JPS63295161A - 非接触ならい方式 - Google Patents
非接触ならい方式Info
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- JPS63295161A JPS63295161A JP12903287A JP12903287A JPS63295161A JP S63295161 A JPS63295161 A JP S63295161A JP 12903287 A JP12903287 A JP 12903287A JP 12903287 A JP12903287 A JP 12903287A JP S63295161 A JPS63295161 A JP S63295161A
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- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 6
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- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 3
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は非接触ならい方式に係り、特に非接触で距離を
測定できる距離測定プローブによりモデル面をならわせ
る非接触ならい方式に関する。
測定できる距離測定プローブによりモデル面をならわせ
る非接触ならい方式に関する。
〈従来技術〉
従来のならい制御は、スタイラスをモデルに接触させな
がら移動させると共に、該スクイラスとモデルとの接触
によりトレーサヘッドから発生する３次元の各軸変位量
を用いてならい演算を行って各軸方向のならい速度を発
生し、該各軸方向の速度信号によりスタイラスをモデル
表面に接触させながら該モデルをなられせるものであっ
た。
がら移動させると共に、該スクイラスとモデルとの接触
によりトレーサヘッドから発生する３次元の各軸変位量
を用いてならい演算を行って各軸方向のならい速度を発
生し、該各軸方向の速度信号によりスタイラスをモデル
表面に接触させながら該モデルをなられせるものであっ
た。
〈発明が解決しようとしている問題点〉かかる接触なら
い方式によっても精度の高いならい制御ができるがスタ
イラスがモデルと接触するものであるためスタイラスが
摩耗し、スタイラスの交換が必要になると共に、交換し
ないと精度の高いならい制御ができなくなるという問題
がある。
い方式によっても精度の高いならい制御ができるがスタ
イラスがモデルと接触するものであるためスタイラスが
摩耗し、スタイラスの交換が必要になると共に、交換し
ないと精度の高いならい制御ができなくなるという問題
がある。
以上から、本発明の目的は非接触でならい制御ができる
非接触ならい方式を提供することである。
非接触ならい方式を提供することである。
く問題点を解決するための手段〉
第１図は本発明方式を実現する装置のプローブ図である
。
。
１１はならい制御装置、１４Ｚ、１４Ｘは２軸及びＸ軸
駆動用のモータ、１６２，１６Ｘは各軸現在位置レジス
タ、１７は非接触の距離測定プローブである。
駆動用のモータ、１６２，１６Ｘは各軸現在位置レジス
タ、１７は非接触の距離測定プローブである。
ならい制御装置１１において、ｌｌａはならい方向演算
部、ｌｌｂは加算器、１１Ｃは法線方向の速度信号発生
部、１１ｄ（よ接線方向の速度信号発生部、１１ｅは各
軸方向の速度信号発生部である。
部、ｌｌｂは加算器、１１Ｃは法線方向の速度信号発生
部、１１ｄ（よ接線方向の速度信号発生部、１１ｅは各
軸方向の速度信号発生部である。
く作用〉
距離測定プローブ１７により測定された測定距離りと基
準圧ｉｌｉ！Ｌ０との誤差量ΔＬを用いて速度信号発生
部ｌｉｅ、ｌｉｄで法線方向速度信号ｖ７と接線方向速
度信号Ｖ工を発生する。又、ならい方向演’１１１’Ｒ
Ｓ １１ ａにおいて前々回のタイムスロッ１−におけ
るならい方向θｎ−１と前回のタイムスロットにおける
ならい方向θｎどの差分Δθ、と、前回のならい方向θ
ｎとを用いて、θｎ＋（１／ｎ）・Δθ→θｎ＋１によ
り今回のタイムスロットにおけるならい方向θｎ＋、を
演算する。
準圧ｉｌｉ！Ｌ０との誤差量ΔＬを用いて速度信号発生
部ｌｉｅ、ｌｉｄで法線方向速度信号ｖ７と接線方向速
度信号Ｖ工を発生する。又、ならい方向演’１１１’Ｒ
Ｓ １１ ａにおいて前々回のタイムスロッ１−におけ
るならい方向θｎ−１と前回のタイムスロットにおける
ならい方向θｎどの差分Δθ、と、前回のならい方向θ
ｎとを用いて、θｎ＋（１／ｎ）・Δθ→θｎ＋１によ
り今回のタイムスロットにおけるならい方向θｎ＋、を
演算する。
速度信号発生部ｌｉｅは各速度信号ＶＮ、Ｖ工とならい
方向信号θｎ＋１を用いて各軸の速度信号Ｖよ。
方向信号θｎ＋１を用いて各軸の速度信号Ｖよ。
ｖ２を発生し、該各軸方向のならい速度信号を用いて距
離測定プローブ１７を各軸方向に同時に移動させてモデ
ル面をならわせる。
離測定プローブ１７を各軸方向に同時に移動させてモデ
ル面をならわせる。
〈実施例〉
第２図は本発明にかかる非接触ならい方式の概略説明図
である。さて、非接触ならいとは、レーザ測長プローブ
のような非接触で距離が測定できるプローブセンサ（距
＃測定プローブ）ＰＢを用いて該プローブをモデルＭＤ
Ｌに接触させることなくモデル面をならわせるならい方
式である。
である。さて、非接触ならいとは、レーザ測長プローブ
のような非接触で距離が測定できるプローブセンサ（距
＃測定プローブ）ＰＢを用いて該プローブをモデルＭＤ
Ｌに接触させることなくモデル面をならわせるならい方
式である。
この非接触型の距離測定プローブＰＢは一般に基準圧Ｍ
Ｌ０を持っており、実際の測定距＃Ｌと基準圧＃Ｌ０の
差を誤差量ΔＬとして出力できろようになっている。尚
、非接触の距＃測定プローブとしては、たとえば光学的
三角測距方式を採用したものがあり、かかるプローブで
は発光素子（半導体レーザ）から出たレーザ光が投光レ
ンズを介してモデル表面に照射され、その際に拡散反射
した光線の一部が受光レンズを介して位置検出素子上に
スポットを作ゆ、該スポット位置がモデル表面比の距離
に応じて変化することにより距離が測定されるようにな
っている。
Ｌ０を持っており、実際の測定距＃Ｌと基準圧＃Ｌ０の
差を誤差量ΔＬとして出力できろようになっている。尚
、非接触の距＃測定プローブとしては、たとえば光学的
三角測距方式を採用したものがあり、かかるプローブで
は発光素子（半導体レーザ）から出たレーザ光が投光レ
ンズを介してモデル表面に照射され、その際に拡散反射
した光線の一部が受光レンズを介して位置検出素子上に
スポットを作ゆ、該スポット位置がモデル表面比の距離
に応じて変化することにより距離が測定されるようにな
っている。
今、第２図に示すようなモデルＭＤＬをなるものとし、
又Ａ、Ｂ、Ｃ点を適当に選ばれたサンプリング点とした
場合、まずＡ点での距＃Ｌ１（＝Ｌ０＋ΔＬ□）を測定
しこれが基準距離Ｌ０に比べてΔＬ、たけ誤差がある時
、その誤差分だけ測定軸方向（光軸方向）に補正動作を
掛けながら次のサンプリング点已に向かう。そして、Ｂ
点における誤差量ΔＬ２を求めて同様に該誤差分だけ補
正するように０点に向かい、以後同様な処理を行うこと
によりモデル面を非接触でならうことが出来ろ。
又Ａ、Ｂ、Ｃ点を適当に選ばれたサンプリング点とした
場合、まずＡ点での距＃Ｌ１（＝Ｌ０＋ΔＬ□）を測定
しこれが基準距離Ｌ０に比べてΔＬ、たけ誤差がある時
、その誤差分だけ測定軸方向（光軸方向）に補正動作を
掛けながら次のサンプリング点已に向かう。そして、Ｂ
点における誤差量ΔＬ２を求めて同様に該誤差分だけ補
正するように０点に向かい、以後同様な処理を行うこと
によりモデル面を非接触でならうことが出来ろ。
第１図は本発明方式を実現する装置のプローブ図であり
、１１はならい制御装置、１２２，１２Ｘはならい制御
装置から発生するデジタルの各軸速度信号ＶＮ、Ｖ２を
ＤＡ変換するＤＡ変換器、１３Ｚ、１３Ｘ１．を各軸ノ
サーホ回路、１４Ｚ。
、１１はならい制御装置、１２２，１２Ｘはならい制御
装置から発生するデジタルの各軸速度信号ＶＮ、Ｖ２を
ＤＡ変換するＤＡ変換器、１３Ｚ、１３Ｘ１．を各軸ノ
サーホ回路、１４Ｚ。
１４ＸはＺ軸及びＸ軸駆動用のモータ、１５Ｚ。
１５Ｘは対応するモータが所定角度回転する毎にパルス
Ｐ２． Ｐｘを発生する位置検出用のパルスコーダ、１
６Ｚ、１６Ｘは対応するパルスコーダから発生するパル
スを移動方向に応じて可逆計数して各軸現在位置（Ｘ、
＋、、 Ｚ、や、）を監視する各軸現在位置レジスタ、
１７はレーザを用いて非接触でモデル表面比の距離を測
定できる距離測定プローブである。
Ｐ２． Ｐｘを発生する位置検出用のパルスコーダ、１
６Ｚ、１６Ｘは対応するパルスコーダから発生するパル
スを移動方向に応じて可逆計数して各軸現在位置（Ｘ、
＋、、 Ｚ、や、）を監視する各軸現在位置レジスタ、
１７はレーザを用いて非接触でモデル表面比の距離を測
定できる距離測定プローブである。
ならい制御装置１１において、ｌｌａはならい方向θｎ
１を割り出す（予測する）ならい方向演算部、ｌｌｂは
測定距離りと基準圧ｇｉＬ０の差分ΔＬを演算する加算
器（尚、後述する距離測定プローブがΔＬを出力できろ
場合にはこの加算器は不要となる）、１１Ｃは法線方向
速度信号ｖＮを発生する速度信号発生部、１１ｄは接線
方向速度信号ＶＴを発生する速度信号発生部、１１ｅは
速度信号ｖ、１゜Ｖ工及びならい方向θｎ＋、を用いて
各軸方向速度信号ＶＮ、 Ｖ２を発生する速度信号発生
部である。
１を割り出す（予測する）ならい方向演算部、ｌｌｂは
測定距離りと基準圧ｇｉＬ０の差分ΔＬを演算する加算
器（尚、後述する距離測定プローブがΔＬを出力できろ
場合にはこの加算器は不要となる）、１１Ｃは法線方向
速度信号ｖＮを発生する速度信号発生部、１１ｄは接線
方向速度信号ＶＴを発生する速度信号発生部、１１ｅは
速度信号ｖ、１゜Ｖ工及びならい方向θｎ＋、を用いて
各軸方向速度信号ＶＮ、 Ｖ２を発生する速度信号発生
部である。
以下、第１図の全体的動作を説明する。
図示しない操作パネルからならい速度Ｖ。Ｍ。、ならい
範囲、ならい方法（表面ならいとする）等積々のならい
制御に必要なデータが入力された後、非接触ならいの起
動が掛かり、プローブ１７から測定距離りが入力される
と、加算器１１ｂは基準圧等り。と測定距ｇｌＬとの誤
差量ΔＬを計算して速度信号発生部１１ｃ、ｌｉｄに入
力する。
範囲、ならい方法（表面ならいとする）等積々のならい
制御に必要なデータが入力された後、非接触ならいの起
動が掛かり、プローブ１７から測定距離りが入力される
と、加算器１１ｂは基準圧等り。と測定距ｇｌＬとの誤
差量ΔＬを計算して速度信号発生部１１ｃ、ｌｉｄに入
力する。
速度信号発生部１１ｃ、ｌｌｄは第３図及び第４図に示
すΔＬ−ＶＮ特性、ΔＬ−ＶＴ特性に従って法線方向速
度信号ｖＮと接線方向速度信号ＶＴを発生する。
すΔＬ−ＶＮ特性、ΔＬ−ＶＴ特性に従って法線方向速
度信号ｖＮと接線方向速度信号ＶＴを発生する。
一方、ならい方向演算部１１ａは、非接触ならい開始か
らの時間を所定のサンプリング時間Ｔ９毎に分割する時
、前々回のタイムスロットにおけるならい方向θｎ−１
（第５図参照）と前回のタイムスロットにおけるならい
方向θ、との差分Δθｎ並びに前回のならい方向θｎを
用いて、 θ、＋（１／ｎ） ・Δθ、→θｎ１（１）（ｎは適
宜に決めた定数：通常１／２）により今回のタイムスロ
ットにおけるならい方向θｎ０を演算する。尚、現サン
プリング時刻Ｔ 、、、＋ １より２サンプリング時間
前の時刻Ｔ、、におけるプローブ位置をＰｎ−、（Ｘ、
、−１，Ｚ、、） 、１サンプリング時間前の時刻Ｔ、
におけるプば一ブ位置をｐ、 （ｘ、、 ｚ、）、現サ
ンプリング時刻のプローブ位置をｐ、、＋１（ｘｎ＋１
’ Ｚ＋、＋１’とすれば、ポイント Ｐ、、−、Ｐ、
間の傾斜角θｎ−１は次式 ％式％ により求まり、ポイントＰ、、Ｐ、、＋１間の傾斜角θ
ｎは次式 ％式％ により求まり、傾斜の増分Δθｎは次式θ −θ →
Δθ により求まる。
らの時間を所定のサンプリング時間Ｔ９毎に分割する時
、前々回のタイムスロットにおけるならい方向θｎ−１
（第５図参照）と前回のタイムスロットにおけるならい
方向θ、との差分Δθｎ並びに前回のならい方向θｎを
用いて、 θ、＋（１／ｎ） ・Δθ、→θｎ１（１）（ｎは適
宜に決めた定数：通常１／２）により今回のタイムスロ
ットにおけるならい方向θｎ０を演算する。尚、現サン
プリング時刻Ｔ 、、、＋ １より２サンプリング時間
前の時刻Ｔ、、におけるプローブ位置をＰｎ−、（Ｘ、
、−１，Ｚ、、） 、１サンプリング時間前の時刻Ｔ、
におけるプば一ブ位置をｐ、 （ｘ、、 ｚ、）、現サ
ンプリング時刻のプローブ位置をｐ、、＋１（ｘｎ＋１
’ Ｚ＋、＋１’とすれば、ポイント Ｐ、、−、Ｐ、
間の傾斜角θｎ−１は次式 ％式％ により求まり、ポイントＰ、、Ｐ、、＋１間の傾斜角θ
ｎは次式 ％式％ により求まり、傾斜の増分Δθｎは次式θ −θ →
Δθ により求まる。
速度信号発生部ｌｉｅはまず、各速度信号ｖＮ。
ｖＴとならい方向信号θｎ＋１を用いて、通常Ｖ −
ｃｏｓ θ →ｖ（２）Ｖ −５ｉｎ θ
→ｖ（３）に より各軸速度信号ｖｘ、ｖ２を発生し、該各軸方向（７
）ナライ速度信号ｖｘ、ｖ２ヲＤＡ変換ｗｊ１２Ｘ。
ｃｏｓ θ →ｖ（２）Ｖ −５ｉｎ θ
→ｖ（３）に より各軸速度信号ｖｘ、ｖ２を発生し、該各軸方向（７
）ナライ速度信号ｖｘ、ｖ２ヲＤＡ変換ｗｊ１２Ｘ。
１２Ｚ及びサーボ回路１３Ｘ、１３Ｚを介してモータ１
４Ｘ、１４Ｚに印加して距離測定プローブ１７を各軸方
向に同時に移動させモデル面をならわせる。尚、プロー
ブ１７はならい方向演算部１１ａで計算された方向θｎ
＋Ｉの方向に移動する。
４Ｘ、１４Ｚに印加して距離測定プローブ１７を各軸方
向に同時に移動させモデル面をならわせる。尚、プロー
ブ１７はならい方向演算部１１ａで計算された方向θｎ
＋Ｉの方向に移動する。
ところで、ならい方向θｎ□が正確にモデルＭＤＬのな
らい面の方向と一致していれば良いが、該計算されたな
らい方向はならい面の方向と異なり若干の誤差を含んで
いろ。このため、（２Ｌ（３１式で求まる各軸速度信号
ｖｘ、ｖ２によりモータ１４Ｘ。
らい面の方向と一致していれば良いが、該計算されたな
らい方向はならい面の方向と異なり若干の誤差を含んで
いろ。このため、（２Ｌ（３１式で求まる各軸速度信号
ｖｘ、ｖ２によりモータ１４Ｘ。
１４２ｉｔ駆動し続けると、プローブ１７がならい面か
らどんどん離れてしまうか、あるいはモデル面に接近、
接触してしまい、精度の高いならいができな（なる。そ
こで、本発明においては速度信号発生部ｌｉｅが以後所
定のサンプリング時間Ｔ、’ （Ｔ、’ ＜ＴＳであ
り、第６図に示す関係がある）毎に Ｖ ・ｅＱ３θ →ｖ（４） ＶＴ・ｓｉｎθ ＋Ｖ −Ｖ （５１により
各軸速度信号Ｖｘ、 ＶＮを発生し、該速度信号Ｖｘ、
Ｖ２ｅＤＡ変換器１２Ｘ、１２Ｚ及びサーボ回＃１３Ｘ
、１３Ｚを介してモータ１４Ｘ、１４Ｚに印加して距ｍ
測定プローブ１７を各軸方向に同時に移動させモデル面
をなられせろ。これによりＺ軸方向のプローブ位置がモ
デル表面から所定の距＃範囲に保持されるように制御さ
れろ。
らどんどん離れてしまうか、あるいはモデル面に接近、
接触してしまい、精度の高いならいができな（なる。そ
こで、本発明においては速度信号発生部ｌｉｅが以後所
定のサンプリング時間Ｔ、’ （Ｔ、’ ＜ＴＳであ
り、第６図に示す関係がある）毎に Ｖ ・ｅＱ３θ →ｖ（４） ＶＴ・ｓｉｎθ ＋Ｖ −Ｖ （５１により
各軸速度信号Ｖｘ、 ＶＮを発生し、該速度信号Ｖｘ、
Ｖ２ｅＤＡ変換器１２Ｘ、１２Ｚ及びサーボ回＃１３Ｘ
、１３Ｚを介してモータ１４Ｘ、１４Ｚに印加して距ｍ
測定プローブ１７を各軸方向に同時に移動させモデル面
をなられせろ。これによりＺ軸方向のプローブ位置がモ
デル表面から所定の距＃範囲に保持されるように制御さ
れろ。
以上から、第７図において１点鎖ｆｉｌｏ１で示す方向
をならい方向演算部１１ａで計算したならい方向（計算
通路）、実線１０２で示す方向をモデル表面に平行なな
らい面とすれば、点線１０３で示すよう、に、プローブ
は計算通路１０１に平行に移動するが、サンプリング時
刻ＴＳ′毎に位置が補正されてならい面１０２に戻され
る。従って、プローブはならい面１０２から許容される
所定の誤差範囲内に収まりながらモデルをならうことに
なる。
をならい方向演算部１１ａで計算したならい方向（計算
通路）、実線１０２で示す方向をモデル表面に平行なな
らい面とすれば、点線１０３で示すよう、に、プローブ
は計算通路１０１に平行に移動するが、サンプリング時
刻ＴＳ′毎に位置が補正されてならい面１０２に戻され
る。従って、プローブはならい面１０２から許容される
所定の誤差範囲内に収まりながらモデルをならうことに
なる。
尚、以上ではならい制御装置１１をハードウェア構成で
ブロック化して説明したが、マイクロコンピュータで構
成することもできろ。
ブロック化して説明したが、マイクロコンピュータで構
成することもできろ。
〈発明の効果〉
以上本発明によれば、非接触でならい制御ができろよう
に構成したから、検出センサの摩耗の問題がなくなると
共に、プローブの交換が不要となった。又、本発明によ
れば、ならい方向を演算する周期より短い周期で法線方
向信号ｖＮを求め、該ｖ、、に°基づいてＺ軸方向の速
度を補正するように構成したから、プローブを常に許容
誤差範囲内に位置させろことができ精度の高い非接触な
らいができるようになった。
に構成したから、検出センサの摩耗の問題がなくなると
共に、プローブの交換が不要となった。又、本発明によ
れば、ならい方向を演算する周期より短い周期で法線方
向信号ｖＮを求め、該ｖ、、に°基づいてＺ軸方向の速
度を補正するように構成したから、プローブを常に許容
誤差範囲内に位置させろことができ精度の高い非接触な
らいができるようになった。
第１図は本発明方式を実現する装置のブロック図、
第２図は非接触ならい方式の概略説明図、第３図及び第
４図は法線方向速度ｖ、４、接線方向速度ｖＴと誤差量
ΔＬとの関係特性図、第５図はならい方向演算説明図、 第６図はサンプリング時間Ｔ、、 Ｔ、’の関係説明図
、 第７図は本発明にかかる補正動作説明図である。 １１・・ならい制御装置、 １１ａ・・ならい方向演算部、 １１ｃ・・速度信号発生部、 ｌｉｄ・・速度信号発生部、 ｌｉｅ・・速度信号発生部 １４２．１４Ｘ・・Ｚ軸及びＸ軸駆動用モータ、１６２
．１６Ｘ・・各軸現在位置しジスク、１７・・距離測定
プローブ 特許出願人 ファナック株式会社代理人
弁理± １１１藤千幹り、神 第２図 第３図 第４図 第６図
４図は法線方向速度ｖ、４、接線方向速度ｖＴと誤差量
ΔＬとの関係特性図、第５図はならい方向演算説明図、 第６図はサンプリング時間Ｔ、、 Ｔ、’の関係説明図
、 第７図は本発明にかかる補正動作説明図である。 １１・・ならい制御装置、 １１ａ・・ならい方向演算部、 １１ｃ・・速度信号発生部、 ｌｉｄ・・速度信号発生部、 ｌｉｅ・・速度信号発生部 １４２．１４Ｘ・・Ｚ軸及びＸ軸駆動用モータ、１６２
．１６Ｘ・・各軸現在位置しジスク、１７・・距離測定
プローブ 特許出願人 ファナック株式会社代理人
弁理± １１１藤千幹り、神 第２図 第３図 第４図 第６図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 非接触で距離を測定できる距離測定プローブによりモデ
ル面をならわせる非接触ならい方式において、 基準距離と実際の測定距離との誤差量ΔＬを用いて法線
方向速度信号Ｖ＿Ｎと接線方向速度信号Ｖ＿Ｔを発生す
ると共に、 前々回のタイムスロットにおけるならい方向θ＿ｎ＿−
＿１と前回のタイムスロットにおけるならい方向θ＿ｎ
との差分Δθ＿ｎと、前回のならい方向θ＿ｎとを用い
て今回のタイムスロットにおけるならい方向θ＿ｎ＿＋
＿１を演算し、 前記各速度信号とならい方向信号を用いて各軸の速度信
号を発生し、 該各軸方向のならい速度信号を用いて距離測定プローブ
を各軸方向に同時に移動させてモデル面をならわせるこ
とを特徴とする非接触ならい方式。 （２）θ＿ｎ＋（１／ｎ）・Δθ＿ｎ→θ＿ｎ＿＋＿１
（ｎは定数）により今回のタイムスロットにおけるなら
い方向θ＿ｎ＿＋＿１を演算することを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の非接触ならい方式。 （３）ならい方向を演算する周期より短い周期でＶ＿Ｔ
・ｃｏｓθ＿ｎ＿＋＿１→Ｖ＿Ｘ Ｖ＿Ｔ・ｓｉｎθ＿ｎ＿＋＿１＋Ｖ＿Ｎ→Ｖ＿Ｚにより
各軸速度信号を発生してプローブ位置を移動させること
を特徴とする特許請求の範囲第２項記載の非接触ならい
方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12903287A JPS63295161A (ja) | 1987-05-26 | 1987-05-26 | 非接触ならい方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12903287A JPS63295161A (ja) | 1987-05-26 | 1987-05-26 | 非接触ならい方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63295161A true JPS63295161A (ja) | 1988-12-01 |
Family
ID=14999429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12903287A Pending JPS63295161A (ja) | 1987-05-26 | 1987-05-26 | 非接触ならい方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63295161A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02165842A (ja) * | 1988-12-20 | 1990-06-26 | Aisin Takaoka Ltd | 砂型変形検査方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60127987A (ja) * | 1983-12-14 | 1985-07-08 | 株式会社日立製作所 | ならい制御方法および装置 |
-
1987
- 1987-05-26 JP JP12903287A patent/JPS63295161A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60127987A (ja) * | 1983-12-14 | 1985-07-08 | 株式会社日立製作所 | ならい制御方法および装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02165842A (ja) * | 1988-12-20 | 1990-06-26 | Aisin Takaoka Ltd | 砂型変形検査方法 |
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