JPS63309407A - 斜め切断型ダイシングソ−装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は電子回路素子（ＩＣチップ）などの切断に用
いるダイシング装置に関する。

〔発明のａ要〕

この発明は電子回路素子（ＩＣチップ）などの切断にお
けるダイシング装置に、スピンドルを２軸及び、θ方向
に可動する可動装置を取り付けることにより、一度に２
箇所を切断することにより、サイクルタイムの短縮及び
、θ方向に可動する可動装置により斜め切断ができるよ
うにしたものである。

〔従来の技術〕

第２図に示すように従来は、スピンドルにθ方向の可動
装置がなく、１本だったため、斜め切断は、被切断材固
定台７の可動装置により可動させる機構が知られていた
。

なお、８は被切断材である。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来のダイシング装置は、斜め切断を行うとき、その都
度、被切断材固定台の可動装置により可動させなければ
ならない、この方法で行う場合は切断を両斜め方向に２
回に分けて行うため、サイクル時間が２倍となり、又切
断深さをその都度設定しなければならない欠点があった
。

そこでこの発明は従来のこのような欠点を解決するため
、斜め切断を行う時、両斜め切断を１回でできるように
し、切断深さの設定を１回で決める方向である。

〔問題点を解決するための手段〕

上記問題点を解決するためこの発明は、θ方向に可動装
置を取り付けたスピンドル２本の構成とし被切断材固定
台を可動させることなく、１回で両斜め切断ができるよ
うにし、斜め切断を行わないものに対しては、スピンド
ル２本をθ可動装置で水平にすることにより切断部分２
箇所が１回で切断できるようにした。

〔作用〕

前記のように構成されたダイシングソーを作動させると
、両斜め切断が１回で行え、深さ設定が１回ですむこと
と、垂直切断が１度で２箇所行うことができる。

〔実施例〕

以下にこの発明の実施例を図面にもとづいて説明する。

第１図においてスピンドル２を可動装置ｌを用い、θ方
向にずらすとブレード（刃）３が０６斜めになり斜め切
断ができる。

対するスピンドル５を、スピンドル２と同様に可動する
とブレード５が００斜めになる。

上記装置を作動させると第３図のように切断され、１回
の動作で２箇所の斜め切断が行える。

次に位置の移動を行うことにより両斜め切断が順次行え
る。

〔発明の効果〕

以上説明したように、θ方向可動装置を取り付けたスピ
ンドル２本により、毎回切断深さを設定することなく、
両斜め切断が簡単に行え、又、垂直切断時には同時に２
箇所の切断が行える。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明にかかるダイシングソー装置の側面図
、第２図は従来のダイシングソー装置の側面図、第３図
はこの発明にかかる切断断面図である。 １・・・スピンドル２のθ方向の可動装置２・・・スピ
ンドル ３・・・ブレード ４・・・スピンドル５のθ方向の可動装置５・・・スピ
ンドル ６・・・ブレード ７・・・被切断材固定台 ８・・・被切断材 以上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 電子回路素子（ＩＣチップ）などを切断する装置におい
   て、θ方向に可動する可動装置を取り付けたスピンドル
   ２本を有することを特徴とする斜め切断型ダイシングソ
   ー装置。