JPS63314499A - Ｘ線取出し窓 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はＸ線を扱う技術分野におけるＸ線取出し窓に関
する。

〔従来の技術〕

近年、Ｘ線を利用する産業分野が急速に広がってきてい
る。Ｘ線技術の中での一つの技術的問題点は、Ｘ線取出
し窓である。特に、Ｘ線リソグラフィでは、薄いＸ線透
過箔を付けたＸ線取出し窓が使用される。第２図に従来
技術によるＸ線取出し窓の一例を示す。これはＸ線透過
領域１をくり抜いた金属基板２上に該領域１を覆ってそ
の口縁４に薄い透過箔３をろう付けしたものである。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、Ｘ線リソグラフィでは、Ｘ線透過箔３として
通常１０〜２５−膜厚を有し、１０１角以上の大径のＢ
ｅ箔が使用される。しかも真空装置からの大気中への取
出し部に、Ｘ線窓を使用することが多いので膜面には１
気圧が加わる。従ってＢｅ箔の破壊事故の可能性が高く
、装置の構成要素であるＸ線窓としての信頼性が極めて
悪いという欠点がある。

本発明の目的はこのような従来の問題点を除去し、高い
信頼性を有するＸ線取出し窓を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明はＸ線透過領域をくり抜いた金属基板と、該金属
基板のＸ線領域に臨ませるＸ線透過箔と、該Ｘ線透過箔
の箔面を支持させる桟を備えたサポートとを有すること
を特徴とするＸ線取出し窓である。

〔実施例〕

以下本発明の実施例について、図面を参照しながら説明
する。

第１図（ａ）、　（ｂ）において、金属基板１０の板面
にＸ線透過領域１１がくり抜かれている点は従来と同じ
である。本発明はＸ線透過領域１１の開口縁に縦桟１２
と横桟１３との組合せにより格子状に区画された窓孔１
４を有するサポート１５を固定し、さらにサポート１５
の窓孔１４の開口縁１４ａにＸ線透過箔１６をろう付け
したものである。これによって、Ｘ線透過箔１６はサポ
ート１５の窓孔１４の開口縁１４ａと縦桟１２および横
桟１３とに支えられ、実質上Ｘ線透過箔は１／４の面積
となり、圧力に対する強度ははるかに増大する。

なお、サポート１５の窓孔１４は縦横１本の桟によって
区画する場合に限らず、２本以上の桟を用いて４以上に
区画する場合はもとより、横方向、縦方向あるいは斜方
向の１本の桟で２つに区画する場合も含むものである。

〔発明の効果〕 以上のように本発明はＸ線透過箔をその口縁とともにそ
の口縁を区画する桟によって支持させることにより薄膜
を用いて強度が大きい、高信頼性のＸ線取出し窓を得る
ことができる効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明の一実施例におけるＸ線取出し窓
の一部断面正面図、（ｂ）は同側面図、第２図は従来の
Ｘ線取出し窓の斜視図である。 １０・・・金属基板　　　　　　１１・・・Ｘ線透過領
域１２・・・縦桟　　　　　　　　１３・・・横桟１４
・・・窓孔　　　　　　　　１５・・・サポート１６・
・・Ｘ線透過箔

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）Ｘ線透過領域をくり抜いた金属基板と、該金属基
   板のＸ線領域に臨ませるＸ線透過箔と、該Ｘ線透過箔の
   箔面を支持させる桟を備えたサポートとを有することを
   特徴とするＸ線取出し窓。