JPS63261128A - 半導体圧力センサ−の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は半導体圧力センサー、特にダイアフラム型シリ
コン圧力センサーの製造方法に関する。・（ロ）従来の
技術 この種の圧力センサーでは、そのペレットヲ金属製ヘッ
ダに固定する際に、これら両者間の熱膨張保数の差を緩
和することが好ましい。この目的のために、先行技術と
しての持分１１１７４５４−４１３灸ガラス製の支持台
に接着し、Ｗｒる支持台を金属製ヘッダに固定するもの
である。そして、上記ペレットと支持台との接着方法と
して、支持台表面に低融点ガラス膜を塗布し、その上に
ペレットを載置した状態で、窒素雰囲気中で４５０℃程
度に加熱して両者の接着を行う。

（ハ）発明が解決しようとする問題点 圧力センサーのペレットとガラス製支持台との接着に、
昇温を伴う作業はできるだけ避けることが好ましい。上
記先行技術で必要とする加熱温度は、ペレットのダイア
フラム中での残留熱応力の発生原因となる。

従って本発明は、はとんど昇温を伴わない接着方法を提
供するものである。

に）問題点を解決するだめの手段 本発明は、圧力センサーのペレットとガラス製支持台と
を紫外線硬化樹脂で接着させることを特徴とする。

（ホ）作　用 紫外１ｉｔ硬化樹脂は室温での硬化を可能ならしめる。

（へ）実施例 第１図は本発明により得られたダイアフラム型シリコン
圧力センサーを示し、（１）は、それ自体周知のシリコ
ンダイアフラムを有する圧力センサーペレツ）、（２１
ｕ金属製ヘツダ、（３）はこのヘッダの中央に設けられ
た連通孔、（４）は連通孔（３）と整合的に配され、そ
の上にペレット（１）を載置する機状のガラス製支持台
である。支持台１４）の材料としては、シリコンに近い
熱膨張係数を有する無気孔質ガラス、例えば、コーニン
グ社製の井７７４０が適当である。（５）はペレット（
１）と支持台（４）とを接着する紫外線硬化樹脂、（６
）は支持台１４１とヘッダ（２）とを接着するゴム系接
着材である。

ペレット（１）と支持台Ｃ４）との接着方決は、まず支
持台１４）の上面に、紫外線硬化樹脂（５）をスプレー
等の周知の方法で１００μｍ程度の厚さに塗布し、次い
で第２図に示す如く、支持台ｒ４１側から紫外線＋７）
を２分間程度照射することである。このとき、樹脂Ｉ５
）を通過した紫外線はペレット（１）の内面で反射して
再び捌脂に向うので、効率的であり、かつ樹脂（５）の
均一な硬化を期待できる。

尚、上記実施例では、単一のペレットについて述べだが
、実際には、例えば、個々のペレットヲ分割する前のシ
リコンクエーハの段階で、多くの支持台が一体となった
ガラスクエーハを用意しておき、両者のクエーハを、位
置合わせしだ状態で紫外線便化樹脂により接着し、その
後、ダイシングを行って、ペレットと支持台との単一の
結合体を個々に分割する。

（ト）発明の効果 本発明によれば、圧力センサーのペレットとガラス製支
持台とが昇温を伴わすに接着されるので、ペレットのダ
イアフラムに残留熱応力が発生することなく、精度の高
い半導体圧力センサーを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明により得られた半導体圧力センサーの断
面図、第２図は製造途中を示す断面図である。 （１）・・・圧力センサーのペレット、１４）・・・ガ
ラス製支持台、１５１・・・紫外線硬化樹脂。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ダイアフラム型シリコン圧力センサーのペレット
   を紫外線硬化樹脂により、ガラス製の支持台に接着する
   ことを特徴とする半導体圧力センサーの製造方法。