JPS63282944A - 光熱磁気記録媒体 - Google Patents
光熱磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS63282944A JPS63282944A JP11977487A JP11977487A JPS63282944A JP S63282944 A JPS63282944 A JP S63282944A JP 11977487 A JP11977487 A JP 11977487A JP 11977487 A JP11977487 A JP 11977487A JP S63282944 A JPS63282944 A JP S63282944A
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- magnetic alloy
- alloy layer
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- amorphous
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば光磁気メモリ、磁気記録、表示素子な
どに用いられる光熱磁気記録媒体に関する。
どに用いられる光熱磁気記録媒体に関する。
従来、光熱磁気記録媒体としては、ＭｎＢ１．ＭｎＣｕ
Ｂ１などの多結晶体薄膜、ＧｄＣｏ １１ＧｄＦｅ、Ｔ
ｂＦｅ、 ＤｙＦｅ％ＧｄＴｂＦｅ、 ＴｂＤｙＦｅな
どの非晶質薄膜、ＧＩＧなどの単結晶薄膜などが知られ
ている。これらの薄膜のうち、大面積の薄膜を室温近傍
の温度で製作する製膜性、信号を小さな光熱エネルギー
で書込むための書込み効率、書込まれた信号をＳＮ比よ
く読出すための読出し効率などの点から、最近では上記
の非晶質薄膜が優れていると考えられている。
Ｂ１などの多結晶体薄膜、ＧｄＣｏ １１ＧｄＦｅ、Ｔ
ｂＦｅ、 ＤｙＦｅ％ＧｄＴｂＦｅ、 ＴｂＤｙＦｅな
どの非晶質薄膜、ＧＩＧなどの単結晶薄膜などが知られ
ている。これらの薄膜のうち、大面積の薄膜を室温近傍
の温度で製作する製膜性、信号を小さな光熱エネルギー
で書込むための書込み効率、書込まれた信号をＳＮ比よ
く読出すための読出し効率などの点から、最近では上記
の非晶質薄膜が優れていると考えられている。
しかしながら、これらの非晶質薄膜においても種々の欠
点が指摘されている。例えば、ＧｄＦｅは保磁力が小さ
く、記録された情報が不安定である。
点が指摘されている。例えば、ＧｄＦｅは保磁力が小さ
く、記録された情報が不安定である。
また、ＧｄＦｅ 、 ＧｄＣｏは磁気的補償点を利用し
た書込みを行なっておシ、書込み効率を均一にするため
に、製膜の際、膜組成を厳しく管理しなければならない
という問題点がある。また、ＴｏＦｅ 、 ＤｙＦｅ、
ＴｏＤｙＦｅはキューリ点書込みのため、膜組成をそれ
ほど管理する必要はないが、キュリ一点カ１００℃前後
と低いために、信号を読出す時にパワーの強い光を用い
ることができないという問題点がある。
た書込みを行なっておシ、書込み効率を均一にするため
に、製膜の際、膜組成を厳しく管理しなければならない
という問題点がある。また、ＴｏＦｅ 、 ＤｙＦｅ、
ＴｏＤｙＦｅはキューリ点書込みのため、膜組成をそれ
ほど管理する必要はないが、キュリ一点カ１００℃前後
と低いために、信号を読出す時にパワーの強い光を用い
ることができないという問題点がある。
キューり温度は低ければ書込み効率は向上するが、書込
まれた信号が、周囲の温度とか読出し光により乱されて
しまう。従ってキュリ一温度は、書込み可能であれば高
い程よく、実用上の状態を考慮すれば２００℃前後が望
ましい。
まれた信号が、周囲の温度とか読出し光により乱されて
しまう。従ってキュリ一温度は、書込み可能であれば高
い程よく、実用上の状態を考慮すれば２００℃前後が望
ましい。
また、“反射光による読出しＳＮ比は、反射率をＲ、カ
ー回転角をθにとすると、４０ｋに比例する。従って、
ＳＮ比よく読出すためには、カー回転角を大きくすれば
よい、そのため、ＴｂＦｅＣｏ。
ー回転角をθにとすると、４０ｋに比例する。従って、
ＳＮ比よく読出すためには、カー回転角を大きくすれば
よい、そのため、ＴｂＦｅＣｏ。
ＤｙＦｅＣｏなどＣｏを添加したものが特開昭５８−７
８７４６号公報に報告されている。
８７４６号公報に報告されている。
キュリ一温度の高い膜を用いる方法として、特開昭５６
−１５８５４６号公報に示されている様に、基板の上面
に高保磁力で垂直磁気異方性を有する書き込み層を配設
し、該書き込み層の上面に磁気光学効果が大きく低保磁
力で垂直磁気異方性を有する読み出し層を配設した構造
の媒体が提案されている。
−１５８５４６号公報に示されている様に、基板の上面
に高保磁力で垂直磁気異方性を有する書き込み層を配設
し、該書き込み層の上面に磁気光学効果が大きく低保磁
力で垂直磁気異方性を有する読み出し層を配設した構造
の媒体が提案されている。
ＤｙＦｅＣｏ膜は、キュリ一温度が２００ ”０前後で
望ましく、カー回転角も大きく、ＳＮ比よく読み出すこ
とができる。しかしこのＤｙＦｅＣｏ膜においてもカー
回転角、キュリ一温度は第８図に示す様に組成に依存し
ておシ、最大のカー回転角を得るためにはＤｙ量は少な
い方がよい。しかしＤｙ量が少ない場合、飽和磁化（Ｍ
ｓ）の温度依存性のためＮ（ノイズ）レベルが上昇し、
ＳＮ比が低下するという欠点がある。そのためＤｙ量が
２２〜８５ａｔ％程度のＤｙＦｅＣｏ膜が適当であった
。又Ｃｏ量を多くしていくにつれカー回転角は大きくな
るが、キュリ一温度が上昇し、書き込みに大きなエネル
ギーを必要とする欠点がある。
望ましく、カー回転角も大きく、ＳＮ比よく読み出すこ
とができる。しかしこのＤｙＦｅＣｏ膜においてもカー
回転角、キュリ一温度は第８図に示す様に組成に依存し
ておシ、最大のカー回転角を得るためにはＤｙ量は少な
い方がよい。しかしＤｙ量が少ない場合、飽和磁化（Ｍ
ｓ）の温度依存性のためＮ（ノイズ）レベルが上昇し、
ＳＮ比が低下するという欠点がある。そのためＤｙ量が
２２〜８５ａｔ％程度のＤｙＦｅＣｏ膜が適当であった
。又Ｃｏ量を多くしていくにつれカー回転角は大きくな
るが、キュリ一温度が上昇し、書き込みに大きなエネル
ギーを必要とする欠点がある。
なお、第８図（ａ）および（ｂ）ハ、各ｈ Ｔｏｘ （
Ｆｅ１−ｙＣｏｙ）１−Ｘ膜の組成囚によるカー回転角
（ｄｅｇ・）変化を示す特性図および組成（３）による
キュリ一温度（℃）変化を示す特性図である。
Ｆｅ１−ｙＣｏｙ）１−Ｘ膜の組成囚によるカー回転角
（ｄｅｇ・）変化を示す特性図および組成（３）による
キュリ一温度（℃）変化を示す特性図である。
図において、八はｙ −０，２０の特性、（ａはｙ−Ｈ
の特性を示し、各図中、横軸は組成（Ｘ）、縦軸はカー
回転角（ｄｅｇ・）（第８図（ａ））および横軸は組成
（ｘ）縦軸はキュリ一温度（℃）（第８図（ｂ））を示
す。
の特性を示し、各図中、横軸は組成（Ｘ）、縦軸はカー
回転角（ｄｅｇ・）（第８図（ａ））および横軸は組成
（ｘ）縦軸はキュリ一温度（℃）（第８図（ｂ））を示
す。
またＤｙＦｅＣｏ Ｂ元系合金薄膜においてＤｙｘ（Ｆ
ｅ１−ｙｃＯｙ）１−ｘとしたとき、ｙ≧０．５のとき
は第１層、第２層どちらに用いたとしても膜のキュリ一
温度が高くなシすぎ、記録ができないという欠点がある
。
ｅ１−ｙｃＯｙ）１−ｘとしたとき、ｙ≧０．５のとき
は第１層、第２層どちらに用いたとしても膜のキュリ一
温度が高くなシすぎ、記録ができないという欠点がある
。
又、特開昭５６−１５８５４６号公報に示された方法で
は、書き込み層に情報を書き込んで、その書き込み層か
ら読み出し層に情報を転写して読み出し層に偏光を照射
して情報を再生する方法を用いているため、容易に転写
が可能である層の組み合わせを選ぶ必要がある。そのた
め書き込み層などには”ｒｂＦｅ膜、ＤｙＦｅ膜を用い
、読み出し層にはＧｄＦｅ膜、ＧｄＣｏ膜などを用いる
必要があシ、構造が複雑にな夛、製造方法も複雑になる
という欠点がある。
は、書き込み層に情報を書き込んで、その書き込み層か
ら読み出し層に情報を転写して読み出し層に偏光を照射
して情報を再生する方法を用いているため、容易に転写
が可能である層の組み合わせを選ぶ必要がある。そのた
め書き込み層などには”ｒｂＦｅ膜、ＤｙＦｅ膜を用い
、読み出し層にはＧｄＦｅ膜、ＧｄＣｏ膜などを用いる
必要があシ、構造が複雑にな夛、製造方法も複雑になる
という欠点がある。
さらに読み出し層は基板との間に書き込み層があるため
、再生光は基板をとおらず、保護膜を介したとしても膜
側から直接読み出すことになり、媒体に付着したゴミ、
はこシなどの影響をうけるという欠点がある。
、再生光は基板をとおらず、保護膜を介したとしても膜
側から直接読み出すことになり、媒体に付着したゴミ、
はこシなどの影響をうけるという欠点がある。
本発明は、かかる問題点を解決するためになされたもの
で、得られる最大のカー回転角を有効に利用して効率よ
く光再生出力をとシ出し得る光熱磁気記録媒体を提供す
るものである。
で、得られる最大のカー回転角を有効に利用して効率よ
く光再生出力をとシ出し得る光熱磁気記録媒体を提供す
るものである。
本発明の光熱磁気記録媒体は、膜面に垂直方向にｉ 化
容易軸ヲ有シ、一般式Ｄｙｘ（Ｆｅ１−ｙＣｏｙ）１−
Ｘで示されるＤｙＦｅＣｏ Ｂ元系第１非晶質磁性合金
層、および膜面に垂直方向に磁化容易軸を有し、一般式
Ｄｙｘ（Ｆｅ１−ｙＣｏＹ ） １−ｘで示されるＤｙ
ＦｅＣｏ Ｓ元系第２非晶質磁性合金層を基板に積層し
、光は上記第１および第２非晶質磁性合金層の内、第１
非晶質合金層の方から入射するものであり、上記第１と
第２非晶質磁性合金層とは交換結合されている磁性層を
備え、上記第１非晶質磁性合金層において、０．１５＜
Ｘ〈０．２ 、０ ＜ Ｙ ＜ ０．５、上記第２非晶
質磁性合金層において、０．２ ＜ Ｘ りＯＪ５ 、
Ｏ〈ｙ ＜ Ｏ−５であシ、室温において上記第１非
晶質磁性合金層がＦｅＣｏ副格子磁化優勢で、上記第２
非晶質磁性合金層がＴｂ副格子磁化優勢であるものであ
る。
容易軸ヲ有シ、一般式Ｄｙｘ（Ｆｅ１−ｙＣｏｙ）１−
Ｘで示されるＤｙＦｅＣｏ Ｂ元系第１非晶質磁性合金
層、および膜面に垂直方向に磁化容易軸を有し、一般式
Ｄｙｘ（Ｆｅ１−ｙＣｏＹ ） １−ｘで示されるＤｙ
ＦｅＣｏ Ｓ元系第２非晶質磁性合金層を基板に積層し
、光は上記第１および第２非晶質磁性合金層の内、第１
非晶質合金層の方から入射するものであり、上記第１と
第２非晶質磁性合金層とは交換結合されている磁性層を
備え、上記第１非晶質磁性合金層において、０．１５＜
Ｘ〈０．２ 、０ ＜ Ｙ ＜ ０．５、上記第２非晶
質磁性合金層において、０．２ ＜ Ｘ りＯＪ５ 、
Ｏ〈ｙ ＜ Ｏ−５であシ、室温において上記第１非
晶質磁性合金層がＦｅＣｏ副格子磁化優勢で、上記第２
非晶質磁性合金層がＴｂ副格子磁化優勢であるものであ
る。
又、本発明の別の発明の光熱磁気記録媒体は、膜面に垂
直方向に磁化容易軸を有し、一般式Ｔｂｘ（Ｆｅ１−、
ｃｏｙ ｈ−ｘで示されるＴｏ−Ｆｅ−Ｃｏ三元系非晶
質磁性合金層を基板に設けるものにおいて、上記磁ｔｉ
ｍを、０．１５ ＜Ｘ〈０．３５ 、 Ｏ＜ ｙ ＜
０．５ ）範１ｆｆｌ テ、光の入射面から順次Ｘが増
加し、ｙが減少するように積層したものである。
直方向に磁化容易軸を有し、一般式Ｔｂｘ（Ｆｅ１−、
ｃｏｙ ｈ−ｘで示されるＴｏ−Ｆｅ−Ｃｏ三元系非晶
質磁性合金層を基板に設けるものにおいて、上記磁ｔｉ
ｍを、０．１５ ＜Ｘ〈０．３５ 、 Ｏ＜ ｙ ＜
０．５ ）範１ｆｆｌ テ、光の入射面から順次Ｘが増
加し、ｙが減少するように積層したものである。
本発明の光熱磁気記録媒体は、基板に得られる最大のカ
ー回転角を有する室温でＦｅＣｏ副格子磁化優熱のＤｙ
ＦｅＣｏ Ｂ元系第１非晶質磁性合金層を配したことに
よシ大きなシグナルレベルが得られ、さらに室温でＤｙ
副格子磁化優勢のＤｙＦｅＣｏ Ｓ元系第２非晶質磁性
合金層を配設し、交換結合を利用することによシノイズ
レベルの上昇をおさえ、大きなＳＮ比を得ることができ
た。さらに交換結合を利用した結果書き込みエネルギー
を小さくすることが可能となった。
ー回転角を有する室温でＦｅＣｏ副格子磁化優熱のＤｙ
ＦｅＣｏ Ｂ元系第１非晶質磁性合金層を配したことに
よシ大きなシグナルレベルが得られ、さらに室温でＤｙ
副格子磁化優勢のＤｙＦｅＣｏ Ｓ元系第２非晶質磁性
合金層を配設し、交換結合を利用することによシノイズ
レベルの上昇をおさえ、大きなＳＮ比を得ることができ
た。さらに交換結合を利用した結果書き込みエネルギー
を小さくすることが可能となった。
又、本発明の別の発明の光熱磁気記録媒体は、膜の深さ
方向に組成を順次変化させたことにより、光が入射する
面に、Ｄｙ量が少なく、Ｃｏ量が多くなり、得られる最
大のカー回転角を有する膜が存在し、大きなシグナルレ
ベルが得られる。また、膜の底面では、Ｄｙ量が多く、
Ｃｏ量が少なくなるので、ノイズレベルの上昇をおさえ
ることができる。そのため、書きこみ感度もよく、効率
よく光再生出力をとシ出し得ることができるようになる
。
方向に組成を順次変化させたことにより、光が入射する
面に、Ｄｙ量が少なく、Ｃｏ量が多くなり、得られる最
大のカー回転角を有する膜が存在し、大きなシグナルレ
ベルが得られる。また、膜の底面では、Ｄｙ量が多く、
Ｃｏ量が少なくなるので、ノイズレベルの上昇をおさえ
ることができる。そのため、書きこみ感度もよく、効率
よく光再生出力をとシ出し得ることができるようになる
。
第１図は本発明の一実施例の光熱磁気記録媒体の断面図
であシ（１）は基板、（２）はＤｙ Ｆｅ Ｃｏ Ｓ元
系第１非晶質磁性合金層、（３）はＤｙＦｅＣｏ Ｓ元
系第２非晶質磁性合金層で、上記第１．第２非晶質磁性
合金層で磁性層←幻を形成する。基板（１）としては、
ガラス、セラミックス、プラスチック等の非磁性体が材
料として用いられる。
であシ（１）は基板、（２）はＤｙ Ｆｅ Ｃｏ Ｓ元
系第１非晶質磁性合金層、（３）はＤｙＦｅＣｏ Ｓ元
系第２非晶質磁性合金層で、上記第１．第２非晶質磁性
合金層で磁性層←幻を形成する。基板（１）としては、
ガラス、セラミックス、プラスチック等の非磁性体が材
料として用いられる。
ＤｙＦｅＣｏ Ｓ元系第１非晶質磁性合金層（２）は、
Ｄｙｘ（Ｆｅ １−ｙＣｏｙ ） １−ｘとしたときＸ
が０．１５ ＜ Ｘ 〈０．２の範囲であり、ｙが０＜
ｙ＜Ｏ１５の範囲であシ、室温でＦｅ Ｃｏ副格子磁化
優勢である。
Ｄｙｘ（Ｆｅ １−ｙＣｏｙ ） １−ｘとしたときＸ
が０．１５ ＜ Ｘ 〈０．２の範囲であり、ｙが０＜
ｙ＜Ｏ１５の範囲であシ、室温でＦｅ Ｃｏ副格子磁化
優勢である。
ＤｙＦｅＣｏ Ｓ元系第２非晶質磁性合金層（３）は、
諭（Ｆｅ１−ｙＣｏｙ）１−ＸとしたときＸが０．２
＜ ｘ 〈０．８５の範囲でありｙが０＜ｙ ＜ ０．
５の範囲であシ、室温でＤｙ副格子磁化優勢である。そ
して、ＤｙＦｅＣｏ Ｓ元系第１非晶質磁性合金層とＤ
ｙＦｅＣｏ Ｓ元系第２非晶質磁性合金層とが交換結合
していることが必要である。
諭（Ｆｅ１−ｙＣｏｙ）１−ＸとしたときＸが０．２
＜ ｘ 〈０．８５の範囲でありｙが０＜ｙ ＜ ０．
５の範囲であシ、室温でＤｙ副格子磁化優勢である。そ
して、ＤｙＦｅＣｏ Ｓ元系第１非晶質磁性合金層とＤ
ｙＦｅＣｏ Ｓ元系第２非晶質磁性合金層とが交換結合
していることが必要である。
なお、上記のような構成の磁性層は、例えばスパッタリ
ング法や真空蒸着法などによって光、が第１非晶質合金
層から入射するように製膜する。
ング法や真空蒸着法などによって光、が第１非晶質合金
層から入射するように製膜する。
第２図は本発明の別の発明の一実施例の光熱磁気記録媒
体の断面図であり、（１）は基板、（４功は深さ方向に
順次組成を変化させたＤｙ−Ｆｅ−Ｃｏａ元系非晶質磁
性合金層である。基板（１）としては、プラスチックス
、ガラス、セラミックス等の非磁性体が材料として用い
られる。Ｄｙ−Ｆｅ −Ｃｏ ａ元系非晶質磁性層０２
はＤｙｘ（Ｆｅ＋−ｙＣｏｙ）１−ｘとしたとき、Ｘが
ｏ、ｔ５≦ｘ＜０．８５の範囲で、ｙが０ （ｙ （０
，５０の範囲であシ、基板側から光を入射して記録・再
生を行なう場合は、基板側の膜面から深さ方向に順次Ｘ
が増加し、ｙが減少している層である。
体の断面図であり、（１）は基板、（４功は深さ方向に
順次組成を変化させたＤｙ−Ｆｅ−Ｃｏａ元系非晶質磁
性合金層である。基板（１）としては、プラスチックス
、ガラス、セラミックス等の非磁性体が材料として用い
られる。Ｄｙ−Ｆｅ −Ｃｏ ａ元系非晶質磁性層０２
はＤｙｘ（Ｆｅ＋−ｙＣｏｙ）１−ｘとしたとき、Ｘが
ｏ、ｔ５≦ｘ＜０．８５の範囲で、ｙが０ （ｙ （０
，５０の範囲であシ、基板側から光を入射して記録・再
生を行なう場合は、基板側の膜面から深さ方向に順次Ｘ
が増加し、ｙが減少している層である。
この層の作成方法としては、例えばスパッタリング法や
真空蒸着法な′どがある。スパッタリング法の場合Ｄｙ
、Ｆｅ、Ｃｏ、それぞれの単一金属ターゲットに投入す
る電力を、順次変化させてやることにより、組成を膜厚
方向に変化させる。又、上記磁性合金層を構成する順次
組成の変化する隣接した層間は、交換結合されていると
思われる。
真空蒸着法な′どがある。スパッタリング法の場合Ｄｙ
、Ｆｅ、Ｃｏ、それぞれの単一金属ターゲットに投入す
る電力を、順次変化させてやることにより、組成を膜厚
方向に変化させる。又、上記磁性合金層を構成する順次
組成の変化する隣接した層間は、交換結合されていると
思われる。
以下、本発明を実施例によって詳細に説明する。
実施例１
基板：１゜２正厚プラヌチツク基板
ＤｙＦｅＣｏ Ｂ元系第１非晶質磁性合金層：Ｉ）ｙｔ
ｓ、ｓ （Ｆｅ６５Ｃ０８５）８１．４膜厚：２０ＯＡ
保磁カニ Ｈｃ ”ｓ：２ ＫＯｅキュリ一温度：２５
０”０ ＤｙＦｅＣｏ ８元系第２非晶質磁性合金層：ＤＹ２３
．６ （Ｆｅｇ□ Ｃｏ ｔｏ ）７６．４膜厚： ６
００Ａ保磁カニ Ｈｃ ””： ｌ Ｏ［Ｑ６キユリ一
温度二１５０℃ 上記構成材料を用い、スパッタリング法によって本発明
の一実施例の光熱磁気記録媒体を得た。
ｓ、ｓ （Ｆｅ６５Ｃ０８５）８１．４膜厚：２０ＯＡ
保磁カニ Ｈｃ ”ｓ：２ ＫＯｅキュリ一温度：２５
０”０ ＤｙＦｅＣｏ ８元系第２非晶質磁性合金層：ＤＹ２３
．６ （Ｆｅｇ□ Ｃｏ ｔｏ ）７６．４膜厚： ６
００Ａ保磁カニ Ｈｃ ””： ｌ Ｏ［Ｑ６キユリ一
温度二１５０℃ 上記構成材料を用い、スパッタリング法によって本発明
の一実施例の光熱磁気記録媒体を得た。
比較例１
実施例１におけるＤｙＦｅＣｏ ８元系第１非晶質磁性
合金層を省略し、Ｄ＞’２３．６ （Ｆｅ９０Ｃｏ１０
）７６．４ のものを８０ＯＡのみを実施例１と同様に
積層して光熱磁気記録媒体を得た。第５図にその断面図
を示す。
合金層を省略し、Ｄ＞’２３．６ （Ｆｅ９０Ｃｏ１０
）７６．４ のものを８０ＯＡのみを実施例１と同様に
積層して光熱磁気記録媒体を得た。第５図にその断面図
を示す。
実施例２〜５
表に示したような構成材料を用いる他は実施例１と同様
に本発明の他の実施例の光熱磁気記録媒体を得た。
に本発明の他の実施例の光熱磁気記録媒体を得た。
実施例６
基板： １．２１１１１厚溝付きプラスチック基板Ｄｙ
−Ｆｅ −Ｃｏ ａ元系非晶質磁性合金層：膜厚１０
００人基板側の膜面の組成 １８．６（Ｆｅ７０．Ｃ０
８０）８１．４膜ノ底面ノ組成８８（Ｆｅ８５ Ｃ０１
５）６７上記構成の、第２図に示す深さ方向に順次組成
を変化させたＤｙＦｅＣ，８元系非晶質磁性合金層を有
する本発明の別の発明の一実施例の光熱磁気記録媒体を
得た。
−Ｆｅ −Ｃｏ ａ元系非晶質磁性合金層：膜厚１０
００人基板側の膜面の組成 １８．６（Ｆｅ７０．Ｃ０
８０）８１．４膜ノ底面ノ組成８８（Ｆｅ８５ Ｃ０１
５）６７上記構成の、第２図に示す深さ方向に順次組成
を変化させたＤｙＦｅＣ，８元系非晶質磁性合金層を有
する本発明の別の発明の一実施例の光熱磁気記録媒体を
得た。
第３図は、上記本発明の別の発明の一実施例の光熱磁気
記録媒体に係わるＤｙ−Ｆｅ−Ｃｏ三元系非晶質磁性層
を、オージェ電子分光分析装置により分析して得られた
、光の入射面からの膜厚（Ａ）による各組成元素の変化
（ａｔ％）を示す特性図であυ、図ｉｉ： オイテ、（
３）はＤｙ 、 （４）はＦｅ 、 （ｓ） ハＣ（、
の特性である。
記録媒体に係わるＤｙ−Ｆｅ−Ｃｏ三元系非晶質磁性層
を、オージェ電子分光分析装置により分析して得られた
、光の入射面からの膜厚（Ａ）による各組成元素の変化
（ａｔ％）を示す特性図であυ、図ｉｉ： オイテ、（
３）はＤｙ 、 （４）はＦｅ 、 （ｓ） ハＣ（、
の特性である。
実施例７
実施例６における組成の変化をステップ状（階段状）に
変化させて本発明の別の発明の他の実施例の光熱磁気記
録媒体を得る。第４図は、本発明の別の発明の他の実施
例の光熱磁気記録媒体の断面図であシ、図において、（
４２ａ）〜（４２ｊ）は磁性層であり、Ｄｙｘ（Ｆｅ１
−ｙＣｏｙ）１−Ｘとしたとき、（４２ａ）はｘ ＝＝
１８ 、 ｙ ＝＝ ８０ 、（４２ｂ）はＸ二１９
．５ 、 ｙ＝２８、（４２ｃ）はｘ＝２１ 、 ｙ＝
２（ｉ、（４２ｄ）はｘ ＝ ２２．５ 。
変化させて本発明の別の発明の他の実施例の光熱磁気記
録媒体を得る。第４図は、本発明の別の発明の他の実施
例の光熱磁気記録媒体の断面図であシ、図において、（
４２ａ）〜（４２ｊ）は磁性層であり、Ｄｙｘ（Ｆｅ１
−ｙＣｏｙ）１−Ｘとしたとき、（４２ａ）はｘ ＝＝
１８ 、 ｙ ＝＝ ８０ 、（４２ｂ）はＸ二１９
．５ 、 ｙ＝２８、（４２ｃ）はｘ＝２１ 、 ｙ＝
２（ｉ、（４２ｄ）はｘ ＝ ２２．５ 。
ｙ−２４、（４２ｅ）はｘ＝２４．ｙ＝２２、（，１２
ｆ）はＸ＝２５．５ 、 ｙ＝２０． （４２ｇ）ハｘ
＝２７ 、 ｙ＝ １８、（４２ｈ）はｘ ＝ ２８．
５ 、 ｙ ＝ １６、（４２ｉ）はｘ ＝ ８０ 。
ｆ）はＸ＝２５．５ 、 ｙ＝２０． （４２ｇ）ハｘ
＝２７ 、 ｙ＝ １８、（４２ｈ）はｘ ＝ ２８．
５ 、 ｙ ＝ １６、（４２ｉ）はｘ ＝ ８０ 。
ｙ＝１４、（４２ｊ）はＸ ’：： ８１．５ 、 ｙ
＝ １２である。
＝ １２である。
記録再生特性試験
上記のようにして得られた本発明の実施例１〜５の光熱
磁気記録媒体および比較例の光熱磁気記録媒体について
、ディスクスピードｇ、Ｂ ｍ／Ｓ 、 記録周波数ｔ
ＭＥ（ｚで記録再生特性試験を行なった。その結果を
第６図および第７図に示す。第６図は書き込みパワー（
ｍＷ）によるＳ／Ｎ （ｄＢ）変化を示す特性図であシ
、図中（ｍ）は実施例の特性、（ｎ）は比較例」の特性
である。ここで、横軸は書き込みパワー（ｍＷ）を、縦
軸ハＳ／Ｎ （ｄＢ ）を示す、第７図は読み出しパワ
ー（ｍ Ｗ ）にょるＳ／Ｎ（ｄＢ）変化を示す特性図
であシ、図中（ＡＩ） （Ａ２）は実施例の特性、（Ｂ
ｌ） （Ｂ２）は比較例１の特性である。ここで、横軸
は読み出しパワー （ｍＷ）を、縦軸ハＳ／Ｎ （ｄＢ
）を示す、又、表に、用いた構成材料と、得られた光
熱磁気記録媒体のＳ／Ｎを示す。
磁気記録媒体および比較例の光熱磁気記録媒体について
、ディスクスピードｇ、Ｂ ｍ／Ｓ 、 記録周波数ｔ
ＭＥ（ｚで記録再生特性試験を行なった。その結果を
第６図および第７図に示す。第６図は書き込みパワー（
ｍＷ）によるＳ／Ｎ （ｄＢ）変化を示す特性図であシ
、図中（ｍ）は実施例の特性、（ｎ）は比較例」の特性
である。ここで、横軸は書き込みパワー（ｍＷ）を、縦
軸ハＳ／Ｎ （ｄＢ ）を示す、第７図は読み出しパワ
ー（ｍ Ｗ ）にょるＳ／Ｎ（ｄＢ）変化を示す特性図
であシ、図中（ＡＩ） （Ａ２）は実施例の特性、（Ｂ
ｌ） （Ｂ２）は比較例１の特性である。ここで、横軸
は読み出しパワー （ｍＷ）を、縦軸ハＳ／Ｎ （ｄＢ
）を示す、又、表に、用いた構成材料と、得られた光
熱磁気記録媒体のＳ／Ｎを示す。
それによると、実施例は、比較例より低いパワーからＳ
Ｎ比は高く、即ち、より小さなエネルギーで書き込むこ
とができる。又、実施例においては、大きな読み出しパ
ワーまで高いＳＮ比を保つことができる。
Ｎ比は高く、即ち、より小さなエネルギーで書き込むこ
とができる。又、実施例においては、大きな読み出しパ
ワーまで高いＳＮ比を保つことができる。
又、本発明の別の発明の一実施例の光熱磁気記録媒体を
上記と同様に記録再性特性試験を行なったところ、膜厚
方向に組成の一定なりｙＦｅＣｏ ８元系非晶質磁性合
金層を用いたものと比較すると、Ｓ／Ｎ比は５ｄＢ大き
いことが示された。
上記と同様に記録再性特性試験を行なったところ、膜厚
方向に組成の一定なりｙＦｅＣｏ ８元系非晶質磁性合
金層を用いたものと比較すると、Ｓ／Ｎ比は５ｄＢ大き
いことが示された。
上記のように、本発明および本発明の別の発明の実施例
の光熱磁気記録媒体を用いると小さなエネルギーで書き
こむことが可能であ）、又、大きな読み出しパワーまで
高いＳＮ比を保つことができ、光再生出力は従来よシも
大きい。従って、光ビームを用いて書き込みカー効果を
利用して読み出しを行なういわゆるビームアドレッサブ
ルファイルメモリ等の光熱磁気メモリとして使用すれば
、極めて高密度でＳＮ比の大きい優れたメモリ装置を実
現できる。
の光熱磁気記録媒体を用いると小さなエネルギーで書き
こむことが可能であ）、又、大きな読み出しパワーまで
高いＳＮ比を保つことができ、光再生出力は従来よシも
大きい。従って、光ビームを用いて書き込みカー効果を
利用して読み出しを行なういわゆるビームアドレッサブ
ルファイルメモリ等の光熱磁気メモリとして使用すれば
、極めて高密度でＳＮ比の大きい優れたメモリ装置を実
現できる。
なお基板（１）に窒化ケイ素膜などの誘電体層を設けて
、カー回転角増大効果をもたせる構成をとっても良いこ
とはいうまでもない。
、カー回転角増大効果をもたせる構成をとっても良いこ
とはいうまでもない。
又、上記実施例において、基板側から記録再生を行って
いるが、膜面側から記録再生を行う場合においては、Ｄ
ｙＦｅＣｏ ８元系第１非晶質磁性合金層とＤｙ Ｆｅ
Ｃｏ Ｓ元系第２非晶質磁性合金層を逆に形成し、実
施する構成についても、本発明の実施例と同様であるこ
とはいうまでもない。
いるが、膜面側から記録再生を行う場合においては、Ｄ
ｙＦｅＣｏ ８元系第１非晶質磁性合金層とＤｙ Ｆｅ
Ｃｏ Ｓ元系第２非晶質磁性合金層を逆に形成し、実
施する構成についても、本発明の実施例と同様であるこ
とはいうまでもない。
即ち、ＤｙＦｅＣｏ ８元系第１非晶質磁性合金層とＤ
ｙＦｅＣｏ Ｓ元系第２非晶質磁性合金層はどちらを読
み出し層、書き込み層と規定するものではない。
ｙＦｅＣｏ Ｓ元系第２非晶質磁性合金層はどちらを読
み出し層、書き込み層と規定するものではない。
また、高保磁力層と低保磁力層とを規定するものでもな
い。
い。
以上説明したとおシ、この発明は膜面に垂直方向に磁化
容易軸を有し、一般式Ｄｙｘ （Ｆｅ １−ｙｃｏｙ
）１−ｘで示されるＤｙ Ｆｅ Ｃｏ ８元系第１非晶
質磁性合金層、および膜面に垂直方向に磁化容易軸を有
し、一般式Ｄｙｘ （Ｆｅ １−ｙＣｏｙ ）１−ｘで
示されるＤｙＦｅＣｏ Ｓ元系第２非晶質磁性合金層を
基板に積層し、光゛は上記第１および第２非晶質磁性合
金層の内、第１非晶質合金層の方から入射するものであ
勺、上記第１と第２非晶質磁性合金層とは交換結合され
ている磁性層を備え、上記第１非晶質磁性合金層におい
て、０．１５≦ｘ＜０．２１０＜ｙ＜０．５、上記第２
非晶質磁性合金層において、０．２ （Ｘ（０，８５、
０＜ｙ （０，５であシ、室温において上記第１非晶貿
磁性合金層がＦｅＣｏ副格子磁化優勢で、上記第２非晶
質磁性合金層がＴｂ副格子磁化優勢であるものを用いる
ことによ）、得られる最大のカー回転角を有効に利用し
て効率良く光再生出力をとシ出し得る光熱磁気記録媒体
を得ることができる。
容易軸を有し、一般式Ｄｙｘ （Ｆｅ １−ｙｃｏｙ
）１−ｘで示されるＤｙ Ｆｅ Ｃｏ ８元系第１非晶
質磁性合金層、および膜面に垂直方向に磁化容易軸を有
し、一般式Ｄｙｘ （Ｆｅ １−ｙＣｏｙ ）１−ｘで
示されるＤｙＦｅＣｏ Ｓ元系第２非晶質磁性合金層を
基板に積層し、光゛は上記第１および第２非晶質磁性合
金層の内、第１非晶質合金層の方から入射するものであ
勺、上記第１と第２非晶質磁性合金層とは交換結合され
ている磁性層を備え、上記第１非晶質磁性合金層におい
て、０．１５≦ｘ＜０．２１０＜ｙ＜０．５、上記第２
非晶質磁性合金層において、０．２ （Ｘ（０，８５、
０＜ｙ （０，５であシ、室温において上記第１非晶貿
磁性合金層がＦｅＣｏ副格子磁化優勢で、上記第２非晶
質磁性合金層がＴｂ副格子磁化優勢であるものを用いる
ことによ）、得られる最大のカー回転角を有効に利用し
て効率良く光再生出力をとシ出し得る光熱磁気記録媒体
を得ることができる。
又、本発明の別の発明は、膜面に垂直方向に磁化容易軸
を有し、一般式ＴｂＸ（Ｆｅ１−ｙＣｏｙ）１−Ｘで示
されるＤｙＦｅＣｏ ８元系非晶質磁性合金層を基板に
設けるものにおいて、上記磁性合金層を０．１５＜ｘ＜
０．８５ 、 ｏ＜ｙ＜ｏ、５の範囲で、光の入射面か
ら順次Ｘが増加し、ｙが減少するように積層したものを
用いることにより、得られる最大のカー回転角を有効に
利用して効率良く光再生出力をとシ出し得る光熱磁気記
録媒体を得ることができる。
を有し、一般式ＴｂＸ（Ｆｅ１−ｙＣｏｙ）１−Ｘで示
されるＤｙＦｅＣｏ ８元系非晶質磁性合金層を基板に
設けるものにおいて、上記磁性合金層を０．１５＜ｘ＜
０．８５ 、 ｏ＜ｙ＜ｏ、５の範囲で、光の入射面か
ら順次Ｘが増加し、ｙが減少するように積層したものを
用いることにより、得られる最大のカー回転角を有効に
利用して効率良く光再生出力をとシ出し得る光熱磁気記
録媒体を得ることができる。
第１図は本発明の一実施例の光熱磁気記録媒体の断面図
、第２図は本発明の別の発明の一実施例の光熱磁気記録
媒体の断面図、第８図は本発明の別の発明の一実施例の
光熱磁気記録媒体に係わる３元系磁性合金層の膜厚（Ａ
）による各組成元素の変化（ａｔｅ）を示す特性図、第
４図は本発明の別の発明の他の実施例の光熱磁気記録媒
体の断面図、第５図は従来の光熱磁気記録媒体の断面図
、第６図は書き込みパワー（ｍＶ）によるＳ／Ｎ（ｄＢ
） 変化を示す特性図、第７図は読み出しパワー（ｍＷ
）によるＳ／Ｎ（ｄＢ）変化を示す特性図、第８図（
ａ）および（ｂ）は、Ｄｙｘ（Ｆｅ１ ｙＣｏｙ）１−
ｘ膜の各々組成（ｘ）によるカー回転角（ｄｅｇ・）変
化および組成（ｘ）によるキュリ一温度−）変化を示す
特性図である。 図において、（１）は基板、（２）はＤｙＦｅＣｏ ａ
元系第１非晶質磁性合金層、（３）はＤｙＦｅＣｏ ａ
元系第２非晶質磁性合金層、（４２は順次組成を変化さ
せたＤｙＦｅＣ。 ｓ元系磁性層である。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
、第２図は本発明の別の発明の一実施例の光熱磁気記録
媒体の断面図、第８図は本発明の別の発明の一実施例の
光熱磁気記録媒体に係わる３元系磁性合金層の膜厚（Ａ
）による各組成元素の変化（ａｔｅ）を示す特性図、第
４図は本発明の別の発明の他の実施例の光熱磁気記録媒
体の断面図、第５図は従来の光熱磁気記録媒体の断面図
、第６図は書き込みパワー（ｍＶ）によるＳ／Ｎ（ｄＢ
） 変化を示す特性図、第７図は読み出しパワー（ｍＷ
）によるＳ／Ｎ（ｄＢ）変化を示す特性図、第８図（
ａ）および（ｂ）は、Ｄｙｘ（Ｆｅ１ ｙＣｏｙ）１−
ｘ膜の各々組成（ｘ）によるカー回転角（ｄｅｇ・）変
化および組成（ｘ）によるキュリ一温度−）変化を示す
特性図である。 図において、（１）は基板、（２）はＤｙＦｅＣｏ ａ
元系第１非晶質磁性合金層、（３）はＤｙＦｅＣｏ ａ
元系第２非晶質磁性合金層、（４２は順次組成を変化さ
せたＤｙＦｅＣ。 ｓ元系磁性層である。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (3)
- （１）膜面に垂直方向に磁化容易軸を有し、一般式Ｄｙ
＿ｘ（Ｆｅ＿１＿−＿ｙＣｏ＿ｙ）＿１＿−＿ｘで示さ
れるＤｙＦｅＣｏ３元系第１非晶質磁性合金層、および
膜面に垂直方向に磁化容易軸を有し、一般式Ｄｙ＿ｘ（
Ｆｅ＿１＿−＿ｙＣｏ＿ｙ）＿１＿−＿ｘで示されるＤ
ｙＦｅＣｏ３元系第２非晶質磁性合金層を基板に積層し
、光は上記第１および第２非晶質磁性合金層の内、第１
非晶質合金層の方から入射するものであり、上記第１と
第２非晶質磁性合金層とは交換結合されている磁性層を
備え、上記第１非晶質磁性合金層において、０．１５≦
Ｘ≦０．２、０＜ｙ＜０．５、上記第２非晶質磁性合金
層において、０．２＜Ｘ≦０．３５、０≦ｙ＜０．５で
あり、室温において上記第１非晶質磁性合金層がＦｅＣ
ｏ副格子磁化優勢で、上記第２非晶質磁性合金層がＤｙ
副格子磁化優勢である光熱磁気記録媒体。 - （２）膜面に垂直方向に磁化容易軸を有し、一般式Ｄｙ
＿ｘ（Ｆｅ＿１＿−＿ｙ（ｏｙ）＿１＿−＿ｘで示され
るＤｙＦｅＣｏ３元系非晶質合金磁性層を基板に設ける
ものにおいて、上記磁性層を、０．１５≦ｘ＜０．８５
、０＜ｙ＜０、５の範囲で、光の入射面から順次ｘが増
加し、ｙが減少するように積層したことを特徴とする光
熱磁気記録媒体。 - （３）基板の磁性層に対向する表面部は誘電体層である
特許請求の範囲第１項又は第２項記載の光熱磁気記録媒
体。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11977487A JPH0795376B2 (ja) | 1987-05-14 | 1987-05-14 | 光熱磁気記録媒体 |
| US07/752,976 US5248565A (en) | 1987-01-26 | 1991-09-03 | Optical-thermal magnetic storage medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11977487A JPH0795376B2 (ja) | 1987-05-14 | 1987-05-14 | 光熱磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63282944A true JPS63282944A (ja) | 1988-11-18 |
| JPH0795376B2 JPH0795376B2 (ja) | 1995-10-11 |
Family
ID=14769880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11977487A Expired - Lifetime JPH0795376B2 (ja) | 1987-01-26 | 1987-05-14 | 光熱磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0795376B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH027251A (ja) * | 1988-06-24 | 1990-01-11 | Nikon Corp | オーバーライト可能な光磁気記録媒体 |
| JPH0362340A (ja) * | 1989-07-28 | 1991-03-18 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| US5239534A (en) * | 1988-12-12 | 1993-08-24 | Nikon Corporation | Multi-layer over write capable magnetooptical recording medium |
| US5547751A (en) * | 1992-04-10 | 1996-08-20 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Magneto-optical recording medium and method of manufacturing the same |
| US5679474A (en) * | 1988-12-27 | 1997-10-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Overwritable optomagnetic recording method and medium having a layer with curie temperature which varies in the thickness direction |
-
1987
- 1987-05-14 JP JP11977487A patent/JPH0795376B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH027251A (ja) * | 1988-06-24 | 1990-01-11 | Nikon Corp | オーバーライト可能な光磁気記録媒体 |
| US5239534A (en) * | 1988-12-12 | 1993-08-24 | Nikon Corporation | Multi-layer over write capable magnetooptical recording medium |
| US5679474A (en) * | 1988-12-27 | 1997-10-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Overwritable optomagnetic recording method and medium having a layer with curie temperature which varies in the thickness direction |
| JPH0362340A (ja) * | 1989-07-28 | 1991-03-18 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| US5547751A (en) * | 1992-04-10 | 1996-08-20 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Magneto-optical recording medium and method of manufacturing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0795376B2 (ja) | 1995-10-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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