JPS6334075A - 金属、ガラス、セラミツクス等から成る被加工材の精密研磨工具 - Google Patents
金属、ガラス、セラミツクス等から成る被加工材の精密研磨工具Info
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- JPS6334075A JPS6334075A JP17585186A JP17585186A JPS6334075A JP S6334075 A JPS6334075 A JP S6334075A JP 17585186 A JP17585186 A JP 17585186A JP 17585186 A JP17585186 A JP 17585186A JP S6334075 A JPS6334075 A JP S6334075A
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Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
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- C03C14/004—Glass compositions containing a non-glass component, e.g. compositions containing fibres, filaments, whiskers, platelets, or the like, dispersed in a glass matrix the non-glass component being in the form of particles or flakes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野ン
本発明は六方晶窒化硼素を含有する微粉状研磨材料とセ
ラミックス結合剤材料とから構成されており、この研磨
剤材料と結合剤材料とが緊密に混和され、圧搾及び焼結
により研磨工具部材を形成して成る、金属、ガラス或は
セラミックス披加工材の精密研磨工具に関するものであ
る。なお、この研磨工具による仕上げ処理に際しては、
通常行われているように研磨液が供給されろ。
ラミックス結合剤材料とから構成されており、この研磨
剤材料と結合剤材料とが緊密に混和され、圧搾及び焼結
により研磨工具部材を形成して成る、金属、ガラス或は
セラミックス披加工材の精密研磨工具に関するものであ
る。なお、この研磨工具による仕上げ処理に際しては、
通常行われているように研磨液が供給されろ。
（従来技術）
このような種類の実際上公知の研磨工具にお（・ては、
結合剤材料は古典的なセラミックス材料であって、ガラ
スではない。そして研磨剤と結合剤セラミックスの割合
は１：２乃至ｌ：１５の範囲にある。セラミックス結合
剤は、例えば長石、陶土、粘土、フリットから構成され
る。これはセラミックス窯炉中において、１００００以
上、例えば１３５０℃の温度で焼成処理される。これは
−面において高コストであり、また研磨剤材料はその微
細な粒度の故に大きな内表面積を有し、そのために窒化
硼素組成分が酸化しゃ丁いという問題を生ずる。六方晶
窒化硼素は上記の焼成温度では少くとも部分的に酸化す
る。そして結局は研磨工具の寿命を損うに至る。粒度が
２０μｍより小さい場合には、この悪影響は極めて大き
いものとなる。結合剤材料としてガラス製造原料（５ｉ
０２ 、Ｎａ２Ｏ、ＣａＯ％ Ａｌ２Ｏ３、に、Ｏ、Ｂ
２Ｏ３等）を使用することも公知であるが、この従来の
結合剤材料はガラス粉粒を焼結するのではなく、溶融さ
せるものである。
結合剤材料は古典的なセラミックス材料であって、ガラ
スではない。そして研磨剤と結合剤セラミックスの割合
は１：２乃至ｌ：１５の範囲にある。セラミックス結合
剤は、例えば長石、陶土、粘土、フリットから構成され
る。これはセラミックス窯炉中において、１００００以
上、例えば１３５０℃の温度で焼成処理される。これは
−面において高コストであり、また研磨剤材料はその微
細な粒度の故に大きな内表面積を有し、そのために窒化
硼素組成分が酸化しゃ丁いという問題を生ずる。六方晶
窒化硼素は上記の焼成温度では少くとも部分的に酸化す
る。そして結局は研磨工具の寿命を損うに至る。粒度が
２０μｍより小さい場合には、この悪影響は極めて大き
いものとなる。結合剤材料としてガラス製造原料（５ｉ
０２ 、Ｎａ２Ｏ、ＣａＯ％ Ａｌ２Ｏ３、に、Ｏ、Ｂ
２Ｏ３等）を使用することも公知であるが、この従来の
結合剤材料はガラス粉粒を焼結するのではなく、溶融さ
せるものである。
そこでこの分野におけろ技術的課題は簡単な方法で、し
かも極めて微細な研磨剤材料から製造することができ、
長い使用寿命を有する研磨工具を提供ｊることである。
かも極めて微細な研磨剤材料から製造することができ、
長い使用寿命を有する研磨工具を提供ｊることである。
（発明の要約］
この技術的課題は、結合剤材料が全体的に焼結されろ主
としてガラス微粉から成り、研磨工具が少くとも５容量
％の孔隙容積を有する本発明により解決される。本発明
の好ましい１実施態様によれば、研磨剤材料は２０ ｐ
ｍより小さ〜・最大限粒度を有し、少くとも５０重量％
が六方晶窒化硼素、残余分が他の高硬度物質から成る。
としてガラス微粉から成り、研磨工具が少くとも５容量
％の孔隙容積を有する本発明により解決される。本発明
の好ましい１実施態様によれば、研磨剤材料は２０ ｐ
ｍより小さ〜・最大限粒度を有し、少くとも５０重量％
が六方晶窒化硼素、残余分が他の高硬度物質から成る。
ガラス微粉は、結合剤材料として使用される複数種類の
ガラス微粉の混合物でもよい。また研磨剤材料はもっば
ら六方晶窒化硼素のみから構成することもできる。
ガラス微粉の混合物でもよい。また研磨剤材料はもっば
ら六方晶窒化硼素のみから構成することもできる。
この場合、研磨剤材料は２０μｍ乃至４μｍの範囲の粒
度を有し、結合剤材料はもっばらガラス微粉のみから構
成されることもできろ。研磨剤材料の全粉粒が４μｍよ
り小さい極大粒度を有するように調整されることもでき
る。
度を有し、結合剤材料はもっばらガラス微粉のみから構
成されることもできろ。研磨剤材料の全粉粒が４μｍよ
り小さい極大粒度を有するように調整されることもでき
る。
（発明の構成）
本発明は、前述した種類の研磨工具において、結合剤材
料が古典的な意味におけるセラミックスからではなく、
冒頭に述べられたような組成分から構成されるべきであ
るとの認識から出発する。
料が古典的な意味におけるセラミックスからではなく、
冒頭に述べられたような組成分から構成されるべきであ
るとの認識から出発する。
本発明の結合剤材料は全体的に或は主としてガラス粉粒
かも構成されることができる。本発明は従来の結合剤の
セラミックス材料と異なり始めからガラスにより結合作
用する。結合剤材料の粉粒と研磨剤材料の粉粒とは相互
に相調和することに留意され度い。−膜内な原則として
は、結合剤材料の少くとも一部分は研磨剤材料よりも相
当程度大きい粒度のものであるべきである。結合剤粒度
は、例えば研磨剤粒度の５倍程度であるが、これより更
に大きくすることもできる。
かも構成されることができる。本発明は従来の結合剤の
セラミックス材料と異なり始めからガラスにより結合作
用する。結合剤材料の粉粒と研磨剤材料の粉粒とは相互
に相調和することに留意され度い。−膜内な原則として
は、結合剤材料の少くとも一部分は研磨剤材料よりも相
当程度大きい粒度のものであるべきである。結合剤粒度
は、例えば研磨剤粒度の５倍程度であるが、これより更
に大きくすることもできる。
焼結温度は結合剤材料の場合１０００℃よりも大幅に低
い温度でよいが、ことに８３０℃以下、例えば８２０”
Ｃで焼結を行うのが好ましい。上述したように、ガラス
セラミックスで処理されるので、窒化硼素の好ましくな
い酸化はもはや生じない。研磨剤材料粉粒は、大部分が
ガラスから成る結合剤成分中に、低い焼結温度であるに
もかかわらず、意外にも十分強固に保持された。このこ
とは、特に２０°乃至３００℃の温度における結合剤材
料の線膨張率が研磨剤材料粉粒全体の平均線膨張率より
低いときに特に顕著である。このような設定は研磨剤材
料の個々の粉粒の結合にはつながらないが、意外にも極
めて良好な結合効果をもたらす。しかしながら、上述の
条件が充足されなくても、所定温度における結合剤材料
が研磨剤材料全体の線膨張率と同等の或はこれより高い
線膨張率を有する場合にも、極めて良好な結合効果、す
なわち同様の機械的保持力をもたらす。この場合、孔隙
容積が重要な意味を有する。これは前述した所より小で
あってはならない。本発明による研磨工具において、こ
の孔隙は研磨処理の際に脱落する微細なチップを収容す
るチップ収容空間をもたらす。これは研磨処理の質及び
工具寿命に大いに影響する。
い温度でよいが、ことに８３０℃以下、例えば８２０”
Ｃで焼結を行うのが好ましい。上述したように、ガラス
セラミックスで処理されるので、窒化硼素の好ましくな
い酸化はもはや生じない。研磨剤材料粉粒は、大部分が
ガラスから成る結合剤成分中に、低い焼結温度であるに
もかかわらず、意外にも十分強固に保持された。このこ
とは、特に２０°乃至３００℃の温度における結合剤材
料の線膨張率が研磨剤材料粉粒全体の平均線膨張率より
低いときに特に顕著である。このような設定は研磨剤材
料の個々の粉粒の結合にはつながらないが、意外にも極
めて良好な結合効果をもたらす。しかしながら、上述の
条件が充足されなくても、所定温度における結合剤材料
が研磨剤材料全体の線膨張率と同等の或はこれより高い
線膨張率を有する場合にも、極めて良好な結合効果、す
なわち同様の機械的保持力をもたらす。この場合、孔隙
容積が重要な意味を有する。これは前述した所より小で
あってはならない。本発明による研磨工具において、こ
の孔隙は研磨処理の際に脱落する微細なチップを収容す
るチップ収容空間をもたらす。これは研磨処理の質及び
工具寿命に大いに影響する。
結合剤材料の孔隙容積及びその線膨張率は、種々の操業
条件に適合せしめられろ。研磨液の供給も含めて操業条
件は、研磨処理に際しても好ましくな（・酸化を生じな
いように調整される。
条件に適合せしめられろ。研磨液の供給も含めて操業条
件は、研磨処理に際しても好ましくな（・酸化を生じな
いように調整される。
更に具体的には本発明の範囲内において組成、構成につ
き多くの他の可能性がある。本発明の有利な１実施態様
は、それぞれが比較的低い軟化温度範囲と比較的高い軟
化温度範囲を有する２種類のガラス微粉を使用すること
を特徴とする。研磨剤材料のための所定の造粒処理を考
慮して、低い軟化温度範囲を有する微粉状ガラスは２０
μｍを下廻る粒度分布極大を、高い軟化温度範囲を有す
る微粉状ガラスは５０μｍを超える粒度分布極大を有す
るように調製することが推奨される。基本的に、研磨剤
材料と結合剤材料との調和は、公知技術について前述し
た範囲において行われればよい。しかしながら本発明に
よる研磨工具において、研磨剤材料及び結合剤材料は重
量的にほぼ同等であるのが好ましい。これがことに研磨
工具の長い寿命に関係する。孔隙容積は粒度分布により
、また圧搾及び焼結により、例えば５乃至６５容量％、
ことに好ましくは３０乃至５０容貴％に調整することが
できる。本発明による研磨工具は、その結合剤材料の特
殊な構成により秀れた効果を示すことが実証された。こ
れに関連して、結合剤材料の微粉状ガラスがそれぞれ重
量部で 二酸化珪素 ５乃至７５ 酸化硼素 １乃至４０ 酸化アルミニウム ｌ乃至２５ 酸化ナトリウム １乃至１６ 酸化カリウム ｌ乃至１４ の範囲の組成であることを特徴とする好ましい１実ｔＭ
Ｍ様が示される。更に上記微粉状ガラスが、それぞれ重
量部で、 五酸化燐 最大限 ３５ 酸化バリウム １０ 酸化カルシウム １６ 酸化マグネシウム １０酸化リチウ
ム ３ 酸化亜鉛 最大限 １５ 酸 化 鉛 ２２酸化ジ
ルコニウム ８酸化チタン
４ の各化合物を１種類或は複数種類追加的に含有すること
ができる。本発明による工具の製造の前に、まず材料と
して均質なガラスを、そしてこれから微粉状の結合剤材
料を、場合により微粉状のガラス混合物の結合剤材料を
製造することが重要である。ことに結合剤材料が上述し
た組成分で構成されろときは、極端に微細な研磨剤材料
、すなわち４μｍ以下の粒度の研磨剤材料を使用する可
能性が生ずる。この場合微細結晶、例えばニークライト
を結合剤材料に対し１０重量部まで添加することができ
る。上述した組成の結合剤材料が場合により更に１種類
或は複数種類の添加剤を含有する場合、これは研磨剤材
料より２乃至４倍のファクターだけ大きい粒度な有する
ことができる。粒度分布により、また圧搾或は焼結によ
り、約１２容量％の孔隙容積に調整され得る。孔隙容積
が１２容量％より小さく、或はこれと同等の場合には、
２００乃至３００℃の温度範囲において、結合剤組成分
の線膨張率は、摂氏１度当り少くとも２ Ｘ １０−”
だけ、研磨剤組成分粒体全部の平均線膨張率より大とな
る。孔隙容積が１２容量％より大きく、或はこれと同等
の場合には、２０°乃至３００℃の温度範囲にお℃・て
、結合剤組成分の線膨張率は、摂氏１度当り少くとも２
Ｘ １０−７だけ、研磨剤組成分粒体全部の平均線膨
張率より小となる。
き多くの他の可能性がある。本発明の有利な１実施態様
は、それぞれが比較的低い軟化温度範囲と比較的高い軟
化温度範囲を有する２種類のガラス微粉を使用すること
を特徴とする。研磨剤材料のための所定の造粒処理を考
慮して、低い軟化温度範囲を有する微粉状ガラスは２０
μｍを下廻る粒度分布極大を、高い軟化温度範囲を有す
る微粉状ガラスは５０μｍを超える粒度分布極大を有す
るように調製することが推奨される。基本的に、研磨剤
材料と結合剤材料との調和は、公知技術について前述し
た範囲において行われればよい。しかしながら本発明に
よる研磨工具において、研磨剤材料及び結合剤材料は重
量的にほぼ同等であるのが好ましい。これがことに研磨
工具の長い寿命に関係する。孔隙容積は粒度分布により
、また圧搾及び焼結により、例えば５乃至６５容量％、
ことに好ましくは３０乃至５０容貴％に調整することが
できる。本発明による研磨工具は、その結合剤材料の特
殊な構成により秀れた効果を示すことが実証された。こ
れに関連して、結合剤材料の微粉状ガラスがそれぞれ重
量部で 二酸化珪素 ５乃至７５ 酸化硼素 １乃至４０ 酸化アルミニウム ｌ乃至２５ 酸化ナトリウム １乃至１６ 酸化カリウム ｌ乃至１４ の範囲の組成であることを特徴とする好ましい１実ｔＭ
Ｍ様が示される。更に上記微粉状ガラスが、それぞれ重
量部で、 五酸化燐 最大限 ３５ 酸化バリウム １０ 酸化カルシウム １６ 酸化マグネシウム １０酸化リチウ
ム ３ 酸化亜鉛 最大限 １５ 酸 化 鉛 ２２酸化ジ
ルコニウム ８酸化チタン
４ の各化合物を１種類或は複数種類追加的に含有すること
ができる。本発明による工具の製造の前に、まず材料と
して均質なガラスを、そしてこれから微粉状の結合剤材
料を、場合により微粉状のガラス混合物の結合剤材料を
製造することが重要である。ことに結合剤材料が上述し
た組成分で構成されろときは、極端に微細な研磨剤材料
、すなわち４μｍ以下の粒度の研磨剤材料を使用する可
能性が生ずる。この場合微細結晶、例えばニークライト
を結合剤材料に対し１０重量部まで添加することができ
る。上述した組成の結合剤材料が場合により更に１種類
或は複数種類の添加剤を含有する場合、これは研磨剤材
料より２乃至４倍のファクターだけ大きい粒度な有する
ことができる。粒度分布により、また圧搾或は焼結によ
り、約１２容量％の孔隙容積に調整され得る。孔隙容積
が１２容量％より小さく、或はこれと同等の場合には、
２００乃至３００℃の温度範囲において、結合剤組成分
の線膨張率は、摂氏１度当り少くとも２ Ｘ １０−”
だけ、研磨剤組成分粒体全部の平均線膨張率より大とな
る。孔隙容積が１２容量％より大きく、或はこれと同等
の場合には、２０°乃至３００℃の温度範囲にお℃・て
、結合剤組成分の線膨張率は、摂氏１度当り少くとも２
Ｘ １０−７だけ、研磨剤組成分粒体全部の平均線膨
張率より小となる。
以下に本発明の実施例について本発明の利点につき詳細
に説明する。
に説明する。
後掲の表は結合剤用材料として種々のガラスを１種類の
みで、或は複数種類混合して使用するべき若干の例を示
す。この場合、ガラスはそれぞれ均質な光学ガラス品質
の流動体となるよう溶融、融合させ、円板体その他の所
望の形状に成形した後室温まで冷却する。次いでガラス
体をクラッシャーで粉砕し、市販のボールミルで乾燥磨
砕し、乾燥状態でスクリーニング及び分級に附する。一
連の処理の何れかの段階で湿気、水分かもたらされろと
、ガラスかｌ−）調製される結合剤のその後の品質を劣
化させる。
みで、或は複数種類混合して使用するべき若干の例を示
す。この場合、ガラスはそれぞれ均質な光学ガラス品質
の流動体となるよう溶融、融合させ、円板体その他の所
望の形状に成形した後室温まで冷却する。次いでガラス
体をクラッシャーで粉砕し、市販のボールミルで乾燥磨
砕し、乾燥状態でスクリーニング及び分級に附する。一
連の処理の何れかの段階で湿気、水分かもたらされろと
、ガラスかｌ−）調製される結合剤のその後の品質を劣
化させる。
原材料は以下のようにして調製した。
下表の組成８のガラスで分別粒度Ｏ乃至５μｍのものを
使用し、その４．７７９を混合容器に入れ、組成１のガ
ラスで分別粒度３２乃至５０μｍのものを使用し、その
６．６１９を上記混合容器に添加した。
使用し、その４．７７９を混合容器に入れ、組成１のガ
ラスで分別粒度３２乃至５０μｍのものを使用し、その
６．６１９を上記混合容器に添加した。
次いで粒度分布６乃至１２μｍの大方晶窒化硼素を４．
７７５’これに添加した。混合容器を閉鎖し、揺動混合
装置に装填し、２０分間乾乾燥台処理に附した。次いで
混合容器を開扉し、直径ｌ （ｍのゴム球とエチルアル
コール１ｒｎｔを添加した後、これを閉鎖して、再び混
合装置に装填し２０分間作動させた。
７７５’これに添加した。混合容器を閉鎖し、揺動混合
装置に装填し、２０分間乾乾燥台処理に附した。次いで
混合容器を開扉し、直径ｌ （ｍのゴム球とエチルアル
コール１ｒｎｔを添加した後、これを閉鎖して、再び混
合装置に装填し２０分間作動させた。
ゴム球により充分に混和された材料を、各４．２６２の
４試料に分量し、各試料を断面１８ Ｘ ２３ ｆｉｆ
ｉのスチール製方形エクストルーダダイに装填した。こ
れを小型スピンドルプレスにより６５バールの圧力で冷
プレスし、４間高さの直方体とした。これを包囲する枠
型から取出し、１８Ｘ２３Ｘ ４ ｍｍの直方体試料を
乾燥器に入れ、１０５℃に加熱して３時間この温度に保
持した。次（・でこの加熱状態の試料を電気加熱電子制
御の炉に入れ、５５分間で５０５℃まで連続的に加熱し
た。更に２９分間内に８２０℃まで温度を上げ、この温
度を１時間保持し、次いで３０分間で５２０℃まで温度
を下げ、これを１時間保持した。次いで毎時５０度の割
合で室温まで冷却した。試料を検査したが六方晶窒化硼
素の酸化は全く認められなかった。隣接￥ろガラス相ま
で１μの厚さの反応帯域が観察された。冷却後粉粒は２
６容量％の空隙率乃至気孔率を示した。本発明において
、研磨剤材料が工具中に占める容積割合は僅かであって
保持材料としての残余の部分が大部分を占める。
４試料に分量し、各試料を断面１８ Ｘ ２３ ｆｉｆ
ｉのスチール製方形エクストルーダダイに装填した。こ
れを小型スピンドルプレスにより６５バールの圧力で冷
プレスし、４間高さの直方体とした。これを包囲する枠
型から取出し、１８Ｘ２３Ｘ ４ ｍｍの直方体試料を
乾燥器に入れ、１０５℃に加熱して３時間この温度に保
持した。次（・でこの加熱状態の試料を電気加熱電子制
御の炉に入れ、５５分間で５０５℃まで連続的に加熱し
た。更に２９分間内に８２０℃まで温度を上げ、この温
度を１時間保持し、次いで３０分間で５２０℃まで温度
を下げ、これを１時間保持した。次いで毎時５０度の割
合で室温まで冷却した。試料を検査したが六方晶窒化硼
素の酸化は全く認められなかった。隣接￥ろガラス相ま
で１μの厚さの反応帯域が観察された。冷却後粉粒は２
６容量％の空隙率乃至気孔率を示した。本発明において
、研磨剤材料が工具中に占める容積割合は僅かであって
保持材料としての残余の部分が大部分を占める。
本発明の実施例として焼結プレス、すなわち圧力及び熱
の同時附与も行った。
の同時附与も行った。
本発明により調製された仕上げ研磨工具を高周波で検査
した。工作機械に装着したその回転数は毎分１８０回転
とした。仕上げ研磨工具として使用された研磨部材は毎
分７００の周波数で振動させた。
した。工作機械に装着したその回転数は毎分１８０回転
とした。仕上げ研磨工具として使用された研磨部材は毎
分７００の周波数で振動させた。
研磨部材の対床面押圧力１．５バールで１．９秒の研磨
処理時間後、表面粗さＲａは０．２２μｍであった。
処理時間後、表面粗さＲａは０．２２μｍであった。
従来の工具において精密研磨の場合に生ずる工具調整ま
での休止時間は全操業時間の約２０％を占めるが、本発
明による工具では各回毎の中断なしに、１０００以上の
上記表面粗さの研磨が行われ得る。
での休止時間は全操業時間の約２０％を占めるが、本発
明による工具では各回毎の中断なしに、１０００以上の
上記表面粗さの研磨が行われ得る。
これに対し、従来の工具では約４３０回の研磨で使用不
能となり、平均して３乃至４倍の相違がある。
能となり、平均して３乃至４倍の相違がある。
本発明による工具を電子顕微鏡で検査したところ、大方
晶窒化硼素と包囲ガラス相との間の溶融相互融着も、六
方晶窒化硼素の障害も認められなかった。
晶窒化硼素と包囲ガラス相との間の溶融相互融着も、六
方晶窒化硼素の障害も認められなかった。
Claims (15)
- （１）六方晶窒化硼素を含有する微粉状研磨材料とセラ
ミックス結合剤材料とから構成されており、この研磨剤
材料と結合剤材料とが緊密に混和され、圧搾及び焼結に
より研磨工具部材を形成して成る、金属、ガラス或はセ
ラミックス被加工材の精密研磨工具において、上記セラ
ミックス結合剤材料が主としてガラス微粉から成り、精
密研磨工具が少くとも５容量％の孔隙容積を有すること
を特徴とする研磨工具。 - （２）特許請求の範囲（１）による研磨工具であつて、
更に上記研磨剤材料が２０μｍより小さい最大限粒度を
有し、少くとも５０重量％が六方晶窒化硼素、残余分が
他の高硬度物質から成ることを特徴とする研磨工具。 - （３）特許請求の範囲（１）或は（２）による研磨工具
であつて、研磨剤材料が２０μｍ乃至４μｍの範囲の粒
度を有し、結合剤材料がもつぱらガラス微粉から成るこ
とを特徴とする研磨工具。 - （４）特許請求の範囲（３）による研磨工具であつて、
上記結合剤材料が、２０℃乃至３００℃の温度において
、研磨剤材料粉粒全体の線膨張率より小さいか或は同等
の線膨張率を有することを特徴とする研磨工具。 - （５）特許請求の範囲（３）或は（４）による研磨工具
であつて、微粉状のガラスが、一方は低く、他方は高い
軟化温度範囲を有する２種類のガラスを混和してなるこ
とを特徴とする研磨工具。 - （６）特許請求の範囲（５）による研磨工具であつて、
上記の低軟化温度範囲を有する微粉状ガラスが２０μｍ
以下の粒度分布極大を、また上記の高軟化温度範囲を有
する微粉状ガラスが５０μｍ以上の粒度分布極大を有す
ることを特徴とする研磨工具。 - （７）特許請求の範囲（１）から（６）までの何れかに
よる研磨工具であつて、研磨剤組成分と結合剤組成分と
が重量的にほぼ同等であることを特徴とする研磨工具。 - （８）特許請求の範囲（３）から（７）までの何れかに
よる研磨工具であつて、粒度分布により、また圧搾及び
焼結により、孔隙容積を５乃至６５容量％、ことに３０
乃至５０容量％に調整することを特徴とする研磨工具。 - （９）特許請求の範囲（１）から（８）までの何れかに
よる研磨工具であつて、結合剤材料の微粉状ガラスが、
それぞれ重量部で 二酸化珪素５乃至７５ 酸化硼素１乃至４０ 酸化アルミニウム１乃至２５ 酸化ナトリウム１乃至１６ 酸化カリウム１乃至１４ の範囲の組成であることを特徴とする研磨工具。 - （１０）特許請求の範囲（９）による研摩工具であつて
、上記微粉状ガラスが、それぞれ重量部で 五酸化燐最大限３５ 酸化バリウム″１０ 酸化カルシウム″１６ 酸化マグネシウム″１０ 酸化リチウム最大限３ 酸化亜鉛″１５ 酸化鉛″２２ 酸化ジルコニウム″８ 酸化チタン″４ の各化合物を１種類或は複数種類追加的に含有すること
を特徴とする研磨工具。 - （１１）特許請求の範囲（１）或は（２）による研磨工
具であつて、上記研磨剤材料が４μｍ以下の粒度を有し
、上記結合剤材料が結合剤材料に対して１０重量部まで
の微細結晶体、例えばユークリプタイトを含有すること
を特徴とする研磨工具。 - （１２）特許請求の範囲（１１）による研磨工具であつ
て、結合剤材料が特許請求の範囲（９）及び（１０）に
相当して構成されており、その粒度が研磨剤材料の粒度
よりファクタ２乃至３だけ大きいことを特徴とする研磨
工具。 - （１３）特許請求の範囲（１１）或は（１２）による研
磨工具であつて、粒度分布により、また圧搾及び焼結に
より孔隙容積を約１２容量％に調節したことを特徴とす
る研磨工具。 - （１４）特許請求の範囲（１３）による研磨工具であつ
て、１２容量％より小さいか或はこれと同等の孔隙容積
の場合に、２０乃至３００℃の温度において結合剤の線
膨張率が、摂氏１度当り２×１０＾−＾７だけ、研磨剤
組成分全体の平均線膨張率より高いことを特徴とする研
磨工具。 - （１５）特許請求の範囲（１３）による研磨工具であつ
て、１２容量％より大きいか或はこれと同等の孔隙容積
の場合に、２０乃至３００℃の温度において、結合剤組
成分の線膨張率が、摂氏１度当り２×１０＾−＾７だけ
、研磨剤組成分全体の平均線膨張率より低いことを特徴
とする研磨工具。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3527312.7 | 1985-07-31 | ||
| DE3527312 | 1985-07-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6334075A true JPS6334075A (ja) | 1988-02-13 |
Family
ID=6277190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17585186A Pending JPS6334075A (ja) | 1985-07-31 | 1986-07-28 | 金属、ガラス、セラミツクス等から成る被加工材の精密研磨工具 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0211247A3 (ja) |
| JP (1) | JPS6334075A (ja) |
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| US6273082B1 (en) | 1991-06-10 | 2001-08-14 | Ultimate Abrasive Systems, L.L.C. | Abrasive cutting tool |
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-
1986
- 1986-07-04 EP EP86109154A patent/EP0211247A3/de not_active Withdrawn
- 1986-07-28 JP JP17585186A patent/JPS6334075A/ja active Pending
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0211247A2 (de) | 1987-02-25 |
| EP0211247A3 (de) | 1987-05-27 |
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