JPS63262911A - ガラス封止圧電振動子 - Google Patents
ガラス封止圧電振動子Info
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- JPS63262911A JPS63262911A JP9690887A JP9690887A JPS63262911A JP S63262911 A JPS63262911 A JP S63262911A JP 9690887 A JP9690887 A JP 9690887A JP 9690887 A JP9690887 A JP 9690887A JP S63262911 A JPS63262911 A JP S63262911A
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- glass
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- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 13
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 4
- 230000032683 aging Effects 0.000 abstract description 3
- 239000005394 sealing glass Substances 0.000 abstract 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 abstract 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 abstract 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 2
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 210000004907 gland Anatomy 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ガラス封止圧電振動子の改良に関する。
従来のガラス封止圧電復電子の１例を本発明者らが以前
に出願した特開昭５７−１１５ｉ０１２を第２図により
説明する。９はガラスステムであり２本のリード６１０
．１０”がガラス１１により封止されている。リード腺
１０．１０”の先端には表面に金電極（図示せず）を存
する圧電発振片５がろう付け、圧着、溶接、かしめ等の
接合方法により接合され、圧電発振片５の先端部７．７
゛に共振周波数１１整を施した後、ガラスケース１３を
被せ、ガラスステム１１とガラスケ−ろ１３の封竹部を
加熱して、溶融封着してガラス封止圧電振動子を得てい
た。
に出願した特開昭５７−１１５ｉ０１２を第２図により
説明する。９はガラスステムであり２本のリード６１０
．１０”がガラス１１により封止されている。リード腺
１０．１０”の先端には表面に金電極（図示せず）を存
する圧電発振片５がろう付け、圧着、溶接、かしめ等の
接合方法により接合され、圧電発振片５の先端部７．７
゛に共振周波数１１整を施した後、ガラスケース１３を
被せ、ガラスステム１１とガラスケ−ろ１３の封竹部を
加熱して、溶融封着してガラス封止圧電振動子を得てい
た。
（発明が解決しようとする問題点〕
しかし従来のガラス封止圧電振動子及びその製造方法で
は、接合方法にろう付け、圧着、溶接、かしめ等を用い
るために、特性に優れるものの更に、特性を良くする、
及び作業性の向上とコストダウンする改良のできる余地
が残されている。
は、接合方法にろう付け、圧着、溶接、かしめ等を用い
るために、特性に優れるものの更に、特性を良くする、
及び作業性の向上とコストダウンする改良のできる余地
が残されている。
本発明は以上の点を改良するためになされたものでその
目的とするところは、特性の改良、作業性の向上、コス
トダウンしたガラス封止圧ＴＲ振動子を提供することで
ある。
目的とするところは、特性の改良、作業性の向上、コス
トダウンしたガラス封止圧ＴＲ振動子を提供することで
ある。
本発明のガラス封止圧電振動子は、圧電発振片を超音波
溶接法にてマウントし、ガラス自体を溶融封上している
ことを特徴とする。
溶接法にてマウントし、ガラス自体を溶融封上している
ことを特徴とする。
本発明のガラス封止圧電振動子の一例として、ガラス封
止音叉型水晶振動子の例を第１図により説明する。１８
はガラスステムであり、デュメット線等からなる２本の
り一ド１２０．２０”をガラス２１により封止して作ら
れている。リード線２０．２０′の先端部２２．２２′
を音叉型水晶発振片２５の、その表面に設けた電極膜２
６．２６′に超音波溶接をして接合する。ＴＲ１ｇ２Ｂ
、２６′はＣｒ＋Ａｕｓ Ｃｒ＋Ａｇ１ＡｕＡρ、Ａｇ
１Ｃｕ等を蒸着、スパッタ、イオンブレーティング等の
方法もしくは接合部のみへの、湿式メッキ等の方法で設
けてあり、必要により水晶面との界面、もしくはＣｒと
上層金属との界面にＣｕ１Ａ ｕ ｓ Ａ ｇ ｓ等の
金属を設けても良い、リード線２０．２０＝はデュメッ
ト線の場合は表面がＣｕであるからそのまま接合しても
よく、必要によりＡ ｕ ｓ Ａ ｇ ｓ Ａ 、１２
、等を設けてもよい。更にリード線材質が、Ｆｅ−Ｎｉ
系の場合には、先の金属の他Ｃｕ等の金属を設けてもよ
い。
止音叉型水晶振動子の例を第１図により説明する。１８
はガラスステムであり、デュメット線等からなる２本の
り一ド１２０．２０”をガラス２１により封止して作ら
れている。リード線２０．２０′の先端部２２．２２′
を音叉型水晶発振片２５の、その表面に設けた電極膜２
６．２６′に超音波溶接をして接合する。ＴＲ１ｇ２Ｂ
、２６′はＣｒ＋Ａｕｓ Ｃｒ＋Ａｇ１ＡｕＡρ、Ａｇ
１Ｃｕ等を蒸着、スパッタ、イオンブレーティング等の
方法もしくは接合部のみへの、湿式メッキ等の方法で設
けてあり、必要により水晶面との界面、もしくはＣｒと
上層金属との界面にＣｕ１Ａ ｕ ｓ Ａ ｇ ｓ等の
金属を設けても良い、リード線２０．２０＝はデュメッ
ト線の場合は表面がＣｕであるからそのまま接合しても
よく、必要によりＡ ｕ ｓ Ａ ｇ ｓ Ａ 、１２
、等を設けてもよい。更にリード線材質が、Ｆｅ−Ｎｉ
系の場合には、先の金属の他Ｃｕ等の金属を設けてもよ
い。
次に音叉型水晶発振片２５の共振周波数の調整をその先
端部２７．２７′にＡ ｕ ｓ Ａ ｇ ＸＡρ等を蒸
着するもしくは、レーザーによりトリミングする等の方
法で行なった後、水晶の変態点温度５７３°Ｃ以下の温
度で真空中等で十分に加熱ベーキングを行ない、その後
、同様な条件で加熱ベーキングをほどこしたガラスケー
ス２３を被せ、ガラスステム１９とガラスケース２３の
封ｃ部を溶融加熱して、ガラス封止音叉型水晶振動子を
完成、する。
端部２７．２７′にＡ ｕ ｓ Ａ ｇ ＸＡρ等を蒸
着するもしくは、レーザーによりトリミングする等の方
法で行なった後、水晶の変態点温度５７３°Ｃ以下の温
度で真空中等で十分に加熱ベーキングを行ない、その後
、同様な条件で加熱ベーキングをほどこしたガラスケー
ス２３を被せ、ガラスステム１９とガラスケース２３の
封ｃ部を溶融加熱して、ガラス封止音叉型水晶振動子を
完成、する。
以上の結果、耐衝撃性にきわめて優れ、更にＡＵを用い
て接合、ｆ調をした場合には、エージング特性が±０．
５ｐｐｍ以下のガラス封止音叉型水晶振動子が得られた
。また超音波接合を用いているため、接合時間はきわめ
て短時間であり、加工工数が減りコストダウンがはかれ
た。
て接合、ｆ調をした場合には、エージング特性が±０．
５ｐｐｍ以下のガラス封止音叉型水晶振動子が得られた
。また超音波接合を用いているため、接合時間はきわめ
て短時間であり、加工工数が減りコストダウンがはかれ
た。
なお、リード線材質を先に偏平化しておくと、接合面積
がより増加し、より強度の強い接合が得られる。
がより増加し、より強度の強い接合が得られる。
以上、本発明のガラス封止圧電振動子の例を、音叉型水
晶振動子を例として説明したが、本発明は他の振動モー
ド（例えば厚みすべり振動、輪か（振動、縦振動等）の
水晶の他、Ｃｉ Ｔ ａ Ｏ＠、ＬｉＮｂ０．圧電セラ
ミック等の振動子にも適用できる。
晶振動子を例として説明したが、本発明は他の振動モー
ド（例えば厚みすべり振動、輪か（振動、縦振動等）の
水晶の他、Ｃｉ Ｔ ａ Ｏ＠、ＬｉＮｂ０．圧電セラ
ミック等の振動子にも適用できる。
以上に示す本発明によれば、
圧電発振片を超音波溶接法にてマウントし、ガラス自体
を溶融封止することにより、耐衝撃性に優れ、エージン
グ特性もきわめて良好でかつ加工費の低いコストダウン
されたガラス封止圧電振動子が得られる。
を溶融封止することにより、耐衝撃性に優れ、エージン
グ特性もきわめて良好でかつ加工費の低いコストダウン
されたガラス封止圧電振動子が得られる。
第１図は本発明のガラス封止圧電振動子の一実施例とし
て、ガラス封止圧音叉水晶振動子を示す図・ 第２図は従来のガラス封止圧電振動子を示す図。 ９・・・ガラスステム １０ １ １０ ″ ・・・ リ − ド 線５・
・・圧電発振片 ７．７′・・・先端部 １３・・・ガラスケース １９・・・ガラスステム ２０．２（１” ・・・ リ − ド 線２１・・・
ガラス ２２．２２′・・・リード線の先端部 ２５・・・音叉型水晶発振片 ２６．２６′・・・電極膜 ２７．２７′・・・発振片の先端部 ２３・・・ガラスケース 以 上
て、ガラス封止圧音叉水晶振動子を示す図・ 第２図は従来のガラス封止圧電振動子を示す図。 ９・・・ガラスステム １０ １ １０ ″ ・・・ リ − ド 線５・
・・圧電発振片 ７．７′・・・先端部 １３・・・ガラスケース １９・・・ガラスステム ２０．２（１” ・・・ リ − ド 線２１・・・
ガラス ２２．２２′・・・リード線の先端部 ２５・・・音叉型水晶発振片 ２６．２６′・・・電極膜 ２７．２７′・・・発振片の先端部 ２３・・・ガラスケース 以 上
Claims (1)
- 圧電発振片を超音波溶接法にてマウントし、ガラス自体
を溶融封止していることを特徴とするガラス封止圧電振
動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9690887A JPS63262911A (ja) | 1987-04-20 | 1987-04-20 | ガラス封止圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9690887A JPS63262911A (ja) | 1987-04-20 | 1987-04-20 | ガラス封止圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63262911A true JPS63262911A (ja) | 1988-10-31 |
Family
ID=14177460
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9690887A Pending JPS63262911A (ja) | 1987-04-20 | 1987-04-20 | ガラス封止圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63262911A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0514869U (ja) * | 1991-07-31 | 1993-02-26 | 石川島播磨重工業株式会社 | 熱流束検出器 |
| US20110156827A1 (en) * | 2009-12-29 | 2011-06-30 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, electronic device, and frequency adjsutment method |
| US8760041B2 (en) | 2009-12-29 | 2014-06-24 | Seiko Epson Corporation | Resonator element with mass formed on vibrating arm |
-
1987
- 1987-04-20 JP JP9690887A patent/JPS63262911A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0514869U (ja) * | 1991-07-31 | 1993-02-26 | 石川島播磨重工業株式会社 | 熱流束検出器 |
| US20110156827A1 (en) * | 2009-12-29 | 2011-06-30 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, electronic device, and frequency adjsutment method |
| US8760041B2 (en) | 2009-12-29 | 2014-06-24 | Seiko Epson Corporation | Resonator element with mass formed on vibrating arm |
| US8907548B2 (en) * | 2009-12-29 | 2014-12-09 | Seiko Epson Corporation | Resonator element having a mass portion |
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