JPS63301904A - カラ−固体撮像素子 - Google Patents
カラ−固体撮像素子Info
- Publication number
- JPS63301904A JPS63301904A JP62138473A JP13847387A JPS63301904A JP S63301904 A JPS63301904 A JP S63301904A JP 62138473 A JP62138473 A JP 62138473A JP 13847387 A JP13847387 A JP 13847387A JP S63301904 A JPS63301904 A JP S63301904A
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- Japan
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- filter
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- solid
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は複数の光センサ一部が配列された半導体構成の
撮像基板に形成されるカラー固体撮像素子用カラーフィ
ルりに関するものである。
撮像基板に形成されるカラー固体撮像素子用カラーフィ
ルりに関するものである。
〈従来の技術〉
固体撮像素子が形成された半導体基体上に直接カー５−
フィルタを形成するいわゆるオンウェハカラーフィルり
形成技術は、第２図（ａ）・（ｂ）のごと〈実施される
。即ち、第２図（ａ）のように撮像素子２のウェハプロ
セスが完了したウェハ１上に透明レジスト３を塗布して
、素子２上の凹凸の平坦化と被染色性レジストの密着性
を改善した後、フィルタ部となる被染色性ホトレジスト
ヲ塗布し、露光・現像を行なって所定の画素上に被染色
性ホトレジストパターンを形成する。
フィルタを形成するいわゆるオンウェハカラーフィルり
形成技術は、第２図（ａ）・（ｂ）のごと〈実施される
。即ち、第２図（ａ）のように撮像素子２のウェハプロ
セスが完了したウェハ１上に透明レジスト３を塗布して
、素子２上の凹凸の平坦化と被染色性レジストの密着性
を改善した後、フィルタ部となる被染色性ホトレジスト
ヲ塗布し、露光・現像を行なって所定の画素上に被染色
性ホトレジストパターンを形成する。
然る後、第１の染色液にウェハ１を浸漬して前記被染色
性ホトレジストパターンを染色し、君１の着色フィルり
４を形成する。
性ホトレジストパターンを染色し、君１の着色フィルり
４を形成する。
第１の着色フィルタ４を形成したウェハ１を乾燥させた
後、第２図（ｂ）のようにウェハ１上に透明レジスト５
を塗布する。次に該透明レジスト５上に新たに被染色性
ホトレジストパターンを形成し、第２の染色液を用いて
第２の着色フィルタ６を形成する。次いで第２の着色フ
ィルタ６を形成したウェハ１上に、透明レジスト７を塗
布し、更に上記工程と同じように被染色性ホトレジスト
を用いて第３の着色フィルタ８を形成し、最上層に透明
保護膜９を形成する。着色フィルタ４，６゜８間の透明
レジスト５．７は着色フィルタ４．６゜８相互の混色を
防ぐために形成されたもので、防染膜としての役割を果
している。
後、第２図（ｂ）のようにウェハ１上に透明レジスト５
を塗布する。次に該透明レジスト５上に新たに被染色性
ホトレジストパターンを形成し、第２の染色液を用いて
第２の着色フィルタ６を形成する。次いで第２の着色フ
ィルタ６を形成したウェハ１上に、透明レジスト７を塗
布し、更に上記工程と同じように被染色性ホトレジスト
を用いて第３の着色フィルタ８を形成し、最上層に透明
保護膜９を形成する。着色フィルタ４，６゜８間の透明
レジスト５．７は着色フィルタ４．６゜８相互の混色を
防ぐために形成されたもので、防染膜としての役割を果
している。
〈発明が解決しようとする問題点〉
上述のように形成されたカラー固体撮像素子の着色フィ
ルタ積層数は透過したい色によって異なる。例えば、グ
リーンを透過するためにシアンとイエローの着色フィル
タを積層して２層の着色フィルタを形成すると、該２層
着色フィルタは他の単層着色フィルタに比べて曲率が大
きくなるため、２層着色フィルタのレンズ効果が単層の
着色フィルタに比べて大きくなって、カラー固体撮像素
子全体としてレンズ効果がアンバランヌとなり、色信号
のＳ／Ｎ比が低下するという問題がある。
ルタ積層数は透過したい色によって異なる。例えば、グ
リーンを透過するためにシアンとイエローの着色フィル
タを積層して２層の着色フィルタを形成すると、該２層
着色フィルタは他の単層着色フィルタに比べて曲率が大
きくなるため、２層着色フィルタのレンズ効果が単層の
着色フィルタに比べて大きくなって、カラー固体撮像素
子全体としてレンズ効果がアンバランヌとなり、色信号
のＳ／Ｎ比が低下するという問題がある。
〈問題点を解決するための手段〉
本発明は上述する問題点を解決するためになされたもの
で、半導体基板の一主面上に複数個の固体撮像素子を形
成し、該固体撮像素子上に夫々単層或いは複数層の着色
フィルタを形成したカラー固体撮像素子において、前記
着色フィルタの最大積層数と同層数になるように上記単
層或いは複数層の着色フィルタに透明フィルタを積ｆ−
シて彦るカラー固体撮像素子を提供するものである。
で、半導体基板の一主面上に複数個の固体撮像素子を形
成し、該固体撮像素子上に夫々単層或いは複数層の着色
フィルタを形成したカラー固体撮像素子において、前記
着色フィルタの最大積層数と同層数になるように上記単
層或いは複数層の着色フィルタに透明フィルタを積ｆ−
シて彦るカラー固体撮像素子を提供するものである。
〈作 用〉
上述の如く、全ての固体撮像素子上のフィルタ積層数を
同一にすることにより、従来、積層数のよシ少ない着色
フィルタ層の曲率が、積層数のより多い着色フィルタ層
の曲率に比べて小さくなるという現象が解消され、固体
撮像素子上のフィルタ層の曲率の統一化が可能となり、
同時にカラー固体撮像素子全体の輝度の感度の上昇も図
れる。
同一にすることにより、従来、積層数のよシ少ない着色
フィルタ層の曲率が、積層数のより多い着色フィルタ層
の曲率に比べて小さくなるという現象が解消され、固体
撮像素子上のフィルタ層の曲率の統一化が可能となり、
同時にカラー固体撮像素子全体の輝度の感度の上昇も図
れる。
〈実施例〉
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明するが、本発明
はこれに限定されるものではない。
はこれに限定されるものではない。
第１図（ａ）（ｃ）は本発明の一実施例の製造プロセス
を示す断面図である。先ず第１図（ａ）に示すようにウ
ェハ１の１主而上に固体撮像素子２を形成し、前記ウェ
ハ１上面上に透明レジスト３を塗布して固体撮像素子２
上の凹凸の平坦化を図り、更に次工程で用いる被染色性
ホトレジストとの密着性を改善させる。次いで透明レジ
スト３上に被染色性ホトレジストを塗布し、露光・現像
を行なって所定の撮像素子２ａ、２ｃ上に被染色性ホト
レジストパターンを形成する。然る後、ウェハ１を第１
の染色液に浸漬して前記被染色性ホトレジストハターン
を染色し、第１の着色フィルタ４を形成する。
を示す断面図である。先ず第１図（ａ）に示すようにウ
ェハ１の１主而上に固体撮像素子２を形成し、前記ウェ
ハ１上面上に透明レジスト３を塗布して固体撮像素子２
上の凹凸の平坦化を図り、更に次工程で用いる被染色性
ホトレジストとの密着性を改善させる。次いで透明レジ
スト３上に被染色性ホトレジストを塗布し、露光・現像
を行なって所定の撮像素子２ａ、２ｃ上に被染色性ホト
レジストパターンを形成する。然る後、ウェハ１を第１
の染色液に浸漬して前記被染色性ホトレジストハターン
を染色し、第１の着色フィルタ４を形成する。
次いで嘉１の着色フィルタ４を形成したウェハ１を乾燥
させた後、第１図（ｂ）のようにウェハ１上に着色フィ
ルタの混色を防ぐための防染膜５となる透明レジストヲ
塗布する。該防染膜５の所定撮像素子２ｄ上に新たに被
染色性ホトレジヌトパターンを形成し、該被染色性ホト
レジヌトパターンを第２の染色液にて染色して、第２の
着色フィルタ６を形成する。第２の着色フィルタ６を形
成したウェハ１上に防染膜７を形成し、該防染膜７の所
定撮像素子２ｂ、２ｃ上に上記と同じようにして君３の
着色フィルり８を形成する。
させた後、第１図（ｂ）のようにウェハ１上に着色フィ
ルタの混色を防ぐための防染膜５となる透明レジストヲ
塗布する。該防染膜５の所定撮像素子２ｄ上に新たに被
染色性ホトレジヌトパターンを形成し、該被染色性ホト
レジヌトパターンを第２の染色液にて染色して、第２の
着色フィルタ６を形成する。第２の着色フィルタ６を形
成したウェハ１上に防染膜７を形成し、該防染膜７の所
定撮像素子２ｂ、２ｃ上に上記と同じようにして君３の
着色フィルり８を形成する。
次に、第１図（ｃ）の如く第３の着色フィルタ８を含む
ウェハ１上に新たに防染膜１０を形成し、該防染膜１０
上、或いは上記防染膜７上に透明レジヌトを塗布し、露
光・現像を行なって単層の着色フィルりを有する固体撮
像素子２ａ、２ｂ、２ｄ上に透明レジヌトパターンを形
成し、この透明レジストパターンを透明フィルり１１と
する。該透明フィルタ１１を形成したウェハ１上に透明
保護膜１２を形成して、カラー固体撮像素子が完成する
。
ウェハ１上に新たに防染膜１０を形成し、該防染膜１０
上、或いは上記防染膜７上に透明レジヌトを塗布し、露
光・現像を行なって単層の着色フィルりを有する固体撮
像素子２ａ、２ｂ、２ｄ上に透明レジヌトパターンを形
成し、この透明レジストパターンを透明フィルり１１と
する。該透明フィルタ１１を形成したウェハ１上に透明
保護膜１２を形成して、カラー固体撮像素子が完成する
。
このように全ての固体撮像素子上のフィルタ積層数を同
数にすることにより、フィルり層の曲率が全固体撮像素
子に亘って統一される。
数にすることにより、フィルり層の曲率が全固体撮像素
子に亘って統一される。
〈発明の効果〉
本発明により、カラー固体撮像素子をなす全ての固体撮
像素子上のフィルタ積層数が着色フィルりの最大積層数
と同一となってフィルタ層の曲率が上昇し、且つ統一さ
れるため、カラー固体撮像素子全体として輝度の感度が
上昇し、フィルり層のレンズ効果がバランスよく向上し
て色信号のＳ／Ｎ比が従来に比べて上昇する。したがっ
て本発明は精度及び感度のよいカラー固体撮像素子の製
造に寄与するものである。
像素子上のフィルタ積層数が着色フィルりの最大積層数
と同一となってフィルタ層の曲率が上昇し、且つ統一さ
れるため、カラー固体撮像素子全体として輝度の感度が
上昇し、フィルり層のレンズ効果がバランスよく向上し
て色信号のＳ／Ｎ比が従来に比べて上昇する。したがっ
て本発明は精度及び感度のよいカラー固体撮像素子の製
造に寄与するものである。
第１図（ａ）〜（ｃ）は本発明の一実施例の製造プロセ
スを示す断面図、第２図（ａ）・（ｂ）は従来例の製造
プロセスを示す断面図である。
スを示す断面図、第２図（ａ）・（ｂ）は従来例の製造
プロセスを示す断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、半導体基板の一主面上に複数個の固体撮像素子を形
成し、該固体撮像素子上に夫々単層或いは複数層の着色
フィルタを積層したカラー固体撮像素子において、 前記着色フィルタの最大積層数と同層数になるように、
上記単層或いは複数層の着色フィルタに透明フィルタを
積層してなることを特徴とするカラー固体撮像素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13847387A JP2556856B2 (ja) | 1987-06-02 | 1987-06-02 | カラ−固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13847387A JP2556856B2 (ja) | 1987-06-02 | 1987-06-02 | カラ−固体撮像素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63301904A true JPS63301904A (ja) | 1988-12-08 |
| JP2556856B2 JP2556856B2 (ja) | 1996-11-27 |
Family
ID=15222882
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13847387A Expired - Fee Related JP2556856B2 (ja) | 1987-06-02 | 1987-06-02 | カラ−固体撮像素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2556856B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006134740A1 (ja) * | 2005-06-17 | 2006-12-21 | Toppan Printing Co., Ltd. | 撮像素子 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6064303A (ja) * | 1983-09-20 | 1985-04-12 | Toshiba Corp | カラ−フイルタ−の製造方法 |
| JPS62264005A (ja) * | 1986-05-06 | 1987-11-17 | Mitsubishi Electric Corp | 高精度カラ−フイルタの製造方法 |
| JPS63135086A (ja) * | 1986-11-26 | 1988-06-07 | Matsushita Electronics Corp | 色分離フイルタ |
| JPS63276002A (ja) * | 1987-05-08 | 1988-11-14 | Toshiba Corp | カラ−固体撮像装置及びその製造方法 |
-
1987
- 1987-06-02 JP JP13847387A patent/JP2556856B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6064303A (ja) * | 1983-09-20 | 1985-04-12 | Toshiba Corp | カラ−フイルタ−の製造方法 |
| JPS62264005A (ja) * | 1986-05-06 | 1987-11-17 | Mitsubishi Electric Corp | 高精度カラ−フイルタの製造方法 |
| JPS63135086A (ja) * | 1986-11-26 | 1988-06-07 | Matsushita Electronics Corp | 色分離フイルタ |
| JPS63276002A (ja) * | 1987-05-08 | 1988-11-14 | Toshiba Corp | カラ−固体撮像装置及びその製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006134740A1 (ja) * | 2005-06-17 | 2006-12-21 | Toppan Printing Co., Ltd. | 撮像素子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2556856B2 (ja) | 1996-11-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |