JPS6328191Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は搬送台に関し、とくにタンタル等の高
融点金属粉末の成形体を、高温、高真空中の焼結
時に使用する搬送台の構造に関する。

従来、高融点金属の熱処理製品（以下製品と略
称）の高温・高真空熱処理装置の炉内構造は、そ
の断面を示す第１図に示す如く、製品１、搬送台
２、発熱体３、熱遮蔽体４からなり、とくに製品
１を支える搬送台２には、第２図に示した構造の
ように熱変形がしにくく、かつ高温、高真空雰囲
気中で機械強度と充分な耐荷重性を有するカーボ
ン材が使用される。また、発熱体３、熱遮蔽体４
には、タンタル金属が使用される。周知の如く、
10^-6tovv台の真空雰囲気においては、カーボン材
は温度1800℃付近で蒸発を開始する。また、タン
タルは1000℃以上の温度で、且つカーボンを含む
雰囲気では、カーボンと反応し炭化物を生成す
る。このため、第１図に示した従来の炉内構造を
もつている装置により、タンタル粉末成形体を高
温・高真空中で焼結した時、タンタル金属の発熱
体３及び熱遮蔽体４のうち、特にカーボン材を使
用した搬送台２と対向する部分Ａは、局部的に炭
化物生成による結晶化と熱変形の増大が著しく、
発熱体及び熱遮蔽板を急速に損傷し、ランニング
寿命を短くする欠点を有していた。

本考案はこの点に鑑み、発熱体、熱遮蔽体の寿
命を大幅に延長出来る搬送台を提供することを目
的とする。

本考案によれば、搬送台の基材をカーボン材と
し、少なくとも発熱体と対向する面を、タンタル
金属で被覆したことを特徴とする搬送台が得られ
る。

以下、本考案の実施例について第２図，第３図
を参照し説明する。第３図ａに示すように搬送台
として、厚さ20mm、直径200mmのカーボン円板５
の外周面を覆うように、厚さ0.5mmでカーボン円
板の上面（重力に抗する面）側に一部の折り返し
を付け断面Ｌ字状に接触させたタンタル板６を巻
き付けた。このようにして製作した搬送台とそれ
ぞれタンタル板を円筒状に形成した発熱体および
熱遮蔽体から構成されている真空焼結装置を使用
して最高加熱温度1500〜2000℃、真空度10^-5〜
10^-6Tovv台にて、一般的なタンタル粉末成形体
の焼結を繰り返した。また、従来例の第２図に示
すカーボン材からなる搬送台を使用して、同様の
試験を実施した。この結果、発熱体、熱遮蔽体
は、従来例では600回の繰り返しで使用出来なく
なつたのに対し、本考案の搬送台では1250回の繰
に返しまで使用出来た。

以上、考案実施例で述べたように、カーボン材
をタンタル板で覆つた搬送台は、発熱体、熱遮蔽
体の寿命を大幅（２倍）に延長し、装置のランニ
ングコストを低減出来る効果がある。なお、本考
案の実施例として、第３図ａについて述べたが、
他の例について述べると、第３図ｂでは、カーボ
ン円板５の外周面をコの字状に被覆した、第３図
ｃは、カーボン円板５の下面側の大部分を除いて
被覆した第３図ｄは、カーボン円板５の全外周面
を被覆した。それぞれの搬送台においても同様の
効果があることは明白である。さらに、本考案は
カーボン材をタンタル板で被覆した時の実施例を
述べたが、タンタルをプラグマ溶射等で吹き付け
て被覆した時にも適用出来るものである。なお、
本考案は搬送台の形状等に制限されないことは言
及するまでもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例の熱処理装置内部構造の断面
図、第２図は、従来例の搬送台の断面図、第３図
ａ、ｂ、ｃ、ｄは本考案による搬送台の断面図で
ある。 １……熱処理する製品、２……搬送台、３……
発熱体、４……熱遮蔽体、５……カーボン円板、
６……タンタル、Ａ……搬送台と対向する部分の
発熱体及び熱遮蔽体の損傷部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 高温、高真空中で熱処理する製品の搬送台の基
   材をカーボン材とし、少なくとも発熱体と対向す
   る面を、タンタル金属で被覆したことを特徴とす
   る搬送台。