JPS63266406A - 光素子の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、例えば光分岐器、光合波分波器として光通信
に用いられる、分岐路を有する光素子の製造方法に関す
る。

（従来の技術） 従来、光合波分波器として、例えば、第６図に示したよ
うな干渉膜フィルタ方式ファイバ型のものが知られてい
る。第６図において、主路を構成する第１及び第２の光
ファイバ１．２の各端面１ａ。

２ａは夫々斜め研磨され、この端面１ａ−ｂ２ａの何れ
か一方に干渉膜フィルタ４が蒸着・形成された後、光フ
ァイバ１のコア１ｂの光軸が干渉膜フィルタ４を透過し
たときに光ファイバ２のコア２ｂの光軸と整合するよう
に、両端面１ａ、２ａが突き合わせ接合されている。そ
して、接合面近傍の光ファイバ１．２の側面には分岐路
を構成する第３の光ファイバ３の斜め研磨された端面３
ａが、そのコア３ｂの光軸が前記干渉膜フィルタ４にて
全反射した時第２の光ファイバのコア２ｂの光軸と整合
するように配設されている。

干渉膜フィルタ４は、例えば、波長λ１の光信号を透過
して、波長λ２の光信号を反射するものであり、波長λ
１の光信号が第１の光ファイバ１に入射されるとこの光
信号は干渉膜フィルタ４を透過して第２の光ファイバ２
に伝播し、波長λ２の光信号が第１の光ファイバｌに入
射されると、この光信号は干渉膜フィルタ４で全反射し
て第３の光ファイバ３に伝播される。

かかる光素子を製造する場合、先ず、第１乃至第３の光
フアイバ１乃至３の端面１ａ、２ａ及び３ａを斜め研磨
し、端面１ａ又は端面２ａの何れかに誘電体多層膜を直
接蒸着することにより、干渉膜フィルタ４を形成する。

しかるのち、これらの各光ファイバを第７図及び第８図
に示すようなガイド溝としてのＶ溝を存する、所謂Ｖ漢
方式の接合治具１０を使用して互いに接合する。即ち、
基板１１表面の左縁端及び右縁端から中心に向かって第
１及び第２の光ファイバ１．２を被覆された状態でセッ
トするためのＶ溝１２．１２°が夫々刻設されており、
これらのＶ溝１２と１２°との間を第１及び第２の光フ
ァイバ１．２の被覆を除去した先端部に対応するＶ溝１
２”が接続している。そして、■溝１２”の略中央部の
分岐点１４から分岐して左斜め上方に所定の角度で延び
る、第３の光ファイバ３の被覆を除去した先端部セット
用Ｖ溝１３゛及び当該■溝１３°と連続して基板１１の
上縁端まで延びるＶ溝１３が夫々刻設されている。

（発明が解決しようとする問題点） かかる治具を使用して、上記実施例に示した光ファイバ
を接合する場合、■溝が存在するため軸ずれが発生する
可能性は極めて小さくなっているが、それ以外の軸合わ
せ工程が必要とされる。即ち： ■　光ファイバ１の端面１ａをＶ溝の分岐点１４に一致
させる。

■　光ファイバ２の端面２ａを■溝の分岐点１４に一致
させる。

■　光ファイバ３の端面３ａをＶ溝の分岐点１４に一致
させる。

■　光ファイバ１をその端面角が最大となるように回転
する（この時光ファイバ２の端面と嵌合するようにする
）。

■　光ファイバ２をその端面角が最大となるように回転
する（この時反射光が軸ずれすることなく光ファイバ３
に入射するようにする）。

■　光ファイバ３をその端面角が最大となるように回転
する（この時その端面が光ファイバ１．２の側面に密着
するようにする）。

このように、従来の光素子の製造工程においては、特に
軸合せの工程数が多く、作業が煩雑であるという問題が
あった。

本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたもので、分
岐路を有する光素子を製造する方法において、特に軸合
せ工程の数が少なく、製造コストが低減された光素子の
製造方法を提供することを目的とする。

（問題点を解決するための手段） 本発明は分岐路を有する光素子を製造する際、従来のよ
うに３本の光ファイバを分岐点において接合するのでは
なく、一本の光ファイバの適宜な箇所を分岐点とし、こ
の分岐点に分岐路となる他のファイバの端面を接合した
後、前記分岐点にスリットを形成することとすれば、少
なくとも上述した第１及び第２の光ファイバの端面をＶ
溝の分岐点と一致させる工程、及び、第１と第２の光フ
ァイバの光軸を整合させる工程は必要としないので、軸
合せ工程が著しく簡略化されるとの認識に基づくもので
ある。

即ち、上記目的を達成するために本発明の光素子の製造
方法によれば、少なくとも１つの分岐点を有するガイド
溝が刻設された基板上の前記ガイド溝内に主路及び分岐
路となる光ファイバを夫々載置し固定する工程と、前記
分岐点において前記主路となる光ファイバにスリットを
形成する工程と、該スリット内に薄膜フィルタを挿入す
る工程とを含むものである。

（作用） 少なくとも１つの分岐路を有するＶ溝が刻設された基板
上に、先ず、主路となるファイバを固定したのち、分岐
路となる他のファイバの端面をその端面角が最大となる
ように回転しながら、前記主路となるファイバの分岐点
に当接固定する。しかるのち、主路となる光ファイバの
前記分岐点にスリットを形成し、このスリット内に薄膜
フィルタを挿入することにより光素子を完成する。

（実施例） 本発明の実施例を添付図面に基づいて詳述する。

尚、図中、上記第７図と同一の構成要素には同一の符号
を付して示しである。

第１図乃至第３図は本発明の製造工程、即ち、上記第７
図に示した接合治具１０を使用した各工程を示している
。先ず、基板１１のＶ溝１２″内に主路となる光ファイ
バ２１の被覆を除去した領域をセットし、固定する０次
いで、分岐路となる光ファイバ２２の先端被覆除去領域
をＶ溝１３”内にセットし、この■溝１３’　内で回転
させることにより、その端面角が最大となるような位置
を見出して、その端面を前記光ファイバ２１の側面に当
接させ、屈折率整合剤を兼ねた接着剤により両者を接合
する（第１図）。尚、第１図において、符号２１ａ、２
２ａは夫々光ファイバ２１．２２のコアを表している。

この状態で、光ファイバ２１の分岐点となる位置にスリ
ット２３を形成する（第２図）、スリット２３の幅は後
述する薄膜フィルタを挿入するのに適した値に決定され
、また、その角度は光ファイバ２１のコア２１ａの光軸
が前記薄膜フィルタにて全反射した時に光ファイバ２２
のコア２２ａの光軸と整合するように決定される。この
工程は手作業で行う他に、例えば、市販のプログラム制
御装置付のグイシングツ−を使用して自動的に行うこと
もできる。かかるグイシングツ−を使用する場合、基板
ｌｌ上のスリット形成位置に対応する位置に第２図に示
したようなマーカー溝２４を刻設し、このマーカー溝２
４をガイドとして画像認識によりグイシングツ−の゛ス
テージを移動・回転させると、位置合わせを極めて容易
に行うことが可能となる。

しかるのち、光ファイバ２１に形成されたスリット２３
内に薄膜フィルタとして例えば干渉膜フィルタ２５を挿
入し、上記と同様接着剤により固定する（第３図）。

尚、上記の製造工程において、端面が斜め研磨された光
ファイバ２２に代えて、第４図に示したような光軸と直
交する端面を有する光ファイバ２２゛を使用すれば、当
該光ファイバ２２″の端面を単に光ファイバ２１の側面
に当接させるだけでよい。

この場合、得られた光素子の損失はやや増加するものの
、上記したような軸合せ工程は不要となる。

第５図は、上記した本発明の製造方法を通用して製造さ
れた３波長用光合波分波器を示し、主路は１本の光ファ
イバ３１の２箇所の分岐点に夫々スリット３４．３５を
形成することにより、３本の光ファイバ３１ａ、３１ｂ
、３１ｃがら構成されている。そして、各スリット３４
．３５には薄膜フィルタ３６．３７が夫々挿入されてい
る。一方、各分岐点には分岐路となる光ファイバ３２．
３３が夫々接合されている。この光合波分波器も上記と
同様２個の分岐路が形成されたＶ漢方式の接合治具（図
示せず）を使用することにより、容易に製造することが
できる。

かかる構成の光合波分波器において、薄膜フィルタ３６
は波長λ１の光信号を反射し、波長λ２、λ３の光信号
を透過するものであり、薄膜フィルタ３７は波長λ２の
光信号を反射し、波長λ３の光信号を透過するものであ
る。従って、光ファイバ３１ａに入射した波長λ１、λ
２及びλ３の光信号は、先ず、薄膜フィルタ３６におい
て波長λ１の光信号のみが反射して光ファイバ３２に伝
播し、波長λ２及びλ３の光信号は薄膜フィルタ３６を
透過して光ファイバ３１ｂに伝播される０次いで、薄膜
フィルタ３７において波長λ２の光信号が反射されて光
ファイバ３３に伝播され、波長λ３の光信号は薄膜フィ
ルタ３７を透過して光ファイバ３１ｃに伝播される。こ
のようにして、３種類の光信号を分離することができる
。

尚、上記の３波長光合波分波器を従来法により製造する
場合は、多数回に亘る軸合せ工程に加えて、光ファイバ
３１ｂの長さをμｍオーダーで正確に制御するための複
雑な工程を要するため、製造コストの上昇を余儀無くさ
れる。しかし、本発明の製造方法を適用すれば、光ファ
イバ３１ａ、３１ｂ、３１ｃは元々１本の光ファイバで
あるため、スリットを形成するためのグイシングツ−の
ステージをμｍオーダーの精度で移動させるだけで、ス
リット３４と３５との間隔即ち光ファイバ３１ｂの長さ
は自動的に正確に制御されることとなる。

（発明の効果） 以上説明したように本発明によれば、少なくとも１つの
分岐点を有するガイド溝が刻設された基板上の前記ガイ
ド溝内に主路及び分岐路となる光ファイバを夫々載置し
固定する工程と、前記分岐点において前記主路となる光
ファイバにスリットを形成する工程と、該スリット内に
薄膜フィルタを挿入する工程とを含むこととしたので、
主路の光軸合わせは不要となるため、軸合せ工程が従来
法に比べて少なくなり、製造コストが低減される。

加えて、分岐点が２個以上の多波長光合波分波器も本発
明の製造方法を適用することにより容易に製造すること
ができるという利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は本発明の光素子の製造方法を１個の
分岐路を有する光合波分波器に適用した場合の工程説明
図、第４図は光合波分波器の他の構成例を示す平面断面
図、第５図は本発明の製造方法を適用して得られた、２
個の分岐路を有する光合波分波器の平面断面図、第６図
は従来法を適用して製造された光合波分波器の平面断面
図、第７図及び第８図は光ファイバを接合するための■
溝法による接合治具を示し、第７図はその平面図、第８
図はその断面図である。 ｉ　ｏ　・・・接合治具、１２°、１２”、１３’　・
Ｖ溝、１４　・・・分岐点、２１．２２．２２゛、３１
．３２．３３・・・光ファイバ、２３．３４．３５・・
・スリット、２５．３６．３７・・・薄膜フィルタ（干
渉膜フィルタ）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 少なくとも１つの分岐点を有するガイド溝が刻設された
   基板上の前記ガイド溝内に主路及び分岐路となる光ファ
   イバを夫々載置し固定する工程と、前記分岐点において
   前記主路となる光ファイバにスリットを形成する工程と
   、該スリット内に薄膜フィルタを挿入する工程とを含む
   ことを特徴とする光素子の製造方法。