JPH01172120A - ウエハ搬送機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明はウェハ搬送機に関するものであり、特に、搬
送用ベルトを循環させ、該搬送用ベルトの上にウェハを
載せて、該ウェハを加工場所に搬送するウェハ搬送機に
関するものである。

［従来の技術］ 半導体装置を製造するためには、まず、ウェハを加工す
る場所へ、該ウェハを搬送する必要がある。ウェハを搬
送するために、従来より、ウェハ搬送機が用いられてい
る。

第２図は従来のウェハ搬送機の模式図である。

図において、１は搬送用ベルトである。２はモータであ
って、回転部分２ａを回し、搬送用ベルト１を循環させ
る。

次に動作について説明する。搬送用ベルト１の上にウェ
ハ（図示せず）を載せる。次いで、モータ２を駆動する
。すると、回転部分２ａが回り、ウェハを載せた搬送用
ベルト１は矢印２０の方向に循環される。このようにし
て、ウェハは加工場所に搬送される。上記のようなウェ
ハ搬送機を用いて、ウェハの搬送を行なう方法が一般的
に用いられているのは、この方法が、安価で、しかも容
易に、精度良く行なえるためである。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、上記のような従来のウェハ搬送機では、
ウェハを搬送する際、搬送用ベルト１に付着した異物１
０が、ウェハに付着するという問題点があった。搬送用
ベルト１に異物１０が付着する要因としては、次のよう
なことが挙げられる。

■補修時に、または故意に、人が搬送用ベルト１に触っ
て、その結果、異物１０が搬送用ベルト１に付着する。

■裏面に異物が付いているウェハを搬送して、該異物が
ウェハ搬送用ベルト１に付着する。■回転部分２ａおよ
びモータ２により発生した異物が、搬送用ベルト１に付
着する。■搬送途中でウェハが割れた場合、その破片が
搬送用ベルト１に異物として付着する。以上のような要
因により、搬送用ベルト１は次第に汚れてゆく。この汚
れた搬送用ベルト１でウェハを搬送すると、ウェハの裏
面に、搬送用ベルト１に付着していた異物１０が、付着
するようになる。このウェハの裏面に付着した異物は一
見問題がないように見られるが、実際には、ウェハを垂
直に並べたとき（すなわち、ウェハをケース等に入れた
とき等）、ウェハの裏面に付着していた異物が振動等で
剥がれ、そのウェハの後ろに並んでいるウェハの表面に
異物が付着する。さらに、ウェハの裏面に付着していた
異物は、他の装置に載せられたとき、その装置をも汚染
する。以上のように、異物の付着は、半導体装置を作る
上で、大きな問題点であった。

この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、ウェハを搬送する搬送用ベルトに付着した異
物を除去することのできるウェハ搬送機を提供すること
を目的とする。

［問題点を解決するための手段］ この発明は、搬送用ベルトを循環させ、該搬送用ベルト
の上にウェハを載せて、該ウエノ＼を加工場所に搬送す
るウェハ搬送機に係るものである。

そして、前記問題点を解決するために、上記搬送用ベル
トの循環経路の途中に設けられ、該搬送用ベルトをクリ
ーニングするクリーニング手段を備えている。

本件発明に用いるクリーニング手段の好ましい実施態様
は、下記（イ）（ロ）（ハ）手段の少なくとも１つを含
むものである。

（イ）　上記搬送用ベルトのまわりの空気を吸引し、こ
の吸引力により、該搬送用ベルトのまわりに付着してい
る異物を吸込んで除去する吸引手段。

（ロ）　上記搬送用ベルトのまわりに付いている大きな
異物を削り落とす削り落とし手段。

（ハ）　上記搬送用ベルトを溶剤を用いて拭き、該搬送
用ベルトに付いている異物を除去する拭き取り手段。

［作用］ 本発明に係るウェハ搬送機は、搬送用ベルトをクリーニ
ングするクリーニング手段を上記搬送用ベルトの循環経
路の途中に設けているので、搬送用ベルトに付着した異
物はこのクリーニング手段により除去される。

［実施例］ 以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
Ａ図はこの発明の最も好ましい実施例の斜曳図である。

図において、１は搬送用ベルトである。該搬送用ベルト
１は、モータ２の駆動により矢印２０の方向に循環させ
られる。搬送用ベルト１の循環経路の途中に、該搬送用
ベルト１をクリーニングするクリーニング手段が設けら
れている。このクリーニング手段の１つは、搬送用ベル
ト１のまわりの空気を吸引し、この吸引力により、該搬
送用ベルトのまわりに付むしている異物を吸込んで除去
する吸引手段３０である。この吸引手段３０には、後述
するように、搬送用ベルト１のまわりに付いている大き
な異物を削り落とす削り落とし手段が設けられている。

この削り落とし手段は上記クリ−ニング手段の他の例で
ある。さらに、搬送用経路の途中には、搬送用ベルトを
溶剤を用いて拭き、該搬送用ベルト１に付いている異物
を除去する拭き取り手段３２が設置されている。この拭
き取り手段は上記クリーニング手段のさらに他の例であ
る。

吸引手段３０は吸引具６と、吸引機１１と、吸引具６と
吸引機１１の間をつなぐ管７とより構成されている。吸
引具６の拡大図を第１Ｂ図に示す。

第１Ｂ図は吸引具６を一部切欠いて示したものである。

吸引具６は搬送用ベルト１の一部分を空間部を設けて包
むものであり、その両端を搬送ベルト１に密着させて、
上記空間部を密閉するように構成されている。吸引具６
と搬送用ベルト１の接触部分には、搬送用ベルト１のま
わりに付いている大きな異物を削り落とす削り落とし手
段たとえば異物ストッパ８が設けられている。吸引具６
１；は空気取入れ孔９が設けられている。さらに、吸引
具６には、上述のとおり吸引器１１と吸引具６の間をつ
なぐ管７が接続されている。

次に、拭き取り手段３２の構成の詳細を第１Ａ図を参照
して説明する。拭き取り手段３２は、拭き取り具３と、
容器４と、モータ５を備えている。

容器４には溶剤が満たされている。拭き取り具３には溶
剤が染み込んでいる。拭き取り具３は、搬送用ベルト１
に接触するように、モータ５によって循環させられる。

次に、第１Ａ図および第１Ｂ図を参照して、実施例に係
るウェハ搬送機の動作について説明する。

異物１０が付着した搬送用ベルト１は、ウェハが搬送さ
れるごとに回転する。異物１０が吸引手段３０に近づく
と、まず大きな異物は異物ストッパ８で除去される。比
較的小さな異物１０は吸引具６の中にそのまま入る。こ
のとき、吸引機１１が作動し、空気取入れ孔９から空気
が導入される。

この空気が吸引機１１に吸込まれると同時に、搬送用ベ
ルト１に付着していた小さな異物１０は吸込まれる。こ
れにより、搬送用ベルト１上の異物１０は除去される。

さらに、上述の吸引手段３０によって処理された搬送用
ベルト１は、拭き取り手段３２によって処理される。す
なわち、搬送用ベルト１は、溶剤が染み込んだ拭き取り
具３によってその表面が拭き取られる。これによって、
吸引手段３０によっても除去されなかった異物１０が、
除去される。

この溶剤が染み込んだ拭き取り具３は溶剤が満たされた
容器４の中をくぐって回転させられており、それゆえに
、該拭き取り具３は常に溶剤が染み込んだ状態に保たれ
ている。また、この拭き取り具３はそれ自体、前後に（
図中矢印４０の方向に）移動し、搬送用ベルト１に接触
する面には、常に新しい面が当たるようになっている。

これにより、搬送用ベルト１を拭き取る拭き取り具も常
に洗浄される。それゆえに、搬送用ベルト１に接触する
部分には、常に清浄な面が接触する。したがって、搬送
用ベルト１は常に清掃された状態となる。

以上説明したようなりリーニング手段を用いれば、人が
手で掃除することも不必要となる。また、容易にベルト
の清掃が可能となり、ウェハに付着する異物を著しく減
少させることができる。

なお、上記実施例では、クリーニング手段に吸引手段３
０と、異物ストッパ８と、拭き取り手段３２の３つを同
時に使用した場合について説明したが、本発明はこれに
限られるものでなく、これらの手段のうちの少なくとも
１つを使用するだけでも、相当の効果を実現する。

したがって、本明細書に記載した好ましい実施例は例示
的なものであり、限定的なものでない。

発明の範囲は特許請求の範囲によって示されており、そ
の特許請求の範囲の意味の中に入るすべての変形は本願
発明に含まれるのである。

［発明の効果］ 以上説明したとおり、本発明に係るウェハ搬送機によれ
ば、搬送用ベルトをクリーニングするクリーニング手段
を、上記搬送用ベルトの循環経路の途中に設けているの
で、搬送用ベルトに付着している異物は除去される。そ
れゆえに、ウェハが搬送用ベルトによって汚染されると
いう、従来の装置で見られた問題点は解決される。

【図面の簡単な説明】

第１Ａ図はこの発明の一実施例の模式図である。 第１Ｂ図はクリーニング手段の一部である吸引具の一部
切欠拡大図である。第２図は従来のウェハ搬送機の模式
図である。 図において、１は搬送用ベルト、２はモータ、３は拭き
取り具、４は溶剤が満たされた容器、５は拭き取り具を
回転させるモータ、６は吸引具、７は吸引具と吸引機を
つなぐ管、８は異物ストッパ、９は空気取入れ孔、１０
はベルトに付着した異物、１１は吸引機、３０は吸引手
段、３２は拭き取り手段である。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）搬送用ベルトを循環させ、該搬送用ベルトの上に
   ウェハを載せて、該ウェハを加工場所に搬送するウェハ
   搬送機において、 前記搬送用ベルトの循環経路の途中に設けられ、該搬送
   用ベルトをクリーニングするクリーニング手段を備えた
   ことを特徴とするウェハ搬送機。
2. （２）前記クリーニング手段は下記（イ） （ロ）（ハ）の手段の少なくとも１つを含む特許請求の
   範囲第１項記載のウェハ搬送機。（イ）前記搬送用ベル
   トのまわりの空気を吸引し、この吸引力により、該搬送
   用ベルトのまわりに付着している異物を吸込んで除去す
   る吸引手段。 （ロ）前記搬送用ベルトのまわりに付いている大きな異
   物を削り落とす削り落とし手段。（ハ）前記搬送用ベル
   トを溶剤を用いて拭き、該搬送用ベルトに付いている異
   物を除去する拭き取り手段。