JPS63295614A - カラーフィルター形成用有機ガラス組成物およびカラーフィルター形成用有機ガラス層を形成する方法 - Google Patents
カラーフィルター形成用有機ガラス組成物およびカラーフィルター形成用有機ガラス層を形成する方法Info
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- JPS63295614A JPS63295614A JP62129821A JP12982187A JPS63295614A JP S63295614 A JPS63295614 A JP S63295614A JP 62129821 A JP62129821 A JP 62129821A JP 12982187 A JP12982187 A JP 12982187A JP S63295614 A JPS63295614 A JP S63295614A
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- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D133/00—Coating compositions based on homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by only one carboxyl radical, or of salts, anhydrides, esters, amides, imides, or nitriles thereof; Coating compositions based on derivatives of such polymers
- C09D133/04—Homopolymers or copolymers of esters
- C09D133/14—Homopolymers or copolymers of esters of esters containing halogen, nitrogen, sulfur or oxygen atoms in addition to the carboxy oxygen
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C09D133/06—Homopolymers or copolymers of esters of esters containing only carbon, hydrogen and oxygen, the oxygen atom being present only as part of the carboxyl radical
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- C09D133/12—Homopolymers or copolymers of methyl methacrylate
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は有機ガラス膜形成用組成物に関し、特に固体撮
像素子上に形成される有機カラーフィルターの耐染色性
層に利用される有機ガラ子組成物に関する。
像素子上に形成される有機カラーフィルターの耐染色性
層に利用される有機ガラ子組成物に関する。
固体撮像素子の研究開発は近年めざましい進歩をとげて
いる。この固体撮像素子では管球と異なり１画素と正確
にマツチしたマトリックスカラーフィルターが適用でき
、このカラーフィルターの配列の工夫によりカラー化し
てもモノクロ素子として用いた場合と同程度の解像度を
得られるという特徴を有している。
いる。この固体撮像素子では管球と異なり１画素と正確
にマツチしたマトリックスカラーフィルターが適用でき
、このカラーフィルターの配列の工夫によりカラー化し
てもモノクロ素子として用いた場合と同程度の解像度を
得られるという特徴を有している。
この固体撮像素子に求められる基本特性は感度と解像度
であり、この基本特性を向上させるためにこれまで固体
撮像素子の方式として種々のものが提案されているが、
低雑音化が容易という点でＣＣＤ （Ｃｈａｒｇｅ Ｃ
ｏｕｐｌｅｄ （ｌｅｖｉｃａ）撮像素子が広く用いら
れている。このＣＣＤｍ像素子は完全なアナログ素子で
あるため１画素間にバラツキが少しでもあれば、それが
画素に乱れとして現れる。そのため撮像素子をバラツキ
のない画素として歩留りよく製造するには、加工技術や
材料品質において極度の均一性が要求されている。
であり、この基本特性を向上させるためにこれまで固体
撮像素子の方式として種々のものが提案されているが、
低雑音化が容易という点でＣＣＤ （Ｃｈａｒｇｅ Ｃ
ｏｕｐｌｅｄ （ｌｅｖｉｃａ）撮像素子が広く用いら
れている。このＣＣＤｍ像素子は完全なアナログ素子で
あるため１画素間にバラツキが少しでもあれば、それが
画素に乱れとして現れる。そのため撮像素子をバラツキ
のない画素として歩留りよく製造するには、加工技術や
材料品質において極度の均一性が要求されている。
ところで、ＣＣＤ撮像素子を利用したカラーフィルター
は、通常ＣＣＤ撮像素子上に直接色分解有機カラーフィ
ルター暦を形成することによって作成される。具体的に
は、ＣＣＤ撮像素子上に平坦化を目的としたポリマ一層
を形成させたのち、その上にパターン化した染色層を設
け１次いで透明な耐染色性絶縁層を形成させ、その上に
同様にして次の染色層を形成するというプロセスを繰り
返すことにより作成されている。
は、通常ＣＣＤ撮像素子上に直接色分解有機カラーフィ
ルター暦を形成することによって作成される。具体的に
は、ＣＣＤ撮像素子上に平坦化を目的としたポリマ一層
を形成させたのち、その上にパターン化した染色層を設
け１次いで透明な耐染色性絶縁層を形成させ、その上に
同様にして次の染色層を形成するというプロセスを繰り
返すことにより作成されている。
この場合、耐染色性絶縁層の選択が高品質のカラーフィ
ルターを作成する上で重要な要素となっており、特に染
色ＮＪ間の経時的な色のにじみや染色層間の位置ズレを
防止するという重要な役割を有している。また、耐染色
性絶縁層は、耐染色性、基板及び染色層との接着性、透
明性、耐現像性、塗膜性が良好であることが必要とされ
、種々の有機ガラス膜が使用されている。
ルターを作成する上で重要な要素となっており、特に染
色ＮＪ間の経時的な色のにじみや染色層間の位置ズレを
防止するという重要な役割を有している。また、耐染色
性絶縁層は、耐染色性、基板及び染色層との接着性、透
明性、耐現像性、塗膜性が良好であることが必要とされ
、種々の有機ガラス膜が使用されている。
この耐染色性絶縁層を形成する有機ガラス膜としては、
アクリル酸のグリシジルエステル又はメタクリル酸のグ
リシジルエステルと２−ヒドロキシエチルアクリレート
又は２−ヒドロキシエチルメタクリレート及び桂皮酸ク
ロリド又はその誘導体の反応物とを７ゾビスイソブチロ
ニトリル、過酸化ベンゾイルなどのラジカル重合開始剤
を使用し、ラジカル共重合させたポリマー（特開昭６１
−１８０２３５号公報）や、ポリメチルメタクリレート
などが知られているが、これらは前記した耐染色性絶縁
層として必要な性質のすべてを満足するものでなく、上
記特開昭６１−１８０２３５号公報に記載されたポリマ
ーから得られる耐染色性絶縁層では、染色層間の位置ズ
レを生じやすく、またポリメチルメタクリレートは染色
層とのｍＭ性が悪いため、ともに実用性の高い耐染色性
絶縁層形成用の有機ガラス膜ではない。
アクリル酸のグリシジルエステル又はメタクリル酸のグ
リシジルエステルと２−ヒドロキシエチルアクリレート
又は２−ヒドロキシエチルメタクリレート及び桂皮酸ク
ロリド又はその誘導体の反応物とを７ゾビスイソブチロ
ニトリル、過酸化ベンゾイルなどのラジカル重合開始剤
を使用し、ラジカル共重合させたポリマー（特開昭６１
−１８０２３５号公報）や、ポリメチルメタクリレート
などが知られているが、これらは前記した耐染色性絶縁
層として必要な性質のすべてを満足するものでなく、上
記特開昭６１−１８０２３５号公報に記載されたポリマ
ーから得られる耐染色性絶縁層では、染色層間の位置ズ
レを生じやすく、またポリメチルメタクリレートは染色
層とのｍＭ性が悪いため、ともに実用性の高い耐染色性
絶縁層形成用の有機ガラス膜ではない。
本発明者らは、耐染色性絶縁層に使用されている従来の
有機ガラス膜の欠点を解消させた有機ガラス膜形成用組
成物の提供を目的として鋭意研究を重ねた結果、グリシ
ジルメタクリレートとメチルメタクリレートとの共重合
体から成る有機ガラス膜が、その目的を達成できること
を見いだし、本発明をなすに至った。
有機ガラス膜の欠点を解消させた有機ガラス膜形成用組
成物の提供を目的として鋭意研究を重ねた結果、グリシ
ジルメタクリレートとメチルメタクリレートとの共重合
体から成る有機ガラス膜が、その目的を達成できること
を見いだし、本発明をなすに至った。
本発明はグリシジルメタクリレートとメチルメタクリレ
ートとの共重合体から成るカラーフィルター形成用有機
ガラス組成物である。
ートとの共重合体から成るカラーフィルター形成用有機
ガラス組成物である。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明のカラフィルタ−形成用有機ガラス組成物は、グ
リシジルメタクリレート（以下、ＧＭＡと略す）とメチ
ルメタクリレート（以下、ＭＭＡと略す）との共重合体
を含むものであり、ＧＭＡとＭＭＡとの配合割合として
は１重量比で２二８から８：２までの範囲が好ましく、
このＷＡ曲をはずれると実用性の高い有機ガラス膜は形
成できない。
リシジルメタクリレート（以下、ＧＭＡと略す）とメチ
ルメタクリレート（以下、ＭＭＡと略す）との共重合体
を含むものであり、ＧＭＡとＭＭＡとの配合割合として
は１重量比で２二８から８：２までの範囲が好ましく、
このＷＡ曲をはずれると実用性の高い有機ガラス膜は形
成できない。
本発明が目的とする染色層間の位置ズレ防止および染色
層との接着性向上などを満足する耐染色性絶縁層形成用
の有機ガラス膜は、ＧＭＡとＭＭＡの共重合体であり、
これは公知の方法に従いラジカル共重合することによっ
て得ることができる。こうして得られる共重合体の分子
量としては、５万から５５万までのものが使用できるが
、有機ガラス膜を形成するための塗布液を実用的に調製
するには、特に１５万から４０万までの範囲のものが好
ましく、さらにその分散度は１．０５から３．５０まで
の範囲のものが好ましく使用できる。
層との接着性向上などを満足する耐染色性絶縁層形成用
の有機ガラス膜は、ＧＭＡとＭＭＡの共重合体であり、
これは公知の方法に従いラジカル共重合することによっ
て得ることができる。こうして得られる共重合体の分子
量としては、５万から５５万までのものが使用できるが
、有機ガラス膜を形成するための塗布液を実用的に調製
するには、特に１５万から４０万までの範囲のものが好
ましく、さらにその分散度は１．０５から３．５０まで
の範囲のものが好ましく使用できる。
本発明の組成物は１通常は、上記共重合体を有機溶剤に
溶解した塗布液として調製するのが好ましく、このよう
な有機溶剤としては、例えばアセトン、メチルエチルケ
トン、シクロヘキサノン、イソアミルケトンなどのケト
ン類。
溶解した塗布液として調製するのが好ましく、このよう
な有機溶剤としては、例えばアセトン、メチルエチルケ
トン、シクロヘキサノン、イソアミルケトンなどのケト
ン類。
エチレングリコール、エチレングリコールモノアセテー
ト、ジエチレグリコール又はジエチレングリコールモノ
アセテートのモノメチルエーテル。
ト、ジエチレグリコール又はジエチレングリコールモノ
アセテートのモノメチルエーテル。
モノエチルエーテル、モノグロビルエーテル、モツプチ
ルエーテル又はモノフェニルエーテルなどの多価アルコ
ール類及びその誘導体、 プロピレングリコールのメチル、エチル又はブチルエー
テル、プロピレングリコールのメチル、エチル又はブチ
ルエーテルアセテートなどのグリコール誘導体 を挙げることができる。
ルエーテル又はモノフェニルエーテルなどの多価アルコ
ール類及びその誘導体、 プロピレングリコールのメチル、エチル又はブチルエー
テル、プロピレングリコールのメチル、エチル又はブチ
ルエーテルアセテートなどのグリコール誘導体 を挙げることができる。
これらの溶剤は単独で用いてもよいし、２種以上混合し
て用いてもよい。
て用いてもよい。
（使用方法）
調製された有機ガラス膜形成用塗布液の使用方法として
は、シリコンウェハーに形成された撮像素子上に平坦化
を目的としたポリマ一層を形成したのち、ゼラチン、カ
ゼイン、グリユー、ポリビニルアルコールなどと重クロ
ム酸塩の混合物である水溶性の感光性物質から成る被染
色層を形成させ、所定のパターンに露光し、現像したの
ち、染色を施し、パターン化した染色層を形成する０次
いで、全面に本発明の有機ガラス膜形成用の塗布液をス
ピンナー法、浸漬性、スプレー法などの慣用方法により
全面塗布し、１５０℃から２００℃までの温度で乾燥さ
せることによって透明な有機ガラス膜から成る耐染色性
絶縁層が形成できる。
は、シリコンウェハーに形成された撮像素子上に平坦化
を目的としたポリマ一層を形成したのち、ゼラチン、カ
ゼイン、グリユー、ポリビニルアルコールなどと重クロ
ム酸塩の混合物である水溶性の感光性物質から成る被染
色層を形成させ、所定のパターンに露光し、現像したの
ち、染色を施し、パターン化した染色層を形成する０次
いで、全面に本発明の有機ガラス膜形成用の塗布液をス
ピンナー法、浸漬性、スプレー法などの慣用方法により
全面塗布し、１５０℃から２００℃までの温度で乾燥さ
せることによって透明な有機ガラス膜から成る耐染色性
絶縁層が形成できる。
その後、この耐染色性絶縁層の上に上記と同様にパター
ン化された染色層を形成させ、さらに、その上に耐染色
性絶縁層を形成させるという操作を繰り返すことによっ
て撮ＦＩｌ素子とマツチしたカラーフィルターが作成で
きる。また、撮像素子上に形成される平坦化を目的とし
たポリマ一層にも。
ン化された染色層を形成させ、さらに、その上に耐染色
性絶縁層を形成させるという操作を繰り返すことによっ
て撮ＦＩｌ素子とマツチしたカラーフィルターが作成で
きる。また、撮像素子上に形成される平坦化を目的とし
たポリマ一層にも。
本発明の有機ガラス膜形成用塗布液を使用することがで
きる。
きる。
以下、本発明の有機ガラス膜形成用組成物を用いたカラ
ーフィルターの一例を、図面を用いて更に詳細に説明す
る。
ーフィルターの一例を、図面を用いて更に詳細に説明す
る。
図中の１はシリコンウェハー、２は光検知部。
３は保護膜、４は平坦化層、５は感光性物質から成る被
染色層、５′はパターン化された染色層、６はパターン
マスク、７は耐染色性絶縁層、８はパターン化された第
２の染色層、９は第２の耐染色性絶縁層をそれぞれ示す
。
染色層、５′はパターン化された染色層、６はパターン
マスク、７は耐染色性絶縁層、８はパターン化された第
２の染色層、９は第２の耐染色性絶縁層をそれぞれ示す
。
本発明の対象とするカラーフィルターは、その基体とな
る撮像素子上に直接形成されるもので。
る撮像素子上に直接形成されるもので。
耐染色性絶縁層とパターン化された染色層とから構成さ
れる。撮像素子は１例えばシリコンウェハー１に光検知
部２が設けられ、その上面にリンガラス、石英などの保
護膜３が設けられた構造とされている［第１図（ａ）］
。
れる。撮像素子は１例えばシリコンウェハー１に光検知
部２が設けられ、その上面にリンガラス、石英などの保
護膜３が設けられた構造とされている［第１図（ａ）］
。
この撮像素子の保！Ｉ膜３の上に０．２ｇｍ厚から２．
０４℃厚までの平坦化層４を形成する。この平坦化層と
しては、本発明の有機ガラス膜形成用組成物を使用する
のが好ましい、この暦によって撮像素子の表面が平坦化
される［第１図（ｂ）］ 、次いで、平坦化層４上に前
述した水溶性の感光性物質から成る被染色層５を０．Ｉ
ＩＬｍ厚から２．０Ｂｍ厚までの厚さに形成させる［第
１図（Ｃ）］、そして、パターン化された染色層５′を
形成するために、感光性物質から成る被染色層５上に所
定のパターンマスク６を介して活性光線を照射する〔第
１図（ｄ）］ 、次いで、水で感光性物質層を現像する
ことによって活性光線の未照射部を除去し、得られたパ
ターンを染料で公知の方法により染色することによって
パターン化された染色層５′を形成する［第１図（ｅ）
］。
０４℃厚までの平坦化層４を形成する。この平坦化層と
しては、本発明の有機ガラス膜形成用組成物を使用する
のが好ましい、この暦によって撮像素子の表面が平坦化
される［第１図（ｂ）］ 、次いで、平坦化層４上に前
述した水溶性の感光性物質から成る被染色層５を０．Ｉ
ＩＬｍ厚から２．０Ｂｍ厚までの厚さに形成させる［第
１図（Ｃ）］、そして、パターン化された染色層５′を
形成するために、感光性物質から成る被染色層５上に所
定のパターンマスク６を介して活性光線を照射する〔第
１図（ｄ）］ 、次いで、水で感光性物質層を現像する
ことによって活性光線の未照射部を除去し、得られたパ
ターンを染料で公知の方法により染色することによって
パターン化された染色層５′を形成する［第１図（ｅ）
］。
次いで全面に本発明の有機ガラス膜形成用塗布液を塗布
し、乾燥することによって耐染色性絶縁層７を形成する
［第１図（ｆ）］、そしてｉｉ１図（Ｃ）から（ｆ）ま
での操作を繰り返すことによって第１図（ｇ）で示した
カラーフィルターを作成できる。
し、乾燥することによって耐染色性絶縁層７を形成する
［第１図（ｆ）］、そしてｉｉ１図（Ｃ）から（ｆ）ま
での操作を繰り返すことによって第１図（ｇ）で示した
カラーフィルターを作成できる。
合成例１
グリシジルメタクリレート１００ｇとメチルメタクリレ
−）１００ｇとを混合し、Ｎ、Ｎ′−アゾビスイソブチ
ロニトリル０．５ｇを加えて窒素ガス雰囲気中でかきま
ぜながら６０℃で約７時間反応させた０反応終了後１反
応物をメタノールＩｌｌ中に注加してポリマーを析出さ
せ、得られたポリマーを室温下で減圧乾燥した。ポリマ
ーの収量は１５０ｇであり、 ｊｆ！ｆａｔ平均分子７
１（Ｍｗ）は３６万で、分散度は１．７であった。
−）１００ｇとを混合し、Ｎ、Ｎ′−アゾビスイソブチ
ロニトリル０．５ｇを加えて窒素ガス雰囲気中でかきま
ぜながら６０℃で約７時間反応させた０反応終了後１反
応物をメタノールＩｌｌ中に注加してポリマーを析出さ
せ、得られたポリマーを室温下で減圧乾燥した。ポリマ
ーの収量は１５０ｇであり、 ｊｆ！ｆａｔ平均分子７
１（Ｍｗ）は３６万で、分散度は１．７であった。
実施例１
合成例１で得たグリシジルメタクリレートとメチルメタ
クリレートとの共重合体ｌｏｇをエチレングリコールモ
ノエチルエーテルアセテート１００ｇに溶解し、メンブ
ランフィルタ−でろ過して微細な不純物を除去すること
によって有機ガラス形成用の塗布液を調製した。
クリレートとの共重合体ｌｏｇをエチレングリコールモ
ノエチルエーテルアセテート１００ｇに溶解し、メンブ
ランフィルタ−でろ過して微細な不純物を除去すること
によって有機ガラス形成用の塗布液を調製した。
シリコンウェハー上に光検知部とこれらを駆動する駆動
回路、さらに保護層としてリンガラス層を設けた撮像素
子の上に、上記塗布液を膜厚が２．０７ｚｍになるよう
にスピンナー塗布して、１７０℃で３０分間乾燥するこ
とによって平坦化層を形成した６次いで、この平坦化層
上にカゼイン系の感光性水溶液であるＣＦＲ〜１０００
（東京応化工業社製）を膜厚がＩｇｍとなるように塗
布し、７０℃で３０分間乾燥後、所定のパターンを有す
るマスクを通して活性光線を照射し、３０℃の純水で３
０秒間現像した０次いで１２０℃で１５分間加熱してカ
ゼイン膜を硬化させ、酢酸でＰＨ４に調整したカヤノー
ルイエローＮ５Ｇ （ＩＥ本化薬社製）の約０．１重量
％水溶液中に６５°Ｃで１分間浸漬し、カゼイン膜を染
色することによって染色層を形成した。 次いで、再び
上記塗布液をＩｇｍの膜厚になるようにスピンナー塗布
し、１７０℃で３０分間乾燥後、上記と同様にしてパタ
ーン化したカゼイン膜を形成させ、酢酸でｐＨ４に調整
したグイアクロンターキスブルーＧＦ（三菱化成工業社
製）の約０．３重量％水溶液中に６５℃で１分間浸漬し
、そのカゼイン膜のみを染色することによって染色層を
形成した０次いで、その上に、上記塗布液を膜厚０．５
ｐｍとなるようにスピンナー法により塗布、乾燥するこ
とにより、カラーフィルターが直付けされた撮像素子が
得られた。
回路、さらに保護層としてリンガラス層を設けた撮像素
子の上に、上記塗布液を膜厚が２．０７ｚｍになるよう
にスピンナー塗布して、１７０℃で３０分間乾燥するこ
とによって平坦化層を形成した６次いで、この平坦化層
上にカゼイン系の感光性水溶液であるＣＦＲ〜１０００
（東京応化工業社製）を膜厚がＩｇｍとなるように塗
布し、７０℃で３０分間乾燥後、所定のパターンを有す
るマスクを通して活性光線を照射し、３０℃の純水で３
０秒間現像した０次いで１２０℃で１５分間加熱してカ
ゼイン膜を硬化させ、酢酸でＰＨ４に調整したカヤノー
ルイエローＮ５Ｇ （ＩＥ本化薬社製）の約０．１重量
％水溶液中に６５°Ｃで１分間浸漬し、カゼイン膜を染
色することによって染色層を形成した。 次いで、再び
上記塗布液をＩｇｍの膜厚になるようにスピンナー塗布
し、１７０℃で３０分間乾燥後、上記と同様にしてパタ
ーン化したカゼイン膜を形成させ、酢酸でｐＨ４に調整
したグイアクロンターキスブルーＧＦ（三菱化成工業社
製）の約０．３重量％水溶液中に６５℃で１分間浸漬し
、そのカゼイン膜のみを染色することによって染色層を
形成した０次いで、その上に、上記塗布液を膜厚０．５
ｐｍとなるようにスピンナー法により塗布、乾燥するこ
とにより、カラーフィルターが直付けされた撮像素子が
得られた。
このカラーフィルターが直付けされた撮像素子を電子顕
微鏡により直上より観察したところ、光検知部とパター
ン化された染色層の間にズレはなく、撮像素子と正確に
マツチしたカラーフィルターであった。
微鏡により直上より観察したところ、光検知部とパター
ン化された染色層の間にズレはなく、撮像素子と正確に
マツチしたカラーフィルターであった。
実施例２〜９、比較例１〜５
グリシジルメタクリレートとメチルメタクリレートとの
重量比をかえた以外は合成例１と同様の操作により合成
した共重合体を使用して、実施例１と同様の操作により
カラーフィルターが直付けされた撮像素子を作成し、そ
の撮像素子と染色層との間のズレと、染色層のハガレと
を観察した。その結果をｔＪＳ１表に示す。
重量比をかえた以外は合成例１と同様の操作により合成
した共重合体を使用して、実施例１と同様の操作により
カラーフィルターが直付けされた撮像素子を作成し、そ
の撮像素子と染色層との間のズレと、染色層のハガレと
を観察した。その結果をｔＪＳ１表に示す。
本発明の有機ガラス膜形成用組成物から得られる有機ガ
ラス膜は、染色層のズレを防止し、かつ染色層との接着
性も高いため、これを使用すれば極めて高品質のカラー
フィルターを作成することができる。
ラス膜は、染色層のズレを防止し、かつ染色層との接着
性も高いため、これを使用すれば極めて高品質のカラー
フィルターを作成することができる。
第１図は、本発明の有機ガラス膜形成用組成物の使用方
法を説明する説明図である。 図中の１はシリコンウェハー、２は光検知部、３は保護
膜、４は平坦化層、５は感光性物質から成る被染色層、
５′はパターン化された染色層、６はパターンマスク、
７は耐染色性絶縁層、８はパターン化された第２の染色
層、９は第２の耐染色性絶縁層をそれぞれ示す。
法を説明する説明図である。 図中の１はシリコンウェハー、２は光検知部、３は保護
膜、４は平坦化層、５は感光性物質から成る被染色層、
５′はパターン化された染色層、６はパターンマスク、
７は耐染色性絶縁層、８はパターン化された第２の染色
層、９は第２の耐染色性絶縁層をそれぞれ示す。
Claims (1)
- グリシジルメタクリレートとメチルメタクリレートとの
共重合体から成るカラーフィルター形成用有機ガラス組
成物。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12982187A JPH07104447B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | カラーフィルター形成用有機ガラス組成物およびカラーフィルター形成用有機ガラス層を形成する方法 |
| KR1019880005651A KR880014661A (ko) | 1987-05-28 | 1988-05-14 | 고체 촬상소자용의 칼라 필터의 고품질의 내염색성 절연막 |
| GB8812485A GB2206593B (en) | 1987-05-28 | 1988-05-26 | High quality dye resistant insulation film for a colour filter for use in a solid-state image pickup element |
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