JPS63298705A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPS63298705A JPS63298705A JP12963887A JP12963887A JPS63298705A JP S63298705 A JPS63298705 A JP S63298705A JP 12963887 A JP12963887 A JP 12963887A JP 12963887 A JP12963887 A JP 12963887A JP S63298705 A JPS63298705 A JP S63298705A
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- magnetic
- magnetic core
- track width
- core
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3113—Details for improving the magnetic domain structure or avoiding the formation or displacement of undesirable magnetic domains
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
本発明は磁気記録再生装置に設けられ、記録媒体に対し
て情報の記録再生を行う薄膜磁気ヘッドに関する。
て情報の記録再生を行う薄膜磁気ヘッドに関する。
(従来の技術)
磁気ディスクや磁気テープに・対し情報の記録再生を行
う磁気記録再生装置においては、近年磁気記録の高密度
化にともない従来のフェライトなどのバルク材料を用い
た磁気ヘッドに代り、薄膜プロセスにより製造される薄
膜磁気ヘッドが用いられる傾向にある。
う磁気記録再生装置においては、近年磁気記録の高密度
化にともない従来のフェライトなどのバルク材料を用い
た磁気ヘッドに代り、薄膜プロセスにより製造される薄
膜磁気ヘッドが用いられる傾向にある。
この薄膜磁気ヘッドは従来は第8図乃至第10図に示す
ように構成されていた。すなわち、Mo−2oフエライ
トなどからなる基板1上にNiFeなど磁性体からなる
下部磁気コア2が形成されており、この下部磁気コア2
上にCuなどの導電性部材からなるコイル3が形成され
ている。また前記下部磁気コア2上には同様にNiFe
などの磁性体からなる上部磁気コア4が形成されており
、この上部磁気コア2の一部が前記コイル3の一部をS
io2などからなる絶縁層5を介して被覆している。こ
れらの上部磁気コア4及び下部磁気コア2の磁化容易軸
はそれぞれ矢印A、Bで示すようにトラック幅方向にな
るように形成されている。
ように構成されていた。すなわち、Mo−2oフエライ
トなどからなる基板1上にNiFeなど磁性体からなる
下部磁気コア2が形成されており、この下部磁気コア2
上にCuなどの導電性部材からなるコイル3が形成され
ている。また前記下部磁気コア2上には同様にNiFe
などの磁性体からなる上部磁気コア4が形成されており
、この上部磁気コア2の一部が前記コイル3の一部をS
io2などからなる絶縁層5を介して被覆している。こ
れらの上部磁気コア4及び下部磁気コア2の磁化容易軸
はそれぞれ矢印A、Bで示すようにトラック幅方向にな
るように形成されている。
磁気ヘッドの記録再生特性は磁気コアの磁気抵抗が小さ
い程良い。この磁気抵抗Rは次式(1)で与えら、れる
。
い程良い。この磁気抵抗Rは次式(1)で与えら、れる
。
R−1/μS ・・・・・・(1)ここでlは平均
磁路長、Sは磁気コアの断面積、μは磁気コアの透磁率
である。従って良好な記録再生特性を得るためには、平
均磁路長lを短かくし、磁気コアの断面積Sを大きくし
、かつ透磁率μの大きい磁性材料を用いることが望まし
い。しかしながら薄膜磁気ヘッドにおいては、磁気コア
の磁気特性はその磁区構造に大きく影響されるため、磁
気コアに透磁率の大きい材料を用いるだけ −では不十
分であり、磁気コアの磁区構造を制御する必要がある。
磁路長、Sは磁気コアの断面積、μは磁気コアの透磁率
である。従って良好な記録再生特性を得るためには、平
均磁路長lを短かくし、磁気コアの断面積Sを大きくし
、かつ透磁率μの大きい磁性材料を用いることが望まし
い。しかしながら薄膜磁気ヘッドにおいては、磁気コア
の磁気特性はその磁区構造に大きく影響されるため、磁
気コアに透磁率の大きい材料を用いるだけ −では不十
分であり、磁気コアの磁区構造を制御する必要がある。
磁性体の磁化は磁区を区分する磁壁の移動と磁化回転と
により発生するが、高周波信号に対しては磁壁移動が追
随できないため高周波域の磁化は主として磁化回転によ
り起る。このため薄膜磁気ヘッドでは磁気コアに一軸異
方性をもたせ、第8図に矢印A、Bで示すように磁化容
易軸がトラック幅方向になるように磁気コアを形成して
いる。
により発生するが、高周波信号に対しては磁壁移動が追
随できないため高周波域の磁化は主として磁化回転によ
り起る。このため薄膜磁気ヘッドでは磁気コアに一軸異
方性をもたせ、第8図に矢印A、Bで示すように磁化容
易軸がトラック幅方向になるように磁気コアを形成して
いる。
このように形成された第8図に示す上部磁気コア4の磁
区構造は、消磁状態では例えば第11図(a)に示すよ
うに、磁壁6でトラック幅方向にほぼ平行に仕切られた
複数個の磁区7と、これらの磁区7の外側に形成されト
ラック幅方向と直角の方向に磁気モーメントを持つ複数
個の三角形状の磁区8とにより構成されている。しかし
前記磁気コア4に磁気コア長手方向に数100eの磁界
を印加し、次にこの磁界を取り去ると、この磁気コア4
の磁区構造は例えば第11図(b)に示すように変化す
る。
区構造は、消磁状態では例えば第11図(a)に示すよ
うに、磁壁6でトラック幅方向にほぼ平行に仕切られた
複数個の磁区7と、これらの磁区7の外側に形成されト
ラック幅方向と直角の方向に磁気モーメントを持つ複数
個の三角形状の磁区8とにより構成されている。しかし
前記磁気コア4に磁気コア長手方向に数100eの磁界
を印加し、次にこの磁界を取り去ると、この磁気コア4
の磁区構造は例えば第11図(b)に示すように変化す
る。
同様に100 Qe程度の磁界を印加した後にこの磁界
を取り去り磁気コア4の磁極構造を観察すると、例えば
第11図(C)に示すように変化する。
を取り去り磁気コア4の磁極構造を観察すると、例えば
第11図(C)に示すように変化する。
上記のように磁気コアの磁極構造は非常に不安定であり
、この不安定の度合はトラック幅が狭くなる程激しい。
、この不安定の度合はトラック幅が狭くなる程激しい。
このように磁区構造が不安定な結果、再生信号にウイグ
ルズと呼ばれる再生波形歪や再生出力変動が発生し、薄
膜磁気ヘッドの信頼性を低下させるという問題があった
。またトラック幅が極端に狭くなると、磁気コアの磁区
構造は第11図(d)に示すように前記磁区8の占める
面積の割合が大きくなる。この結果実質的な透磁率は小
さくなり、単位トラック幅当りの再生出力が極端に小さ
くなるため、トラック幅はあまり小さくできないという
問題もあった。
ルズと呼ばれる再生波形歪や再生出力変動が発生し、薄
膜磁気ヘッドの信頼性を低下させるという問題があった
。またトラック幅が極端に狭くなると、磁気コアの磁区
構造は第11図(d)に示すように前記磁区8の占める
面積の割合が大きくなる。この結果実質的な透磁率は小
さくなり、単位トラック幅当りの再生出力が極端に小さ
くなるため、トラック幅はあまり小さくできないという
問題もあった。
(発明が解決しようとする問題点)
本発明は従来の薄膜磁気ヘッドで問題であった磁区構造
が非常に不安定なため、再生波形歪や再生出力変動が発
生し、また狭トラツク薄膜磁気ヘッドでは十分な再生出
力が得られないという問題を解決し、再生波形歪と再生
・出力変動の発生を防止し、狭トラツクの場合にも再生
出力の減少を最小限に抑えることのできる薄膜磁気ヘッ
ドを提供することを目的とする。
が非常に不安定なため、再生波形歪や再生出力変動が発
生し、また狭トラツク薄膜磁気ヘッドでは十分な再生出
力が得られないという問題を解決し、再生波形歪と再生
・出力変動の発生を防止し、狭トラツクの場合にも再生
出力の減少を最小限に抑えることのできる薄膜磁気ヘッ
ドを提供することを目的とする。
[発明の構成]
(問題点を解決するための手段)
本発明は上記の目的の達成するために、基板上に形成さ
れた下部磁気コアと、この下部磁気コア上に形成され導
電性コイルと、この導電性コイルの一部を絶縁層を介し
て被覆し前記下部磁気コア上に形成された上部磁気コア
とよりなる薄膜磁気ヘッドにおいて、前記上部磁気コア
を形成する磁区のうち内側を軟質磁性体で形成し、外側
を硬質磁性体で形成したものである。
れた下部磁気コアと、この下部磁気コア上に形成され導
電性コイルと、この導電性コイルの一部を絶縁層を介し
て被覆し前記下部磁気コア上に形成された上部磁気コア
とよりなる薄膜磁気ヘッドにおいて、前記上部磁気コア
を形成する磁区のうち内側を軟質磁性体で形成し、外側
を硬質磁性体で形成したものである。
(作用)
上記の構成によると、磁気コアの硬質磁性体を適切に配
置しかつ適切に磁化することにより、狭トラツク幅の薄
膜磁気ヘッドにおいてもその磁気コアの磁区構造を任意
に決定し安定化させることができる。従ってトラック幅
を狭くしても再生出力の減少を最小限に抑えることが可
能となり、かつ薄膜磁気ヘッド特有の再生波形歪や再生
出力変動の発生を防ぐことができる。
置しかつ適切に磁化することにより、狭トラツク幅の薄
膜磁気ヘッドにおいてもその磁気コアの磁区構造を任意
に決定し安定化させることができる。従ってトラック幅
を狭くしても再生出力の減少を最小限に抑えることが可
能となり、かつ薄膜磁気ヘッド特有の再生波形歪や再生
出力変動の発生を防ぐことができる。
(実施例)
以下、本発明に係る薄膜磁気ヘッドの一実施例を図面を
参照して説明する。
参照して説明する。
第1図乃至第3図に本発明の一実施例を示す。
図において、第8図及び第11図に示す従来例と同一ま
たは同等部分には同一符号を付して示し、説明を省略す
る。本実施例の特徴は上部磁気コア4の磁区構造にあり
、他の構造は従来例と同様である。上部磁気コア4のト
ラック幅方向の中央部は軟質磁性体4aであり、この軟
質磁性体4aのトラック幅方向の両側は波形に形成され
ていて、この部分に硬質磁性体4bが一体に形成されて
いる。
たは同等部分には同一符号を付して示し、説明を省略す
る。本実施例の特徴は上部磁気コア4の磁区構造にあり
、他の構造は従来例と同様である。上部磁気コア4のト
ラック幅方向の中央部は軟質磁性体4aであり、この軟
質磁性体4aのトラック幅方向の両側は波形に形成され
ていて、この部分に硬質磁性体4bが一体に形成されて
いる。
また軟質磁性体4aは第3図に矢印Aで示すようにトラ
ック幅方向に、硬質磁性体4bは矢印Bで示すようにト
ラック幅方向と直角の方向に、それぞれ磁化容易軸を有
し、硬質磁性体4bは両側において互いに相反する矢印
Bで示す方向に磁化されている。従って軟質磁性体4a
は矢印Aで示すように、隣接する磁区において互いに相
反する方向に磁気モーメントが向けられ、環流磁区が形
成されている。
ック幅方向に、硬質磁性体4bは矢印Bで示すようにト
ラック幅方向と直角の方向に、それぞれ磁化容易軸を有
し、硬質磁性体4bは両側において互いに相反する矢印
Bで示す方向に磁化されている。従って軟質磁性体4a
は矢印Aで示すように、隣接する磁区において互いに相
反する方向に磁気モーメントが向けられ、環流磁区が形
成されている。
次に本実施例による薄膜磁気ヘッドの製造方法を第4図
を参照して説明する。M、−Zoフェライトなどの非磁
性部材よりなる基板1上に、NiFeなどの磁性部材よ
りなる下部磁気コア2、Cuなどの導電性部材よりなる
コイル3、SiO2などからなる絶縁層5を、スパッタ
、蒸着などの薄膜形成技術やリソグラフィ技術を用いて
、順次所定の形状に積層形成する。次にNiFeなとの
磁性部材からなる上部磁気コア4を矢印六方向に磁化容
易軸を有するように、スパッタなどの手段により形成す
る。その後同図(a)に示すように例えばイオンビーム
エツチングなどの技術を用いて、上部磁気コア4のトラ
ック幅方向の両側を波形に除去する。
を参照して説明する。M、−Zoフェライトなどの非磁
性部材よりなる基板1上に、NiFeなどの磁性部材よ
りなる下部磁気コア2、Cuなどの導電性部材よりなる
コイル3、SiO2などからなる絶縁層5を、スパッタ
、蒸着などの薄膜形成技術やリソグラフィ技術を用いて
、順次所定の形状に積層形成する。次にNiFeなとの
磁性部材からなる上部磁気コア4を矢印六方向に磁化容
易軸を有するように、スパッタなどの手段により形成す
る。その後同図(a)に示すように例えばイオンビーム
エツチングなどの技術を用いて、上部磁気コア4のトラ
ック幅方向の両側を波形に除去する。
この除去された部分に同図(b)に示すように、Co
Pなとの硬質磁性部材よりなる硬質磁性体4bを矢印B
方向に磁化容易軸を有するように前記と同様な手段で形
成する。次に硬質磁性体4aを適切な方向に磁化する。
Pなとの硬質磁性部材よりなる硬質磁性体4bを矢印B
方向に磁化容易軸を有するように前記と同様な手段で形
成する。次に硬質磁性体4aを適切な方向に磁化する。
この磁化の方法としては、同図(C)に示すようにリン
グタイプ磁気ヘッド9を用いるか、あるいはレーザビー
ム10を硬質磁性体4aに照射して外部から磁界を矢印
B方向に印加して磁化する。このようにして薄膜磁気ヘ
ッドが製造される。
グタイプ磁気ヘッド9を用いるか、あるいはレーザビー
ム10を硬質磁性体4aに照射して外部から磁界を矢印
B方向に印加して磁化する。このようにして薄膜磁気ヘ
ッドが製造される。
次に本実施例の作用及び効果を説明する。上記のような
構造の薄膜磁気ヘッドによると、第5図に示すように三
角形状の硬質磁性体4bを極力小さく形成することによ
り、高周波信号による磁化の主要部である軟質磁性体4
aの体積の減少を最小限に抑えることができる。従って
、狭トラツク薄膜磁気ヘッドにおいても、再生出力の減
少を最小限に抑え、かつ再生波形歪や再生出力変動を少
くすることができる。またトラック幅方向に磁気モーメ
ントを有する軟質磁性体4aによって形成される磁区と
、トラック幅方向に対し直角の方向に磁気モーメントを
有する硬質磁性体4bによって形成される磁区とが固定
されるので、磁気コアの磁区構造が非常に安定する。
構造の薄膜磁気ヘッドによると、第5図に示すように三
角形状の硬質磁性体4bを極力小さく形成することによ
り、高周波信号による磁化の主要部である軟質磁性体4
aの体積の減少を最小限に抑えることができる。従って
、狭トラツク薄膜磁気ヘッドにおいても、再生出力の減
少を最小限に抑え、かつ再生波形歪や再生出力変動を少
くすることができる。またトラック幅方向に磁気モーメ
ントを有する軟質磁性体4aによって形成される磁区と
、トラック幅方向に対し直角の方向に磁気モーメントを
有する硬質磁性体4bによって形成される磁区とが固定
されるので、磁気コアの磁区構造が非常に安定する。
第6図に本発明の第2の実施例を示す。本実施例は軟質
磁性体4aからなる上部磁気コア4の上に硬質磁性体4
bを前述した実施例と同様な三角形状に形成したもので
ある。第7図に本発明の第3の実施例を示す。本実施例
は電子スチルカメラ用の薄膜磁気ヘッドに本発明を応用
したものである。電子スチルカメラはその設計上の理由
から磁路11が曲線状となるが、このような場合には硬
質磁性体4bの片側を磁路11に沿って配置し、軟質磁
性体4aを区画する磁壁6を磁路11に対し直角になる
ように形成すればよい。上記いずれの実施例においても
前述した第1の実施例と同様の作用効果を有する。
磁性体4aからなる上部磁気コア4の上に硬質磁性体4
bを前述した実施例と同様な三角形状に形成したもので
ある。第7図に本発明の第3の実施例を示す。本実施例
は電子スチルカメラ用の薄膜磁気ヘッドに本発明を応用
したものである。電子スチルカメラはその設計上の理由
から磁路11が曲線状となるが、このような場合には硬
質磁性体4bの片側を磁路11に沿って配置し、軟質磁
性体4aを区画する磁壁6を磁路11に対し直角になる
ように形成すればよい。上記いずれの実施例においても
前述した第1の実施例と同様の作用効果を有する。
[発明の効果]
上述したように本発明によれば、薄膜磁気ヘッドの上部
磁気コアを形成する磁区を軟質磁性体と硬質磁性体とに
よって形成したので、磁気コアの磁区構造を容易に制御
することができ、再生波形歪や再生出力変動の発生を防
止し、狭トラツクの場合にも再生出力の減少を最小限に
抑えることができる。
磁気コアを形成する磁区を軟質磁性体と硬質磁性体とに
よって形成したので、磁気コアの磁区構造を容易に制御
することができ、再生波形歪や再生出力変動の発生を防
止し、狭トラツクの場合にも再生出力の減少を最小限に
抑えることができる。
第1図は本発明に係る薄III磁気ヘッドの一実施例を
示す斜視図、第2図は第1図の平面図、第3図は第1図
の上部磁気コアの磁区構造を示す平面図、第4図は本実
施例による薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す平面図及び
斜視図、第5図は本実施例の作用を示す平面図、第6図
及び第7図は本発明の他の実施例を示すそれぞれ斜視図
及び平面図、第8図及び第9図、第10図は従来の薄1
iI磁気ヘッド、を示すそれぞれ斜視図及び平面図、縦
断面図、第11図は従来の@膜磁気ヘッドの磁気コアの
磁区構造を示す平面図でおる。 1・・・基板、 2・・・下部磁気コア3・
・・コイル、 4・・・上部磁気コア4a・・・
軟質磁性体、 4b・・・硬質磁性体5・・・絶縁層 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 宇治 弘 第1図 第2図 第3図 第5図 (C) 第4 図 第8図 第9図 iioつ (a) (b) (C) (d) 第11図
示す斜視図、第2図は第1図の平面図、第3図は第1図
の上部磁気コアの磁区構造を示す平面図、第4図は本実
施例による薄膜磁気ヘッドの製造方法を示す平面図及び
斜視図、第5図は本実施例の作用を示す平面図、第6図
及び第7図は本発明の他の実施例を示すそれぞれ斜視図
及び平面図、第8図及び第9図、第10図は従来の薄1
iI磁気ヘッド、を示すそれぞれ斜視図及び平面図、縦
断面図、第11図は従来の@膜磁気ヘッドの磁気コアの
磁区構造を示す平面図でおる。 1・・・基板、 2・・・下部磁気コア3・
・・コイル、 4・・・上部磁気コア4a・・・
軟質磁性体、 4b・・・硬質磁性体5・・・絶縁層 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 宇治 弘 第1図 第2図 第3図 第5図 (C) 第4 図 第8図 第9図 iioつ (a) (b) (C) (d) 第11図
Claims (2)
- (1)基板上に形成された下部磁気コアと、この下部磁
気コア上に形成された導電性コイルと、この導電性コイ
ルの一部を絶縁層を介して被覆し前記下部磁気コア上に
形成された上部磁気コアとからなる薄膜磁気ヘッドにお
いて、前記上部磁気コアを形成する磁区のうち内側を軟
質磁性体で形成し、外側を硬質磁性体で形成したことを
特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - (2)軟質磁性体はトラック幅方向に、硬質磁性体はト
ラック幅方向に対し直角の方向に、それぞれ磁性化容易
軸を有することを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
の薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12963887A JP2598018B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12963887A JP2598018B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63298705A true JPS63298705A (ja) | 1988-12-06 |
| JP2598018B2 JP2598018B2 (ja) | 1997-04-09 |
Family
ID=15014453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12963887A Expired - Lifetime JP2598018B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2598018B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03219410A (ja) * | 1990-01-25 | 1991-09-26 | Nec Home Electron Ltd | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
| JPH04321910A (ja) * | 1990-10-25 | 1992-11-11 | Digital Equip Corp <Dec> | 薄膜磁気トランスジューサ及びその製造方法 |
| US5430592A (en) * | 1991-09-27 | 1995-07-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of manufacturing a magneto-resistive head adapted to be used as the reproducing head of a magnetic recording/reproducing device |
| US5527663A (en) * | 1991-03-01 | 1996-06-18 | Teijin Seiki Co., Ltd. | Method of manufacturing a medium having a magnetic pattern |
| EP0634739A3 (en) * | 1993-07-14 | 1997-06-25 | Sony Corp | Thin-film magnetic head, magnetoresistance effect magnetic head and composite magnetic head. |
-
1987
- 1987-05-28 JP JP12963887A patent/JP2598018B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03219410A (ja) * | 1990-01-25 | 1991-09-26 | Nec Home Electron Ltd | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
| JPH04321910A (ja) * | 1990-10-25 | 1992-11-11 | Digital Equip Corp <Dec> | 薄膜磁気トランスジューサ及びその製造方法 |
| US5527663A (en) * | 1991-03-01 | 1996-06-18 | Teijin Seiki Co., Ltd. | Method of manufacturing a medium having a magnetic pattern |
| US5430592A (en) * | 1991-09-27 | 1995-07-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of manufacturing a magneto-resistive head adapted to be used as the reproducing head of a magnetic recording/reproducing device |
| EP0634739A3 (en) * | 1993-07-14 | 1997-06-25 | Sony Corp | Thin-film magnetic head, magnetoresistance effect magnetic head and composite magnetic head. |
| US5872691A (en) * | 1993-07-14 | 1999-02-16 | Sony Corporation | Thin film magnetic head, magnetoresistance effect magnetic head and composite magnetic head |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2598018B2 (ja) | 1997-04-09 |
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