共に、前記第１のＴＭＰ３の
背圧側に仕切り弁Ｖを介して第２のターボ分子ポンプ７
を接続する。又、第２のターボ分子ポンプ７の背圧側に
はＲＰ４を接続し、更にリーク弁ＬＶを仕切り弁ＶとＴ
ＭＰ７の間に設けた構成となっている。
この様に構成された排気系において、真空容器１を排気
する場合は、リーク弁ＬＶを閉状態にし、ＲＰ４と第２
のＴＭＰ７を駆動する（ＯＮ状態）。
する場合は、リーク弁ＬＶを閉状態にし、ＲＰ４と第２
のＴＭＰ７を駆動する（ＯＮ状態）。
該第２のＴＭＰ７が充分に高真空状態になった後、仕切
り弁■を開状態にして第１のＴＭＰ３を駆動する。この
ように動作させることによって、真空容器１内を超高真
空に排気することができる。又、このような排気系を停
止させる場合は、先ず、仕切り弁Ｖを閉状態にし、第２
のＴＭＰ７．ＲＰ４を停止（ＯＦＦ状態）させる。その
侵リーク弁ＬＶを開状態にして前記第２のＴＭＰ７を大
気にする。
り弁■を開状態にして第１のＴＭＰ３を駆動する。この
ように動作させることによって、真空容器１内を超高真
空に排気することができる。又、このような排気系を停
止させる場合は、先ず、仕切り弁Ｖを閉状態にし、第２
のＴＭＰ７．ＲＰ４を停止（ＯＦＦ状態）させる。その
侵リーク弁ＬＶを開状態にして前記第２のＴＭＰ７を大
気にする。
従って、このように構成された排気系では、定常排気時
は第１のＴＭＰ３の背圧側が従来のようにＲＰではなく
第２のＴＭＰ７で排気されるため、第１の丁ＭＰ３の背
圧側は真空度が高く、且つ、クリーンな状態に維持され
ているため、従来のように第１のＴＭＰ３の背圧側が汚
染されず、従って、再排気の際真空容器１が汚染される
ことはない。又、第１の王ＭＰ３の停止時は、仕切り弁
Ｖを開状態にすることにより真空容器１及び第１のＴＭ
Ｐ３を高真空状態に保持することができるため、該真空
容器１を再排気する場合にも第１のＴＭＰ３の再起動の
際の真空の上りが早い。
は第１のＴＭＰ３の背圧側が従来のようにＲＰではなく
第２のＴＭＰ７で排気されるため、第１の丁ＭＰ３の背
圧側は真空度が高く、且つ、クリーンな状態に維持され
ているため、従来のように第１のＴＭＰ３の背圧側が汚
染されず、従って、再排気の際真空容器１が汚染される
ことはない。又、第１の王ＭＰ３の停止時は、仕切り弁
Ｖを開状態にすることにより真空容器１及び第１のＴＭ
Ｐ３を高真空状態に保持することができるため、該真空
容器１を再排気する場合にも第１のＴＭＰ３の再起動の
際の真空の上りが早い。
更に、仕切り弁■は第１のＴＭＰ３の背圧側に設けられ
ており、ＴＭＰは高い圧縮比を持つため背圧側の排気速
度は比較的小さくてよく、従って、仕切り弁■として超
高真空用の大口径の真空弁を必要とせず、小口径の安価
な真空弁を用いることができる。
ており、ＴＭＰは高い圧縮比を持つため背圧側の排気速
度は比較的小さくてよく、従って、仕切り弁■として超
高真空用の大口径の真空弁を必要とせず、小口径の安価
な真空弁を用いることができる。
第２図は本発明の他の実施例の構成図で、第３図の従来
装置と同一の構成要素には同一番号を付してその説明を
省略する。第２図において、８は試料交換室で、前記真
空容器１と試料交換室８との間はエアロツクバルブ９に
よって仕切られている。又、前記試料交換室８は排気用
バルブ１０を介して第２のＴＭＰ７に接続されている。
装置と同一の構成要素には同一番号を付してその説明を
省略する。第２図において、８は試料交換室で、前記真
空容器１と試料交換室８との間はエアロツクバルブ９に
よって仕切られている。又、前記試料交換室８は排気用
バルブ１０を介して第２のＴＭＰ７に接続されている。
１１は試料交換室８の交換室リーク用バルブで、１２ば
真空計である。
真空計である。
このように構成された排気系では、第１図に示した実施
例と同一操作手順によパリポンプを起動さぼることによ
って、真空容器１内を超高真空に排気することができる
が、詳細手順は説明が重複するため省略する。ところで
、真空容器１の排気状態において試料交換室８を排気す
る場合は、先ず、エアロツクバルブ９．仕切り弁Ｖ、交
換室リーク用バルブ１１を閉状態、排気用バルブ１０を
開状態として試料交換室８の排気を第２のＴＭＰ７によ
って行なう。次に、真空計１２によって前記試料交換室
８が規定の真空度になったことを確認した後、排気用バ
ルブ１０を閉状態、仕切り弁Ｖを開状態、エアロツクバ
ルブ９を開状態にして試料交換室８内の試料（図示して
いない）を真空容器１内に挿入する。ここで、排気系を
停止させる場合は、排気用バルブ１０．仕切り弁Ｖを開
状態にした後、第１のＴＭＰ３．第２のＴＭＰ７．Ｒ１
）４を停止させる。
例と同一操作手順によパリポンプを起動さぼることによ
って、真空容器１内を超高真空に排気することができる
が、詳細手順は説明が重複するため省略する。ところで
、真空容器１の排気状態において試料交換室８を排気す
る場合は、先ず、エアロツクバルブ９．仕切り弁Ｖ、交
換室リーク用バルブ１１を閉状態、排気用バルブ１０を
開状態として試料交換室８の排気を第２のＴＭＰ７によ
って行なう。次に、真空計１２によって前記試料交換室
８が規定の真空度になったことを確認した後、排気用バ
ルブ１０を閉状態、仕切り弁Ｖを開状態、エアロツクバ
ルブ９を開状態にして試料交換室８内の試料（図示して
いない）を真空容器１内に挿入する。ここで、排気系を
停止させる場合は、排気用バルブ１０．仕切り弁Ｖを開
状態にした後、第１のＴＭＰ３．第２のＴＭＰ７．Ｒ１
）４を停止させる。
従って、このように構成された装置においては、第１図
の実施例と同様に、定常排気時は第１のＴＭＰ３の背圧
側が汚染されず、従って、再排気の際真空容器が汚染さ
れない。又、排気系の停止時には、仕切り弁Ｖを開状態
にすることにより真空容器１及び第１のＴＭＰ３を高真
空状態に保持することができ、該真空容器１を再排気す
る場合にも真空の上りが早い。更に、仕切り弁Ｖは小口
径の安価な真空弁でよい。
の実施例と同様に、定常排気時は第１のＴＭＰ３の背圧
側が汚染されず、従って、再排気の際真空容器が汚染さ
れない。又、排気系の停止時には、仕切り弁Ｖを開状態
にすることにより真空容器１及び第１のＴＭＰ３を高真
空状態に保持することができ、該真空容器１を再排気す
る場合にも真空の上りが早い。更に、仕切り弁Ｖは小口
径の安価な真空弁でよい。
更に又、第２図に示す実施例においては、試料挿入時も
真空容器１を第１のＴＭＰ３で排気することができる。
真空容器１を第１のＴＭＰ３で排気することができる。
尚、上記実施例においては、第１のＴＭＰを磁気浮上型
ＴＭＰを用いて説明したが、ピボット軸受型ＴＭＰを使
用するようにしても良い。
ＴＭＰを用いて説明したが、ピボット軸受型ＴＭＰを使
用するようにしても良い。
［発明の効果］
以上詳述したように本発明によれば、真空容器に接続さ
れた第１のターボ分子ポンプに仕切り弁を介して第２の
ターボ分子ポンプを接続し、第２のターボ分子ポンプの
背圧側を油回転ポンプで排気するようにしたため、真空
容器内を排気する場合に、真空容器内の汚染を防止でき
る。
れた第１のターボ分子ポンプに仕切り弁を介して第２の
ターボ分子ポンプを接続し、第２のターボ分子ポンプの
背圧側を油回転ポンプで排気するようにしたため、真空
容器内を排気する場合に、真空容器内の汚染を防止でき
る。
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は他の実施
例の構成図、第３図は従来の排気系を説明するための図
である。 １：真空容器、３：第１のターボ分子ポンプ、４：油回
転ポンプ、７：第２のターボ分子ポンプ、８：試料交換
室、９：エアロツクバルブ、１ｏ：排気用バルブ、１１
：交換室リーク用バルブ、１２：真空計、Ｖ：仕切り弁
、Ｌ■：す〜り弁。
例の構成図、第３図は従来の排気系を説明するための図
である。 １：真空容器、３：第１のターボ分子ポンプ、４：油回
転ポンプ、７：第２のターボ分子ポンプ、８：試料交換
室、９：エアロツクバルブ、１ｏ：排気用バルブ、１１
：交換室リーク用バルブ、１２：真空計、Ｖ：仕切り弁
、Ｌ■：す〜り弁。
Claims (1)
- 真空容器と、該真空容器に接続された第１のターボ分子
ポンプと、該第１のターボ分子ポンプに仕切り弁を介し
て接続された第２のターボ分子ポンプと、該第２のター
ボ分子ポンプの背圧側に接続された油回転ポンプと、前
記仕切り弁と第２のターボ分子ポンプの間にリーク弁を
設けたことを特徴とするターボ分子ポンプを用いた排気
系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11641187A JPS63280894A (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | タ−ボ分子ポンプを用いた排気系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11641187A JPS63280894A (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | タ−ボ分子ポンプを用いた排気系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63280894A true JPS63280894A (ja) | 1988-11-17 |
Family
ID=14686398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11641187A Pending JPS63280894A (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | タ−ボ分子ポンプを用いた排気系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63280894A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6454524B1 (en) | 1998-07-21 | 2002-09-24 | Seiko Instruments Inc. | Vacuum pump and vacuum apparatus |
-
1987
- 1987-05-13 JP JP11641187A patent/JPS63280894A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6454524B1 (en) | 1998-07-21 | 2002-09-24 | Seiko Instruments Inc. | Vacuum pump and vacuum apparatus |
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