JPS6326323A - 処理鋼板の製造方法 - Google Patents
処理鋼板の製造方法Info
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- JPS6326323A JPS6326323A JP16805486A JP16805486A JPS6326323A JP S6326323 A JPS6326323 A JP S6326323A JP 16805486 A JP16805486 A JP 16805486A JP 16805486 A JP16805486 A JP 16805486A JP S6326323 A JPS6326323 A JP S6326323A
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- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、磁気特性に優れた高ケイ素鋼板の製造方法
に関するものである。
に関するものである。
変圧器や発電機等の回転機の鉄心として用いられている
電磁鉄板のほとんどは、高ケイ素鋼板からなっている。
電磁鉄板のほとんどは、高ケイ素鋼板からなっている。
この種の高ケイ素鋼板fd、ケイ素含有量が増すにつれ
て鉄損が低くなり、ケイ素含有量が6.5wt%付近で
は、磁歪がOとなり最大透磁率もピークになるなど、最
も優れた磁気傷付を示すことが知られている。
て鉄損が低くなり、ケイ素含有量が6.5wt%付近で
は、磁歪がOとなり最大透磁率もピークになるなど、最
も優れた磁気傷付を示すことが知られている。
このよう彦高ケイ素鋼板の製造方法の1つとして、滲珪
法が知られている。この方法は、4通鋼板または4wt
%以下のケイ素を含有する低ケイ素鋼板に対して、5I
C1+を含有する無酸化ガス雰囲気中で、蒸着処理を施
して、鋼板の表面にケイ素を蒸着させ、次いで、5iC
j’4を含有しない無酸化ガス雰囲気中で、鋼板に対し
て拡散処理を施して、蒸着させたケイ素を鋼板中に拡散
させ、かくして、ケイ素を均質に含有させた高ケイ素鋼
板を得るものである。
法が知られている。この方法は、4通鋼板または4wt
%以下のケイ素を含有する低ケイ素鋼板に対して、5I
C1+を含有する無酸化ガス雰囲気中で、蒸着処理を施
して、鋼板の表面にケイ素を蒸着させ、次いで、5iC
j’4を含有しない無酸化ガス雰囲気中で、鋼板に対し
て拡散処理を施して、蒸着させたケイ素を鋼板中に拡散
させ、かくして、ケイ素を均質に含有させた高ケイ素鋼
板を得るものである。
しかしながら、このような従来の滲珪法によって得られ
た高ケイ素鋼板は、組織の結晶粒度が必ずしも大きくな
いので、磁気特性が良くない。そのため、拡散処理後に
高ケイ素鋼板に真空焼鈍等の後処理を施して、結晶粒度
を改善する必要があった。
た高ケイ素鋼板は、組織の結晶粒度が必ずしも大きくな
いので、磁気特性が良くない。そのため、拡散処理後に
高ケイ素鋼板に真空焼鈍等の後処理を施して、結晶粒度
を改善する必要があった。
この発明の目的は、上述の現状に鑑み、ケイ素を蒸着さ
せた鋼板の拡散処理時に、ケイ素を拡散させると同時に
組織の結晶粒の成長を促進させて、結晶粒を容易に所望
の大きい粒度にさせた、磁気特性の良好な高ケイ素鋼板
を得ることができる、製造方法を提供することにある。
せた鋼板の拡散処理時に、ケイ素を拡散させると同時に
組織の結晶粒の成長を促進させて、結晶粒を容易に所望
の大きい粒度にさせた、磁気特性の良好な高ケイ素鋼板
を得ることができる、製造方法を提供することにある。
この発明の方法は、鋼板に対して蒸着処理を施すことに
より、前記鋼板の表面にケイ素を蒸着させ、次いで、常
圧より低い圧力の無酸化ガス雰囲気中で、前記鋼板に対
して拡散処理−tmすことにより、前記蒸着させたケイ
素を前記鋼板中に拡散させることに特徴を有するもので
ある。
より、前記鋼板の表面にケイ素を蒸着させ、次いで、常
圧より低い圧力の無酸化ガス雰囲気中で、前記鋼板に対
して拡散処理−tmすことにより、前記蒸着させたケイ
素を前記鋼板中に拡散させることに特徴を有するもので
ある。
以下、この発明の製造方法について詳述する。
この発明において用いられる鋼板の成分組成は特に限定
されないが、優れた磁気特性を得るためには、以下に述
べる成分組成を有していることが望せしい。
されないが、優れた磁気特性を得るためには、以下に述
べる成分組成を有していることが望せしい。
(1)ケイ素含有量が3〜6.5wt%の高ケイ素鋼板
を製造する場合; 炭素: O,O]、wt%以下、ケイ素:4wt%以下
、マンガン:2wt%以下。不可避不純物はできるだけ
少ない方が望ましい。
を製造する場合; 炭素: O,O]、wt%以下、ケイ素:4wt%以下
、マンガン:2wt%以下。不可避不純物はできるだけ
少ない方が望ましい。
(2)センダスト合金高ケイ素鋼板を製造する場合:炭
素: 0.01wt%以下、ケイ素:4.wt%以下、
7 /l/l/ミニラム23〜8wtニッケル:4wt
%以下、マンガン:2wt%以下、クロムおよびチタン
等の耐食性を増す元素:5wt%以下。不可避不純物は
できるだけ少ない方が望ましい。
素: 0.01wt%以下、ケイ素:4.wt%以下、
7 /l/l/ミニラム23〜8wtニッケル:4wt
%以下、マンガン:2wt%以下、クロムおよびチタン
等の耐食性を増す元素:5wt%以下。不可避不純物は
できるだけ少ない方が望ましい。
鋼板は、切板状鋼板でも帯板状鋼板(銅帯)でもよく、
また、鋼片の熱間圧延−冷間圧延によって得られたもの
でも、溶鋼の直接鋳造・急冷凝固法によって得られたも
のでもよい。ケイ素の蒸着をCVD法により行なうとき
には、蒸着時に鋼板の板厚が減少するから、製品板厚に
対し減少板厚分を付加した板厚のものを用いる必要があ
る。
また、鋼片の熱間圧延−冷間圧延によって得られたもの
でも、溶鋼の直接鋳造・急冷凝固法によって得られたも
のでもよい。ケイ素の蒸着をCVD法により行なうとき
には、蒸着時に鋼板の板厚が減少するから、製品板厚に
対し減少板厚分を付加した板厚のものを用いる必要があ
る。
この発明は、このような鋼板に対して、ケイ素を蒸着さ
せたのち拡散処理する際に、常圧より低い圧力の無酸化
ガス雰囲気中で拡散処理を行ない、これによって鋼板中
にケイ素を拡散させると同時に組織の結晶粒の成長を促
進させて、結晶粒を所望の大きい粒度に成長させた高ケ
イ素鋼板を得るものである。
せたのち拡散処理する際に、常圧より低い圧力の無酸化
ガス雰囲気中で拡散処理を行ない、これによって鋼板中
にケイ素を拡散させると同時に組織の結晶粒の成長を促
進させて、結晶粒を所望の大きい粒度に成長させた高ケ
イ素鋼板を得るものである。
第1図は、この発明の製造方法の1実施態様を示す説明
図である。第1図において、1は加熱炉、2はCVD炉
、3は拡散炉、4は冷却帯、5および6はそれぞれ拡散
炉3の入側および出側の雰囲気分離室、Sは連続的に搬
送される帯板状鋼板(銅帯)である。
図である。第1図において、1は加熱炉、2はCVD炉
、3は拡散炉、4は冷却帯、5および6はそれぞれ拡散
炉3の入側および出側の雰囲気分離室、Sは連続的に搬
送される帯板状鋼板(銅帯)である。
鋼板Sは、加熱炉1に導かれ、そこで1023〜120
00G近辺の温度せで無酸化加熱されたのち、CVD炉
2に導かれ、そこでmo1分率で5IC4k5〜35%
含んだ無酸化ガス雰囲気中で、1023〜]200°C
の温度でCVD法(化学的気相蒸着法)により、その表
面にケイ素の蒸着が行々われる。
00G近辺の温度せで無酸化加熱されたのち、CVD炉
2に導かれ、そこでmo1分率で5IC4k5〜35%
含んだ無酸化ガス雰囲気中で、1023〜]200°C
の温度でCVD法(化学的気相蒸着法)により、その表
面にケイ素の蒸着が行々われる。
次いで、鋼板Sは、雰囲気分離室5を通って拡散炉3に
導かれ、そこで5iC4を含まない無酸化ガス雰囲気中
で、1200〜1400℃の温度で均熱され、鋼板Sの
表面に蒸着したケイ素を鋼板S中へ拡散する拡散処理が
行なわれる。
導かれ、そこで5iC4を含まない無酸化ガス雰囲気中
で、1200〜1400℃の温度で均熱され、鋼板Sの
表面に蒸着したケイ素を鋼板S中へ拡散する拡散処理が
行なわれる。
ここで、拡散炉3は、無酸化ガス雰囲気の圧力が常圧よ
シ低くなるように、雰囲気制御が行なわれている。拡散
炉3の入側および出側の雰囲気分離室5および6は、拡
散炉3の雰囲気と外部の雰囲気と全分離するだめの手段
、例えばラビランスやシールロール等を備えている。拡
散炉3の雰囲気を特に低圧にする場合には、入側および
出側の雰囲気分離室′5および6は多段に設けることが
できる。拡散炉3の雰囲気ガスとしては、Ar、N2゜
He等の不活性ガスやI(2,CI(、等の還元性ガス
が用いられる。拡散処理時に、鋼板Sの表面に酸化膜を
形成させず、また不純物を取除くという観点からは、H
2の使用が有効である。
シ低くなるように、雰囲気制御が行なわれている。拡散
炉3の入側および出側の雰囲気分離室5および6は、拡
散炉3の雰囲気と外部の雰囲気と全分離するだめの手段
、例えばラビランスやシールロール等を備えている。拡
散炉3の雰囲気を特に低圧にする場合には、入側および
出側の雰囲気分離室′5および6は多段に設けることが
できる。拡散炉3の雰囲気ガスとしては、Ar、N2゜
He等の不活性ガスやI(2,CI(、等の還元性ガス
が用いられる。拡散処理時に、鋼板Sの表面に酸化膜を
形成させず、また不純物を取除くという観点からは、H
2の使用が有効である。
一般に、ケイ素を蒸着した鋼板は、ケイ素の拡散処理時
のガス雰囲気の条件の違いによって、拡散処理時に組織
の結晶粒の成長が著しく異なることが知られていたが、
ガス雰囲気の圧力にょる影響については明らかでなかっ
た。本発明者等の研究によれば、CVD法によりケイ素
を蒸着した鋼板に対して、Arを用いた無酸化ガス雰囲
気の圧力を変えて拡散処理を施した場合、結晶粒の平均
粒径は、常圧のと@ 0.4〜0.5 fl、10 ’
Torr程度の低真空のとき0.7〜0.8ms、1
O−3Torr程度の高真空のとき1朋より犬になるこ
とがわかった。これは、拡散処理時の雰囲気が低圧にな
るにつれて、結晶粒の成長に必要な駆動力たる、鋼板狭
面での界面エネルギーが減少することが原因であると考
えられる。高真空の雰囲気においては、界面エネルギー
の減少が著しいために、3次再結晶と呼ばれる結晶粒の
異常成長が生じ、平均粒径が1flを超える大きな結晶
粒になるのであると推定される。
のガス雰囲気の条件の違いによって、拡散処理時に組織
の結晶粒の成長が著しく異なることが知られていたが、
ガス雰囲気の圧力にょる影響については明らかでなかっ
た。本発明者等の研究によれば、CVD法によりケイ素
を蒸着した鋼板に対して、Arを用いた無酸化ガス雰囲
気の圧力を変えて拡散処理を施した場合、結晶粒の平均
粒径は、常圧のと@ 0.4〜0.5 fl、10 ’
Torr程度の低真空のとき0.7〜0.8ms、1
O−3Torr程度の高真空のとき1朋より犬になるこ
とがわかった。これは、拡散処理時の雰囲気が低圧にな
るにつれて、結晶粒の成長に必要な駆動力たる、鋼板狭
面での界面エネルギーが減少することが原因であると考
えられる。高真空の雰囲気においては、界面エネルギー
の減少が著しいために、3次再結晶と呼ばれる結晶粒の
異常成長が生じ、平均粒径が1flを超える大きな結晶
粒になるのであると推定される。
従って、ケイ素を蒸着した鋼板Sに対する拡散処理時に
、拡散炉3の無酸化ガス雰囲気の圧力を常圧よシ低い適
宜の圧力に制御することによって、組織の結晶粒を容易
に所望の大きい粒度に成長させることができる。
、拡散炉3の無酸化ガス雰囲気の圧力を常圧よシ低い適
宜の圧力に制御することによって、組織の結晶粒を容易
に所望の大きい粒度に成長させることができる。
ケイ素を蒸着した鋼板Sは、無酸化ガス雰囲気の圧力が
常圧より低い圧力に制御された拡散炉3での拡散処理に
よって、ケイ素の拡散と同時に組織の結晶粒の成長が促
進して行なわれ、組織の結晶粒を所望の大きな粒度に成
長させた高ケイ素鋼板となる。次いで、鋼板Sは、雰囲
気分離室6を通って冷却帯4に導かれ、そこで冷却され
たのち、巻取られる。
常圧より低い圧力に制御された拡散炉3での拡散処理に
よって、ケイ素の拡散と同時に組織の結晶粒の成長が促
進して行なわれ、組織の結晶粒を所望の大きな粒度に成
長させた高ケイ素鋼板となる。次いで、鋼板Sは、雰囲
気分離室6を通って冷却帯4に導かれ、そこで冷却され
たのち、巻取られる。
以上の実施態様では、帯板状の鋼板Sに対して、連続し
たCVD炉2および拡散炉3で蒸着処理および拡散処理
を連続的に行なったが、切板状の鋼板の場合には、1つ
の炉の雰囲気等を切換えることによって、蒸着処理およ
び拡散処理を連続的に行なうこともできる。まだ、鋼板
に対するケイ素の蒸着もCVD法に限らず、PVD法(
物理的気相蒸着法)等を用いることもできる。
たCVD炉2および拡散炉3で蒸着処理および拡散処理
を連続的に行なったが、切板状の鋼板の場合には、1つ
の炉の雰囲気等を切換えることによって、蒸着処理およ
び拡散処理を連続的に行なうこともできる。まだ、鋼板
に対するケイ素の蒸着もCVD法に限らず、PVD法(
物理的気相蒸着法)等を用いることもできる。
小型のCVD炉−拡散炉を用い、0,35u厚の3wt
%ケイ素鋼板に対して、モル分率20%の5i(J4を
含有するAr −Si C14混合ガスの無酸化ガス雰
囲気中で、CVD法によりケイ素の蒸着処理を行ない、
次いで、5ick4を含まないArの無酸化ガス雰囲気
の圧力を、常圧、低真空(1,0−’ Torr )お
よび高真空(10= Torr )に変えた条件下で、
1200°C51時間の拡散処理を行なって、高ケイ
素鋼板を製造した。そして、高ケイ素鋼板の組織の平均
結晶粒径、鉄損Wおよび最大透磁率μmを調べだ。
%ケイ素鋼板に対して、モル分率20%の5i(J4を
含有するAr −Si C14混合ガスの無酸化ガス雰
囲気中で、CVD法によりケイ素の蒸着処理を行ない、
次いで、5ick4を含まないArの無酸化ガス雰囲気
の圧力を、常圧、低真空(1,0−’ Torr )お
よび高真空(10= Torr )に変えた条件下で、
1200°C51時間の拡散処理を行なって、高ケイ
素鋼板を製造した。そして、高ケイ素鋼板の組織の平均
結晶粒径、鉄損Wおよび最大透磁率μmを調べだ。
その結果を、第2〜4図に示す。
第2図は、拡散処理時の雰囲気の圧力の違いによる、高
ケイ素鋼板の拡散時間と平均結晶粒径との関係を示した
グラフである。第2図に示されるように、拡散処理時の
雰囲気の圧力がこの発明の範囲外の常圧である従来例で
は、鋼板組織の結晶が拡散処理時に余り成長せず、平均
結晶粒径は60分の拡散処理で0.5朋未満で、はぼ飽
オ目に達している。これに対し、拡散処理時の雰囲気の
圧力がこの発明の範囲内の低真空である本発明1では、
鋼板表面での界面エネルギーが減少するために、鋼板組
織の結晶が拡散処理時に大きく成長し、平均結晶粒径は
20分の拡散処理で既に0.5uを上廻り、60分の拡
散処理では0.7uに達している。
ケイ素鋼板の拡散時間と平均結晶粒径との関係を示した
グラフである。第2図に示されるように、拡散処理時の
雰囲気の圧力がこの発明の範囲外の常圧である従来例で
は、鋼板組織の結晶が拡散処理時に余り成長せず、平均
結晶粒径は60分の拡散処理で0.5朋未満で、はぼ飽
オ目に達している。これに対し、拡散処理時の雰囲気の
圧力がこの発明の範囲内の低真空である本発明1では、
鋼板表面での界面エネルギーが減少するために、鋼板組
織の結晶が拡散処理時に大きく成長し、平均結晶粒径は
20分の拡散処理で既に0.5uを上廻り、60分の拡
散処理では0.7uに達している。
更に、拡散処理時の雰囲気の圧力がより低くなった高真
空である本発明2では、鋼板表面での界面エネルギーが
著しく減少するために、平均結晶粒径は20分の拡散処
理で1fl金上廻シ、60分の拡散処理では1.3朋に
も達している。
空である本発明2では、鋼板表面での界面エネルギーが
著しく減少するために、平均結晶粒径は20分の拡散処
理で1fl金上廻シ、60分の拡散処理では1.3朋に
も達している。
第3図は、拡散処理時の雰囲気の圧力の違いによる、高
ケイ素鋼板のケイ素含有量と鉄損Wとの関係を示したグ
ラフ、第4図は、同様に、高ケイ素鋼板のケイ素含有量
と最大透磁率μmとの関係を示したグラフである。第3
〜4図に示されるように、拡散処理時の雰囲気の圧力が
高真空である本発明2では、平均結晶粒径が1五711
を上廻っているために、ケイ素の含有量により変動はあ
るものの、鉄損Wおよび最大透磁率μmが最も優れてい
る。拡散処理時の雰囲気の圧力が低真空である本発明1
は、本発明2に続いて優れており、拡散処理時の雰囲気
の圧力が常圧である従来例が、本発明2に続いている。
ケイ素鋼板のケイ素含有量と鉄損Wとの関係を示したグ
ラフ、第4図は、同様に、高ケイ素鋼板のケイ素含有量
と最大透磁率μmとの関係を示したグラフである。第3
〜4図に示されるように、拡散処理時の雰囲気の圧力が
高真空である本発明2では、平均結晶粒径が1五711
を上廻っているために、ケイ素の含有量により変動はあ
るものの、鉄損Wおよび最大透磁率μmが最も優れてい
る。拡散処理時の雰囲気の圧力が低真空である本発明1
は、本発明2に続いて優れており、拡散処理時の雰囲気
の圧力が常圧である従来例が、本発明2に続いている。
この発明によれば、組織の結晶粒を容易に所望の大きい
粒度にさせた、磁気特性の良好な高ケイ素鋼板を製造す
ることができる。
粒度にさせた、磁気特性の良好な高ケイ素鋼板を製造す
ることができる。
第1図は、この発明の製造方法の1実施態様を示す説明
図、第2図は、冒ケイ素鋼板の拡散時間と平均結晶粒径
との関係を示すグラフ、第3図は、高ケイ素鋼板のケイ
素含有量と鉄損Wとの関係を示すグラフ、第4図は、高
ケイ素銅板のケイ素含有量と最大透磁率との関係を示す
グラフである。 図面において、 1・加熱炉、 2・・CVD炉、3・拡散炉
、 4・・冷却帯、5.6・・・葵囲気分〃I
室、 S・・・鋼板。
図、第2図は、冒ケイ素鋼板の拡散時間と平均結晶粒径
との関係を示すグラフ、第3図は、高ケイ素鋼板のケイ
素含有量と鉄損Wとの関係を示すグラフ、第4図は、高
ケイ素銅板のケイ素含有量と最大透磁率との関係を示す
グラフである。 図面において、 1・加熱炉、 2・・CVD炉、3・拡散炉
、 4・・冷却帯、5.6・・・葵囲気分〃I
室、 S・・・鋼板。
Claims (1)
- 鋼板に対して蒸着処理を施すことにより、前記鋼板の表
面にケイ素を蒸着させ、次いで、常圧より低い圧力の無
酸化ガス雰囲気中で、前記鋼板に対して拡散処理を施す
ことにより、前記蒸着させたケイ素を前記鋼板中に拡散
させることを特徴とする、処理鋼板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16805486A JPS6326323A (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | 処理鋼板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16805486A JPS6326323A (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | 処理鋼板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6326323A true JPS6326323A (ja) | 1988-02-03 |
| JPH0430458B2 JPH0430458B2 (ja) | 1992-05-21 |
Family
ID=15860975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16805486A Granted JPS6326323A (ja) | 1986-07-18 | 1986-07-18 | 処理鋼板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6326323A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014214319A (ja) * | 2013-04-22 | 2014-11-17 | オムロン株式会社 | 磁性部品、および当該磁性部品を備えた電子部品 |
-
1986
- 1986-07-18 JP JP16805486A patent/JPS6326323A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014214319A (ja) * | 2013-04-22 | 2014-11-17 | オムロン株式会社 | 磁性部品、および当該磁性部品を備えた電子部品 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0430458B2 (ja) | 1992-05-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |