JPS63260406A - グリ−ンシ−ト清掃装置の搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ハイブリッドモジュール基板用グリーンシー
トのスルーホール穴明後の清掃する装置に係り、グリー
ンシートに損傷を与えず自動的に搬送清掃を行うのに好
適なグリーンシート清掃装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の装置は、例えば特開昭６１−７５３’ｆ４号公報
に記載のよう和、ベルトコンベアー、ネットコンベアー
等の自動型があるが、これらの方式では、グリーンシー
トの固定がなく、エアーブロー、＃塵プラン等によりグ
リーンシートは一移動して搬送は不可能であった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術のごときコンベアー等の自動化が可能な装
置においては、グリーンシートの様な薄物でかつ脆い材
質のものは、完全な固定をしなければ、除塵のためのエ
アープロー、及びブラシ作業等には耐えられないが、こ
れらを配慮された装置となっていなかった。

本発明の目的は、手作業を自動化し、かつグリーンシー
トの固定を確実にしてグリーンシート忙損傷を与えない
で、グリーンシートの清掃をすることにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、グリーンシートの搬送キャリアーとして、
枠を設けて、枠には真空吸引機構を有しグリーンシート
か吸着固定出来る構造とし、枠内部は、エアブロ−、プ
ラン清掃によりグリーンシートが撓んだり、破損しない
ようメツシュを設けて、この搬送キャリアー忙グリーン
シートを吸着固定して、この搬送キャリアーを清掃装置
内に移動することにより達成される。

〔作用〕

搬送キャリサは、グリーンシートを投入すること釦より
、真空吸引を開始し、グリーンシートを完全に吸着し、
この吸着は、到達真空度で検知し所定の真空圧により、
グリーンシートが搬送キャリアーに完全固定されたこと
を確認し、清掃部に搬送キャリアーを移送する。これに
よりグリーンシートも同時に移送されここでエアープロ
ー及びブラシ等によりグリーンシートを清掃する、ここ
でグリーンシー）Ｋ過剰な力が加わわり、吸着固定部か
らグリーンシートが離されるようなことが生じても、真
空圧のチェックを行っており、これが異常となり、装置
は停止する構造としているため、グリーンシートは損傷
することなく清掃作業を自動的に行える・ 〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を第１図〜第３図忙より説明す
る。

ハイブリッドモジュール用基板のグリーンシート１は、
多層化（ラミネート方式）をやる場合、導通なとる為に
第３図に示すごとくスルーホール１α（穴）を明ける、
この穴明は方式としては、下側にダイ９を設置し、上側
からポンチ８を下降させて穴を明けるが、この時ポンチ
８、又はダイ９に付着したグリーンシート屑１ｂやその
地異物等１Ｃがグリーンシート１の表面、裏面、スルー
ホール１α内部に付着する場合があり、これらの異物は
、後工程（穴埋、パターン印刷等）に支障をきたす為に
除去する必要がある。

第１図は、上記グリーンシート１の清掃を行う装置の平
面図を示し、第２図は正面図を示す。

グリーンシート１を吸着固定枠２上に載せる・この載せ
る方法としては、手作業又は自動で載せる。載せた後吸
着固定枠２に設けである真空吸引穴２αによりグリーン
シート１を吸着固定する。

この吸着固定が完全かは、真空到達圧力で検知し、次の
工程に進む、尚枠内にはメツシュ３（５〜１０ａｍ口）
を貼り、上から力が加わってもグリーンシート１が撓ま
ない補強としている。

吸着固定が完全ならば、搬送機構５により、執着固定枠
２全体を搬送して清掃ゾーン６に移動する。搬送機構５
はロッドレスシリンダー等を利用して搬送速度は自由度
（１０ｗ　／　ｓｅａ　〜２００　ｓｕｗ／８ｅＯ）を
もたせておき最適の条件とする。

清掃ゾーン６は、イオン風吹き付け６αをもたせて、イ
オン風圧力は２〜６〜／ａｌとしてグリーンシート１の
表面及び裏面から吹き付け、静電気を除去しかつ、グリ
ーンシート屑１ｂ１０等を吹き飛ばす・吹き飛ばしたグ
リーンシート屑１ｂ等は、再付着しないようにフード６
０により吸引する、又イオン風のみでは除去されないも
のは、ブラシ清掃部６ｂで除去する。ブラシ清掃部６ｂ
は吸着固定枠２が通過したのを検知してから下降して、
グリーンシート１の有効エリア−内を清掃する。これは
、グリーンシートの端面にブラシを当るとグリーンシー
ト１に横から力か加わり真空吸着が剥されるおそれがあ
り、安全をみた機構とする会商有効エリア−を清掃して
いる時はブラシ内部から吸引を行い、グリーンシート／
ｌ！１１ｂ等がブラシに付着したりグリーンシートに再
付着しないような吸引機構を設ける清掃後は上昇して待
機する。

清掃ゾーン６通過後は、グリーンシート取出部７で停止
し、真空吸着を切り自動取出機または手作業によりグリ
ーンシート１を取り出す、取り出し後、搬送機構５によ
り吸着固定枠２はグリーンシート投入部４に自動的に戻
す、尚グリーンシート１をグリーンシート取出部７で取
出さないで、吸着固定枠２に載せたままグリーンシート
投入部４迄戻してここで取り出すことも可能である。

吸着固定枠２は、４辺で吸着固定しているが、これは、
上下２辺でも可であり、又グリーンシートサイズに合わ
せて枠サイズを設計することが可能である。又第４図に
示す如く、上下２辺に、枠を設け、ガイドバブ−１０忙
そりて吸着固定枠２及びブラシ、５を移動してすきｌ’
、！ｌ　Ａサイズを変更できるよう構成すればグリーン
シートサイズが２０藺程度の変更なら対処が可能である
。

本実施例によれば、枚葉のグリーンシートの清掃を自動
的に実施することが可能である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、枚葉のグリーンシートの自動搬送が可
能となり、自動での清掃が可能となり、自動化を行い工
数低減の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図、清掃装置の平面図を示す。第２図、清掃装置の
正面図を示す・第３図、グリーンシートの断面を示す、
ν４図、グリーンシートの吸着固定枠の構造を示す。 １・・・グリーンシート、１α・・・スルーホール、１
ｂ１０・・・グリーンシート屑又は異物、２・・・吸着
固定枠、２α・・・真空吸着穴、３・・・メツシュ、４
・・・グリーンシート投入部、５・・・搬送機構、６・
・・清掃ゾーン、６α・・・イオン風吹き付け、６ｂ・
・・ブラシ清掃部、６０・・・フード、７・・・グリー
ンシート取出し部８・・・ポンチ、９・・・グイ、１０
・・・ガイトノ゛ぐアー。 第１図 第　２　図 り 吸引 第　３　回 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　グリーンシート真空吸着する機構を有する枠部と、該
   枠部内部に設けられたメッシュと、該枠部を清掃装置に
   移動する搬送機構とからなることを特徴としたグリーン
   シート清掃装置の搬送装置。