JPS63307181A - 炭素／炭素複合材の表面処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、耐熱性、耐食性、耐酸化性等が要求される
部分９部品および製品の素材として用いられる炭素／炭
素複合材（Ｃ／Ｃ材）の表面特性をより一層改善するめ
に利用される炭素／炭素複合材の表面処理方法に関する
ものである。

（従来の技術） 近年の材料開発技術の進展にともない、従来の金属系の
材料から進んで、セラミックス系（酸化物系、窒化物系
、炭化物系、窒化物−酸素物系など）の材料が開発され
、さらに繊維強化金属（ＦＲＭ）や繊維強化セラミック
ス（ＦＲＣ）、さらには炭素／炭素複合材（Ｃ／Ｃ材）
が開発されるに至っている。

そして、後者のＣ／Ｃ材は、軽量で且つ耐食・耐酸化性
が比較的良好であって熱による損耗や強度低下が従来の
金属系材料に比べてかなり少ないため、例えばロケット
ノズルなどのような苛酷な熱環境にさらされる用途に適
している。

このＣ／Ｃ材の製造方法としては、カーボン／フェノー
ルやグラファイト／フェノールなどといったＦＲＰ状態
にある素材を一次焼成により炭化あるいは黒鉛化し、さ
らに高密度化するためにピッチ含浸と焼成とを繰返すレ
ジン・チャー法や、カーボンもしくはグラファイト繊維
で編んだ骨材に炭化水素を熱分解して生成する炭素を蒸
着する蒸着法（ＣＶＤ法）などがあり、二次元（２Ｄ）
タイプのＣ／Ｃ材のほか、三次元（３Ｄ）。

四次元（４Ｄ）タイプのように多次元に繊維が配向した
Ｃ／Ｃ材の開発もなされている（例えば、Ｃ／Ｃ材に関
して、「鉄と鋼」　第７０年（１９８４）　　第１４号
　第３０頁〜第３１頁に記載がある。）。

このようなすぐれた特性のＣ／Ｃ材であっても、その表
面特性をさらに改善し、例えば、再使用型の有翼宇宙往
還機（いわゆる「スペースシャトル」）のノーズキャッ
プやリーディングエツジなどのごとく、大気圏再突入時
の最高温度が金属構造材の耐熱限界を大きく超えるよう
な熱的に厳しく且つ強度・剛性が要求される部分にも適
用することができるように、Ｃ／Ｃ材の表面に５ｉＣ（
炭化珪素）を拡散形成させる耐酸化表面処理法が開発さ
れている。

この耐酸化表面処理法の一例としては、ＣＥＲＡＭＩＣ
ＢＵＬＬＥＴＩＮ　　ＶＯＬ。

６０、Ｎｏ、１１　（１９８１）に記載されているもの
がある。この方法は、１０％アルミナ（Ａ文２０３）、
３０％珪素（Ｓｉ）、６０％炭化珪素（Ｓ　ｉ　Ｃ）か
らなる粉末をグラファイト製のレトルト内でＣ／Ｃ材の
まわりに詰め、アルゴン雰囲気中において約１６５０　
’Ｏで加熱し、Ｃ／Ｃ材の表面をＳｉＣに転化させるも
のであり、この後の冷却過程で、Ｃ／Ｃ材とＳｉＣとの
間における熱膨張差によって生ずる微少なりラックをオ
ルト珪酸項四エチル（ＴＥＯＳ）で処理し、上記クラッ
クをＳｉＯ２で含浸する耐酸化表面処理法である。

（発明が解決しようとする問題点） このような従来のＣ／Ｃ材の耐酸化表面処理方法では、
Ｃ／Ｃ材の表面にＳｉＣが拡散形成され、表面に形成さ
れた微少なりラックには５ｆ０２が含浸されているため
、耐酸化表面処理を施さないＣ／Ｃ材に比べて、とくに
大気圏再突入時の熱空気に対する耐食性に著しく優れた
ものである。しかしながら上記のいわゆるレトルト法に
より表面処理した場合では、表面の平滑度が比較的低い
ものとなり、Ｃ／Ｃ材の表面にはきわめて硬いＳｉＣ拡
散層が形成されており、ＳｉＣ拡散層の厚さコントロー
ルが困難であることから、Ｃ／Ｃ材構造体としての十分
な寸法精度を確保することがむつかしく、宇宙往還機の
ノーズやリーディングエツジ等のような曲面形状のＣ／
Ｃ材に適用する場合にはこれと接合するインターフェー
ス上の問題を生じることがあり、より一層の改善が必要
であるという問題点があった。

（発明の目的） この発明は、上述した従来の問題点に着目してなされた
もので、耐酸化表面処理後に平滑度の高い表面を得るこ
とが可能であり、表面処理層の厚さコントロールが容易
であって、例えば宇宙往還機のリーディングエツジなど
のような曲面形状を有する部位に適用した場合にも高い
寸法精度を確保することが可能であり、耐熱性、耐食・
耐酸化性（特に熱空気に対する耐食・耐酸化性）および
強度剛性が要求される部分の素材として好適であって、
再使用が十分に可能であるＣ／Ｃ材（炭素／炭素複合材
）を提供することを目的としているものである。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） この発明に係る炭素／炭素複合材（Ｃ／Ｃ材）の表面処
理方法は、当該Ｃ／Ｃ材の表面に蒸着法によってＳｉＣ
（炭化珪素）蒸着膜を被覆形成し、次いで前記ＳｉＣ蒸
着膜に生じた微細クラックにＳｉＯ２を含浸させること
を特徴としているものである。

この発明が適用されるＣ／Ｃ材は、その製造方法におい
て特に限定されず、例えば、カーボン／フェノール、グ
ラファイト／フェノールといったＦＲＰ状態にある素材
を一次焼成によって炭化あるいは黒鉛化し、さらに高密
度化するためにピッチ含浸と焼成を繰り返すレジン・チ
ャー法や、カーボンまたはグラファイト繊維で編んだ骨
材に炭化水素を熱分解して生成する炭素を蒸着する蒸着
法や、それらの組み合わせ法などによって製造されたも
のが適用され、ｍ維配向を２次元（２Ｄ）にしたものだ
けでなく、３次元（３Ｄ）、４次元（４Ｄ）と多次元に
したものに対しても適用することができる。

また、上記Ｃ／Ｃ材の表面にＳｉＣ蒸着膜を被覆形成さ
せるための蒸着法においても特に限定されず、例えば気
相蒸着法などが採用される。

さらに、蒸着法によってＣ／Ｃ材表面に被覆形成された
ＳｉＣ蒸着膜は、その後の冷却過程において、Ｃ／Ｃ材
（熱膨張係数は約１．２〜２×１０−ｂ／’０）とＳｉ
Ｃ蒸着膜（熱膨張係数は約３．５〜４　Ｘ　１０−’／
’０）との熱膨張差に起因して当該ＳｉＣ蒸着膜表面に
微細クラックが発生し、これによって熱空気に対する耐
食性が損なわれることになるので、この微細クラックに
ＳｉＯ２を含浸させる。

この場合、上記微細クラックにＳｉＯ２を含浸させるに
際しては、当該微細クラックにオルト珪酸項四エチル（
ＴＥＯＳ）を含浸して熱処理することにより、微細クラ
ック内にＳｉＯ２として残す方法や、前記微細クラック
にシリコン改質剤であるケイ酸コーティング剤を含浸し
て熱処理することによりＳ　ｉ　０２として残す方法な
どがある。

（実施例１） レジンＯチャー法によって製造したＣ／Ｃ材を用意し、
このＣ／Ｃ材をあらかじめ約１５００　’Ｃで高純度処
理したあと高温低圧炉に装着し、Ｈ２／ＣＨ３５ｉＣ立
３の混合ガス雰囲気下で、Ｃ／Ｃ材表面に蒸着法（ＣＶ
Ｄ法）によって分子状のＳｉＣを蒸着させることにより
、ＳｉＣ蒸着膜を被覆形成させた。

この蒸着法によって表面の耐酸化処理を行ったＣ／Ｃ材
は、光沢のある表面状態を示し、従来のレトルト法で得
たものとは異なり、Ｃ／Ｃ材の原形通りに処理すること
ができることから、曲面形状への耐酸化処理も容易であ
り、複雑な形状の処理も可能なものであると共に、Ｓｉ
Ｃ蒸着膜の厚さは容易にコントロールできるものであっ
た。

このようにして、ＳｉＣ蒸着膜を形成したあと冷却する
過程においては、Ｃ／Ｃ材の熱膨張係数（約１．２〜２
Ｘ１０−６／’ＣりとＳｉＣの熱膨張係数（約３．５〜
４　Ｘ　１０−６／’Ｃ）の差によって、ＳｉＣ蒸着膜
に例えば５Ｉ１．ｍ程度の微細クラックを発生するので
、このクラックに対し次のようにしてＳｉＯ２を含浸さ
せる処理を行った。

すなわち、ＳｉＣ蒸着膜を形成したのちのＣ／Ｃ材をオ
ルト珪酸項四エチル（ＴＥＯＳ）中に１８０°Ｃで４時
間浸漬し、引き上げて含浸状態を調べ、含浸不十分の場
合は再含浸したのち、サンドペーパーによる表面処理お
よび洗浄を行った。次いで、３１５℃で６時間加熱して
硬化処理を行って、ＳｉＣ蒸着膜に生じた微細クラック
にＳｉＯ２を含浸させた。

次に、上記実施例１によってＳｉＣによる耐酸化処理後
ＴＥＯＳによる完全クラック処理を施したＣ／Ｃ材と、
参考のためにＳｉＣ耐酸化処理を施していないＣ／Ｃ材
と、比較のためにＳｉＣ酎酸耐処理後ＴＥＯＳによるク
ラック処理を施１ていないＣ／Ｃ材と、ＳｉＣによる耐
酸化処理後ＴＥＯＳによるクラック処理を約５０％程度
施した不完全クラック処理Ｃ／Ｃ材と、を供試材として
、各Ｃ／Ｃ材の熱空気に対する耐食性を評価した。

このとき、供試材は２５ｍｍφのものとし、供試材裏面
温度：６５０℃、プロパンガスを用いたバーナー火炎温
度：１４００°Ｃでバーナー火炎照射を行い、各供試材
の質量損失（ｇ／ｍ２）を求めて耐食性を評価した。

この結果を第１図に示す。

第１図に示すように、ＳｉＣ蒸着膜に形成された微細ク
ラックをＴＥＯＳにより完全クラック処理することによ
って、バーナー火炎照射による質量損失を著しく少なく
することが可能であり、熱空気に対する耐食性をかなり
向上できることが確認された。そして、クラック処理を
完全に行わない場合には、ＴＥＯＳによるクラック処理
を全く行わない場合よりも耐食性はかなり向上するもの
の、完全に行った場合に比べて耐食性が低下することが
確かめられた。このことは、微細クラツクと熱空気に対
する耐食性との間に相関があることを示しているもので
あり、Ｃ／Ｃ材の表面に蒸着されたＳｉＣ蒸着膜の微細
クラックでＣ／Ｃ材が露出した場合には、熱空気に対す
る耐食性を低下させることを示している。

また、ＴＥＯ５処理と質量損失速度との関係を調べたと
ころ、第１表に示すとおりであった。

第１表に示すように、冷却過程でＳｉＣ蒸着膜に形成さ
れた微細クラックをＴＥ０１で完全処理することによっ
て、クラック処理なしのＣ／Ｃ材に比べて約１／８の質
量損失速度となり、耐酸化処理なしのＣ／Ｃ材に比べて
約ｌ／１５の質量損失速度となり、耐酸化性を著しく向
上できることが確認された。

（実施例２） レジン・チャー法によって製造したＣ／Ｃ材を用意し、
実施例１と同様にして、このＣ／Ｃ材をあらかじめ約１
５００℃で高純度処理したあと高温低圧炉に装着し、Ｈ
２／ＣＨ３５ｉＣ文。

の混合ガス雰囲気下で、Ｃ／Ｃ材表面に蒸着法（ＣＶＤ
法）によって実施例１と同様に分子状のＳｉＣを蒸着さ
せてＳｉＣ蒸着膜を被覆形成させた。

このようにしてＳｉＣ蒸着膜を被覆形成したあと冷却す
る過程においては、前記したようにＣ／Ｃ材とＳｉＣと
の熱膨張差によってＳｉＣ蒸着膜に微細クラックを発生
するので、このクラックに次のようにしてＳｉＯ２を含
浸させる処理を行った。

すなわち、シリコン改質剤として、（ケイ酸。

メチルシリコン）十有機溶剤の２液タイプのものを用い
、Ｃ／Ｃ材を前記シリコン改質剤中に浸漬して真空引き
することにより含浸させたのち、常温にて乾燥し、次い
で８０℃で２時間加熱して硬化させた。この加熱によっ
て、メチル基とＳｉＯ２が９０％残留するので、ＳｉＣ
蒸着膜に生じている微細クラックにＳｉＯ２を含浸させ
ることができた。

次に、上記実施例２によってＳｉＣによる耐酸化処理後
シリコン改質剤による完全クラック処理を施したＣ／Ｃ
材と、参考のためにＳｉＣ耐酸化処理を施していないＣ
／Ｃ材と、比較のためにＳｉＣ酎酸耐処理後シリコン改
質剤によるクラック処理を施していないＣ／Ｃ材と、Ｓ
ｉＣによる耐酸化処理後シリコン改質剤によるクラック
処理を約５０％程度施した不完全クラック処理Ｃ／Ｃ材
と、を供試材として、各Ｃ／Ｃ材の熱空気に対する耐食
性を評価した。

このとき、供試材は２５ｍｍφのものとし、供試材裏面
温度：６５０’Ｏ，プロパンガス火炎温度：１４００’
０でバーナー火炎照射を行い、質量損失（ｇ／ｍ２）を
求めて耐食性を評価した。

この結果を第２図に示す。

第２図に示すように、ＳｉＣ蒸着膜に形成された微細ク
ラックをシリコン改質剤により完全クラック処理するこ
とによって、バーナー火炎照射による質量損失を著しく
少なくすることが可能であり、熱空気に対する耐食性を
かなり向上できることが確認された。そして、クラック
処理を不完全に行った場合には、実施例１の場合と同様
に耐食性が低下することが確かめられた。

また、シリコン改質剤処理と質量損失速度との関係を調
べたところ、第２表に示すとおりであっ第２表に示すよ
うに、冷却過程でＳｉＣ蒸着膜に形成された微細クラッ
クをシリコン改質剤で完全処理することによって、クラ
ック処理なしのＣ／Ｃ材に比べて約１／６の質量損失速
度となり、耐酸化処理なしのＣ／Ｃ材に比べて約１／１
１の質量損失速度となり、耐酸化性を著しく向上できる
ことが確認された。

（実施例３） 繊維強化型の第３表に示すＲ−Ｃ／Ｃ材を用意して実施
した。

第３表 そして、第３表に示した各Ｒ−Ｃ／Ｃ−１〜４材の熱空
気に対する耐食性を評価した。

このとき、供試材は２５ｍｍφのものとし、供試材裏面
温度：１０００℃、プロパンガスを用いたバーナー火炎
温度：１６５０°Ｃでバーナー火炎照射を行い、質量損
失（ｇ／ｍ２）を求めることにより評価した。この結果
を第３図に示す。

第３図に示すように、Ｃ／Ｃ材の繊維・マトリックスの
違いによる質量損失に実質的な差異は認められず、各供
試材の質量損失速度はいずれもおおよそ１３質量損失／
ｍｉｎであった・次に、第３表に示した各Ｒ・Ｃ７０−
１〜４材を実施例１と同様にして耐酸化処理に供し、各
Ｒ−Ｃ／Ｃ−１〜４材の表面に蒸着法（ＣＶＤ法）によ
ってＳｉＣ蒸着膜を被膜形成させた。このとき、Ｒ・Ｃ
７０−１〜３材におけるＳｉＣ蒸着膜の厚さは約１７５
１Ｌｍ、Ｒ−Ｃ／Ｃ−４材におけるＳｉＣ蒸着膜の厚さ
は約１３０７ｈｍであった。

次いで、前記ＳｉＣ蒸着膜被膜形成後の各Ｒ・Ｃ７０−
１〜４材の熱空気に対する耐食性を評価した。

このとき、供試材は２５ｍｍφのものとし、供試材裏面
温度：１０００°Ｃ，プロパンガスを用いたバーナー火
炎温度：１６５０’Ｏでバーナー火炎照射を行い、質量
損失（ｇ／ｍ２）を求めることにより評価した。この結
果を第４図に示す。

第４図に示すように、第３図で評価したＲ・Ｃ７０−１
〜４材の表面にＳｉＣによる耐酸化処理を施すことによ
って、熱空気に対する質量損失を著しく少なくすること
が可能であった。そして、この場合にＲ−Ｃ７０−１〜
４材の繊維・マトリックスの違いによって熱空気に対す
る耐食性に差がみられ、Ｒ−Ｃ／Ｃ材とＳｉＣ蒸着膜と
の熱膨張差が大きいものほどＳｉＣ表面の微細クラック
が大きくなることから、耐食性が低くなる傾向にあるこ
とが確かめられた。この場合、母材構成が２ＤであるＲ
−Ｃ７０−１〜２材に比べて、母材構成が３ＤであるＲ
−Ｃ７０−３〜４材の方が高密度化されるので、熱膨張
係数が小さくなり、ＳｉＣ蒸着膜との熱膨張係数差が拡
大するため、微細クラックの大きさは２Ｄ材に比べて３
Ｄ材の方が大きくなり、熱空気に対する耐食性が低下す
るものと考えられる。

次に、前記ＳｉＣ表面の微細クラック発生による耐食性
の低下を防止するために、このクラックに対して実施例
１と同様にしてＴＥＯＳを用いるクラック処理を施し、
前記微細クラックにＳｉＯ２を含浸させた。

次いで、ＴＥＯＳによる完全クラック処理を施した各Ｒ
，Ｃ／Ｃ−１〜４材の熱空気に対する耐食性を評価した
。

このとき、供試材は２５ｍｍφのものとし、供試材裏面
温度：　１０００℃、プロパンガスを用いたバーナー火
炎温度：１６５０℃でバーナー火炎照射を行い、質量損
失（ｇ／ｍ２）を求めて耐食性を評価した。この結果を
第５図に示す。

第５図に示すように、ＳｉＣ蒸着膜に形成された微細ク
ラックをＴＥＯＳにより完全クラック処置することによ
って、バーナー火炎照射による質量損失を著しく少なく
することが可能であり、熱空気に対する耐食性をかなり
向上できることが確認された。そしてこの場合、バーナ
ー火炎照射による耐食性は、２Ｄ材（Ｒ・Ｃ７０−１〜
２材）の方が３Ｄ材（Ｒ・Ｃ７０−３〜４材）に比べて
優れており、熱空気に対する耐食性はＲ−Ｃ／Ｃ材の構
成によらず、熱膨張差で発生する微細クラックに依存す
ることが確かめられた。

（比較例１） レジン・チャー法によって製造したＣ／Ｃ材を用意し、
アルミナ（Ａ立２０３）：１０％、珪素（Ｓｉ）：３０
％、炭化珪素（ＳｉＣ）：６０％からなる混合粉末を上
記Ｃ／Ｃ材とともに、レトルト内に入れ、アルゴン雰囲
気中で約１６００°Ｃに加熱処理することによって、Ｃ
／Ｃ材の表面をＳｉで拡散反応させて表面のＣ７０をＳ
ｉＣ化することにより、Ｃ／Ｃ材の表面にＳｉＣ拡散層
を形成させた。

このレトルト法によって表面の耐酸化処理を行ったＣ／
Ｃ材は、表面が極めて硬いＳｉＣ拡散層で覆われており
、このＳｉＣ拡散層の厚さく深さ）は制御しにくいもの
であり、曲面形状のＣＺＣ材表面を耐酸化処理するため
には改良が必要なものであり、複雑な形状のものにはあ
まり適していないものであった。

このようにしてＳｉＣ拡散層を形成したあと冷却する過
程においては、Ｃ／Ｃ材とＳｉＣ拡散層と熱膨張差によ
って、表面に微小なりラックを発生するので、このクラ
ックに次のようにしてＳｉＯ２を含浸させる処理を行っ
た。

すなわち、微少なりラックにオルト珪酸項四エチル（Ｔ
ＥＯＳ）を含浸させるために、数回の含浸工程と硬化工
程とを繰り返し、この硬化工程においてオルト珪酸項四
エチルをＳｉＯ２に変性させて、クラック中にＳｉＯ２
を含浸させた。

次に、実施例１においてＣＶＤ法により耐酸化処理した
Ｃ／Ｃ材と、比較例１においてレトルト法により耐酸化
処理したＣ／Ｃ材と、参考のために耐酸化処理を施して
いないＣ／Ｃ材とを供試材として、各Ｃ／Ｃ材の熱空気
に対する耐食性を評価した。

このとき、供試材は５０ｍｍφのものとし、供試材裏面
温度１０００℃、プロパンガスを用いたバーナー火炎温
度７１６５０℃でバーナー火炎照射を行い、質量損失（
ｇ／ｍ２）を求めることにより耐食性を評価した。この
結果を第６図に示す。

第６図に示すように、Ｃ／Ｃ材の表面にＳｉＣによる耐
酸化処理を施すことによって、熱空気に対する質量損失
を著しく少なくすることが可能であり、比較例１のレト
ルト処理Ｃ／Ｃ材よりも実施例１のＣＶＤ処理Ｃ／Ｃ材
の方がより耐酸化性に優れていることが確かめられた。

また、バーナー火炎照射時間と質量損失との関係を一次
に近似して、質量損失速度（質量損失／ｍ１ｎ）で表わ
したところ、第４表のとおりで第４表 第４表に示すようにＣ／Ｃ材の表面にＳｉＣ酎酸耐処理
を行うことによって、処理しない場合に比べて質量損失
速度は約１／１２〜１／１５となり、ＣＶＤ処理Ｃ／Ｃ
材の方がレトルト処理Ｃ／Ｃ材よりも質量損失速度が小
さいことが認められた。これは、ＣＶＤ処理Ｃ／Ｃ材で
は、表面にＳｉＣの蒸着膜が均一に形成されているのに
対して、レトルト処理Ｃ／Ｃ材では、ＳｉＣの拡散層が
形成されかつその深さが均一でない部分があるためと推
察された。

［発明の効果］ 以上説明してきたように、この発明に係る炭素舎炭素複
合材（Ｃ／Ｃ材）の表面処理方法は、当該Ｃ／Ｃ材の表
面に蒸着法によってＳｉＣ蒸着膜を被覆形成し、次いで
、前記ＳｉＣ蒸着膜に生じた微細クラックにＳｉＯ２を
含浸させるようにしたから、このように表面処理された
Ｃ／Ｃ材は、耐熱性、耐食・耐酸化性（特に熱空気に対
する耐食・耐酸化性）および強度剛性に優れていること
が要求される部分９部品、製品の素材として著しく好適
なものであり、再使用が十分に可能である軽量型の材料
であるという非常に優れた効果がもたらされる。そして
、例えば、再使用型の有翼宇宙往還機において熱的に最
も厳しいノーズキャップおよびリーディングエツジ等に
使用した場合に、当該部分の寸法精度を高いものにする
もとが可能であってこれと接合するインターフェース上
の問題も著しく少なくなるとともに、熱空気に対する耐
食性を著しく向上させることが可能であり、大気圏の再
突入時における酸化抵抗の大きなＣ／Ｃ材とすることが
できるという著大なる効果がもたらされる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例１においてＴＥＯＳによる微
細クラック処理の有無とバーナー火炎照射による質量損
失との関連を調べた結果を示すグラフ、第２図は実施例
２においてシリコン改質剤による微細クラック処理の有
無とバーナー火炎照射による質量損失との関連を調べた
結果を示すグラフ、第３図は実施例３においてＲ−Ｃ／
Ｃ材単体の繊維・マトリックス構造とバーナー火炎照射
による質量損失との関連を調べた結果を示すグラフ、第
４図は同じ〈実施例３においてＳｉＣによる耐酸化処理
後のＲ−Ｃ／Ｃ材の＃ｌｉ、１＃・マトリックス構造と
バーナー火炎照射による質量損失との関連を調べた結果
を示すグラフ、第５図は同じ〈実施例３においてＳｉＣ
による耐酸化処理およびＴＥＯＳによる微細クラック処
理後のＲ−Ｃ／Ｃ材の繊維・マトリックス構造とバーナ
ー火炎照射による質量損失との関連を調べた結果を示す
グラフ、第６図は比較例においてＳｉＣによる耐酸化処
理方法とバーナー火炎照射による質量損失との関連を調
べた結果を示すグラフである。 特許出願人　　　日産自動車株式会社 代理人弁理士　　小　　塩　　　豊 （ｚＬＬｊ／ｆｉ）　＞ｑｌｌ奨 （迎／ｂρＩｘ）　１ｎ＋ｉｍ （８山１ｂ））軒ｉ風

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）炭素／炭素複合材の表面に蒸着法によってＳｉＣ
   蒸着膜を被覆形成し、次いで前記ＳｉＣ蒸着膜に生じた
   微細クラックにＳｉＯ＿２を含浸させることを特徴とす
   る炭素／炭素複合材の表面処理方法。