JPS63294281A

JPS63294281A - 圧電駆動装置

Info

Publication number: JPS63294281A
Application number: JP62130316A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Shimizu; 洋清水; Takashi Takada; 高田　孝; Masateru Ishibashi; 誠輝石橋
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 1987-05-25
Filing date: 1987-05-25
Publication date: 1988-11-30
Also published as: JPH0458273B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔技術分野〕この発明は、圧電素子を用いた直線移動型または回転型
の圧電駆動装置に関するものである。

〔背景技術〕

従来、圧電素子を用いた超音波モータとして、特公昭５
９−（１３７６７２号公報に示されたものがある。

これは、圧電素子を振動体に貼りつけて縦振動を発生さ
せ、振動体の先端部に傾きを持った駆動片を形成し、そ
の先端部が前記縦振動によって楕円運動を行い、円板と
接触することにより、摩擦力により円板を回転させるも
のである。

しかし、この従来構造であると、回転方向が駆動片の傾
き方向によって決まってしまい、また駆動片の先端部は
細く、摩擦の為に摩耗も大きく、寿命的にも問題がある
。

また、他の従来例として、特開昭５８−１４８６８２号
公報に示されたものがある。この例は、圧電素子の全体
振動を振動体に伝え、一方の波形をもう一方の波形と９
０°位相をずらせて振動させることにより、振動体表面
に進行波を発生させ、その上にロータを接触させること
により、摩擦でロータを回転させるものである。

この例によると、逆転も可能であるが、常に振動体全体
にエネルギを与える必要があり、しかも圧電素子の振動
体に貼着された面と反対の面の振動は吸収してやる必要
がある。このため、エネルギロスが大きく、効率向上に
難がある。また、リニアモータの形成には進行波を循環
させる方策を取らねばならず、エネルギロスが大き過ぎ
て問題にならず、その循環方法も極めて難しい。

このような問題点を解消したものとして、振動子をコ字
状に形成し、その両対向辺を断面形状方形として各対向
辺の隣合う２面に圧電素子部を設けたものを提案した（
特願昭６１−２２７５（１２号）。

隣合う２面の圧電素子部には互いに９０°位相の異なる
高周波電圧を印加する。これにより、振動子の先端が円
また楕円軌道となる屈曲振動を行い、接触部材を接触さ
せることにより、接触部材または振動子のいずれかが駆
動される。

この構成の場合、振動子の両対向辺が共振を行うため、
大きな振幅が得られ、効率良く機械的駆動力が得られる
。

しかし、２木の対向辺が共振するように振動特性を合わ
せる必要があり、しかも各対向辺につき、前記隣合う２
面の圧電素子部で振動させる直交する２方向の振動合わ
せが必要となる。そのため、取扱いが困難という問題点
がある。

〔発明の目的〕

この発明の目的は、低消費電力で効率良く機械的駆動力
を得ることができ、かつ構造が簡単で取扱性の良い圧電
駆動装置を提供することである。

〔発明の開示〕

第１の発明の圧電駆動装置は、弾性を有する材料にて断
面形状が略方形の棒状に形成されて少なくとも隣合う２
面に圧電素子部を存しこの圧電素子部に高周波電圧を印
加することにより屈曲振動する振動子と、前記振動子の
前記隣合う圧電素子部に位相差を持たせて筒周波電圧を
印加する電源装置と、前記振動子の１面に接触する接触
部材とを備え、前記振動子の最大振幅点が円または楕円
運動することにより、前記接触部材または振動子のいず
れかが駆動されるものである。

前記圧電素子部は、前記振動子に圧電素子を貼着して形
成したものであっても、また前記振動子を圧電材料にて
形成して、この圧電材料に直接に電極を形成したもので
あってもよい。

第２の発明の圧電駆動装置は、第１の発明の圧電駆動装
置の振動子を２本手行に用い、両振動子に挟まれてこれ
ら振動子に接する接触部材を設けたものである。電源装
置は、両振動子を互いに同位相に振動させる高周波電圧
を印加するものとする。

第３の発明の圧電駆動装置は、第１の発明の圧電駆動装
置の振動子を、長手方向の複数箇所で節を有する振動を
するものとし、この振動子を前記節の部分で支持する支
持部材を設けたものである。

第１の発明の構成によると、振動子を略方形の断面形状
とし、振動子の隣合う２面に設けた圧電素子部に位相差
を持たせて高周波電圧を印加するので、振動子は最大振
幅点が円または楕円運動をする。この振動子の１面に接
触部材が接触するので、この接触部材または振動子のい
ずれかが駆動され、機械的駆動力が得られる。

この場合に、振動子の振動は、基端部において非振動状
態となるように行われるので、基端部を支持部とするこ
とにより、支持によって振動を妨げることがなく、その
ため電気的エネルギを効率良く機械的駆動力に変換でき
る。また、このように振動子に振動しない箇所があるこ
とから、振動子と接触部材のいずれを固定側としても可
動側としても用いることができる。さらに、振動子は１
本の棒状のものであるため、２本を共振させるものと異
なり、構造が簡単であるうえ、前記圧電素子部で振動さ
せる直交する２方向の振動調整を単独で行え、振動調整
が容易である。そのため、取扱いが容易であり、また振
動子を複数本用いることもできる。

第２の発明の構成によると、振動子を２本手行に設け、
両振動子間に挟んで接触部材を配置しているので、強力
な駆動が行え、また接触点が多点化されて駆動が安定し
、摩耗も低減する。その他の作用は第１の発明と同様で
ある。

第３の発明の構成によると、振動子の振動の節の部分を
支持するので、支持によって振動を妨げることが全くな
く、電気的エネルギをより一層効率よく機械的駆動力に
変換できる。その他の作用は第１の発明と同様である。

実施例第１の発明の一実施例を第１図ないし第６図に基づいて
説明する。この圧電駆動装置は、リニアモータに適用し
た例であり、弾性を有する材料にて断面形状が略方形の
棒状に形成されて隣合う２面に圧電素子部３を有しこの
圧電素子部３に高周波電圧を印加することにより屈曲振
動する振動子１と、振動子１の前記隣合う圧電素子部３
に位相差を持たせて高周波電圧を印加する電源装置４と
、振動子１の１面に接触する接触部材５とを備え、振動
子１の最大振幅点が円または楕円運動することにより、
接触部材５または振動子１のいずれかが駆動されるもの
である。

振動子１の基端部１ａは、固定しても振動に影響を与え
ない長さをとり、基台７に固定しである。

基台７に対し、接触部材５は相対的に第１図の矢印Ｐ方
向へ進退移動自在にガイド手段（図示せず）で支持しで
ある。接触部材５は、振動子１の圧電素子部３が設けら
れていない１面における先端部であるＸ点（第４図（Ｂ
））に接するように配置しである。なお、必ずしも先端
部に接するようにしなくても良い。

振動子１の先端には接触部材５の駆動を円滑に行う為の
摩擦材６が設けである。摩擦材６は振動子１の一部に一
体に形成した突部であっても良く、他の金属またはプラ
スチックであっても良い。

振動子１はエリンバ等の恒弾性体を用いているが、精度
や大振幅が不要のときは、一般の鋼材を用いても良く、
またその他の金属やセラミックス等を用いることもでき
る。振動子１の断面形状は方形であるが、各角部に面取
りを施して８角形状の断面形状としても良く、また面取
りの代わりに角部を丸めても良い。要は、振動子１は互
いに直角に隣合う４面を存する形状であれば良い。

圧電素子部３は、圧電素子を振動子１に貼着して形成し
たものである。圧電素子部３は振動子１の３面または４
面に設けても良い。

電源装置４は、第６図に示すように高周波電源８と９０
°移相器９とを存し、各圧電素子部３（３０，３゜）に
同図のように電圧を印加する。同図の＋、−の符号は分
極方向を示す。

動作振動子１の各圧電素子部３．，３□に第６図の電源装置
４で高周波電圧を印加して励振すると、各振動子１はそ
れぞれの圧電素子部３１．３□の励振に従って縦および
横方向に振動する。このとき圧電素子部３□には圧電素
子部３．よりも９０゜位相を遅らせた電圧を印加すると
、振動子１の先端部のＸ点は、第５図のような円または
楕円軌道を描いて運動する。したがって、振動子１の１
面の摩擦材６に接触部材５が接触するように配置しであ
ると、接触部材５は矢印Ｐ方向に直線的に移動する。Ｘ
点の楕円軌道の偏平度は、振動子１の曲げ方向による剛
性の違いや、各圧電素子部３１゜３□に印加する電圧の
大きさ１位相差等により調整できる。

圧電素子部３□に９０°進み位相の電圧を印加すれば、
第５図と反対回りの軌道を描くことになり、接触部材５
は矢印Ｐと逆方向に移動する。

このように動作するが、振動子１の振動は、基端部１ａ
において非振動状態となるように行われるので、基端部
１ａを支持することにより、支持によって振動を妨げる
ことがない。そのため、電気的エネルギを効率よく機械
的駆動力に変換できる。また、このように振動子１に振
動しない箇所があることから、振動子１と接触部材５の
いずれを固定側としても可動側としても用いることがで
きる。

さらに、振動子１は１本の棒状のものであるため、構造
が簡単であるうえ、隣合う２面の各圧電素子部３で振動
させる直交する２方向の振動調整を単独で行え、振動調
整が容易である。そのため、取扱が容易であり、また振
動子１を後述のように複数本用いることもできる。

この実施例では、第３図（Ａ）のように１次モ−ドで振
動させる場合につき説明したが、第３図（Ｂ）、　　（
Ｃ）に示すように、２次モードや３次モードなど、高次
モードで振動させると、振動子１の接触部材５に対する
接触点を多点化させることができ、駆動の安定および摩
耗防止が図れる。

１次モードの振動は、振動子１の長手方向につき、１枚
の圧電素子部３を設けた場合に得られる。

２次モードの振動は、この１枚の圧電素子部３を長手方
向に２分割し、分極方向を反対にして貼着することによ
り得られる。３次モードの振動は、１枚の圧電素子部３
を長手方向に３分割し、中央の分割圧電素子部と両側の
分割圧電素子部の分極方向を反対として貼着し、各分割
圧電素子部の同一面側の電極を共通電極として同一の電
圧を印加することにより得られる。

なお、前記実施例では摩擦材６を振動子１に設けたが、
摩擦材６の代わりに第２０図のように、振動子１の最大
振幅部に永久磁石６′を設け、接触部材５を磁性体とし
ても良い。

このように、振動子１と接触部材５とが永久磁石６′と
磁性体とで接するように構成した場合、磁力により両者
間に安定した接触力が得られ、摩擦力による駆動が確実
となる。しかも、振動子１の円または楕円運動に伴って
磁力による移動力が摩擦力による進行方向と同方向に与
えられる。そのため、摩擦力と磁力とが加わった駆動力
が得られることになり、効率の良い駆動ができる。

第７図は第１の発明の他の実施例を示す。この例は、振
動子１を互いに接触部材５の可動方向に離して２本生行
に並設したものである。これら振動子１の先端のＸ点お
よびＹ点は、第８図（Ａ）に示すように全く同じ動作を
させても良く、また第８図（Ｂ）のように１８０°ずら
せて駆動することもできる。このように振動子１を２本
設けると、接触点が多点化され、動作が安定すると同時
に、摩耗も軽減する。その他の構成効果は、第１図の実
施例と同様である。

第９図は、振動子１の両端を基台７に固定した実施例を
示す。振動モードは、第１０図（Ａ）のように、１次モ
ードとすることも、第１０図（Ｂ）。

（Ｃ）のように高次モードとすることもできる。

このように振動子１を両端支持とした場合は、接触部材
（図示せず）を振動子１の中間部分に接触させることが
できるので、安定した駆動が可能である。

第１１図は回転型とした実施例を示す。振動子１を４本
放射状に配置してその基端を基端支持部材１０に固定し
、円板状の接触部材１５を振動子１の放射中心を回転中
心として適宜の支持手段で回転自在に支持しである。振
動子１は第１図の実施例で用いたものと同様のものであ
る。支持部材１０は基台７に固定しである。この構成の
場合、各振動子１が前記のように円または楕円軌道の屈
曲振動を行うことにより、接触部材１５が回転運動をす
る。

第１２図および第１３図は、振動子１１．２１を圧電材
料で形成し、直接に圧電素子部１３．２３を形成した実
施例を示す。圧電材料としては、ＰＺＴ（ジルコンチタ
ン酸鉛磁器）等の圧電セラミックス、または圧電セラミ
ックスとプラスチックとの複合圧電材料等が用いられる
。　振動子１１゜２１は方形断面形状のものであり、第
１２図の例は隣合う２面に、第１３図の例は４面に圧電
素子部１３．２３が各々形成しである。

詳しくは、第１２図の例は圧電横効果を利用して屈曲振
動させるもので、振動子１１の長手方向と平行に複数本
の電極ａを交差指状に形成し、この電極８間に直流電圧
を印加して分極する。この交差指電極ａに高周波電圧を
印加することにより屈曲振動を行わせることができ、隣
合う面と９０゜位相をずらしてやることにより、振動子
１１の最大振幅点は円または楕円運動をする。したがっ
て、接触部材（図示せず）を振動子１１で駆動すること
ができる。その他の構成効果は、第１図の実施例と同様
である。

第１３図の例は圧電横効果を利用したものであるが、振
動子１の４面の角部に電極すを形成し、４面同時に分極
しである。このように４面同時に分極することにより、
振動子２１は振幅を極めて大きくすることができる。

これら第１２図、第１３図の例のように圧電材料に直接
分極して圧電素子部１３．２３を形成すれば、圧電体を
接着するものと異なり、接着工程を省略できるとともに
、接着誤差による性能ばらつきや接着剥離をなくすこと
ができる。なお、分極は圧電縮効果を用いるようにする
こともできる。

第１４図は、第２の発明の実施例を示す。この例は、２
木の振動子１を互いに間隔を開けて平行に配置し、再振
動子１に挟まれてこれら振動子１に接する接触部材５を
設けたものである。振動子ｌは、第９図の例と同様に、
両端を基台７（第１４図には図示せず）に固定しである
。各振動子１は第９図の例で用いたものと同様のもので
ある。

このように構成した場合、振動子１と接触部材５との接
触点が多点化され、駆動の安定および摩耗の減少が得ら
れる。その他の構成効果は、第１図の実施例と同様であ
る。

なお、第１４図の板状の接触部材５の代わりに、第１５
図のように丸軸状とした接触部材３５を用いても良い。

接触部材３５を丸軸状とした場合、接触部材３５と振動
子１との接触が円滑になり、また接触部材３５のガイド
手段による支持も円滑になり、支持手段の構造が簡単に
なる。

第１６図および第１７図は、第３の発明の実施例を示す
。この例は、棒状の振動子１の長手方向２箇所で振動の
節Ｑが生じるように振動子１に圧電素子部３を設け、節
Ｑの箇所で支持部材４０を介して振動子１を基台７で支
持したものである。

節Ｑは３箇所以上で生じるようにしても良い。支持部材
４０は丸棒状のものであり、振動子１を貫通し、両端が
基台７に固定されている。第１７図　−のように、接触
部材５は振動子１と直交する方向に基台７と相対的に移
動自在としである。接触部材５はガイド手段（図示せず
）で移動自在に支持しである。

この構成の場合、振動子１の振幅が零の箇所を支持する
ので、振動の損失が少なく、かつ安定した支持が行える
。その他の構成効果は、第１図の実施例と同様である。

第１８図は、第３の発明の他の実施例を示す。

この例は、２本の振動子１を平行に並べ、その間に挟ん
で接触部材５を配置したものである。その他は第１６図
の例と同様である。この場合、接触部材５の両面に振動
子１が接するので、接触点の多点化による安定駆動およ
び摩耗低減の効果が、第１６図の例の効果に加えて得ら
れる。

第１８図の実施例の接触部材５の代わりに、第１９図の
ように振動子１の両端に接する幅広の接触部材４５を用
いても良い。その場合、振動子１と接触部材４５の接触
点が４点となるので、より一層安定駆動および摩耗低減
が得られる。これら第１８図および第１９図の実施例は
、第２の発明の実施例ともなるものである。

なお、第２および第３の発明の前記各実施例では圧電素
子部３を圧電素子の貼着により形成したものとしたが、
これら各実施例においても、第１２図、第１３図の実施
例のように、振動子を圧電セラミックスで形成し、この
圧電セラミックスに駆動用電極を直接形成しても良い。

また、第２の発明および第３の発明においても、接触部
材または振動子のいずれか一方が回転的に駆動されるも
のとしても良い。回転的な駆動は、一方向の回転だけで
なく、一定角度範囲を正逆回転させる駆動であっても良
い。

第１および第３の発明の実施例において、接触部材に丸
軸状のものを用いても良い。

さらに、第１ないし第３の各発明の各実施例において、
振動子に第２０図の実施例のように永久磁石６′を設け
、接触部材を磁性体としても良い。

この逆に、振動子を磁性体とし、接触部材を永久磁石と
しても良い。すなわち、振動子の最大振幅部と接触部材
の振動子と接する部分の少なくとも一部とのいずれか一
方を永久磁石とし、他方を磁性体とすれば、第２０図と
ともに前述した磁力による効率向上が図れる。

〔発明の効果〕

第１の発明の圧電駆動装置は、振動子を略方形の断面形
状とし、振動子の隣合う２面に設けた圧電素子部に位相
差を持たせて高周波電圧を印加するので、振動子は最大
振幅点が円または楕円運動をする。この振動子の１面に
接触部材が接触するので、この接触部材または振動子の
いずれかが駆動され、機械的駆動力が得られる。この場
合に、振動子の振動は、基端部において非振動状態とな
るように行われるので、基端部を支持部とすることによ
り、支持によって振動を妨げることがなく、そのため電
気的エネルギを効率良く機械的駆動力に変換できる。ま
た、このように振動子に振動しない箇所があることから
、振動子と接触部材のいずれを固定側としても可動側と
しても用いることができる。さらに、振動子は１本の棒
状のものであるため、２木を共振させるものと異なり、
構造が簡単であるうえ、前記圧電素子部で振動させる直
交する２方向の振動調整を単独で行え、振動調整が容易
である。そのため、取扱いが容易であり、また振動子を
複数本用いることもできる。

第２の発明および第３の発明は、第１の発明に加えて次
の効果が得られる。

すなわち、第２の発明は、振動子を２本手行に設け、両
振動子に挟んで接触部材を配置しているので、強力な駆
動が行え、また接触点が多点化されて駆動が安定し、摩
耗も低減する。

第３の発明は、振動子の振動の節の部分を支持するので
、支持によって振動を妨げることが全くなく、電気的エ
ネルギをより一層効率よく機械的駆動力に変換できると
いう効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は第１の発明の一実施例の斜視図、第２図はその
振動子の正面図、第３図は同じくその振動モードの説明
図、第４図（Ａ）、ＣＢ）はそれぞれ同じくその振動子
と接触部材との関係を示す正面図および側面図、第５図
は同じくその振動子の最大振幅点の振動軌道の説明図、
第６図は同じくその電源装置の回路図、第７図（Ａ）、
（Ｂ）はそれぞれ第１の発明の他の実施例の平面図およ
び側面図、第８図は同じくその振動子の最大振幅点の振
動軌道の説明図、第９図は第１の発明のさらに他の実施
例の正面図、第１０図はその振動モードの説明図、第１
１図（Ａ）、　　（Ｂ）はそれぞれ第１の発明のさらに
他の実施例の平面図および正面図、第１２図は第１の発
明のさらに他の実施例の振動子の斜視図、第１３図は第
１の発明のさらに他の実施例の振動子の斜視図、第１４
図は第２の発明の一実施例の斜視図、第１５図（Ａ）。（Ｂ）はそれぞれ第２の発明の他の実施例の破断側面図
および破断正面図、第１６図（Ａ）〜（Ｃ）はそれぞれ
第３の発明の実施例の振動子を示す平面図、破断側面図
、および振動説明図、第１７図（Ａ）、　　（Ｂ）はそ
れぞれ同じくその平面図および正面図、第１８図（Ａ）
、（Ｂ）はそれぞれ第３の発明の他の実施例の破断側面
図および破断正面図、第１９図は第３の発明のさらに他
の実施例の破断正面図、第２０図は第１の発明のさらに
他の実施例の斜視図である。１．１１．２１・・・振動子、３，１３．２３・・・圧
電素子部、４・・・電源装置、５，１５，３５．４５・
・・接触部材特許出願人　　清　　水　　　洋＼、−一、／ ′Ｌ　　　　　　：Ｌ　　　　　　立Ｃ＋＋＋Ｐト　　　へ　　　さ　０く　　　　　の　　　　　Ｑ −ノ　　　　　　　　　ζノ　　　　　　　　　。く　　　　　　　　　　　　　象シー　　　　　　−Ｌ　　　　　　Ｌ −ノ　　　　　　Ｎノ（Ａ）　　　　　　　　（Ｂ）第１１図第１２図　　　　　　第１３図第１４図（Ａ）　　第１５１１　　（Ｂ）ＩＱ第１６図（Ａ）　　第、ア。　（Ｂ）（Ａ）　　　　　　　　　　（ｓ）第１８図第１９図第２０図手続補正書（自発昭和６２年０７月１０日

Claims

【特許請求の範囲】

（１）弾性を有する材料にて断面形状が略方形の棒状に
形成されて少なくとも隣合う２面に圧電素子部を有しこ
の圧電素子部に高周波電圧を印加することにより屈曲振
動する振動子と、前記振動子の前記隣合う圧電素子部に
位相差を持たせて高周波電圧を印加する電源装置と、前
記振動子の１面に接触する接触部材とを備え、前記振動
子の最大振幅点が円または楕円運動することにより、前
記接触部材または振動子のいずれかが駆動される圧電駆
動装置。
（２）前記圧電素子部は、前記振動子に圧電素子を貼着
して形成される特許請求の範囲第（１）項記載の圧電駆
動装置。
（３）前記振動子は圧電セラミックスで構成し、前記圧
電素子部はこの圧電セラミックスに駆動用電極を直接形
成してなる特許請求の範囲第（１）項記載の圧電駆動装
置。
（４）前記接触部材は、平板状または丸軸状に形成され
、前記接触部材または前記振動子のいずれかが直線的に
駆動される特許請求の範囲第（２）項または（３）項記
載の圧電駆動装置。
（５）前記接触部材は、円板状に形成され、前記接触部
材または前記振動子のいずれかが回転的に駆動される特
許請求の範囲第（２）項または（３）項記載の圧電駆動
装置。
（６）前記振動子の最大振幅部と前記接触部材の前記振
動子と接する部分の少なくとも一部とのいずれか一方を
永久磁石とし、他方を磁性体とした特許請求の範囲第（
２）項または（３）項記載の圧電駆動装置。
（７）弾性を有する材料にて断面形状が略方形の棒状に
形成された２本の振動子を互いに間隔を開けて平行に設
け、これら各振動子は各々隣合う２面に圧電素子部を有
しこの圧電素子部に高周波電圧を印加することにより屈
曲振動するものとし、前記両振動子の前記隣合う圧電素
子部に位相差を持たせて高周波電圧を印加し前記両振動
子を互いに同位相に振動させる電源装置を設け、前記両
振動子に挟まれてこれら振動子に接する接触部材を設け
、前記振動子の最大振幅点が円または楕円運動すること
により前記接触部材または振動子のいずれかが駆動され
る圧電駆動装置。
（８）前記圧電素子部は、前記振動子に圧電素子を貼着
して形成される特許請求の範囲第（７）項記載の圧電駆
動装置。
（９）前記振動子は圧電セラミックスで構成し、前記圧
電素子部はこの圧電セラミックスに駆動用電極を直接形
成してなる特許請求の範囲第（７）項記載の圧電駆動装
置。
（１０）前記接触部材は、平板状または丸軸状に形成さ
れ、前記接触部材または前記振動子のいずれかが直線的
に駆動される特許請求の範囲第（８）項または（９）項
記載の圧電駆動装置。
（１１）前記接触部材は、円板状に形成され、前記接触
部材または前記振動子のいずれかが回転的に駆動される
特許請求の範囲第（８）項または（９）項記載の圧電駆
動装置。
（１２）前記振動子の最大振幅部と前記接触部材の前記
振動子と接する部分の少なくとも一部とのいずれか一方
を永久磁石とし、他方を磁性体とした特許請求の範囲第
（８）項または（９）項記載の圧電駆動装置。
（１３）弾性を有する材料にて断面形状が略方形の棒状
に形成されて少なくとも隣合う２面に圧電素子部を有し
この圧電素子部に高周波電圧を印加することにより長手
方向の複数箇所で節を有する屈曲振動をする振動子と、
この振動子を前記節の部分で支持する支持部材と、前記
振動子の前記隣合う圧電素子部に位相差を持たせて高周
波電圧を印加する電源装置と、前記振動子の１面に接触
する接触部材とを備え、前記振動子の最大振幅点が円ま
たは楕円運動することにより、前記接触部材または振動
子のいずれかが駆動される圧電駆動装置。
（１４）前記圧電素子部は、前記振動子に圧電素子を貼
着して形成される特許請求の範囲第（１３）項記載の圧
電駆動装置。
（１５）前記振動子は圧電セラミックスで構成し、前記
圧電素子部はこの圧電セラミックスに駆動用電極を直接
形成してなる特許請求の範囲第（１３）項記載の圧電駆
動装置。
（１６）前記接触部材は、平板状または丸軸状に形成さ
れ、前記接触部材または前記振動子のいずれかが直線的
に駆動される特許請求の範囲第（１４）項または（１５
）項記載の圧電駆動装置。
（１７）前記接触部材は、円板状に形成され、前記接触
部材または前記振動子のいずれかが回転的に駆動される
特許請求の範囲第（１４）項または（１５）項記載の圧
電駆動装置。
（１８）前記振動子の最大振幅部と前記接触部材の前記
振動子と接する部分の少なくとも一部とのいずれか一方
を永久磁石とし、他方を磁性体とした特許請求の範囲第
（１４）項または（１５）項記載の圧電駆動装置。