JPS63263679A - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置Info
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- JPS63263679A JPS63263679A JP9887087A JP9887087A JPS63263679A JP S63263679 A JPS63263679 A JP S63263679A JP 9887087 A JP9887087 A JP 9887087A JP 9887087 A JP9887087 A JP 9887087A JP S63263679 A JPS63263679 A JP S63263679A
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Links
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 11
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- 235000001537 Ribes X gardonianum Nutrition 0.000 description 2
- 235000001535 Ribes X utile Nutrition 0.000 description 2
- 235000016919 Ribes petraeum Nutrition 0.000 description 2
- 244000281247 Ribes rubrum Species 0.000 description 2
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、欠陥検査装置、特に、追記型光ディスクある
いは書換型光ディスクなどの情報記録用担体の情報記録
領域に形成されたピンホールあるいは傷などの欠陥を検
出する欠陥検査装置に関する。
いは書換型光ディスクなどの情報記録用担体の情報記録
領域に形成されたピンホールあるいは傷などの欠陥を検
出する欠陥検査装置に関する。
従来の欠陥検査装置は、情報記録用担体の情報記録領域
に形成された欠陥を検出し欠陥信号を出力する欠陥検出
部と、前記欠陥信号に基づいて欠陥の位置および大きさ
を演算し演算結果を出力する演算部と、前記演算結果を
表示する表示部とを含んで構成される。
に形成された欠陥を検出し欠陥信号を出力する欠陥検出
部と、前記欠陥信号に基づいて欠陥の位置および大きさ
を演算し演算結果を出力する演算部と、前記演算結果を
表示する表示部とを含んで構成される。
次に、従来の欠陥検査装置について、図面を参照して詳
細に説明する。
細に説明する。
第２図は従来の欠陥検査装置の一例を示すブロック図で
ある。 〜 第２図に示す欠陥検査装置は、被測定物である情報記録
用担体１を固定し駆動雑食する枢動部２と、前記情報記
録用担体１の表面にレーザ光を集光しその反射光量変化
などの光学的変化を光電変換することによりて欠陥を検
出する欠陥検出部３と、前記欠陥検出部３からの欠陥信
号ａに基づいて欠陥の位置および大きさを演算し演算結
果すを出力する演算部４と、演算結果すを表示する表示
部８とを含んでいる。
ある。 〜 第２図に示す欠陥検査装置は、被測定物である情報記録
用担体１を固定し駆動雑食する枢動部２と、前記情報記
録用担体１の表面にレーザ光を集光しその反射光量変化
などの光学的変化を光電変換することによりて欠陥を検
出する欠陥検出部３と、前記欠陥検出部３からの欠陥信
号ａに基づいて欠陥の位置および大きさを演算し演算結
果すを出力する演算部４と、演算結果すを表示する表示
部８とを含んでいる。
枢動部２に固定された被測定物である情報記録用担体゛
ｌの表面上に移動可能な欠陥検出部３のレーザ発生源３
１より集光レンズ３３を介してレーザ光を集光させる。
ｌの表面上に移動可能な欠陥検出部３のレーザ発生源３
１より集光レンズ３３を介してレーザ光を集光させる。
集光させたレーザ光の反射光をビームスグリ、り３２に
よシ光検出器３４に導き光電変換した後増幅器３５で増
幅し欠陥による反射光ｉｉ′ＪＫ化に対応した欠陥信号
ａを得る。前記欠陥信号ａとあらかじめ設定した基準値
とを演算部４において比較器４１で比較し基準値を越え
るものを１１”、基準値以下のものを１０″として前記
欠陥信号ａをディジタル化する。得られたディジタルパ
ルスの数およびパルス幅およびパルス位置を計数器４４
およびパルス幅計数器４２およびパルス位置検出器４３
によって演算することＫより欠陥の数、大きさおよび位
置を演算結果すとして求めＣＲＴなどの表示部８に表示
する。
よシ光検出器３４に導き光電変換した後増幅器３５で増
幅し欠陥による反射光ｉｉ′ＪＫ化に対応した欠陥信号
ａを得る。前記欠陥信号ａとあらかじめ設定した基準値
とを演算部４において比較器４１で比較し基準値を越え
るものを１１”、基準値以下のものを１０″として前記
欠陥信号ａをディジタル化する。得られたディジタルパ
ルスの数およびパルス幅およびパルス位置を計数器４４
およびパルス幅計数器４２およびパルス位置検出器４３
によって演算することＫより欠陥の数、大きさおよび位
置を演算結果すとして求めＣＲＴなどの表示部８に表示
する。
しかしながら、このような上述した従来の欠陥検査装置
は被測定物である情報記録用担体に形成された欠陥を検
出し欠陥の数、大きさおよび位置を表示部に表示する構
成になっているので、一般的に前記情報記録担体の生産
者が前記情報記録用担体な肝価する用途のみに用いられ
、実際に情報記録用担体に情報を記録する個々の使用者
が、前記情報記録担体に形成された記録特性に影響を与
えるような所定の大きさを越える欠陥の位置および大き
さなどを容易に知ることができないため、記録した後の
読み取シで誤りが発見されたり、このｉａシの発見によ
シ別の情報記録領域に書き込んだりしなければならない
という欠点があった。
は被測定物である情報記録用担体に形成された欠陥を検
出し欠陥の数、大きさおよび位置を表示部に表示する構
成になっているので、一般的に前記情報記録担体の生産
者が前記情報記録用担体な肝価する用途のみに用いられ
、実際に情報記録用担体に情報を記録する個々の使用者
が、前記情報記録担体に形成された記録特性に影響を与
えるような所定の大きさを越える欠陥の位置および大き
さなどを容易に知ることができないため、記録した後の
読み取シで誤りが発見されたり、このｉａシの発見によ
シ別の情報記録領域に書き込んだりしなければならない
という欠点があった。
本発明の欠陥検査装置は、情報記録用担体の情報記録領
域に形成された欠陥を検出し欠陥信号を出力する欠陥検
出部と前記欠陥信号に基づいて欠陥の位置および大きさ
を演算し演算結果を出力する演算部と、前記演算結果を
欠陥データとして前記情報記録用担体に記録する記録部
とを含んで構成される。
域に形成された欠陥を検出し欠陥信号を出力する欠陥検
出部と前記欠陥信号に基づいて欠陥の位置および大きさ
を演算し演算結果を出力する演算部と、前記演算結果を
欠陥データとして前記情報記録用担体に記録する記録部
とを含んで構成される。
次に１本発明の笑流側九ついて、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すプロ、り図である。
第１図に示す欠陥検査装置は、被測定物である情報記録
用担体ｌの情報記録面にレーザ光を集光しその反射量変
化などの光学的変化を検出し光電変換すること罠よって
欠陥を検出する欠陥検出部３と、この欠陥検出部３から
の欠陥信号に基づいて欠陥の大きさ１位置を演算する演
算部４と、演算結果すを欠陥データＣとして記憶する記
憶部５と、記憶した欠陥データｃＫ基づいて検出された
個々の欠陥について欠陥データｄとして前記情報記録用
担体ｌに記録するか否かを判定する判定部６と、欠陥デ
ータｄを前記情報記録用担体ＩＫ記録する記録部７とを
含んで構成される。
用担体ｌの情報記録面にレーザ光を集光しその反射量変
化などの光学的変化を検出し光電変換すること罠よって
欠陥を検出する欠陥検出部３と、この欠陥検出部３から
の欠陥信号に基づいて欠陥の大きさ１位置を演算する演
算部４と、演算結果すを欠陥データＣとして記憶する記
憶部５と、記憶した欠陥データｃＫ基づいて検出された
個々の欠陥について欠陥データｄとして前記情報記録用
担体ｌに記録するか否かを判定する判定部６と、欠陥デ
ータｄを前記情報記録用担体ＩＫ記録する記録部７とを
含んで構成される。
枢動部２に固定された被測定物である情報記録用担体１
の情報記録面には、移動可能な欠陥検出部３のレーザ発
生源３１で発生したレーザをビームスグリ、り３２を介
して集光レンズ３３によ〕レーザ光を集光させる。集光
させたレーザ光の反射光は再びビームスグリツタ３２に
より光検出器３４に４き光［変換した後、増幅器３５で
増幅し欠陥による反射光量変化に対応した欠陥信号ａを
得る。前記欠陥信号ａとあらかじめ設定した基準値とを
演算部４において比較器４１で比較し基準値を越えるも
のを′″ｌ”、基準値以下のものを１０”として前記欠
陥信号ａをディジタル化する。
の情報記録面には、移動可能な欠陥検出部３のレーザ発
生源３１で発生したレーザをビームスグリ、り３２を介
して集光レンズ３３によ〕レーザ光を集光させる。集光
させたレーザ光の反射光は再びビームスグリツタ３２に
より光検出器３４に４き光［変換した後、増幅器３５で
増幅し欠陥による反射光量変化に対応した欠陥信号ａを
得る。前記欠陥信号ａとあらかじめ設定した基準値とを
演算部４において比較器４１で比較し基準値を越えるも
のを′″ｌ”、基準値以下のものを１０”として前記欠
陥信号ａをディジタル化する。
得られたディジタルパルスの数、パルス幅およびパルス
位置を計数器４４およびパルス幅計数器４２およびパル
ス位置検出器４３によって演算することによりて欠陥の
数、大きさ、および位置の演算結果すを求め得られた演
算結果すを欠陥データＣとして記憶部５に記憶する。記
憶した欠陥データｃＫ基づいて記録特性に影響な与える
ような所定の大きさを越える欠陥を弁別し欠陥データｄ
として前記情報記録用担体ＩＫ記録するか否かを判定部
６で判定し、記録すべき欠陥データｄを記録部７のデー
タ変調器７１で変調し記録用レーザ発生源７２を枢動し
集光レンズ７３を介して前記情報記録用担体１の所定の
情報記録領域に集光してピットを形成することによシ欠
陥データｄを記録する。
位置を計数器４４およびパルス幅計数器４２およびパル
ス位置検出器４３によって演算することによりて欠陥の
数、大きさ、および位置の演算結果すを求め得られた演
算結果すを欠陥データＣとして記憶部５に記憶する。記
憶した欠陥データｃＫ基づいて記録特性に影響な与える
ような所定の大きさを越える欠陥を弁別し欠陥データｄ
として前記情報記録用担体ＩＫ記録するか否かを判定部
６で判定し、記録すべき欠陥データｄを記録部７のデー
タ変調器７１で変調し記録用レーザ発生源７２を枢動し
集光レンズ７３を介して前記情報記録用担体１の所定の
情報記録領域に集光してピットを形成することによシ欠
陥データｄを記録する。
本発明の欠陥検査装置は、被測定物である情報記録用担
体に形成された欠陥を検出し得られた欠陥データを前記
情報記録用担体に記録するための記録部を設けることに
よシ、情報記録用担体の生産者のみならず実際に前記情
報記録用担体に情報を記録する個々の使用者が前記欠陥
データを読み取ることによって容易に前記情報記録用担
体に形成された記録特性に影曽を与えるような所定の大
きさを越える欠陥の位置、大きさを知り、情報を記録す
る隙に前記欠陥を避けて記録できるので、短時間で正電
に情報を記録できる情報記録用担体を作製することがで
きるという効果がある。
体に形成された欠陥を検出し得られた欠陥データを前記
情報記録用担体に記録するための記録部を設けることに
よシ、情報記録用担体の生産者のみならず実際に前記情
報記録用担体に情報を記録する個々の使用者が前記欠陥
データを読み取ることによって容易に前記情報記録用担
体に形成された記録特性に影曽を与えるような所定の大
きさを越える欠陥の位置、大きさを知り、情報を記録す
る隙に前記欠陥を避けて記録できるので、短時間で正電
に情報を記録できる情報記録用担体を作製することがで
きるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
従来の一例を示すプロ、り図である。 ｌ・・・・・・情報記録用担体、２・・・・・・駆動部
、３・・・・・・欠陥検出部、３１・・・・・・レーザ
発生源、３２・・・・・・ビームスグリ、り、３３・・
・・・・集光レンズ、３４・・・・・・光検出器、３５
・・・・・・増幅器、４・・・・・・演算部、４１・・
・・・・比較器、４２・・・・・・パルス幅計数器、４
３・・・・・・パルス位置検出器、４４・・・・・・計
数器、５・・・・・・記憶部、６・・・・・・判定部、
７・・・・・・記録部、７１・・・・・・データ変調器
、７２・・・・・・記録用レーザ発生源、７３・・・・
・・集光レンズ、８・・・・・・表示部、ａ・・・・・
・欠陥信号、ｂ・・・・・・演算結果、ｃ、ｄ・・・・
・・欠陥データ、
従来の一例を示すプロ、り図である。 ｌ・・・・・・情報記録用担体、２・・・・・・駆動部
、３・・・・・・欠陥検出部、３１・・・・・・レーザ
発生源、３２・・・・・・ビームスグリ、り、３３・・
・・・・集光レンズ、３４・・・・・・光検出器、３５
・・・・・・増幅器、４・・・・・・演算部、４１・・
・・・・比較器、４２・・・・・・パルス幅計数器、４
３・・・・・・パルス位置検出器、４４・・・・・・計
数器、５・・・・・・記憶部、６・・・・・・判定部、
７・・・・・・記録部、７１・・・・・・データ変調器
、７２・・・・・・記録用レーザ発生源、７３・・・・
・・集光レンズ、８・・・・・・表示部、ａ・・・・・
・欠陥信号、ｂ・・・・・・演算結果、ｃ、ｄ・・・・
・・欠陥データ、
Claims (1)
- 情報記録用担体の情報記録領域に形成された欠陥を検出
し欠陥信号を出力する欠陥検出部と、前記欠陥信号に基
づいて欠陥の位置および大きさを演算し演算結果を出力
する演算部と、前記演算結果を欠陥データとして前記情
報記録用担体に記録する記録部とを含むことを特徴とす
る欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9887087A JPS63263679A (ja) | 1987-04-21 | 1987-04-21 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9887087A JPS63263679A (ja) | 1987-04-21 | 1987-04-21 | 欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63263679A true JPS63263679A (ja) | 1988-10-31 |
Family
ID=14231216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9887087A Pending JPS63263679A (ja) | 1987-04-21 | 1987-04-21 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63263679A (ja) |
-
1987
- 1987-04-21 JP JP9887087A patent/JPS63263679A/ja active Pending
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