JPS63265128A - 静電容量式圧力センサにおけるギヤツプ形成方法 - Google Patents
静電容量式圧力センサにおけるギヤツプ形成方法Info
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- JPS63265128A JPS63265128A JP4869687A JP4869687A JPS63265128A JP S63265128 A JPS63265128 A JP S63265128A JP 4869687 A JP4869687 A JP 4869687A JP 4869687 A JP4869687 A JP 4869687A JP S63265128 A JPS63265128 A JP S63265128A
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- Japan
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- gap
- pressure sensor
- forming
- capacitive pressure
- glass material
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
との発明は、静電容量式圧力センサにおけるギャップの
形成方法に関する。このようなセンサでは、その検出部
となるギャップをできるだけ一定に形成することが重要
である。
形成方法に関する。このようなセンサでは、その検出部
となるギャップをできるだけ一定に形成することが重要
である。
従来、この種のギャップを形成する方法として、材料を
機械的た削る方法と、蒸着やスパッタ装置を用いて微小
材料を重ねて行ったシ、またはエツチング処理によシ僅
かずっ溶解して材料を取シ去って行く方法とが知られて
いる。
機械的た削る方法と、蒸着やスパッタ装置を用いて微小
材料を重ねて行ったシ、またはエツチング処理によシ僅
かずっ溶解して材料を取シ去って行く方法とが知られて
いる。
しかしながら、前者の方法では１０ミクロンの誤差を制
御することは困難であシ、一般に１００ｉクロン以上の
ギャップとなる。っまυ、ギャップが大きくなれば、面
積をよ〕大きくし静電容量変化率を大きくして検出感度
を上げなければならず、そのため、どうしても検出部が
大きくなってしまうと云う問題がある。
御することは困難であシ、一般に１００ｉクロン以上の
ギャップとなる。っまυ、ギャップが大きくなれば、面
積をよ〕大きくし静電容量変化率を大きくして検出感度
を上げなければならず、そのため、どうしても検出部が
大きくなってしまうと云う問題がある。
一方、後者社５ミクロン以下の微細なギャップを形成す
ることができ、小型化できる利点を有する反面、変形可
能なギャップ幅が小さいため、太きま圧力を検出するこ
とが困難になると云う問題がある。また、蒸着やスパッ
タ等で１０ミクロン以上のギャップを形成することは技
術的には可能でおるが、時間が掛か夛過ぎるため連続し
て大量に処理することができず、実用化が難がしいと云
う問題がある。
ることができ、小型化できる利点を有する反面、変形可
能なギャップ幅が小さいため、太きま圧力を検出するこ
とが困難になると云う問題がある。また、蒸着やスパッ
タ等で１０ミクロン以上のギャップを形成することは技
術的には可能でおるが、時間が掛か夛過ぎるため連続し
て大量に処理することができず、実用化が難がしいと云
う問題がある。
したがって、この発明は低圧から高圧までの広い範囲で
感度良く検出することができ、かつギャップ寸法を１０
〜２０ミクキンの範囲にして空間体積を精度良く形成す
ることが可能で、しかも小型にするととが可能なギャッ
プ形成方法を提供するととを目的とする。
感度良く検出することができ、かつギャップ寸法を１０
〜２０ミクキンの範囲にして空間体積を精度良く形成す
ることが可能で、しかも小型にするととが可能なギャッ
プ形成方法を提供するととを目的とする。
一方の基板上の所定空間領域部を除く領域に、高温で溶
融すると工もに室温で固化し所定の溶剤にてペースト状
にされたガラス材料を略均一に塗布し、その上の所定位
置に、所定寸法をもつ直方体または円筒体のギャップ形
成材を固定し、さらにその上に他方の基板を重ね合わせ
たのち、荷重を掛けつ工高湯処理するか、または上記と
同様のガラス材と所定寸法をもつ球体２球体に近い多面
他方の基板を重ね合わせた後、荷重を掛けつ〜高温処理
する。いずれの場合もガラス材料としては結晶性ガラス
材料またはＳｉＯ２成分が増量された非晶性ガラス材料
が用いられ、またガラス材料の粒径は１０〜２０ミクロ
ンのギャップに対して５〜５ミクロンとされ、さらにガ
ラス材料の充填率は所定の体積に対して８０〜９５％と
なるようにされる。
融すると工もに室温で固化し所定の溶剤にてペースト状
にされたガラス材料を略均一に塗布し、その上の所定位
置に、所定寸法をもつ直方体または円筒体のギャップ形
成材を固定し、さらにその上に他方の基板を重ね合わせ
たのち、荷重を掛けつ工高湯処理するか、または上記と
同様のガラス材と所定寸法をもつ球体２球体に近い多面
他方の基板を重ね合わせた後、荷重を掛けつ〜高温処理
する。いずれの場合もガラス材料としては結晶性ガラス
材料またはＳｉＯ２成分が増量された非晶性ガラス材料
が用いられ、またガラス材料の粒径は１０〜２０ミクロ
ンのギャップに対して５〜５ミクロンとされ、さらにガ
ラス材料の充填率は所定の体積に対して８０〜９５％と
なるようにされる。
空間体積の変化を靜電容証変化に変換して圧力を測定す
るためＫは、空間体積が大きい程大きな圧力変化に対応
でき、感度を上げることが容易である。これに対し、小
さな空間体積で同程度の特性を維持するためには、ある
程度の空間が必要であシ、また空間体積を決定するギャ
ップ寸法や面積の誤差を可能な限シ小さくしなければな
らない。
るためＫは、空間体積が大きい程大きな圧力変化に対応
でき、感度を上げることが容易である。これに対し、小
さな空間体積で同程度の特性を維持するためには、ある
程度の空間が必要であシ、また空間体積を決定するギャ
ップ寸法や面積の誤差を可能な限シ小さくしなければな
らない。
ギャップ形成材は広い温度範囲（−４０〜１２０℃）で
弾性率変化の少ない材料で絶縁性に優れ、さらに高圧に
耐えるだけの気密性、密着性が必要である。
弾性率変化の少ない材料で絶縁性に優れ、さらに高圧に
耐えるだけの気密性、密着性が必要である。
以上の如き材料要求特性から考えて、エポキシ樹脂やポ
リイミドなどの有機系高分子材料では使用温度範囲でガ
ラス転移温度などの転位温度を持ち、また弾性率の温度
依存性が大きいため、ギャップ形成材として使用するの
は不適当でおる。つまり、ギャップ形成材としては硬質
かつ高温に耐える無機質材料で、均一な形状が得られや
すく、または加工によシ同−形状になる材料とすること
が望ましい。
リイミドなどの有機系高分子材料では使用温度範囲でガ
ラス転移温度などの転位温度を持ち、また弾性率の温度
依存性が大きいため、ギャップ形成材として使用するの
は不適当でおる。つまり、ギャップ形成材としては硬質
かつ高温に耐える無機質材料で、均一な形状が得られや
すく、または加工によシ同−形状になる材料とすること
が望ましい。
一方、空間面積を制御し、接着剤となる材料として、と
へでは非晶性ガラス材または結晶性ガラス材を用いる。
へでは非晶性ガラス材または結晶性ガラス材を用いる。
九ｙし、非晶性ガラス材は一般に、温度上昇によシ粘度
が下がシ、空間部をガラス充填部との境界面でガラスを
挾む上下の面との接触角を９０°±１０°範囲内に制御
することがむずかしく、この接触角の低下に伴ない上方
からの圧力特性と、下方からの圧力特性に差が生じてし
まうので、ガラス材のＳｉＯ２成分を増すことによシー
溶融時の粘度を高く保つことが必要である。これに対し
、結晶性ガラスとして、特に融点から結晶化温度までの
温度差の少ない材料を用いるとともに、Ｚ ｎ Ｏなど
の結晶化促進材を加えて昇温速度を制御するようにすれ
ば、ガラスの流動を少なくおさえることができるため、
両面との接触角を９０士５°に制御することができ、し
たがって非晶性ガラス材に比べて圧力方向の違いによる
検出感度をさらに良好にするととができる。
が下がシ、空間部をガラス充填部との境界面でガラスを
挾む上下の面との接触角を９０°±１０°範囲内に制御
することがむずかしく、この接触角の低下に伴ない上方
からの圧力特性と、下方からの圧力特性に差が生じてし
まうので、ガラス材のＳｉＯ２成分を増すことによシー
溶融時の粘度を高く保つことが必要である。これに対し
、結晶性ガラスとして、特に融点から結晶化温度までの
温度差の少ない材料を用いるとともに、Ｚ ｎ Ｏなど
の結晶化促進材を加えて昇温速度を制御するようにすれ
ば、ガラスの流動を少なくおさえることができるため、
両面との接触角を９０士５°に制御することができ、し
たがって非晶性ガラス材に比べて圧力方向の違いによる
検出感度をさらに良好にするととができる。
その他に、面積の寸法精度を上げるためには、ガラスの
空間充填率２粒径を管理することが重要である。例えば
空間充填率は、これが７０％以下では気密性、密着性に
問題が生じ、９５％以上にすると境界線の乱れ、はみ出
しが生じるため、ガラス充填率を８０〜９５％間になる
よう有機系材料を添加することによシ、所定の面積寸法
精度を出すようにする。また、粒径については、これが
１０ミクロン以上になると加熱、加圧時のつぶれ率が７
０％前後になシ、高さ方向の誤差が大きくかつガラス充
填率も悪くなるので、粒径としては３ミクロンから５ミ
クロンのものが良好である。
空間充填率２粒径を管理することが重要である。例えば
空間充填率は、これが７０％以下では気密性、密着性に
問題が生じ、９５％以上にすると境界線の乱れ、はみ出
しが生じるため、ガラス充填率を８０〜９５％間になる
よう有機系材料を添加することによシ、所定の面積寸法
精度を出すようにする。また、粒径については、これが
１０ミクロン以上になると加熱、加圧時のつぶれ率が７
０％前後になシ、高さ方向の誤差が大きくかつガラス充
填率も悪くなるので、粒径としては３ミクロンから５ミ
クロンのものが良好である。
以上のように、ガラス材の溶融粘度、ガラス充填率およ
び粒径を管理することによシ、ギャップ形成材を用いな
くても、高さ方向の寸法に対して±１０％の範囲に制御
することができるが、この発明では、さらにつぶれ停止
点（ギャップ）をもうけるためのギャップ形成材（無機
質絶縁材料）を使用することによシ、寸法誤差を±５％
の範囲に制御することができるようにし、空間体積を一
定に保つことによシ靜電容量変化の誤差を少なくし、圧
力負荷時の容量変化率を精度良く測定できるよう＆てす
る。
び粒径を管理することによシ、ギャップ形成材を用いな
くても、高さ方向の寸法に対して±１０％の範囲に制御
することができるが、この発明では、さらにつぶれ停止
点（ギャップ）をもうけるためのギャップ形成材（無機
質絶縁材料）を使用することによシ、寸法誤差を±５％
の範囲に制御することができるようにし、空間体積を一
定に保つことによシ靜電容量変化の誤差を少なくし、圧
力負荷時の容量変化率を精度良く測定できるよう＆てす
る。
第１図はこの発明の詳細な説明するための説明図である
。これは、との発明によって作られる圧力センサを示す
もので、同図（イ）は作成途中の状態を示す上面図、同
図（ロ）は完成品を示、す断面図である。なお、同図に
おいて、ＩＡ、ＩＢは基板、２はガラス材、３はギャッ
プ形成材、４は空間領域、５は電極材で、ギャップ形成
材としては直方体に形成されたマイカまたは円筒状の石
英ロンドが用いられる。また、基板ＩＡ、ＩＢとしては
電極付絶縁板またはシリコンなどの導電性基板が用いら
れ、同図は電極付絶縁板を用いた例である。なお、導電
性基板の場合は電極材５は省略される。
。これは、との発明によって作られる圧力センサを示す
もので、同図（イ）は作成途中の状態を示す上面図、同
図（ロ）は完成品を示、す断面図である。なお、同図に
おいて、ＩＡ、ＩＢは基板、２はガラス材、３はギャッ
プ形成材、４は空間領域、５は電極材で、ギャップ形成
材としては直方体に形成されたマイカまたは円筒状の石
英ロンドが用いられる。また、基板ＩＡ、ＩＢとしては
電極付絶縁板またはシリコンなどの導電性基板が用いら
れ、同図は電極付絶縁板を用いた例である。なお、導電
性基板の場合は電極材５は省略される。
以下、ギャップの形成方法について説明する。
〈方法Ｉ〉
（１）＠径２０ミクロンの石英製繊維を長さ５ｍｍに切
断し、ギャップ形成材となる円筒状の石英ロッドを作成
する。
断し、ギャップ形成材となる円筒状の石英ロッドを作成
する。
（２）５ミクロン以下に粉砕した結晶性ガラス（ｚｎｏ
ＩＢ２０３ｅ Ｓ ｔ ０２ ） 、アクリル樹脂お
よびテレピネオール（溶剤）をそれぞれ１０：０１：２
の割合で加えて攪拌、混合し、ペースト状の結晶性ガラ
スを作成する。
ＩＢ２０３ｅ Ｓ ｔ ０２ ） 、アクリル樹脂お
よびテレピネオール（溶剤）をそれぞれ１０：０１：２
の割合で加えて攪拌、混合し、ペースト状の結晶性ガラ
スを作成する。
（６）厚さ３ｍｍ、２０ｍｍ角の電極付アルミナ基板の
片面に、スクリーン印刷機を用いてペースト状ガラスを
直径１０〜１２ｍｍ範囲の円形帯状に印刷する。
片面に、スクリーン印刷機を用いてペースト状ガラスを
直径１０〜１２ｍｍ範囲の円形帯状に印刷する。
（４）次に、ガラス印刷面よシ外側４端にシアノアクリ
レート系接着剤を滴下し、石英ロッドを固定する。なお
、このときの状態が第１図（イ）に示されている。
レート系接着剤を滴下し、石英ロッドを固定する。なお
、このときの状態が第１図（イ）に示されている。
（５）その上に電極付アルミナ基板を乗せてガラス面を
挾み、荷重５に９／ａａをかけた状態で８００℃恒温槽
に１時間放置する。
挾み、荷重５に９／ａａをかけた状態で８００℃恒温槽
に１時間放置する。
（６）この方法では、所定の寸法に対するギャップ寸法
の誤差は±０．５ミクロンでオシ、直径の誤差は±５ミ
クロンであった。
の誤差は±０．５ミクロンでオシ、直径の誤差は±５ミ
クロンであった。
〈方法■〉
（１）厚さ１０ミクロンの薄葉状マイカｔ−３ｍｍ角に
切断し、ギャップ形成材となるマイカ板を作成する。
切断し、ギャップ形成材となるマイカ板を作成する。
（２） ５ ミクロン以下に粉砕した非晶性の鉛ガラス
（ｐｂｏ、 Ｂ２Ｏ５、Ｓ ｉｏｚ ）、セルロースお
よびテレピネオール（溶剤）をそれぞれ１０：０３：２
の割合で加えて攪拌、混合し、ペースト状のガラスを作
成する。
（ｐｂｏ、 Ｂ２Ｏ５、Ｓ ｉｏｚ ）、セルロースお
よびテレピネオール（溶剤）をそれぞれ１０：０３：２
の割合で加えて攪拌、混合し、ペースト状のガラスを作
成する。
（３）厚さ３ｍｍ、２０ｍｍ角のパイレックスガラス基
板の片面に、スクリーン印刷機を用いてペースト状ガラ
スを直径１０〜１２閣範囲の円形帯状に印刷する。
板の片面に、スクリーン印刷機を用いてペースト状ガラ
スを直径１０〜１２閣範囲の円形帯状に印刷する。
（４）次に、ガラス印刷面よシ外側の４端にマイカ板を
１枚ずつ乗せる。このときの状態が第１図（イ）に示さ
れている。
１枚ずつ乗せる。このときの状態が第１図（イ）に示さ
れている。
（５）その上に、 パイレックス基板を乗せてガラス面
を挾み、荷重２ｋｌＦ／ｃｊをかけた状態で５００℃恒
温槽に１時間放置する。
を挾み、荷重２ｋｌＦ／ｃｊをかけた状態で５００℃恒
温槽に１時間放置する。
（６）冷却後、研磨し、実体顕微鏡を用いて寸法測定し
た結果、所定の寸法に対してギャップ寸法の誤差は±α
５ミクロン、空間部直径の誤差は±１０ミクロンであっ
た。
た結果、所定の寸法に対してギャップ寸法の誤差は±α
５ミクロン、空間部直径の誤差は±１０ミクロンであっ
た。
第２図はとの発明の他の実施例を説明するための説明図
である。これは基本的には第１図と同様であるが、ギャ
ップ形成材が球体または球体に近い多面体でこれが略均
一に塗布される点が特徴である。
である。これは基本的には第１図と同様であるが、ギャ
ップ形成材が球体または球体に近い多面体でこれが略均
一に塗布される点が特徴である。
この場合のギャップ形成方法は、以下の通シである。
〈方法■〉
（１）例えば直径１４ミクロンの球状アルミナ（ギャッ
プ形成材）を、分級によシ選別する。
プ形成材）を、分級によシ選別する。
（２） ５ ミクロン以下に粉砕した結晶性ガラス（Ｚ
、Ｏ。
、Ｏ。
Ｂ２０３ｖ Ｓ １ｏ２）、アクリル樹脂およびテレピ
ネオール（溶剤）をそれぞれ１０：０．２：５の割合で
加えて攪拌、混合し、ペースト状にした結晶性ガラスを
作成し、球状アルミナをガラスペーストに対して３ｗｔ
％（重全パーセント）添加し、均一に分散させる。
ネオール（溶剤）をそれぞれ１０：０．２：５の割合で
加えて攪拌、混合し、ペースト状にした結晶性ガラスを
作成し、球状アルミナをガラスペーストに対して３ｗｔ
％（重全パーセント）添加し、均一に分散させる。
（３）厚さ３ｍｍ５２０ｍｍ角の電極付アルミナ基板の
片面に、スクリーン印刷機を用いてペースト状ガラスを
直径１０〜１２ｍｍ範囲の円形帯状に印刷する。なお、
このときの状態が第２図（イ）に示されている。
片面に、スクリーン印刷機を用いてペースト状ガラスを
直径１０〜１２ｍｍ範囲の円形帯状に印刷する。なお、
このときの状態が第２図（イ）に示されている。
（４）その上に、アルミナ板を乗せてガラス面を挾み、
荷重５に９／７をかけた状態で８００℃恒温槽に１時間
放置する。
荷重５に９／７をかけた状態で８００℃恒温槽に１時間
放置する。
（５）冷却後、電極間の静電容量を測定した後、１２０
０℃で焼成してガラスを劣化させ、アルミナを剥離して
空間部の直径長さを測定すると、所定寸法に対しギャッ
プ寸法の誤差は±０．５ミクロン、直径の誤差は±５ミ
クロンであった。
０℃で焼成してガラスを劣化させ、アルミナを剥離して
空間部の直径長さを測定すると、所定寸法に対しギャッ
プ寸法の誤差は±０．５ミクロン、直径の誤差は±５ミ
クロンであった。
第３図はこの発明のさらに他の実施例を説明するための
説明図である。これは基本的には第２図と同様であるが
、基板ＩＡ、ＩＢとしてシリコンなどの導電材を用いた
例である。したがって、第１図または第２図で用いられ
る電極材は、こ〜では省略されている。
説明図である。これは基本的には第２図と同様であるが
、基板ＩＡ、ＩＢとしてシリコンなどの導電材を用いた
例である。したがって、第１図または第２図で用いられ
る電極材は、こ〜では省略されている。
この場合のギャップの形成は、例えば次のように行なわ
れる。
れる。
〈方法■〉
（１）直径１２ミクロンの球状アルミナ（ギャップ形成
材）を、分級により選別する。
材）を、分級により選別する。
（２） ５ ミクロン以下に粉砕した結晶性ガラス（Ｚ
ｎＯ−Ｂ２０５ ａ Ｓ １０２ ）、アクリル樹脂お
よびテレピネオール（溶剤）をそれぞれ１０：０．２：
３の割合で加えて攪拌、混合し、ペースト状にした結晶
性ガラスを作成し、球状アルミナをガラスペーストに対
し２ｗｔ％（重量パーセント）添加し、均一に分散させ
る。
ｎＯ−Ｂ２０５ ａ Ｓ １０２ ）、アクリル樹脂お
よびテレピネオール（溶剤）をそれぞれ１０：０．２：
３の割合で加えて攪拌、混合し、ペースト状にした結晶
性ガラスを作成し、球状アルミナをガラスペーストに対
し２ｗｔ％（重量パーセント）添加し、均一に分散させ
る。
（３）厚さ４１ｍ ｅ ２０ ｍｍ角のシリコン基板の
片面に、スクリーン印刷機を用いてペースト状ガラスを
直径１０〜１２叩範囲の円形帯状に印刷する。
片面に、スクリーン印刷機を用いてペースト状ガラスを
直径１０〜１２叩範囲の円形帯状に印刷する。
なお、このときの状態が第６図（イ）に示されている。
（４）その上に、シリコン板を乗せてガラス面を挾み、
荷重５ ｋｇ ／ｃＩａをかけた状態で８００℃恒温槽
に１時間放置する。
荷重５ ｋｇ ／ｃＩａをかけた状態で８００℃恒温槽
に１時間放置する。
（５）冷却後、研磨し、実体顕微鏡を用いて寸法測定し
た結果、所定の寸法に対しギャップ寸法の誤差は±０．
３ミクキン、空間部の直径の誤差は±１０ミクロンであ
った。
た結果、所定の寸法に対しギャップ寸法の誤差は±０．
３ミクキン、空間部の直径の誤差は±１０ミクロンであ
った。
この発明によれば、所定の寸法を持つギャップ形成材と
高粘度溶融ガラスを同時に用いるよ°うにしたので、高
さ方向２面方向の寸法精度を所定の寸法に再現性良く形
成することができ、その結果、圧力変化に対する静電容
量変化の検出精度を上げることができるだけでなく、検
出部の小型化を計ることができる利点がもたらされる。
高粘度溶融ガラスを同時に用いるよ°うにしたので、高
さ方向２面方向の寸法精度を所定の寸法に再現性良く形
成することができ、その結果、圧力変化に対する静電容
量変化の検出精度を上げることができるだけでなく、検
出部の小型化を計ることができる利点がもたらされる。
Ｏ説明図、第３図はこの発明のさらに他の実施例を説明
するための説明図である。 符号説明 ＩＡ、ＩＢ−・・・・・基板、２・・・・・・ガラス材
、３・・・・・・ギャップ形成材、４・・・・・・空間
領域、５・・・・・・電極材。 第１図 （イ〕 ＩＢ （町 ＩＡ １１：５ ４ つ ＷＥ２図 （イ） （ロ） Ａ
するための説明図である。 符号説明 ＩＡ、ＩＢ−・・・・・基板、２・・・・・・ガラス材
、３・・・・・・ギャップ形成材、４・・・・・・空間
領域、５・・・・・・電極材。 第１図 （イ〕 ＩＢ （町 ＩＡ １１：５ ４ つ ＷＥ２図 （イ） （ロ） Ａ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １） 静電容量式圧力センサを構成する２枚の基板にて
挾まれる所定空間領域の高さおよび基板面方向の寸法を
所定範囲内に保持するためのギヤツプ形成方法であつて
、 一方の基板上の前記空間領域部を除く領域に、高温で溶
融するとゝもに室温で固化し所定の溶剤にてペースト状
にされたガラス材料を略均一に塗布し、 その上の所定位置に、所定寸法をもつ直方体または円筒
体の無機質絶縁材料から成るギヤツプ形成材を固定し、 さらにその上に他方の基板を重ね合わせたのち、荷重を
かけつゝ高温処理することを特徴とする静電容量式圧力
センサにおけるギャップ形成方法。 ２） 特許請求の範囲第１項に記載の静電容量式圧力セ
ンサにおけるギヤツプ形成方法において、前記ガラス材
料を結晶性ガラス材料またはＳｉＯ＿２成分が増量され
た非晶性ガラス材料とすることを特徴とする静電容量式
圧力センサにおけるギヤツプ形成方法。 ３） 特許請求の範囲第１項または第２項に記載の静電
容量式圧力センサにおけるギヤツプ形成方法において、
前記ガラス材料の粒径を１０ミクロンから２０ミクロン
のギヤツプに対して３〜５ミクロンとすることを特徴と
する静電容量式圧力センサにおけるギヤツプ形成方法。 ４） 特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに
記載の静電容量式圧力センサにおけるギヤツプ形成方法
において、前記ガラス材料の充填率を所定の体積に対し
て８０〜９５％となるようにすることを特徴とする静電
容量式圧力センサにおけるギヤツプ形成方法。 ５） 静電容量式圧力センサを構成する２枚の基板にて
挾まれる所定空間領域の高さおよび基板面方向の寸法を
所定範囲内に保持するためのギヤツプ形成方法であつて
、 一方の基板上の前記空間領域部を除く領域に、高温で溶
融するとゝもに室温で固化し所定の溶剤にてペースト状
にされたガラス材料と、所定寸法をもつ球体、球体に近
い多面体または円筒体のギヤツプ形成材とを混合して略
均一に塗布し、その上に他方の基板を重ね合わせたのち
、 荷重をかけつゝ高温処理することを特徴とする静電容量
式圧力センサにおけるギャツプ形成方法。 ６） 特許請求の範囲第５項に記載の静電容量式圧力セ
ンサにおけるギヤツプ形成方法において、前記ガラス材
料を結晶性ガラス材料またはＳｉＯ＿２成分が増量され
た非晶性ガラス材料とすることを特徴とする静電容量式
圧力センサにおけるギヤツプ形成方法。 ７） 特許請求の範囲第５項または第６項に記載の静電
容量式圧力センサにおけるギヤツプ形成方法において、
前記ガラス材料の粒径を１０ミクロンから２０ミクロン
のギヤツプに対して３〜５ミクロンとすることを特徴と
する静電容量式圧力センサにおけるギヤツプ形成方法。 ８） 特許請求の範囲第５項ないし第７頂のいずれかに
記載の静電容量式圧力センサにおけるギヤツプ形成方法
において、前記ガラス材料の充填率を所定の体積に対し
て８０〜９５％となるようにすることを特徴とする静電
容量式圧力センサにおけるギヤツプ形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62048696A JPH0652212B2 (ja) | 1986-12-12 | 1987-03-05 | 静電容量式圧力センサにおけるギヤツプ形成方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61-294788 | 1986-12-12 | ||
| JP29478886 | 1986-12-12 | ||
| JP62048696A JPH0652212B2 (ja) | 1986-12-12 | 1987-03-05 | 静電容量式圧力センサにおけるギヤツプ形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63265128A true JPS63265128A (ja) | 1988-11-01 |
| JPH0652212B2 JPH0652212B2 (ja) | 1994-07-06 |
Family
ID=26388998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62048696A Expired - Lifetime JPH0652212B2 (ja) | 1986-12-12 | 1987-03-05 | 静電容量式圧力センサにおけるギヤツプ形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0652212B2 (ja) |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPS59116718A (ja) * | 1982-12-24 | 1984-07-05 | Seiko Epson Corp | 液晶表示体 |
-
1987
- 1987-03-05 JP JP62048696A patent/JPH0652212B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (9)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0652212B2 (ja) | 1994-07-06 |
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